JP4329586B2 - 部品搭載装置 - Google Patents
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Description
る。
2a 搬入レール
2b 搬出レール
3 基板保持部
3b 基板下受部
3c 昇降機構
4 基板
5 基板マスク部材
7 搭載ヘッド
7a ノズル
8 搭載ヘッド移動機構
10 部品供給部
13 反転部
Claims (6)
- 部品供給部から取り出した部品を搭載ヘッドのノズルによって保持し基板保持部に保持された基板に搭載する部品搭載装置であって、上面に研磨領域を有する基板を前記基板保持部に搬入するとともに該基板保持部から該基板を搬出する基板搬送手段と、前記ノズルを研磨面に当接させた状態で該ノズルと該研磨面とを相対的に摺動させることによりノズルを研磨する研磨動作を行わせる摺動手段と、前記基板保持部に保持された前記基板上において前記研磨動作を実行するための基板上研磨位置を設定する研磨位置設定手段とを備え、
前記研磨位置設定手段は、前記研磨領域内の任意位置を基板上研磨位置に指定して研磨を行い、前記基板上研磨位置の面状態が研磨に不適な状態となったならば、前記研磨領域内の他の位置を新たな前記基板上研磨位置として設定することを特徴とする部品搭載装置。 - 前記研磨動作を実行する頻度を設定する研磨頻度設定手段を備えたことを特徴とする請求項1記載の部品搭載装置。
- 前記ノズルを当接させる研磨面が設けられた研磨ステージを備え、前記研磨ステージに設定されたステージ上研磨位置と前記基板上研磨位置とのいずれにも前記搭載ヘッドが移動可能であることを特徴とする請求項1記載の部品搭載装置。
- 前記研磨ステージは、前記基板保持部と前記部品供給部との間に配置されていることを特徴とする請求項3記載の部品搭載装置。
- 前記搭載ヘッドは、前記ステージ上研磨位置に移動して前記研磨動作を実行した後に、前記基板上研磨位置に移動して再度研磨動作を実行することを特徴とする請求項3記載の部品搭載装置。
- 前記基板保持部に保持された基板に上方から当接する基板マスク部材と、前記基板を前記基板マスク部材に対して相対的に近接させて基板を狭持する近接手段とを備え、前記狭持された基板の上面において前記基板マスク部材によって囲まれた領域に前記基板上研磨
位置を設定することを特徴とする請求項1記載の部品搭載装置。
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