JP4328166B2 - 太陽電池セルの製造方法 - Google Patents
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本発明の目的は、基板における結晶欠陥の除去と、基板と電極との接触抵抗を低減することにより、基板の直列抵抗を下げ発電効率を向上できる、太陽電池セルの製造方法を提供することにある。
その特徴ある構成は、上記結晶欠陥を除去した溝16に導電性材料を挿着する前に、溝16内にドライアイス粒子17をブラストする工程を含むところにある。
この請求項1に記載された太陽電池セルの製造方法では、結晶基板11の表面の溝16を等方性エッチングすると、溝16を形成したレーザ光の切り口がギザギザに残ったり、溝内の面が粗くなったり、或いは溝16の上縁に溝を塞ぐように庇状のバリ16aが突出する場合があるけれども、溝16上にドライアイス粒子17をブラストすると、ドライアイス粒子17が溝16に衝突したときに急激に昇華するので、この昇華時の爆発的圧力上昇にともなう衝撃力により溝16内面が滑らかになり、バリ16aが溝16の上縁から剥離する。
更にドライアイス粒子17は、ドライアイスのブロック又はペレットを粉砕して作られたドライアイススノーであるか、或いは液化炭酸ガスを断熱膨張させて作られたドライアイススノーであることが好ましい。
また上記方法で製造された太陽電池セルは、結晶基板の表面の溝上縁にバリがなく、溝内面が滑らかであるため、電極となる導電性材料が溝内面に密着する。この結果、基板と電極との接触面積が増大して接触抵抗を低減でき、セルの温度上昇も抑制され、発電効率を向上できる。
太陽電池セルを製造するには、先ずチョクラルスキー法により引上げられたシリコン単結晶棒をカットした後にスライスしてシリコンウェーハからなる基板11を作製する。次いでこの基板11の表面を、テクスチャエッチングと呼ばれる凹凸加工により(111)面が露出した略ピラミッド状の凹凸面12を形成した後に(図1(a))、基板11の表面にpn接合を形成する。このpn接合は、基板11がp形シリコンである場合、基板11の表面層にリン元素をドープしてn形化することにより、基板11表面にn形層13を形成した構造である(図1(b))。なお、上記基板はチョクラルスキー法ではなく、フローティングゾーン法により製造されたシリコン単結晶棒をスライスして作製してもよい。また、上記基板はシリコン単結晶基板ではなく、シリコン多結晶基板であってもよい。更に、上記基板がn形シリコンである場合には、基板の表面層にボロン元素をドープしてp形化することにより、基板表面にp形層を形成した構造である。
また、上記ドライアイス粒子17をブラストし溝16の内面には、POCl3等を熱拡散してn++層を形成した後、ニッケルめっき及びシンターによりニッケルシリケートを形成する。その後、銅、銀等の導電性材料をめっきでデポジションさせ、焼成等の熱処理を加えて電極33(図3)を形成する。
<実施例1>
先ずチョクラルスキー法により引上げられたシリコン単結晶棒を正四角柱状にカットした後にスライスしてシリコンウェーハからなる基板を作製した。次いでこの基板11の表面を、テクスチャエッチングと呼ばれる凹凸加工により(111)面が露出した略ピラミッド状の凹凸面12を形成した後に(図1(a))、基板11の表面にリン元素をドープしてn形層13を形成した(図1(b))。上記n形層13を形成した基板11の表面に、透明の反射防止膜14(Si3N4)を形成した(図1(c))。
14 反射防止膜
16 溝
16a 縦溝
16b 横溝
33 電極
Claims (3)
- pn接合してその上に反射防止膜(14)を形成した結晶基板(11)の凹凸を有する表面に、レーザ光を照射して溝(16)を形成する工程と、この溝(16)を等方性エッチングにより結晶欠陥を除去する工程と、前記結晶欠陥を除去した溝(16)に導電性材料を挿着して電極(33)を形成する工程とを含む太陽電池セルの製造方法において、
前記結晶欠陥を除去した溝(16)に導電性材料を挿着する前に、前記溝(16)内にドライアイス粒子(17)をブラストする工程を含むことを特徴とする太陽電池セルの製造方法。 - 結晶欠陥を除去した溝(16)の幅が、縦溝(16a)において30〜55μmであり横溝(16b)において20〜35μmであり、前記結晶欠陥を除去した溝(16)の深さが、縦溝(16a)において40〜55μmであり横溝(16b)において25〜45μmであり、ドライアイス粒子(17)が粒径0.1〜100μmのドライアイススノーである請求項1記載の太陽電池セルの製造方法。
- ドライアイス粒子(17)が、ドライアイスのブロック又はペレットを粉砕して作られたドライアイススノーであるか、或いは液化炭酸ガスを断熱膨張させて作られたドライアイススノーである請求項1又は2記載の太陽電池セルの製造方法。
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