JP4378621B2 - フィルタ内蔵形レギュレータ - Google Patents
フィルタ内蔵形レギュレータ Download PDFInfo
- Publication number
- JP4378621B2 JP4378621B2 JP2004003407A JP2004003407A JP4378621B2 JP 4378621 B2 JP4378621 B2 JP 4378621B2 JP 2004003407 A JP2004003407 A JP 2004003407A JP 2004003407 A JP2004003407 A JP 2004003407A JP 4378621 B2 JP4378621 B2 JP 4378621B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filter
- pressure
- diaphragm
- fluid
- regulator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 40
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 3
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 claims 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 6
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 4
- 230000006837 decompression Effects 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Fluid-Pressure Circuits (AREA)
- Control Of Fluid Pressure (AREA)
Description
そして、この種レギュレータでは、出力側に接続されるアクチュエータにおいて、供給される圧力流体中に塵埃その他の異物が混入しているのを嫌う場合には、該レギュレータの出力側の配管にフィルタが直列的に接続され、それによって圧力流体供給源から流れてくる異物粒子やレギュレータ内部で発生した粒子を捕捉するようにしている。
このような構成を有する本発明のレギュレータによれば、ダイヤフラムを付勢する圧力設定バネを板バネにより形成し、また、平板状のフィルタを弁ボディの一面のカバー装着面に沿って該カバー装着面と平行に配設し、このフィルタを上記カバー装着面に装着したフィルタカバーで被うようにしているので、圧力流体を調圧するレギュレータにフィルタを組み込みながらも、それを可及的にコンパクトなものとして構成することができる。
また、上記フィルタカバーは、その外周部をボルトによって上記弁ボディに着脱自在に取り付けるのが、フィルタ交換のために望ましい。
図面は本発明に係るフィルタ内蔵形レギュレータの実施例を示すもので、図1に示すように、このレギュレータは、概略的には、外観が四角柱状を呈しており、その外殻は、弁ボディ1とその下面に位置するフィルタカバー4とからなり、上記弁ボディ1は、ボディ部2と上蓋3とによって構成されている。
また、上記弁ボディ1のボディ部2には、図2に示すように、圧力流体である圧縮空気を導入する入力ポート11と、該圧縮空気を減圧して出力する出力ポート12とが設けられている。そして、上記弁ボディ1内には、以下に説明するように、入力ポート11からの圧力流体を減圧して出力ポート側に送る減圧機構を内蔵している。
上記内部空間13は、図2に示すように、その開口側から大径部13A、中径部13Bおよび小径部13Cを有し、小径部13C内の空間を入力ポート11に連通させている。また、上記中径部13Bの内底には、Oリング25を介して弁座板21を配置し、この弁座板21に流路部材23を介して仕切板22を重設し、それらを止め輪24によって中径部13Bの内底に押し付けて固定している。
また、上記流路部材23は、図3から分かるように、弁座板21と仕切板22との間の空間をボディ部2の下面に開口する連通路35に連通させるための開口を有するものである。
更に、上記仕切板22は、弁座板21と仕切板22との間の空間を、上記内部空間13における大径部13A内における仕切板22とダイヤフラム15との間に形成している圧力室40と区画するもので、上記ロッド31を支持してそれを摺動自在に貫通させる支持孔28を有している。
上記リリーフ孔37を開閉するリリーフ弁38は、圧力室40において上記ダイヤフラム15に作用する2次側流体圧力により弁機構がその流路を閉鎖した状態で、更に上記2次側流体圧力の上昇によりダイヤフラム15が変位したとき、すなわち、2次側流体圧力が過大に昇圧したときに、該圧力室40を上蓋3の通気口39を通して外部に開放し、2次側流体圧力を設定値に戻すためのものである。
上記フィルタ45は、フィルタケース46に収容して、上記2次側圧力流体の連通路35を覆うように配設され、フィルタカバー4には、フィルタ45を通して除塵した2次側圧力流体を上記弁ボディ1の出力ポート12に導く連通路47が設けられている(図3参照)。
4 フィルタカバー
11 入力ポート
12 出力ポート
15 ダイアフラム
16 センターディスク
18 圧力設定バネ
19 圧力調整ネジ
37 リリーフ孔
45 フィルタ
48 ボルト
Claims (4)
- 圧力流体を導入する入力ポートおよび減圧された圧力流体を出力する出力ポートを備えた弁ボディに、上記入力ポートからの圧力流体を減圧して2次側圧力流体として出力ポート側に送る減圧機構を内蔵してなるレギュレータにおいて、
上記減圧機構は、2次側流体圧力と圧力設定バネの付勢力とが両面に逆向きに作用するダイヤフラムと、該ダイヤフラムの変位に応じた弁開度の調整によって上記2次側流体圧力を上記圧力設定バネで設定された一定圧力に保持する弁機構とを備え、
上記圧力設定バネは、上記ダイヤフラムに平行する板バネにより形成され、この板ばねが、上記ダイヤフラムに取り付けられたセンターディスクに係合し、該板ばねの中央部に圧力調整ネジの先端部が当接しており、
上記弁ボディの一面はフィルタカバーが装着されたカバー装着面であり、上記フィルタカバー内にはフィルタが収容され、該フィルタは平板状をしていて、上記カバー装着面に沿って該カバー装着面と平行に配設されると共に、該カバー装着面と上記フィルタカバーとの間にフィルタケースを介して保持され、上記弁ボディとフィルタカバーとに、上記減圧機構を経た2次側圧力流体を上記フィルタに導く連通路と、該フィルタで除塵された2次側圧力流体を出力ポートに導く連通路とが形成されている、
ことを特徴とするフィルタ内蔵形レギュレータ。 - 上記圧力設定バネが、放射方向に延伸するばね凸片を有し、このばね凸片の先端部が、上記センターディスクの外周壁に形成された切欠き部に係合していることを特徴とする請求項1に記載のフィルタ内蔵形レギュレータ。
- 上記ダイアフラムにリリーフ孔を設け、
上記ダイヤフラムに作用する2次側流体圧力により弁機構がその流路を閉鎖した状態で更に上記2次側流体圧力の上昇によりダイヤフラムが変位したときに上記リリーフ孔を開放するリリーフ弁を設けた、
ことを特徴とする請求項1または2に記載のフィルタ内蔵形レギュレータ。 - 上記フィルタカバーが、その外周部をボルトによって上記弁ボディに着脱自在に取り付けられている、
ことを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のフィルタ内蔵形レギュレータ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004003407A JP4378621B2 (ja) | 2004-01-08 | 2004-01-08 | フィルタ内蔵形レギュレータ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004003407A JP4378621B2 (ja) | 2004-01-08 | 2004-01-08 | フィルタ内蔵形レギュレータ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005196585A JP2005196585A (ja) | 2005-07-21 |
JP4378621B2 true JP4378621B2 (ja) | 2009-12-09 |
Family
ID=34818327
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004003407A Expired - Fee Related JP4378621B2 (ja) | 2004-01-08 | 2004-01-08 | フィルタ内蔵形レギュレータ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4378621B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007133829A (ja) * | 2005-11-14 | 2007-05-31 | Hamlet Motoyama Japan:Kk | 流体制御装置と圧力調節弁と制御方法 |
KR102602756B1 (ko) * | 2021-11-02 | 2023-11-16 | 주식회사 쏠락 | 자동 레귤레이터 |
-
2004
- 2004-01-08 JP JP2004003407A patent/JP4378621B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005196585A (ja) | 2005-07-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8327876B2 (en) | Fluid controller | |
JP4490500B2 (ja) | 定流弁 | |
JP3704223B2 (ja) | 減圧弁 | |
JP3871065B1 (ja) | 減圧弁 | |
JP2014509720A (ja) | バルブカートリッジを有する背圧調節バルブ | |
RU2009140183A (ru) | Регулирующее устройство для текучей среды | |
JP4378621B2 (ja) | フィルタ内蔵形レギュレータ | |
JP4275463B2 (ja) | 電空変換式空気レギュレータ | |
US20100200084A1 (en) | Pressure control system and pressure regulating valve thereof | |
CN107532732B (zh) | 流体控制器 | |
JP2008202624A (ja) | 逆止弁 | |
JP4344225B2 (ja) | 高圧ガス容器用減圧弁 | |
JP2011107953A (ja) | 減圧弁 | |
CN208089817U (zh) | 弹簧座减振装置 | |
JP4998375B2 (ja) | 優先弁 | |
WO2022079790A1 (ja) | 流量制御弁 | |
JP2007146875A (ja) | 圧力調整器 | |
US20100229971A1 (en) | Back-pressure responsive valve | |
WO2019163879A1 (ja) | 減圧弁 | |
JP2021124130A (ja) | 減圧弁、バルブユニット、弁装置、及び板ばね | |
JP4164016B2 (ja) | ガスレギュレータ | |
JP2020041565A (ja) | アクチュエータ、バルブ、流体供給システム、および半導体製造装置 | |
JP2001153244A (ja) | チェック弁内蔵バルブ | |
JP3281416B2 (ja) | 圧力調整器 | |
JP2021055783A (ja) | バルブ装置及び流体供給ユニット |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060925 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090422 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090512 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090713 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090811 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090902 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121002 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4378621 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131002 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |