JP4380287B2 - 光モジュール用レンズホルダ、光モジュールおよび、光モジュールの組立方法 - Google Patents

光モジュール用レンズホルダ、光モジュールおよび、光モジュールの組立方法 Download PDF

Info

Publication number
JP4380287B2
JP4380287B2 JP2003357173A JP2003357173A JP4380287B2 JP 4380287 B2 JP4380287 B2 JP 4380287B2 JP 2003357173 A JP2003357173 A JP 2003357173A JP 2003357173 A JP2003357173 A JP 2003357173A JP 4380287 B2 JP4380287 B2 JP 4380287B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
holder
lens
opening
optical module
ferrule
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2003357173A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2005121921A (ja
Inventor
晴揮 小柳
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP2003357173A priority Critical patent/JP4380287B2/ja
Publication of JP2005121921A publication Critical patent/JP2005121921A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4380287B2 publication Critical patent/JP4380287B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
  • Semiconductor Lasers (AREA)
  • Lens Barrels (AREA)

Description

この発明は、光モジュール用レンズホルダ、光モジュールおよび、光モジュールの組立方法に関するものである。
従来の光モジュールでは、光ファイバの光軸方向の調心を行うことを目的に、レンズ系を容易に高精度で調心する微動機構を設け、これによりレンズを精密調整する技術が知られている。(例えば、特許文献1参照)。
特開平11−167047号公報(第2頁、第3図)
前記特許文献1の技術では、第1のホルダに突起を設け、前記突起を第2のホルダのスリット上を移動させることでレンズを精密に調整する技術であるが、前記突起を設けるための製造工程が複雑である。また、前記第2のホルダのスリット部分で強度が弱くなるといった問題点があった。
本発明は、製造工程が簡易であり、強度的に有利な光モジュール用レンズホルダ、光モジュールおよび、光モジュール組立方法を提供することを目的とする。
この発明に係わる光モジュール用レンズホルダは、入射レーザ光を集光するレンズと、前記レンズを内接して保持する筒状の第1のホルダと、側面に周囲が壁面で囲まれた開口部を有するとともに、内筒に前記第1のホルダが挿入される筒状の第2のホルダと、を備え、前記第1のホルダは、外表面の一部が前記第2のホルダの開口部の内側に配置され、前記第1のホルダの外表面に溝が設けられ、前記溝は、前記第2のホルダの円筒中心軸と垂直方向に形成されかつ前記第2のホルダの開口部の内側に配置され、前記第1のホルダを前記第2のホルダの円筒中心軸方向に移動させるための調整機構の突起部を、前記第2のホルダの開口部を通して前記溝と係合させ、前記調整機構を前記円筒中心軸方向に移動させることで、前記第1のホルダを前記円筒中心軸方向に移動させ、前記入射レーザ光が集光される光導波路のレーザ光入射面へ前記入射レーザ光を結合させることができることを特徴とするものである。
この発明に係わる光モジュールは、レーザ光を発するレーザダイオードと、前記レーザダイオードを保持するステムホルダと、光導波路の設けられたフェルールと、前記フェルールを保持するフェルールホルダと、前記レーザ光を集光するためのレンズと、前記レンズを内接して保持する筒状の第1のホルダと、側面に周囲が壁面で囲まれた開口部を有するとともに、内筒に前記第1のホルダが挿入される筒状の第2のホルダと、を備え、前記第1のホルダは、外表面の一部が前記第2のホルダの開口部の内側に配置され、前記第1のホルダの外表面に溝が設けられ、前記溝は、前記第2のホルダの円筒中心軸と垂直方向に形成されかつ前記第2のホルダの開口部の内側に配置され、前記第1のホルダと前記第2のホルダとは少なくとも溶接部で固着され、前記第2のホルダの一端面に前記ステムホルダが固着され、他端面に前記フェルールホルダが固着され、前記第1のホルダを前記第2のホルダの円筒中心軸方向に移動させるための調整機構の突起部を、前記第2のホルダの開口部を通して前記溝と係合させ、前記調整機構を前記円筒中心軸方向に移動させることで、前記第1のホルダを前記円筒中心軸方向に移動させ、前記光導波路のレーザ光入射面へ前記入射レーザ光を結合させることができることを特徴とするものである。
この発明に係わる光モジュールの組立方法は、レーザ光を発するレーザダイオードを保持したステムホルダと、光導波路の設けられたフェルールを保持するフェルールホルダと、レンズを内接して保持する筒状の第1のホルダと、側面に周囲が壁面で囲まれた開口部を有するとともに、内筒に前記第1のホルダが挿入される筒状の第2のホルダとを備え、前記第1のホルダは、外表面の一部が前記第2のホルダの開口部の内側に配置され、前記第1のホルダの外表面に溝が設けられ、前記溝は、前記第2のホルダの円筒中心軸と垂直方向に形成されかつ前記第2のホルダの開口部の内側に配置され、前記第1のホルダを前記第2のホルダの円筒中心軸方向に移動させるための調整機構の突起部を、前記第2のホルダの開口部を通して前記溝と係合させ、前記調整機構を前記円筒中心軸方向に移動させることで、前記第1のホルダを前記円筒中心軸方向に移動させることができることを特徴とする光モジュールについて、以下のステップ(a)〜(e)の順序で組立を行うものである。
(a)前記第2のホルダの内筒に前記第1のホルダを挿入するステップ、
(b)前記第2のホルダの一端面に前記ステムホルダを溶接するステップ、
(c)その突起部を前記溝に係合させた前記調整機構を前記円筒中心軸方向に移動させることにより、前記第1のホルダを前記円筒中心軸方向に移動させるステップ、
(d)前記第1のホルダの移動により、前記フェルールの通過光が最適なパワーを得た後、前記第1のホルダと前記第2のホルダとを溶接するステップ、
(e)前記第2のホルダと前記フェルールホルダとを相対的に、前記円筒中心軸に垂直な方向に移動させることにより、前記フェルールの通過光が最適なパワーを得た後、前記第2のホルダの他端面に前記フェルールホルダを溶接するステップ。
以上によれば本発明によれば従来よりも製造工程が簡易であり、強度的に有利な光モジュール用レンズホルダおよび、光モジュールを提供することができる。
実施の形態1
図1から図13は、本発明の実施の形態1を示す図である。図1および図2は光モジュールの外形図であり、図1は上面図、図2は側面図を示す。また、図3は図2の矢印AA矢視断面図である。図1において、紙面表裏方向がY軸、円筒軸方向がZ軸であり、Y軸とZ軸とに垂直な方向がX軸である。
図1から図3おいて、光モジュール1は、ステムホルダ2、光モジュール用レンズホルダ3および、フェルールホルダ4とを備えている。光モジュール用レンズホルダ3は、第1のホルダ5と第2のホルダ6とを備えている。
第1のホルダ5は、第2のホルダ6の内筒を図1に示すZ軸方向に摺動可能に挿入されている。つまり、第1のホルダ5の外表面が、第2のホルダ6の内表面を、摺りながら動くように挿入されている。
ステムホルダ2、光モジュール用レンズホルダ3および、フェルールホルダ4は位置ずれしないように溶接または接着などで固着されている。つまり、光モジュール用レンズホルダ3の一端面にステムホルダ2のレーザ出力端面7が面当てして固着されており、他端面にフェルールホルダ4の取り付け面8が面当てして固着されている。
ステムホルダ2、光モジュール用レンズホルダ3および、フェルールホルダ4は、溶接または接着などで固着される。溶接する場合、ステムホルダ2、光モジュール用レンズホルダ3および、フェルールホルダ4の材質は、ステンレスなどが用いられる。
リング50の一端面には、レーザ出力端面7が設けられている。ステム12と、リング50の他端面とは固着されている。ステムホルダ2は、ステム12とリング50とを備えている。
図3に示す様に、ステム12は、レーザダイオード9、LDキャップ10および、窓11を保持している。レーザダイオード9は、ステム12に設けられた舌状の突起部に固定される。レーザダイオード9は、LDキャップ10および窓11により気密封止されている。
レーザダイオード9とピン13とは、電気的に接続されており、ピン13から入力される高周波電気信号は、レーザダイオード9でレーザ光に変換される。レーザダイオード9から発せられるレーザ光は、窓11を透過する。
必要に応じて、ステム12には、レーザダイオード9の出力をモニタするフォトダイオードを設けても良い。
レーザダイオード9、LDキャップ10および、窓11のステム12への保持方法は、外部からの振動などによりレーザダイオード9から発せられるレーザ光にずれが生じないように保持されていればよい。つまり、光モジュールの使用環境を考慮して、レーザダイオード9、LDキャップ10および、窓11をステム12へ固定すればよい。
また、ステム12とリング50との固着は、前記と同様に外部からの振動などによりレーザダイオード9から発せられるレーザ光にずれが生じないように固着されていればよい。一例として、ステム12とリング50とは溶接により固着される。
フェルール15は、フェルールホルダ4に保持されている。また、コア14は、フェルール15に保持されている。なお、コア14は、光ファイバのコアと同等の特性を有する。つまり、コア14は、光導波路である。フェルールホルダ4によるフェルール15の保持および、フェルール15によるコア14の保持方法は、外部からの振動などによりずれが生じないように保持されていればよい。つまり、光モジュールの使用環境を考慮して、それぞれを固着すればよい。
フェルール15は、図示しない光ファイバの端面を当接する。フェルールホルダ4は、図示しない光ファイバの挿入孔を有し、当該挿入孔内にフェルール15の端面が配置される。つまり、図示しない光ファイバは、フェルールホルダ4に挿入保持される。
レーザダイオード9から発せられたレーザ光は、レンズ16で集光されて、フェルール15に保持されているコア14の一端面に焦点を結ぶ。
図4は、第2のホルダ6に第1のホルダ5が挿入されている光モジュール用レンズホルダ3の斜視図を示す。図1から図4を用いて光モジュール用レンズホルダ3について説明する。
第2のホルダ6は、レーザ光が通過できるように中空である。つまり、第2のホルダ6は、筒状である。また、第2のホルダ6は、側面に開口部17を有している。開口部17は周囲が壁面で囲まれており、第2のホルダ6の外側の外筒面から内側の内筒面に貫通している。つまり、開口部17は、第2のホルダ6の外側の筒面から内側の筒面に貫通している。図1においては、左右に開口部17Aおよび開口部17Bを有している。なお、開口部17の詳細については、後述する。
第1のホルダ5は、第2のホルダ6の内筒をZ軸方向に摺動可能に挿入されている。つまり、第1のホルダ5は、第2のホルダ6の円筒軸のZ方向に、摺りながら動くように挿入されている。言い換えれば、第2のホルダ6の円筒軸のZ方向に、第1のホルダ5が挿入される。
第1のホルダ5の外表面の一部は、開口部17の穴内に位置し、開口部17から露出している。つまり、第1のホルダ5の外表面の一部は、第2のホルダ6の開口部17に重なるように配置されている。言い換えれば、第1のホルダ5は、表面の一部が開口部17の内側に配置されている。
第1のホルダ5は、レーザ光が通過できるように第2のホルダ6と同様に中空である。つまり、第1のホルダ5は、レーザ光が通過できるように第2のホルダ6と同様に筒状である。また、第1のホルダ5は、ステム12に保持されている窓11を透過したレーザ光を集光するレンズ16を保持している。
レンズ16は、第1のホルダ5とレンズ16とが一体となって、第2のホルダ6の円筒軸のZ方向に移動できれば良い。つまり、レンズ16は第1のホルダ5に内接して保持しても良い。また、レンズ16は保持具によって保持されても良いし、接着材などで保持しても良い。
また、第1のホルダの内筒に段差を設けて、段差にレンズ16の端面の一部を押し当てる様にして保持しても良い。
次にレンズ16について説明する。レンズ16は、ステムホルダ2に保持されている窓11を透過したレーザ光を集光できればよい。製造工程を簡易にすると共に、コストを抑えるために、光モジュール1内にはレンズ16のみを単レンズとして配置することが望ましい。もちろん設計に応じてレンズを複数設けても良い。
計算上は、レーザダイオード9のレンズ16側端部のレーザ出射面51、レンズ16および、コア14のレンズ16側端面であるレーザ光入射面18を理論位置に配置できれば、レーザ光入射面18にレーザ光の焦点が合い、効率よく結合することができる。
理論位置とは、以下の関係が成り立つ位置を言う。レーザ出射面51と、レンズ16の主点との距離をS1とする。また、レンズ16の主点と、レーザ光入射面18との距離をS2とする。レンズ16の焦点距離をfとすると、1/f=1/S1+1/S2の関係が成り立つ位置が理論位置である。詳細を以下に示す。
図5は、レンズ16が単レンズの場合の、S1とS2との関係を示した図である。図5において、第1の焦点19は、レーザ出射面51であり、第1の焦点19とレンズ16の主点との距離がS1である。また、第2の焦点20は、レーザ光入射面18であり、第2の焦点20とレンズ16の主点との距離がS2である。S1:S2は、好ましくは1:3〜5である。なお、S1、S2および、fは設計により決定することができる。
図3において、基板100は、ピン13と接触している。ピン13からは、高周波電気信号が入力されるため、基板100の光モジュール1側端面と、ステム12側のピン13の根元との距離Kは、通電損失が無いように設計により正確に決まっている。
また、図示しない光ファイバの位置も決まってくる。よって、光モジュール1の寸法は、機械精度の範囲で精度良く決定されている。この様に、精度良く寸法が決まっている光モジュール1において、レーザ光入射面18に効率よくレーザ光を結合するためには、レーザ出射面51、レンズ16および、レーザ光入射面18の位置を精度良く決定しておく必要がある。
レーザ出射面51および、レーザ光入射面18の位置は、レーザダイオード9および、コア14の位置から一義的に決定できるため、設計上および製造上は、レーザダイオード9および、コア14の位置を精度良く決定すればよい。
レーザダイオード9はステム12に精度良く保持されており、ステム12はステムホルダ2に精度良く保持されている。また、ステムホルダ2と光モジュール用レンズホルダ3とは、レーザ出力端面7で精度良く固着されている。つまり、レーザダイオード9の位置は、レーザ出力端面7の位置から、機械精度の範囲で明確に決定されている。
ステムホルダ2と光モジュール用レンズホルダ3とは予め溶接により固着されていても良い。ステムホルダ2と光モジュール用レンズホルダ3とを予め溶接して一体化した場合、機械的精度の向上、製造工程を簡易にすることができる。
同様に、コア14は、フェルール15を介してフェルールホルダ4に精度良く保持されている。フェルールホルダ4と光モジュール用レンズホルダ3とは、取り付け面8で精度良く固着されている。つまり、コア14の位置は、取り付け面8の位置から、機械精度の範囲で明確に決定されている。
以上より、レーザダイオード9および、コア14との位置は、機械精度の範囲で精度良く決定される。つまり、レーザ出射面51および、レーザ光入射面18との位置は、機械精度の範囲で精度良く決定される。
しかしながら、レーザダイオード9のステムホルダ2に対する取り付け精度、レンズ16の歪み、コア14のフェルールホルダ4に対する取り付け精度などの要因により、レーザダイオード9、レンズ16および、コア14を理論位置に配置しても、レーザ光入射面18への結合が最大になるとは限らない。
このため、ステムホルダ2およびフェルールホルダ4のZ軸方向の位置を設定した後に、レンズ16を保持している第1のホルダ5を、第2のホルダ6の円筒軸のZ方向に移動して調整することでレーザ光入射面18への結合を最大にする。
この調整の詳細を図6にて説明する。図6(a)は、何らかの原因で、第2の焦点20に焦点が合っていない状態を示す。レンズ16の焦点距離fは、レンズ16の設計により決定されており、既知の値である。また、レーザ出射面51から、レーザ光入射面18までの距離Lも設計により決定されており、既知である。
また、第1の焦点19と第2の焦点20との距離、つまり、レーザ出射面51から、レーザ光入射面18までの距離Lも光モジュール1の寸法により決まる。
図6(a)の状態で、レーザ出射面51と、レンズ16の主点との距離をL1、レンズ16の主点とレーザ光入射面18との距離をL2とすると、1/f=1/L1+1/L2の関係が成り立つ。
図6(b)は図6(a)の状態からレンズ16をΔL移動し、レーザ光入射面18での結合が最大となったときの図である。図6(b)のレーザ出射面51とレンズ16の主点との距離をL1'、レンズ16の主点とレーザ光入射面18との距離をL2'とすると、1/f=1/L1'+1/L2'および、L1'+L2'=Lの関係が成立し、L1'およびL2'を求めることができる。また、レンズ16の移動量ΔLは、ΔL=L1'−L1により算出することができる。
つまり、レンズ16を移動することにより、何らかの原因で第2の焦点20に焦点が合っていない図6(a)の状態から、第1の焦点19および第2の焦点20に焦点が合っている図6(b)の状態にすることができる。
このように、第1のホルダ5に保持されているレンズ16を第2のホルダ6の円筒軸のZ方向に移動して調整することで、レーザダイオード9のステムホルダ2への取り付け精度、レンズ16の歪みなどが有っても、Z軸方向のレーザ入射面18への結合を最大にすることができる。
次に、光モジュール1の組立方法について述べる。図7は、光モジュールの組立手順を示した図である。第1ステップ(S1)としては、第2のホルダ6に第1のホルダ5を摺動可能に挿入し、光モジュール用レンズホルダ3とする。
第2のステップ(S2)としては、レーザダイオード9を含むステムホルダ2のレーザ出力端面7と、光モジュール用レンズホルダ3の一端面とを面当てした状態で、溶接などにより固着する。ここで、光モジュール用レンズホルダ3の一端面は、第2のレンズホルダの一端面となる。面当てするのは、前記したとおり、レーザダイオード9の位置とコア14との位置関係が決まっているためである。
第3のステップ(S3)で、第1のホルダ5を第2のホルダ6の円筒軸のZ方向に摺動し、第4のステップ(S4)で、Z軸方向のレーザ光入射面18への結合が最大になるか確認する。第3のステップ(S3)と第4のステップ(S4)を繰り返して、レーザ光入射面18のZ軸方向の結合が最大となるように、第1のホルダ5の位置を決める。
なお、結合が最大になるかの確認は、フェルールホルダ4の取り付け面8に、光モジュール用レンズホルダ3の他端面を面当てした状態で、コア14のレーザ光入射面18と反対側の面から出力されるレーザ光のパワーを計器により測定することで確認する。つまり、フェルール15のコア14の通過光が最適なパワーを得ることを確認する。最適なパワーとは、予め設計により定められたパワーである。
第5のステップ(S5)としては、第1のホルダ5と第2のホルダ6とを固着するため、溶接を行う。もちろん、第1のホルダ5と第2のホルダ6とは溶接でのみ固着する必要もなく、必要に応じて他の固着手段を併用しても良い。
第6のステップ(S6)として、レンズ16の焦点がレーザ光入射面18に最適位置つまり、最大で結合する様に、フェルールホルダ4を図1または図2に示すXY軸方向に移動し、位置調整を行う。つまり、第2のホルダ6とフェルールホルダ4とを相対的に、第2のホルダ6の円筒軸に垂直な方向に移動させることにより、フェルール15の通過光が最適なパワーを得るようにする。
XY軸方向に位置調整が必要な理由は、第1のホルダ5と第2のホルダ6とを固着するために溶接するが、溶接によりXY方向に結合点がずれることが有るためである。第7のステップ(S7)として、フェルールホルダ4の取り付け面8と、光モジュール用レンズホルダ3の他端面とを面当てした状態で、溶接などにより固着する。ここで、光モジュール用レンズホルダ3の他端面は、第2のレンズホルダの他端面となる。
前記作業手順は、第1のステップ(S1)と第2のステップ(S2)とを入れ換えても効果は同じである。
次に、第1のホルダ5について述べる。第1のホルダ5の外表面には、第2のホルダ6の円筒軸と垂直方向に形成される溝21を有している。溝21は、第1のホルダ5を第2のホルダ6の内筒を移動させるときに、ツメ200などを引っかけるために設けられている。つまり、溝21は少なくとも一部が開口部17の内側に配置されている。
図8は、第1のホルダ5の溝21にツメ200を引っかけている状態を示す。調整機構201は、ツメ200を備えており、調整機構201を第1のホルダ5の円筒軸Z方向に移動することで、第1のホルダ5を第2のホルダ6の内筒方向に移動させる事ができる。つまり、開口部17から溝21にツメなどを引っかけて、第1のホルダ5を移動させる。図9(a)は、第1のホルダ5を右一杯に動かした状態、図9(b)は第1のホルダ5を左一杯に動かした状態を示す。なお、ツメ200は調整機構201から取り外し可能であり、第1のホルダの移動が完了段階で取り外す。
溝21は、第1のホルダ5の外表面を周回する様に設けても良いし、外表面の一部分に設けても良い。つまり、溝21は、第1のホルダ5を第2のホルダ6の内筒を移動させるときに、ツメなどが引っかけられればよい。
更に、第1のホルダ5の外表面に溝を複数本設けても良い。溝を複数本設けた場合は、第1のホルダ5を開口部17の開口間口と比較して大きく動かすことができる。
また、溝21の形状は、外部からツメが引っかけられる形状で有ればどの様な形状でも良く、一般的には加工を考慮して、溝21はV字にする場合が多い。
この様に、第1のホルダ5に設けられた溝21は、スライスなどにより切削することで設けることができ、突起などを設ける場合と比較して、製造工程が簡易でコストを抑えることができる。
場合により、第1のホルダ5の溝21にツメを引っかけることなく、第1のホルダ5を第2のホルダ6内で移動できれば、溝21を設ける必要はない。例えば、磁石などによって、第1のホルダ5を移動できるのであれば、溝21は不要となる。
次に開口部17について述べる。第2のホルダ6の側面には、周囲が壁面で囲まれた開口部17を有している。前記したとおり、第1のホルダ5の溝21は、第2のホルダ6の開口部17から露出している。開口部21から露出した溝21にツメ200などを引っかけて第1のホルダ5を移動する。レーザ出射面51からのレーザ光は、レンズ16により集光されて直径2μm程度に絞り込まれるため、レーザ光入射面18への結合を最大にする最終段階では、第1のホルダ5をミクロン単位で微動させる必要がある。
第1のホルダ5をミクロン単位で微動させるためには、図1の開口部17Aまたは、開口部17Bのいずれか1方向から溝21にツメを引っかけて第1のホルダ5を移動させるより、開口部17Aおよび17Bの両方で第1のホルダ5の溝21を挟み込んで移動させる方が安定し、微動も可能となる。もちろん、3個所以上で挟み込んでも効果は変わらないが、開口部17の数が増えれば、製造工程も増え、また第2のホルダ6の強度も低下するため、対向する2個所に開口部17を設ける事が優れる。
次に開口部17の形状寸法について述べる。図9(a)および(b)に示すように第2のホルダ6の開口部17の形状は、第1のホルダ5を微動させるためZ軸方向に開いている必要がある。図9(a)および(b)において、移動させる方向の長さをWとする。溝21が1本の場合、長さWは、レーザ光のレーザ光入射面18への結合を最大にするために必要となるレンズ16の最大移動工程以上の長さにする必要がある。もちろん、溝21が複数有る場合には、それに応じてWの長さを決定すればよい。
ただし、むやみに長さWを大きくすると、第2のホルダ6の強度劣化を招くため、必要最小限にする必要がある。つまり、長さWは、レンズ16の最大移動工程程度の長さが優れる。実際の長さWは、設計に基づき決定すればよい。
次に図9(a)または(b)のY軸方向の長さは、第1のホルダ5を移動させるためのツメが引っかかる程度の開口が有れば良く、強度の面で不利にならないように必要最小限に留める必要がある。
以上より開口部17は、Z方向にWで、Y軸方向はツメが引っかかる程度の方形が優れる。
開口部17の加工方法は、第2のホルダ6の側面をスライスで切削加工して開けられる。切削加工によって、開口部17を加工すれば、前記方形の開口部17を開けることが可能となる。
加工を簡易にするための一例を図10に示す。図10はドリルなどで円形に開口部17を開けたものである。前記したとおり、方形形状が優れるが、切削加工よりも、ドリルなどで円形加工する方が、製造工程が更に簡易になり、結果としてコストを抑えた第1のホルダ5を製造することが可能となる。
円形開口の加工に当たっては、前記した方形開口の場合と同様に、レンズ16の最大移動工程を考慮して、ドリルなどの直径を決定すればよい。
この様に、レンズ16の最大移動工程から開口部17の形状は方形が優れる。もちろん、製造工程が更に簡易にすることを目的に、開口部17の形状は円形でも良い。
次に、第1のホルダ5と第2のホルダ6の固定について述べる。以下では一例として、開口部17が対向した2個の場合について述べる。
図11は、光モジュール1のX方向に力が加わった場合の第2のホルダ6の変形モードを示す図である。図11に示すように、第2のホルダ6に、X方向に力Fが加わった場合、Y方向に力が加わった場合よりも強度的に劣る。強度的に劣る原因は、開口部17が設けられているため、力FがX方向に加わった場合、開口部17が変形するためである。つまり、X方向の力Fにより開口部17Aは広がり、逆に開口部17Bは狭まる。
この強度劣化を抑えると共に、第1のホルダ5と第2のホルダ6とを固着するための溶接構造の詳細を以下で述べる。もちろん、第1のホルダ5と第2のホルダ6とは以下で述べる溶接でのみ固着する必要もなく、必要に応じて他の固着手段を併用すればよい。
図1および、図2で溶接点22Aは、第1のホルダ5と第2のホルダ6とを溶接する溶接点である。図1および図2では、第1のホルダ5と第2のホルダ6との溶接点22Aが、少なくとも開口部17の周縁に配置されている。
溶接点22Aは、X方向の力Fが加わっても、開口部17Aおよび17Bが変形しない様に、第2のホルダ6の開口部17の端部に設けられている。つまり、第2のホルダ6の開口部17の端部で、第1のホルダ5と第2のホルダ6とを溶接することで、X方向の力Fが加わっても、開口部17Aおよび17Bが変形することが無くなる。
つまり、第2のホルダ6の開口部17の端部で、第1のホルダ5と第2のホルダ6とを溶接することで、X方向の力Fにより開口部17Aは広がり、逆に開口部17Bは狭まることが無くなる。また、溶接点22Aで溶接することで、第1のホルダ5と第2のホルダ6とも固着される。
図2においては、一例として溶接点22Aは開口部17Aの左右2個所ずつ設けているが、開口部17の変形が抑えられかつ、第1のホルダ5と第2のホルダ6とが固着できれば、どの様な形で溶接しても良い。なお、溶接には、一般的にYAG溶接が用いられる。
図10に示す開口部17が円形の場合も、開口部17の変形が抑えられかつ、第1のホルダ5と第2のホルダ6とが固着できれば、どの様な形で溶接しても良い。要するに、図11に示すX方向の力Fで開口17が変形しないように第1のホルダ5と第2のホルダ6とが固着できればよい。
必要に応じて溶接点を増やしても良い。図1および、図2において、溶接点22Bにより第2のホルダ6の開口部17以外の部分で溶接した例を示している。溶接点22Bは、第2のホルダ6から第1のホルダ5へ貫通するように溶接を実施している。
なお、第2のホルダ6と第1のホルダ5とを溶接するため、第1のホルダ5の溝21部分に溶接点が来ないようにする必要がある。溝21部分に溶接点が来ないようにする理由は、溝21が切削されているため、第1のホルダ5と第2のホルダ6との間に空間があり、仮に溶接したとしても第1のホルダ5が充分に第2のホルダ6に固着できないためである。
溶接点22Bは、第2のホルダ6から第1のホルダ5へ貫通するように溶接を実施する必要があり、第2のホルダ6が肉厚の場合、溶接が第2のホルダ6を貫通せずに、第2のホルダ6と第1のホルダ5とを固着できない場合がある。これを避けるため、図12に示すように第2のホルダ6に薄肉部23を設けても良い。
薄肉部23は、第2のホルダ6から第1のホルダ5へ貫通するように溶接できるように、第2のホルダ6の開口部17を含む領域を他の部分と比較して薄肉にしたものである。薄肉にするため切削などの製造工程は増えるものの、溶接点22A以外で溶接できるため、溶接点22A部分で溶接したときよりも、第1のホルダ5と第2のホルダ6との固着を強化することが可能となる。
この様に、第2のホルダ6の開口部17の端部で溶接することにより、外部からの力Fが加わっても開口部17は変形することなく、第1のホルダ5と第2のホルダ6とを固着できる。更に、開口部17以外の部分での溶接を加えることにより更に強固に第1のホルダ5と第2のホルダ6とを固着できる。
次に、第1のホルダ5に保持されているレンズ16について説明する。レンズ16は、屈折率などを考慮して任意に材質を選定すればよいが、一般的には石英ガラスが用いられる。第1のホルダ5を溶接したときの熱で、レンズ16の一部分のみが急激に加熱された場合、熱膨張によりレンズ16が破損する場合がある。また、第1のホルダ5が加熱された事による応力によりレンズ16が破損する場合がある。
このため、溶接時の熱でレンズ16が破損しないようにする必要がある。図13は、第1のホルダ5の断面図である。図13において、第1のホルダ5の外表面の溶接予定エリア24A、24Bは、第1のホルダ5と第2のホルダ6とを固着するときに溶接が予定されるエリアを示す。つまり、後に溶接部となる。
溶接エリア24Aは溝21を挟んで左側、溶接エリア24Bは溝21を挟んで右側である。また、溶接予定エリア24Aおよび24Bの内表面がそれぞれ溶接内面25Aおよび25Bである。場合により、溶接内面25Aおよび溶接内面25Bは、点となる。B溶接予定エリア24Aと溶接内面25Aまたは、溶接予定エリア24Bと溶接内面25Bとは、最短の距離にある。
図13では、レンズ16に溶接時の熱が伝わり破損することを避けるため、溶接内面25Bから離れた位置にレンズ16を配置している。溶接内面25Bからレンズ16までの距離は、第1のホルダ5の熱伝導を考慮して、レンズ16が破損しない位置を決定すればよい。もちろん、溶接内面25Aと25Bとの間でも、溶接時の熱でレンズ16が破損しないのであれば、溶接内面25Aと25Bとの間にレンズ16を配置しても良い。
この様に、レンズ16を溶接予定エリア24Bの溶接内面25Bから離すことにより、レンズ16に溶接時の熱による破損を避けることができる。
上述のように構成されるこの実施の形態の光モジュールは、下記の効果を奏することができる。
光モジュール用レンズホルダは、入射レーザ光を集光するレンズ16と、レンズ16を内接して保持する筒状の第1のホルダ5と、側面に周囲が壁面で囲まれた開口部を有するとともに、内筒に前記第1のホルダ5が挿入される筒状の第2のホルダ6と、を備え、第1のホルダ5は、外表面の一部が前記第2のホルダ6の開口部17の内側に配置され、第1のホルダ5と前記第2のホルダ6とは溶接部で固着され、溶接部は、第2のホルダ6の開口部17の周縁に配されるため、製造工程が簡易になると共に、強度的にも有利となる。
第1のホルダ5の外表面に第2のホルダ6の円筒軸中心軸と垂直方向に形成された溝21を有し、第2のホルダ6の開口部17の内側に当該溝が配置されるため、容易にツメ200を引っかけることができ、第1のホルダ5を容易に移動することができる。
垂直方向に形成された溝21が第1のホルダ5の外表面を周回するため、第1のホルダ5が回転しても、開口部17から溝21が露出する。
第2のホルダ6の開口部17が、対向する2個所に配置されているため、溝21を挟み込んで第1のホルダ5を移動できるため、安定して移動できる。
前記第2のホルダ6の開口部17が方形であるため、スライスで切削加工して容易に開口が開けられる。
光モジュールは、レーザ光を発するレーザダイオード9と、レーザダイオード9を保持するステムホルダ2と、光導波路の設けられたフェルール15と、フェルール15を保持するフェルールホルダ2と、レーザ光を集光するためのレンズ16と、レンズ16を内接して保持する筒状の第1のホルダ5と、側面に周囲が壁面で囲まれた開口部を有するとともに、内筒に第1のホルダ5が挿入される筒状の第2のホルダ6と、を備え、第1のホルダ5は、外表面の一部が第2のホルダ6の開口部17の内側に配置され、第1のホルダ5と第2のホルダ6とは少なくとも溶接部で固着され、前記溶接部は、少なくとも開口部17の周縁に配されるとともに、第2のホルダ6の一端面にステムホルダ2が固着され、他端面にフェルールホルダ4が固着されるため、製造工程が簡易になると共に、強度的にも有利となる。
レーザ光を発するレーザダイオード9を保持したステムホルダ2と、光導波路の設けられたフェルール15を保持するフェルールホルダ4と、レンズ16を内接して保持する筒状の第1のホルダ5と、側面に周囲が壁面で囲まれた開口部17を有するとともに、内筒に第1のホルダ5が挿入される筒状の第2のホルダ6とを備え、以下のステップ(a)〜(e)の順序で組立を行う。
(a)第2のホルダ6に第1のホルダ5を円筒軸方向に挿入するステップ、
(b)第2のホルダ6の一端面に前記ステムホルダ2を溶接するステップ、
(c)第1のホルダ5を第2のホルダ6の円筒軸方向に移動させるステップ、
(d)第1のホルダ5の移動により、フェルール15の通過光が最適なパワーを得た後、第1のホルダ5と第2のホルダ6とを溶接するステップ、
(e)第2のホルダ6とフェルールホルダ4とを相対的に、円筒軸に垂直な方向に移動させることにより、フェルール15の通過光が最適なパワーを得た後、第2のホルダ6の他端面にフェルールホルダ4を溶接するステップ。
これにより、製造工程が容易であり、光が効率よく結合し、強度的に有利な光モジュールを組み立てる事ができる。
実施の形態2
図14は、本発明の実施の形態2を示す図である。図14は、第1のホルダ5の断面図である。図14において、溶接による熱がレンズ16に伝わらないようにするため、溶接予定エリア24Aおよび24Bとレンズ固定面26との間に熱絶縁層27を設けている。つまり、第1のホルダ5の内表面と、外表面との間に熱絶縁層27を設けている。
図13では、溶接予定エリア24Bから離れた位置でレンズ16を保持する実施例であったが、第1のホルダ5の寸法が長くなる。本実施の形態による図14は、第1のホルダ5に寸法制限が有る場合などに適用できる。
第1のレンズホルダ5の内表面は、バンプ28により外表面とつながっている。バンプ28から近い位置でレンズ16を保持する方が、離れた位置でレンズ16を保持したよりも安定している。このため、図14では、バンプ28に近い位置でレンズ16を保持している。熱絶縁層27を有しているため、溶接予定エリア24に近い部分にレンズ16を配置しても良い。
図14では、バンプ28に近い位置でレンズ16を保持しているため、第1のホルダ5の内側の面を、外側の面よりも短くしている。もちろん第1のホルダ5の内側の面と、外側の面とを同じ長さにしても良い。
図14において熱絶縁層27を設けることにより、溶接時に発生する熱の大部分は、熱絶縁層27で遮断できる。一部の熱は、バンプ28を伝わりレンズ16に伝導するが、バンプ28の幅が狭ければ熱抵抗により、溶接時に発生する熱はほとんどレンズ16には伝わらなくなる。
熱絶縁層27には、断熱材により構成されていても良いが、気体であっても良い。つまり、熱絶縁層27に空気が満たされていても良い。熱絶縁層27をどの様に構成するかは、溶接時に発生する熱と、レンズ16の耐温度性および製造工程などを考慮し設定すればよい。
以上のように、溶接予定エリア24Aおよび24Bとレンズ固定面26との間に熱絶縁層27を設けることにより、レンズ16が溶接時に発生する熱により破損することを防ぐことができる。
つまり、第1のホルダ5の内表面と、外表面との間に熱絶縁層27を有するため、溶接時に発生する熱によりレンズ16が破損することが無くなる。
実施の形態3
図15は、本発明の実施の形態3を示す図である。図15は、第1のホルダ5の断面図である。図15において、溶接による熱がレンズ16に伝わらないようにするため、レンズ16は熱絶縁レンズ保持具29にて保持されている。
図14では、溶接予定エリア24とレンズ固定面26との間に熱絶縁層27を設けている実施例であったが、第1のホルダ5の製造工程が複雑となる。本実施の形態による図15は、従来の第1のホルダ5を利用する場合などに適用できる。
熱絶縁レンズ保持具29は、レンズ16を保持すると共に、第1のホルダ5に固着されている。レンズ16は、第1のホルダ5と一体となって、第2のレンズホルダの円筒軸のZ方向に微動できれば良い。図15において熱絶縁レンズ保持具29を設けることにより、溶接時に発生する熱は、熱絶縁レンズ保持具29で遮断できる。
以上のように、熱絶縁レンズ保持具29を用いることで、レンズ16が溶接時に発生する熱により破損することを防ぐことができる。
つまり、レンズ16を熱絶縁レンズ保持具29で保持するため、溶接時に発生する熱によりレンズ16が破損することが無くなる。
本発明に係わる光モジュールの実施の形態1を示す上面図である。 本発明に係わる光モジュールの実施の形態1を示す側面図である。 図1に示されるの光モジュールのAA矢視側面図である。 本発明に係わる光モジュール用レンズホルダの実施の形態1を示す斜視図である。 レンズ16が単レンズで有る場合の、S1とS2との関係を示しす図である (a)は何らかの原因で焦点が合っていない状態を示す図、(b)はレンズを移動させることで焦点が合っている状態を示す図である。 光モジュール組立ステップを示す図である。 第1のホルダの溝にツメを引っかけている状態を示す図である。 (a)は第1のホルダが右一杯に移動した光モジュール用レンズホルダの斜視図、(b)は第1のホルダが左一杯に移動した光モジュール用レンズホルダの斜視図である。 第1のレンズホルダの開口部が円形の場合の光モジュール用レンズホルダの斜視図である。 光モジュールのX方向に力が加わった場合の第2のホルダ6の変形モードを示す図である。 薄肉部分を有している光モジュール用レンズホルダの斜視図である。 レンズ16を溶接点から離したときの第1のホルダ5の断面図のである。 本発明に係わる第1のホルダの実施の形態2を示す断面図である。 本発明に係わる第1のホルダの実施の形態3を示す断面図である。
符号の説明
1 光モジュール、2 ステムホルダ、3 光モジュール用レンズホルダ、4 フェルールホルダ、5 第1のホルダ、6 第2のホルダ、7 レーザ出力端面、8 取り付け面、9 レーザダイオード、10 LDキャップ、11 窓、12 ステム、13 ピン、14 コア、15 フェルール、16 レンズ、17 開口部、17A 開口部、17B 開口部、18 レーザ光入射面、19 第1の焦点、20 第2の焦点、21 溝、22A 溶接点、22B 溶接点、23 薄肉部、24A 溶接予定エリア、24B 溶接予定エリア、25A 溶接内面、25B 溶接内面、26 レンズ固定面、27 熱絶縁層、28 バンプ、29 熱絶縁レンズ保持具、50 リング、51 レーザ出射面、100 基板、200 ツメ、201 調整機構。

Claims (9)

  1. 入射レーザ光を集光するレンズと、
    前記レンズを内接して保持する筒状の第1のホルダと、
    側面に周囲が壁面で囲まれた開口部を有するとともに、内筒に前記第1のホルダが挿入される筒状の第2のホルダと、を備え、
    前記第1のホルダは、外表面の一部が前記第2のホルダの開口部の内側に配置され、
    前記第1のホルダの外表面に溝が設けられ、
    前記溝は、前記第2のホルダの円筒中心軸と垂直方向に形成されかつ前記第2のホルダの開口部の内側に配置され
    前記第1のホルダを前記第2のホルダの円筒中心軸方向に移動させるための調整機構の突起部を、前記第2のホルダの開口部を通して前記溝と係合させ、前記調整機構を前記円筒中心軸方向に移動させることで、前記第1のホルダを前記円筒中心軸方向に移動させ、前記入射レーザ光が集光される光導波路のレーザ光入射面へ前記入射レーザ光を結合させることができることを特徴とする光モジュール用レンズホルダ。
  2. 前記溝が前記第1のホルダの外表面を周回する請求項1に記載の光モジュール用レンズホルダ。
  3. 前記第1のホルダの内表面と、外表面との間に熱絶縁層を有する請求項1または請求項2のいずれかに記載の光モジュール用レンズホルダ。
  4. 前記レンズを熱絶縁レンズ保持具で保持する請求項1または請求項2のいずれかに記載の光モジュール用レンズホルダ。
  5. 前記第2のホルダの開口部が、対向する2個所に配置される請求項1から請求項4のいずれかに記載の光モジュール用レンズホルダ。
  6. 前記第2のホルダの開口部が方形である請求項1から請求項5のいずれかに記載の光モジュール用レンズホルダ。
  7. 前記第1のホルダと前記第2のホルダとは少なくとも溶接部で固着され、
    前記溶接部は、前記第2のホルダの開口部の周縁に配されることを特徴とする請求項1から請求項6のいずれかに記載の光モジュール用レンズホルダ。
  8. レーザ光を発するレーザダイオードと、
    前記レーザダイオードを保持するステムホルダと、
    光導波路の設けられたフェルールと、
    前記フェルールを保持するフェルールホルダと、
    前記レーザ光を集光するためのレンズと、
    前記レンズを内接して保持する筒状の第1のホルダと、
    側面に周囲が壁面で囲まれた開口部を有するとともに、内筒に前記第1のホルダが挿入される筒状の第2のホルダと、を備え、
    前記第1のホルダは、外表面の一部が前記第2のホルダの開口部の内側に配置され、
    前記第1のホルダの外表面に溝が設けられ、
    前記溝は、前記第2のホルダの円筒中心軸と垂直方向に形成されかつ前記第2のホルダの開口部の内側に配置され、
    前記第1のホルダと前記第2のホルダとは少なくとも溶接部で固着され、
    前記第2のホルダの一端面に前記ステムホルダが固着され、他端面に前記フェルールホルダが固着され
    前記第1のホルダを前記第2のホルダの円筒中心軸方向に移動させるための調整機構の突起部を、前記第2のホルダの開口部を通して前記溝と係合させ、前記調整機構を前記円筒中心軸方向に移動させることで、前記第1のホルダを前記円筒中心軸方向に移動させ、前記光導波路のレーザ光入射面へ前記入射レーザ光を結合させることができることを特徴とする光モジュール。
  9. レーザ光を発するレーザダイオードを保持したステムホルダと、
    光導波路の設けられたフェルールを保持するフェルールホルダと、
    レンズを内接して保持する筒状の第1のホルダと、
    側面に周囲が壁面で囲まれた開口部を有するとともに、内筒に前記第1のホルダが挿入される筒状の第2のホルダとを備え、
    前記第1のホルダは、外表面の一部が前記第2のホルダの開口部の内側に配置され、
    前記第1のホルダの外表面に溝が設けられ、
    前記溝は、前記第2のホルダの円筒中心軸と垂直方向に形成されかつ前記第2のホルダの開口部の内側に配置され
    前記第1のホルダを前記第2のホルダの円筒中心軸方向に移動させるための調整機構の突起部を、前記第2のホルダの開口部を通して前記溝と係合させ、前記調整機構を前記円筒中心軸方向に移動させることで、前記第1のホルダを前記円筒中心軸方向に移動させることができることを特徴とする光モジュールについて、
    以下のステップ(a)〜(e)の順序で組立を行う光モジュールの組立方法。
    (a)前記第2のホルダの内筒に前記第1のホルダを挿入するステップ、
    (b)前記第2のホルダの一端面に前記ステムホルダを溶接するステップ、
    (c)その突起部を前記溝に係合させた前記調整機構を前記円筒中心軸方向に移動させることにより、前記第1のホルダを前記円筒中心軸方向に移動させるステップ、
    (d)前記第1のホルダの移動により、前記フェルールの通過光が最適なパワーを得た後、前記第1のホルダと前記第2のホルダとを溶接するステップ、
    (e)前記第2のホルダと前記フェルールホルダとを相対的に、前記円筒中心軸に垂直な方向に移動させることにより、前記フェルールの通過光が最適なパワーを得た後、前記第2のホルダの他端面に前記フェルールホルダを溶接するステップ。
JP2003357173A 2003-10-17 2003-10-17 光モジュール用レンズホルダ、光モジュールおよび、光モジュールの組立方法 Expired - Fee Related JP4380287B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003357173A JP4380287B2 (ja) 2003-10-17 2003-10-17 光モジュール用レンズホルダ、光モジュールおよび、光モジュールの組立方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003357173A JP4380287B2 (ja) 2003-10-17 2003-10-17 光モジュール用レンズホルダ、光モジュールおよび、光モジュールの組立方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2005121921A JP2005121921A (ja) 2005-05-12
JP4380287B2 true JP4380287B2 (ja) 2009-12-09

Family

ID=34614138

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2003357173A Expired - Fee Related JP4380287B2 (ja) 2003-10-17 2003-10-17 光モジュール用レンズホルダ、光モジュールおよび、光モジュールの組立方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4380287B2 (ja)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009075343A (ja) * 2007-09-20 2009-04-09 Anritsu Corp 光学部品の固定構造および該光学部品の固定構造を備えた光部品モジュール
JP6093137B2 (ja) * 2012-10-05 2017-03-08 日本電産サンキョー株式会社 光学ユニットおよび光学ユニットの製造方法
JP7033858B2 (ja) * 2017-06-22 2022-03-11 スタンレー電気株式会社 光モジュール
JP7033001B2 (ja) * 2018-05-16 2022-03-09 オリンパス株式会社 光学ユニット
CN114815091B (zh) * 2022-04-27 2023-11-03 湖南光智通信技术有限公司 一种可快速散热的光发射器

Also Published As

Publication number Publication date
JP2005121921A (ja) 2005-05-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR920010947B1 (ko) 광결합장치와 그 제조방법, 발광장치와 그 조립방법 및 렌즈홀더
US5537503A (en) Optical semiconductor module and method of fabricating the same
JP4690963B2 (ja) 多チャンネル光モジュールの製造方法
US4803689A (en) Semiconductor laser module
JP5952326B2 (ja) 光レセプタクル
JP2012517028A (ja) マイクロ機構により整列された光学アセンブリ
JP2008032835A (ja) 光デバイスおよびその製造方法
US20120057828A1 (en) Optical transmission module and method for manufacturing optical transmission module
US10686292B2 (en) Laser module
JP2007225696A (ja) 光モジュールの製造方法、光モジュール、及び光モジュール用部材
US20020126965A1 (en) Semiconductor laser module and method for optically coupling laser light and optical fiber
JP4380287B2 (ja) 光モジュール用レンズホルダ、光モジュールおよび、光モジュールの組立方法
JP2002014257A (ja) 半導体レーザモジュール
EP0631164A1 (en) Optical element module
JP2003107295A (ja) 光伝送モジュール
JPH07199006A (ja) 光サブアセンブリ及び光モジュール
JP2009093041A (ja) 光モジュール
JPH07120643A (ja) レンズつき半導体レーザおよびその製法
JP5648492B2 (ja) 光モジュールの製造方法
JPS59166907A (ja) 半導体レ−ザ結合装置
JP4729893B2 (ja) 半導体光学装置の製造方法
JPH11295559A (ja) 半導体レーザモジュール
JP5287243B2 (ja) 光送信モジュール及びその製造方法
JP2005070568A (ja) 光モジュール
JP2008040086A (ja) 光ファイバアレイ

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20060809

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20081111

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20081111

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20090109

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090616

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20090806

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20090901

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20090914

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121002

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121002

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131002

Year of fee payment: 4

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees