JP4329189B2 - ボンディングペーストの塗布装置 - Google Patents
ボンディングペーストの塗布装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4329189B2 JP4329189B2 JP31518199A JP31518199A JP4329189B2 JP 4329189 B2 JP4329189 B2 JP 4329189B2 JP 31518199 A JP31518199 A JP 31518199A JP 31518199 A JP31518199 A JP 31518199A JP 4329189 B2 JP4329189 B2 JP 4329189B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- paste
- drawing pattern
- pattern
- application
- coating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies
- H01L24/741—Apparatus for manufacturing means for bonding, e.g. connectors
- H01L24/743—Apparatus for manufacturing layer connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
- H01L2224/741—Apparatus for manufacturing means for bonding, e.g. connectors
- H01L2224/743—Apparatus for manufacturing layer connectors
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Die Bonding (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板にチップボンディング用のボンディングペーストを塗布するボンディングペーストの塗布装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
半導体装置製造のダイボンディング工程では、リードフレームなどの基板に半導体チップを接着するためのボンディングペーストが塗布される。このボンディングペーストの塗布は、ディスペンサから吐出されるボンディングペーストを塗布ノズルに導き基板の塗布エリア内に塗布することにより行われる。この塗布方法の一つとして、塗布ノズルを塗布エリア内で移動させながらペーストを吐出することにより塗布を行う描画塗布が知られている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
この描画塗布においては、接着対象のチップの形状やサイズによって所要のペースト塗布パターンが異なるため、描画時の描画パターンや塗布ノズルを移動させる際の速度パターンなどの塗布条件をチップに応じて設定する必要がある。ところが従来のボンディングペーストの塗布装置では、上述のような描画塗布を行う際の塗布条件の設定に、その都度複雑なデータ入力などの手間を必要として操作性が悪いとともに、適切な設定が行われない場合には良好な塗布品質が得られないという問題点があった。
【0004】
そこで本発明は、操作性に優れ良好な塗布品質を得ることができるボンディングペーストの塗布装置を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
請求項1記載のペースト塗布装置は、基板のチップ搭載位置において塗布ノズルからボンディングペーストを吐出しながら塗布ノズルを移動させることによりボンディングペーストを描画塗布するボンディングペーストの塗布装置であって、塗布口からペーストを吐出して基板に塗布する塗布ノズルと、この塗布ノズルを基板に対して相対的に移動させる移動手段と、この移動手段を描画パターンに基づいて制御する制御手段と、チップサイズ記憶部に記憶されたボンディング対象のチップのサイズと描画パターンの対応区分ならびに描画パターンを記憶する描画パターン記憶手段と、前記チップサイズ記憶部に記憶されたチップのサイズと前記描画パターン記憶手段の前記対応区分に応じて前記描画パターン記憶手段に記憶された描画パターンを選択する描画パターン選択手段と、選択された描画パターンに基づいて前記移動手段の速度パターンを設定する速度パターン設定手段とを備えた。
【0006】
本発明によれば、チップのサイズに応じて描画パターンを選択し、選択された描画パターンに基づいてノズルの移動手段の速度パターンを設定することにより、チップの種類やサイズが変わる度に従来必要とされていた描画データの設定を行う必要がなく、常に塗布品質の優れた適切なペースト塗布を操作性よく行うことができる。
【0007】
【発明の実施の形態】
次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図1は本発明の一実施の形態のダイボンディング装置の斜視図、図2は同ダイボンディング装置の制御系の構成を示すブロック図、図3は同ダイボンディング装置のペースト塗布処理の処理機能を示す機能ブロック図、図4は同描画パターン設定テーブルを示す説明図、図5は同描画パターン設定処理のフロー図、図6は同描画パターンの速度パターンを示すグラフ、図7(a)は同塗布エリアの平面図、図7(b)は同塗布エリアの断面図である。
【0008】
まず図1を参照してダイボンディング装置の構造を説明する。図1においてチップ供給部1にはウェハシート2が図示しない保持テーブルによって保持されている。ウェハシート2には多数の半導体素子であるチップ3が貼着されている。チップ供給部1の側方には搬送路5が配設されており、搬送路5は基板であるリードフレーム6を搬送し、ペースト塗布位置およびボンディング位置にリードフレーム6を位置決めする。チップ供給部1の上方にはボンディングヘッド4が配設されており、ボンディングヘッド4は図示しない移動機構により水平移動および上下動する。
【0009】
搬送路5の側方にはペースト塗布部9が配設されている。ペースト塗布部9は移動テーブル10にL型のブラケット15を介して塗布ノズル18を装着して構成されている。塗布ノズル18は、不動のプレート21上に固定配置されたペースト吐出手段であるディスペンサ16と可撓性の管部材であるチューブ17によって連結されており、更にエアチューブ20を介して吐出制御バルブ19と接続されている。
【0010】
図2に示すようにディスペンサ16は、マニホールドブロック25の上面に装着されたシリンジ26内のペースト7をモータ31によって往復駆動されるピストン32によって吐出させるものである。ペースト7のシリンジ26からの吸入、ピストン32による吐出は、往復駆動機構28によって駆動される第1のバルブ27、往復駆動機構29によって駆動される第2のバルブ30によって制御される。
【0011】
シリンジ26内はバルブ34を介してエア源33から供給されるエアによって加圧されており、ディスペンサ16を駆動することにより、ペースト7がチューブ17を介して塗布ノズル18へ圧送される。そして塗布ノズル18の下端部に設けられた塗布口より吐出されてリードフレーム6の塗布エリア6aに塗布される。塗布ノズル18からのペースト吐出の断続は、吐出制御バルブ19によって制御される。
【0012】
移動テーブル10は、Y軸テーブル11上にX軸テーブル12を段積みし、さらにその上にL型のブラケット13を介してZ軸テーブル14を垂直方向に結合して構成されている。Y軸テーブル11、X軸テーブル12、Z軸テーブル14は、それぞれY軸モータ11a、X軸モータ12a、Z軸モータ14aを備えている。X軸モータ12a、Y軸モータ11aおよびZ軸モータ14aを駆動することにより、塗布ノズル18はリードフレーム6上で水平方向および上下方向に移動する。したがって、移動テーブル10は塗布ノズル18をリードフレーム6に対して相対的に移動させる移動手段となっている。
【0013】
リードフレーム6上面のチップ3の搭載位置は、ペースト7が塗布される塗布エリア6aとなっている。塗布ノズル18を塗布エリア6a内に位置させ、塗布ノズル18からペースト7を吐出させながら塗布ノズル18を移動させることにより、塗布エリア6a内には所定の描画パターンでチップボンディング用のペースト7が描画塗布される。
【0014】
このペースト塗布後、リードフレーム6は搬送路5上をボンディング位置8に送られ、位置決めされる。そして塗布エリア6a内に塗布されたペースト7上に、ボンディングヘッド4のノズル4aによってチップ供給部1からピックアップされたチップ3がボンディングされる。
【0015】
次に図2を参照してダイボンディング装置の制御系の構成を説明する。図2において、ディスペンサ駆動部40は、ピストン32を駆動するモータ31、第1のバルブ27および第2のバルブ30をそれぞれ往復動させる往復動機構28,29を駆動して、ディスペンサ16によるペースト7の吐出を制御する。吐出制御バルブ駆動部41は、吐出制御バルブ19の開閉を駆動することにより塗布ノズル18に供給される制御エアを制御し、塗布ノズル18の開閉を行う。
【0016】
Z軸モータ駆動部42、Y軸モータ駆動部43、X軸モータ駆動部44は、移動テーブル10のZ軸モータ14a、Y軸モータ11a、X軸モータ12aをそれぞれ駆動する。ボンディングヘッド駆動部45は、チップ3をボンディングするボンディングヘッド4を駆動する。記憶部46は、各部の動作や処理に必要なプログラムや塗布パターンのデータを記憶する。制御部47は、記憶部46に記憶されたプログラムに基づいて各部の動作を制御する。操作・入力部48は、キーボードやマウスなどの入力手段であり制御コマンドの入力やデータ入力を行う。表示部49はディスプレイ装置であり、操作入力時の画面を表示する。
【0017】
次に図3を参照して、ダイボンディング装置のペースト塗布処理の処理機能について説明する。図3において枠46で囲まれた各部は図2に示す記憶部46に記憶されるデータの内容を示すものである。図3に示す各要素のうち、入力処理部50、表示処理部51、描画パターン選択部54、速度パターン演算部55、ペースト吐出流量算出部56、描画処理部58は、図2に示す制御部47による処理を示している。
【0018】
まず記憶部46を構成する各部について説明する。チップサイズ記憶部52は、ボンディング対象のチップサイズ、すなわちチップ3の幅や長さのデータを記憶する。描画パターン設定テーブル53は、チップサイズに応じて設定される描画塗布のパターンについてのデータを記憶する。すなわち、描画パターン設定テーブル53は描画パターンを記憶する描画パターン記憶手段となっている。描画パターン選択部54(描画パターン選択手段)は、チップサイズ記憶部52に記憶されたチップサイズと描画パターン設定テーブル53に記憶された描画パターンのデータに基づいて、対象チップに応じた適切な描画パターンを選択する。
【0019】
速度パターン算出部55は、選択された描画パターンに基づいて塗布ノズルを移動させる速度パターンを算出する。また速度パターン算出部55は選択された描画パターンに基づいた所定の描画を行うために必要な描画時間を算出する。速度パターン記憶部57は、速度パターン算出部55によって算出された速度パターンや描画時間を記憶する。速度パターン算出部55および速度パターン記憶部57は、速度パターンを設定する速度パターン設定手段となっている。
【0020】
ペースト吐出流量算出部56は、速度パターン算出部55によって算出される描画時間と、チップサイズ記憶部52に記憶されたチップサイズ等より決められるペースト塗布量とに基づいて、塗布ノズル18によって所用ペースト塗布量を塗布するためにディスペンサ16に必要とされるペースト吐出流量を算出する。ペースト吐出流量記憶部59は算出されたペースト吐出流量のデータを記憶する。描画塗布時には、ペースト吐出流量のデータはペースト吐出流量記憶部59から読み出され、描画処理部58に送られる。
【0021】
描画処理部58は、速度パターンおよびペースト吐出流量のデータに基づいてX軸モータ駆動部44、Y軸モータ駆動部43、Z軸モータ駆動部42、吐出制御バルブ駆動部41、ディスペンサ駆動部40を駆動して塗布ノズル18を移動させると共に、塗布ノズル18からペースト7を吐出させることによって描画塗布を行うための処理を行う。したがって、描画処理部58は、描画パターンに基づいて移動手段を制御する制御手段となっている。
【0022】
入力処理部50は、操作・入力部48から入力される操作入力信号を処理し、各部への制御コマンドを出力するとともに、記憶部46へのデータ書き込みを行う。表示処理部51は、記憶部46に記憶されたデータを処理して各種の案内画面を表示部49に表示させる。
【0023】
ここで、描画パターン設定テーブル53について説明する。描画パターン設定テーブル53は、チップサイズとチップサイズに応じて設定される描画パターンの対応区分を示している。チップサイズが大きくなるに従って、ボンディング面積が増大し、ボンディングに必要とされるペースト塗布量も増大する。ペースト塗布量は描画パターンと相関関係があるため、予めチップサイズと描画パターンの対応区分を定めておくことにより、チップサイズが指定されるとこのチップサイズに必要とされるペースト塗布量を得るための適切な描画パターンを自動的に選択させることができる。以下、描画パターン設定テーブルにおけるチップサイズと描画パターンの対応区分の具体例について、図4を参照して説明する。
【0024】
図4に示すように、まずチップサイズが3mm未満であれば、塗布エリアの中央点Oに単に点状にペースト7を塗布するパターン(中央点パターン)のみで必要なペースト塗布量が確保される。塗布量の調整は、塗布ノズルを中央点Oに停止させてペーストを塗布する塗布時間によって行われる。チップサイズがこれより大きくなり3〜7mmの範囲では、上記パターンに対角方向の十字塗布線L1,L2を組み合わせた描画パターン(中央点付対角十字パターン)が選択される。塗布量の調整は、中央点Oにおける塗布量の調整によって行われる。
【0025】
そして、チップサイズがさらに大きくなり7〜17mmの範囲になれば、前記描画パターンに上下左右方向の十字塗布線L3,L4を組み合わせた描画パターン(中央点付きダブル十字パターン)が選択され、チップサイズが17mm以上の場合には、前述の十字状塗布線L3,L4の先端にさらにカギ状の塗布線L5を付加した描画パターン(スノースターパターン)が選択される。これらのパターンにおいても、塗布量の調整は中央点Oにおける塗布量の調整によって行われる。
【0026】
このような描画パターン設定テーブルを予め準備しておくことにより、チップサイズが指定されれば当該サイズのチップをボンディングするのに必要なペースト塗布量を得るための適切な描画パターンが自動的に選択される。
【0027】
次に図5を参照して、描画パターン決定処理について説明する。まず、チップサイズ記憶部52からチップサイズを読みとる(ST1)。次いで速度パターン算出部により、描画パターン設定テーブル53を参照して使用する描画パターンを選択する(ST2)。次に選択された描画パターンに基づいて速度パターン算出部55により速度パターンが作成される(ST3)。次いで速度パターンに基づいて計算された描画時間と所要ペースト塗布量から、ペースト吐出流量算出部56によってペースト7の吐出流量が算出され、ペースト吐出流量記憶部59に記憶される(ST4)。これにより、描画パターンの決定処理が完了する。
【0028】
次に、図6は上記描画パターン決定処理において設定される速度パターンの一例について示している。ここで用いられる描画パターンは、図7(a)に示すように対角十字状の塗布線(直線AC、直線BD)で構成されている。この描画パターンにおいて、中央点Oを塗布開始点および塗布終了点とし、描画途中で塗布線上の各通過点A,B,C,Dを通過して一筆書きで描画塗布される。
【0029】
この描画塗布に際し、塗布ノズル18は、O−A−C−O−B−D−Oの順序で移動する。そしてこのときX,Yの各移動軸(X軸モータ12a、Y軸モータ11a)は、図6に示すような速度パターン、すなわち塗布開始点Oから塗布終了点Oに至るまでの各通過点間で、台形状の加減速を繰り返す速度パターンに基づいて駆動される。
【0030】
また、塗布ノズル18を上下動させるZ軸は、塗布終了時のみに上昇動作を行う。この上昇時には図7(b)に示すように、中央点Oに塗布ノズル18を停止させた状態でペースト7を吐出する点状塗布を行う。この中央点Oにおける塗布量を調整することにより、全体の塗布量の調整が行われる。
【0031】
上記説明したように、本発明ではチップサイズを指定するのみでこのチップサイズに対応した適切な描画塗布パターンが選択され、この描画パターンに対応した速度パターンが自動的に設定される。これにより、チップの種類やサイズが変わる度に従来必要とされていた描画データの設定を行う必要がなく、常に適切なペースト塗布を操作性よく行って、良好なボンディング品質を確保することができる。
【0032】
【発明の効果】
本発明によれば、チップのサイズに応じて描画パターンを選択し、選択された描画パターンに基づいてノズルの移動手段の速度パターンを設定するようにしたので、チップの種類やサイズが変わる度に従来必要とされていた描画データの設定を行う必要がなく、常に適切なペースト塗布を操作性よく行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の一実施の形態のダイボンディング装置の斜視図
【図2】 本発明の一実施の形態のダイボンディング装置の制御系の構成を示すブロック図
【図3】 本発明の一実施の形態のダイボンディング装置のペースト塗布処理の処理機能を示す機能ブロック図
【図4】 本発明の一実施の形態の描画パターン設定テーブルを示す説明図
【図5】 本発明の一実施の形態の描画パターン設定処理のフロー図
【図6】 本発明の一実施の形態の描画パターンの速度パターンを示すグラフ
【図7】 (a)本発明の一実施の形態の塗布エリアの平面図
(b)本発明の一実施の形態の塗布エリアの断面図
【符号の説明】
3 チップ
6 リードフレーム
6a 塗布エリア
7 ペースト
10 移動テーブル
16 ディスペンサ
18 塗布ノズル
53 描画パターン設定テーブル
54 描画パターン選択部
55 速度パターン算出部
57 速度パターン記憶部
58 描画処理部
Claims (1)
- 基板のチップ搭載位置において塗布ノズルからボンディングペーストを吐出しながら塗布ノズルを移動させることによりボンディングペーストを描画塗布するボンディングペーストの塗布装置であって、塗布口からペーストを吐出して基板に塗布する塗布ノズルと、この塗布ノズルを基板に対して相対的に移動させる移動手段と、この移動手段を描画パターンに基づいて制御する制御手段と、チップサイズ記憶部に記憶されたボンディング対象のチップのサイズと描画パターンの対応区分ならびに描画パターンを記憶する描画パターン記憶手段と、前記チップサイズ記憶部に記憶されたチップのサイズと前記描画パターン記憶手段の前記対応区分に応じて前記描画パターン記憶手段に記憶された描画パターンを選択する描画パターン選択手段と、選択された描画パターンに基づいて前記移動手段の速度パターンを設定する速度パターン設定手段とを備えたことを特徴とするボンディングペーストの塗布装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP31518199A JP4329189B2 (ja) | 1999-11-05 | 1999-11-05 | ボンディングペーストの塗布装置 |
US09/704,728 US6605315B1 (en) | 1999-11-05 | 2000-11-03 | Bonding paste applicator and method of using it |
TW089123305A TW473878B (en) | 1999-11-05 | 2000-11-04 | Bonding paste applicator and method of using it |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP31518199A JP4329189B2 (ja) | 1999-11-05 | 1999-11-05 | ボンディングペーストの塗布装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001135651A JP2001135651A (ja) | 2001-05-18 |
JP4329189B2 true JP4329189B2 (ja) | 2009-09-09 |
Family
ID=18062407
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP31518199A Expired - Fee Related JP4329189B2 (ja) | 1999-11-05 | 1999-11-05 | ボンディングペーストの塗布装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4329189B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4277428B2 (ja) * | 2000-07-18 | 2009-06-10 | パナソニック株式会社 | ボンディングペーストの塗布装置および塗布方法 |
JP4762596B2 (ja) * | 2005-04-13 | 2011-08-31 | パナソニック株式会社 | チップのボンディング装置およびボンディング方法 |
-
1999
- 1999-11-05 JP JP31518199A patent/JP4329189B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2001135651A (ja) | 2001-05-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4151151B2 (ja) | ダイボンディング用のペースト塗布装置およびペースト塗布方法 | |
JP2009172571A (ja) | ペーストディスペンサのペースト塗布方法及びこれに使われる空気圧供給装置 | |
US6460756B2 (en) | Method of applying bonding paste | |
US20050095367A1 (en) | Method of noncontact dispensing of viscous material | |
JP4329189B2 (ja) | ボンディングペーストの塗布装置 | |
JP4277428B2 (ja) | ボンディングペーストの塗布装置および塗布方法 | |
US6605315B1 (en) | Bonding paste applicator and method of using it | |
US6348234B1 (en) | Paste applying method | |
JP3815171B2 (ja) | ペースト塗布方法 | |
JP3456179B2 (ja) | ボンディングペーストの塗布方法 | |
JP4058866B2 (ja) | ボンディングペーストの塗布装置および塗布方法 | |
JP3454207B2 (ja) | ボンディングペーストの塗布装置および塗布方法 | |
JP3903905B2 (ja) | ペースト塗布装置およびペースト塗布方法ならびにペースト塗布における描画性判定装置 | |
JP4134888B2 (ja) | ペースト塗布装置およびペースト塗布方法 | |
JP3518404B2 (ja) | ペースト塗布方法 | |
JP3893838B2 (ja) | ペースト塗布方法 | |
JP3518403B2 (ja) | ペースト塗布方法 | |
JP3614029B2 (ja) | ペースト塗布装置およびペースト塗布方法 | |
JP3607185B2 (ja) | ボンディングペーストの塗布方法 | |
JP3738596B2 (ja) | ペースト塗布装置およびペースト塗布方法 | |
JPH0999268A (ja) | 液体塗布方法 | |
JP4762596B2 (ja) | チップのボンディング装置およびボンディング方法 | |
JP3436071B2 (ja) | 電子部品接着用ボンドの塗布方法 | |
JP2000277546A (ja) | ペースト塗布装置およびペースト塗布方法 | |
JP3480362B2 (ja) | ダイボンディング用のペースト塗布装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061003 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20061114 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080912 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A132 Effective date: 20081209 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090217 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090407 |
|
A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20090501 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090526 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090608 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120626 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120626 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130626 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |