JP4376702B2 - 光ファイバ母材の製造方法 - Google Patents
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Description
まず、VAD(Vapor phase Axial Deposition)法などにより、出発部材にガラス微粒子の原料ガスを酸水素火炎とともに吹き付けてスート体を形成する。次いで、このスート体を電気炉などにより1200℃程度で脱水した後、1500℃程度で焼結して、透明ガラス化することにより、コアロッドを作製する。次いで、コアロッドを所定の外径になるように延伸して、外付け法などにより、その外周にガラス微粒子を外付けして光ファイバ用多孔質母材を作製する。その後、この光ファイバ用多孔質母材を、必要ならば脱水した後、焼結して光ファイバ母材を作製する。
このようにして作製された光ファイバ母材を所定の温度、線引き速度、張力にて溶融紡糸して光ファイバ裸線を形成した後、光ファイバ裸線を被覆材で被覆して被覆層を形成し、光ファイバ素線を得る。
コアロッド100の表面を火炎研磨するには、コアロッド100を治具などで把持し、その光軸を中心として回転させる。この状態で、バーナ101をコアロッド100の長手方向に沿って移動させながら、バーナ101から吹き出す酸水素火炎をコアロッド100の表面に吹き付けることにより、コアロッド100の表面が研磨される。
コアロッドの表面に傷や異物が存在したまま、ガラス微粒子を外付けすると、光ファイバ母材には、コアロッドと、外付け層(クラッド層)との界面近傍に異物、気泡、輝点や、欠陥などが現れる。このような異常部が存在する光ファイバ母材を用いて光ファイバ素線を製造すると、線引き中に光ファイバ素線が断線したり、最終的に得られる光ファイバ素線の光学特性が劣化する。
そこで、従来、波長1383nm近傍における吸収損失が所定の値以下になるまで、光ファイバ母材の外付け倍率を小さくして、コアロッドと、外付け層との界面近傍における水酸基濃度を低減する方法などが採用されていた。
コアロッドの表面に残留する水酸基濃度は、コアロッドの表面のエッチング速度、コアロッド内に拡散する水酸基の拡散速度によって決まると考えられる。
ここでは、コアロッドの長手方向に沿って、速度55mm/minで移動するバーナから吹き付けられる酸水素火炎によって、外径30mmのコアロッドの表面を研磨し、バーナがある位置に来たときにバーナの火炎を止め、室温で冷却した。また、バーナに供給する水素の流量を150L/min、酸素の流量を75L/minとした。
調査の結果を図1に示す。
調査の結果を説明するために、図1に示す(a)、(b)、(c)のグラフを、A、B、C、D、Eの5つの領域に分割した。
ここで拡散係数Dは、下記の式(1)で表現される。
ここで、D0は温度依存性のない拡散定数(mm2/sec)、Tは絶対温度(K)、Edは活性化エネルギー(cal/mol)、Rは気体定数(cal/mol/K)をそれぞれ表している。
このことから、コアロッドの表面温度が1500℃以上の領域(上記の領域B、領域C、領域D)においては、高温になるほど、コアロッド内への水酸基の拡散が顕著になる。したがって、エッチング量の小さい領域B、Dでは、コアロッド表面近傍の水酸基濃度は上昇していく。
(a)火炎研磨工程において、酸水素火炎の照射面積が狭いバーナを用いてコアロッドの表面に火炎研磨を施す。
(b)火炎研磨工程において、コアロッドの表面の長手方向に沿って、バーナから吹き出す酸水素によって加熱している領域の両側の領域(例えば、上記の領域B、領域D)を、冷却手段を用いて冷却し、コアロッドの表面温度を低下させる。
図2は、本発明における火炎研磨工程を示す模式図である。
コアロッド10の表面を火炎研磨するには、コアロッド10を治具などで把持し、その光軸を中心として回転させる。この状態で、バーナ11をコアロッド10の長手方向に沿って移動させながら、バーナ11から吹き出す酸水素火炎をコアロッド10の表面に吹き付けて、酸水素火炎によってコアロッド10の表面を加熱する。さらに、酸水素火炎で加熱した直後のコアロッド10の表面を、冷却手段12から吹き出す冷却ガスによって冷却する。
コアロッド10の表面温度が1500℃未満の領域のみを冷却すると、図1の領域Bを冷却することができないため、水酸基濃度低減効果は得られない。一方、コアロッド10の表面温度が1700℃を超える領域のみを冷却すると、コアロッド10の表面のエッチング速度が遅くなるため、水酸基濃度低減効果は得られない。
VAD法により作製した、コアと第一クラッド部とからなる外径110mmのコアロッドを用意した。このコアロッドは、脱水、焼結工程を経ているため、十分に脱水されており、水酸基に起因する波長1383nm近傍における吸収損失から計算すると、コアロッド内に残留する水酸基の濃度は1ppb以下であった。
このコアロッドについて、延伸する前と、この外周にガラス微粒子を外付けする前の2回、火炎研磨を施した。この火炎研磨工程では、バーナをコアロッドの長手方向に沿って速度55mm/minで移動させながら、バーナから吹き付けられる酸水素火炎によってコアロッドの表面を研磨すると共に、酸水素火炎で加熱した直後のコアロッドの表面を、冷却手段から吹き出す窒素ガスによって冷却することにより、外径29mmのコアロッドを得た。ここでは、バーナに供給する水素の流量を150L/min、酸素の流量を75L/minとした。
本実験例では、延伸前のロッドと延伸後のロッドにそれぞれ火炎研磨を行ったが、延伸後のロッドに本発明の火炎研磨方法を適用することが有効であった。延伸前のロッドでは、本発明の火炎研磨方法を適用することは有効であるが、後工程で再び、延伸後のロッドを火炎研磨してエッチングするため、その効果が小さいためである。
(1)窒素ガスを吹き付ける位置と、酸水素火炎の中心との距離:100mm
(2)窒素ガスを吹き付ける位置と、酸水素火炎の中心との距離:300mm
(3)窒素ガスを吹き付ける位置と、酸水素火炎の中心との距離:500mm
(4)窒素ガスを吹き付けない
この光ファイバ用多孔質母材を脱水、焼結して、光ファイバ母材を得た。
最終的に得られた光ファイバ母材を光軸に対して垂直に切断して、円盤状のガラス板を作製し、このガラス板の両面を光学研磨して、厚み1.0mmの試料とした。その後、赤外分光法(IR)により、0.1mm間隔で、この試料の半径方向の水酸基の濃度を測定し、光ファイバ母材の半径方向における水酸基の濃度を算出した。
得られた光ファイバ素線について、波長1383nm近傍における水酸基に起因する吸収損失を測定した。結果を表1に示す。
Claims (3)
- バーナをコアロッドの長手方向に沿って相対的に移動させながら、バーナから吹き出す酸水素火炎によってコアロッドの表面を加熱することにより、コアロッドの表面を研磨する火炎研磨工程を備えた光ファイバ母材の製造方法であって、
前記火炎研磨工程において、バーナから吹き出す酸水素火炎によって表面温度の最高値が1700℃を超えるように加熱した直後のコアロッドの表面を、冷却手段によって冷却するとともに、
冷却しない場合のコアロッドの表面温度が1500℃以上、1700℃以下の領域を冷却し、かつ、前記コアロッドの表面における前記冷却手段によって冷却している場合の温度分布と、前記コアロッドの表面における前記冷却手段によって冷却していない場合の温度分布との差の最大値を50℃以上、400℃以下とすることを特徴とする光ファイバ母材の製造方法。 - 前記火炎研磨工程において、コアロッドの長手方向に沿って、表面温度の最も高い領域からの距離が100mm以上、300mm以下の領域を冷却することを特徴とする請求項1に記載の光ファイバ母材の製造方法。
- 前記冷却手段はコアロッドの表面に窒素ガスを吹き付けることにより、コアロッドの表面を冷却するものであることを特徴とする請求項1または2に記載の光ファイバ母材の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004175664A JP4376702B2 (ja) | 2004-06-14 | 2004-06-14 | 光ファイバ母材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004175664A JP4376702B2 (ja) | 2004-06-14 | 2004-06-14 | 光ファイバ母材の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2005350328A JP2005350328A (ja) | 2005-12-22 |
JP4376702B2 true JP4376702B2 (ja) | 2009-12-02 |
Family
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004175664A Expired - Fee Related JP4376702B2 (ja) | 2004-06-14 | 2004-06-14 | 光ファイバ母材の製造方法 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP4376702B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2914298B1 (fr) | 2007-03-27 | 2010-03-12 | Draka Comteq France | Procede et equipement de fabrication d'une preforme de fibre optique. |
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---|---|
JP2005350328A (ja) | 2005-12-22 |
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