JP4355232B2 - GaN系化合物半導体結晶の製造方法及びGaN系化合物半導体結晶 - Google Patents
GaN系化合物半導体結晶の製造方法及びGaN系化合物半導体結晶 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4355232B2 JP4355232B2 JP2004039304A JP2004039304A JP4355232B2 JP 4355232 B2 JP4355232 B2 JP 4355232B2 JP 2004039304 A JP2004039304 A JP 2004039304A JP 2004039304 A JP2004039304 A JP 2004039304A JP 4355232 B2 JP4355232 B2 JP 4355232B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- compound semiconductor
- gan
- semiconductor crystal
- crystal
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Description
当初、本発明者等は、GaN系化合物半導体結晶を得る場合、前記特許文献2で提案した成長方法に従いNdGaO3基板上にGaN系化合物半導体を成長させていた。しかし、前記成長方法によりGaN系化合物半導体結晶を成長させた場合、前処理やGaN化合物半導体結晶の成長条件を全く同じにしても成長結晶中にC軸方向以外の異常成長や変色が発生することがあった。これより、成長結晶中にC軸方向以外の異常成長や変色が生じるのは、用いたNdGaO3基板に原因があると推測した。
まず、NdGaO3インゴットから面方位が(011)のNdGaO3基板を切り出した。このとき、NdGaO3基板の大きさは50mm径で、厚さは350μmとした。
Claims (2)
- GaN系化合物半導体結晶をエピタキシャル成長させる際に、X線回折法による回折ピークの現れる回折角度(2θ)が40.200°〜40.400°であるNdGaO 3 結晶を基板として用いることを特徴とするGaN系化合物半導体結晶の製造方法。
- 請求項1に記載の製造方法によって得られたGaN系化合物半導体結晶であって、GaN系化合物半導体結晶中のNd含有量が0.01〜1×1017cm-3であることを特徴とするGaN系化合物半導体結晶。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004039304A JP4355232B2 (ja) | 2004-02-17 | 2004-02-17 | GaN系化合物半導体結晶の製造方法及びGaN系化合物半導体結晶 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004039304A JP4355232B2 (ja) | 2004-02-17 | 2004-02-17 | GaN系化合物半導体結晶の製造方法及びGaN系化合物半導体結晶 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005235805A JP2005235805A (ja) | 2005-09-02 |
JP4355232B2 true JP4355232B2 (ja) | 2009-10-28 |
Family
ID=35018479
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004039304A Expired - Fee Related JP4355232B2 (ja) | 2004-02-17 | 2004-02-17 | GaN系化合物半導体結晶の製造方法及びGaN系化合物半導体結晶 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4355232B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20110099103A (ko) * | 2010-02-01 | 2011-09-06 | 제이엑스 닛코 닛세키 킨조쿠 가부시키가이샤 | 질화물계 화합물 반도체 기판의 제조 방법 및 질화물계 화합물 반도체 자립 기판 |
-
2004
- 2004-02-17 JP JP2004039304A patent/JP4355232B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005235805A (ja) | 2005-09-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4597259B2 (ja) | Iii族窒化物半導体成長用基板、iii族窒化物半導体エピタキシャル基板、iii族窒化物半導体素子およびiii族窒化物半導体自立基板、ならびに、これらの製造方法 | |
TWI462154B (zh) | Iii族氮化物半導體與其製造方法 | |
JP4150527B2 (ja) | 結晶の製造方法 | |
US10161059B2 (en) | Group III nitride bulk crystals and their fabrication method | |
JP2009184847A (ja) | Iii族窒化物単結晶の製造方法 | |
JP4340866B2 (ja) | 窒化物半導体基板及びその製造方法 | |
JP3785566B2 (ja) | GaN系化合物半導体結晶の製造方法 | |
WO2012128378A1 (ja) | Iii属金属窒化物の製造方法およびこれに用いる種結晶基板 | |
JP2011093803A (ja) | 窒化ガリウム系化合物半導体単結晶の製造方法 | |
JP4355232B2 (ja) | GaN系化合物半導体結晶の製造方法及びGaN系化合物半導体結晶 | |
JP2003037069A (ja) | Iii族窒化物系化合物半導体の製造方法 | |
JP4728460B2 (ja) | 窒化ガリウム系化合物半導体単結晶の製造方法 | |
JP2010251743A (ja) | Iii族窒化物半導体成長用基板、iii族窒化物半導体自立基板、iii族窒化物半導体素子、ならびに、これらの製造方法 | |
JP2003007621A (ja) | GaN系化合物半導体結晶の製造方法 | |
JP2010278470A (ja) | Iii族窒化物半導体成長用基板、iii族窒化物半導体エピタキシャル基板、iii族窒化物半導体素子およびiii族窒化物半導体自立基板、ならびに、これらの製造方法 | |
EP3146093A1 (en) | Group iii nitride bulk crystals and their fabrication method | |
JP2006185962A (ja) | 半導体成長用基板および半導体膜の製造方法 | |
JP2000012901A (ja) | 窒化ガリウム系化合物半導体単結晶の製造方法 | |
JP2002211999A (ja) | Iii族窒化物系化合物半導体の結晶成長基板の製造方法 | |
JP2002231640A (ja) | 窒化ガリウム基板及びその製造方法 | |
JP2000247790A (ja) | 半導体素子用基板及び半導体素子並びに窒素化合物半導体単結晶基板の製造方法 | |
JP2003218043A (ja) | GaN系化合物半導体結晶の製造方法 | |
JP2010132550A (ja) | 窒化物半導体基板の製造方法及び窒化物半導体基板 | |
JP2005236260A (ja) | 窒化物半導体基板の製造方法及び窒化物半導体基板 | |
JP2011140428A (ja) | 窒化物系化合物半導体基板の製造方法及び窒化物系化合物半導体自立基板 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070214 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090513 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090519 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090702 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090728 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090731 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120807 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120807 Year of fee payment: 3 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120807 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120807 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130807 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130807 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |