JP4322016B2 - 応力センサの製造法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばパーソナルコンピュータ用ポインティングディバイスに用いる応力センサの製造法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
基板面に歪ゲージと、応力受け部材としてのポストが配され、そのポストへの応力付与が前記基板を撓ませて前記歪ゲージを刺激し、当該刺激による前記歪ゲージの特性値変化により、付与された応力の方向を把握し得る応力センサについては、例えば特開2000−267803号公報にその開示がある。当該公報をはじめとする公知の刊行物等では、付与された応力に対する歪ゲージの特性値変化を調整する技術については触れられていない。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、例えばパーソナルコンピュータ用ポインティングディバイスに用いる応力センサのように、複数の歪ゲージ感度を揃えることは、応力センサを大量生産する場合には、製品不良率を低減する意味で非常に重要な事項である。本発明が解決しようとする課題は、付与された応力に対する歪ゲージ感度が揃った応力センサを提供することである。
【0004】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明の、基板1面に歪ゲージ2と、応力受け部材としてのポスト3が配され、そのポスト3への応力付与が前記基板1を撓ませて前記歪ゲージ2を刺激し、当該刺激による前記歪ゲージ2の特性値変化により、付与された応力の方向を把握し得る応力センサの製造法は、前記基板はその内層に金属箔からなる凹部形成阻害部材を有するものであって、所定の荷重をポスト3に付与する第2の工程と、当該荷重に対する歪ゲージ2特性値を測定する第3の工程と、当該特性値が所望の値となるまで基板1面に凹部4を形成する第4の工程とを有し、第2〜第4の工程をこの順に実施することを特徴とする。以上が少なくとも本発明の応力センサの製造法を構成する要件である。
【0005】
ここで一般に応力センサは、上記抵抗値等の電気特性を検知、演算等する制御部があってはじめて応力センサとして機能する。しかし本明細書では、説明の便宜上前記制御部を除いた部分について「応力センサ」と表現することとする。
【0006】
上記本発明の応力センサの製造法の概要を図1に示した。上記第2の工程は、所定の荷重をポスト3に付与する工程である。例えば図2に示すような錘8と滑車9とで主として機能する、一定の応力を付与可能な応力付与装置を用いる。ここで前記所定の荷重を「b」とする。
【0007】
上記第3の工程は、上記荷重(一定の応力)に対する歪ゲージ2特性値を測定する工程である。ここでかかる荷重状態における歪ゲージ2の特性値をa’とする。
【0008】
上記第4の工程は、3の工程における当該特性値が所望の値となるまで基板1面に凹部4を形成する工程である。ここで所望の値がa’の絶対値である場合には、その絶対値となるまで基板1面に凹部4を形成する。
【0009】
またここで所望の値が歪ゲージ2特性値変化率である場合には、上記第2〜第4の工程に先んじて、ポスト3に応力を付与しない状態の歪ゲージ2特性値を測定する第1の工程を設ける。ここでかかる第1の工程における無荷重状態の歪ゲージ2の特性値を「a」とする。そして例えば(a’−a)の値若しくは(a’−a)/bの値が所望の値となるまで基板1面に凹部4を形成する。
【0010】
凹部4の形成方法は、基板1の一部を除去し得る種々の方法を採用することができる。例えばレーザ照射法や、いわゆるサンドブラスト法等である。中でも前記レーザ照射法は、一般に凹部4形成速度が速いこと、凹部4形成位置精度が極めて高いこと等の利点を有しているため、好適である。
【0011】
また「基板1面」に凹部4を形成することから、歪ゲージ2が既に配されている基板1面部分には凹部4を形成することはできないため、当該部分はここでいう「基板1面」ではない。但し歪ゲージ2が配されている側の基板1面であって、歪ゲージ2近傍に凹部4を形成することを本発明から除外するものではない。
【0012】
凹部4を形成することにより、基板1の当該凹部4が撓み易くなる。凹部4が局部的に基板1を薄くしているためである。すると凹部4の形成の進行に伴って一定の応力に対する歪ゲージ2特性値a’が徐々に変化する。第1の工程を有する場合には、凹部4形成の進行に伴って(a’−a)の値が徐々に大きくなる。そして所望のa’若しくは(a’−a)の値となった時点で凹部4の形成を終了させることで、付与された応力に対する歪ゲージ2感度が揃った応力センサを提供することができる。
【0013】
ここで歪ゲージ2の上記「特性値」には、例えばポスト3底面の輪郭部分に配した4つの抵抗素子からなる歪ゲージ2を図5に示すようなブリッジ回路とし、当該ブリッジ回路から出力・把握される電流値又は電圧値を含む。図5には例えば図3及び図4に示すような、ポスト3底面の輪郭を跨ぐよう、且つポスト3底面の中心から等角度間隔に歪ゲージ2(抵抗素子)を4つ配置した場合の前記ブリッジ回路の電気信号入出力の一例の概要を示した。このブリッジ回路の電圧印加端子(Vcc)−(GND)間には所定の電圧が印加されている。また同図左側の抵抗素子及びY端子(Yout)によりY軸方向の応力センサが構成され、更に同図右側の抵抗素子及びX端子(Xout)によりX軸方向の応力センサが構成される。これでポスト3に対し、任意のx、y方向に応力を付与した旨、及びそのときの応力の方向と大きさとを把握することができる。またポスト3頂面を押下したとき、即ちz軸方向へ応力付与した旨、及びそのときの応力の大きさを把握することができる。z軸方向に応力付与することにより、四つの抵抗素子全てを伸張させ、各々の抵抗値を略同程度にまで大きくする。このような電気特性は、任意の横方向(x、y方向)に応力を付与した場合と異なる電気的特性であり、それらとは区別できる。
【0014】
上記本発明の応力センサの製造法を構成する要件を少なくとも備えた応力センサの製造法において、歪ゲージ2への刺激が当該歪ゲージ2の伸縮を伴い、当該伸縮方向に実質的に沿った直線であって当該歪ゲージ2の実質的な中心を通る直線に沿って基板1面に凹部4を形成することが好ましい。図3に当該凹部4形成後の応力センサの一例の平面図を示した。同図で、破線で示した歪ゲージ2は、基板1の裏側に配されている。
【0015】
図3に示した応力センサには4つの歪ゲージ2がポスト3底面の輪郭を跨って配置されている。従ってポスト3に応力を付与し、基板1を撓ませた場合には、歪ゲージ2が伸縮する。各々の歪ゲージ2の伸縮方向は、基板1の中心から各々の歪ゲージ2の中心を通る直線方向となる。図3に示した応力センサには、前記伸縮方向に実質的に沿った直線であって当該歪ゲージ2の実質的な中心を通る直線に沿って基板1面に凹部4が形成されていることがわかる。
【0016】
このように凹部4形成箇所を前記伸縮方向に実質的に沿った直線であって当該歪ゲージ2の実質的な中心を通る直線に沿うように形成することが好ましい理由を説明する。このように凹部4を形成することで、実際に応力を付与した方向と、応力センサから出力される「応力付与方向」についての情報のずれを無視できる程度に小さく、又は無くすることができる。凹部4の存在が基板1の撓み易さに寄与することはあっても、基板1の撓み易くなる「方向」を変更することがないためである。かかる変更があると、応力の基板1への伝達のされ方が乱れて、付与された応力の方向が正確に歪ゲージ2へ伝達されなくなり、上記「情報のずれ」を生ずる結果となる。
【0017】
このように上記「情報のずれ」を無視できる程度に小さく、又は無くすることができると、応力の方向を感知する応力センサである、例えばパーソナルコンピュータ用ポインティングディバイスとして本発明に係る応力センサを用いる場合に特に好適となる。その理由は、ユーザの指示するx,y方向へのマウスカーソルの移動命令等のため、又はz方向へのクリック動作のため等に付与された応力に対して、正確な出力を取り出すことができ、ユーザの感覚通りにパーソナルコンピュータへの命令を実行でき、ユーザの操作性向上を実現できるためである。
【0018】
上記本発明の応力センサの製造法を構成する要件を少なくとも備えた応力センサの製造法において、歪ゲージ2への刺激が当該歪ゲージ2の伸縮を伴い、当該伸縮方向に実質的に直交する直線に沿って基板1面に凹部4を形成する応力センサの製造法であって、当該凹部4形成の起点が当該歪ゲージ2の実質的な中心を通る前記伸縮方向に沿った直線上にあり、当該起点から前記伸縮方向に沿った直線に沿って往復移動させながら凹部4を形成し、徐々に当該往復移動距離を大きくすることが好ましい。図4に当該凹部4形成後の応力センサの一例の平面図を示した。同図で、破線で示した歪ゲージ2は、基板1の裏側に配されている。
【0019】
かかる応力センサの製造法によっても、上記図3に示した応力センサと同様に凹部4の存在が基板1の撓み易さに寄与することはあっても、基板1の撓み易くなる「方向」を変更することがないか、又は少ないことから、上記「情報のずれ」を無視できる程度に小さく、又は無くすることができる。
【0020】
また上記本発明の応力センサの製造法を構成する要件を少なくとも備えた応力センサの製造法において、基板1内層に凹部形成阻害部材を有することが好ましい。極端に深い凹部4の存在は、基板1の撓みによって破壊するおそれがある場合があるためである。凹部4形成手段がレーザ照射である場合の、凹部形成阻害部材は、例えば銅等の金属箔である。図1に当該金属箔を内層金属5として示した。かかる内層金属5は、レーザ光を反射するためそれよりも下層への凹部4形成を阻害し得る。凹部4の存在により基板1を撓み易くする手法には、当該凹部4深さを大とするばかりでなく、当該凹部4面積が基板1全体を占める比を大とする手段もある。基板1内層に凹部形成阻害部材を存在させることは、凹部4面積が基板1全体を占める比を大とすることで基板1を撓み易くするよう調整する考え方を主として採用したものである。
【0021】
【発明の実施の形態】
まず、プリプレグを複数枚積層し、且つ後に内層金属5となる銅箔を当該プリプレグ間に挿入した後、加熱・加圧成型したガラス繊維混入エポキシ系樹脂板を用意する。当該板が基板1となる。そして基板1両面に厚み18μmの銅箔を貼付した後に当該銅箔の必要部分を除いて公知のエッチング処理(除去処理)を施すことにより、配線16及び電極12が図6に示すように形成(パターニング)される。電極12間距離は1.2mm程度である。
【0022】
次いで基板1に予め穴あけ加工によって設けられているスルーホールの内壁に無電解めっき法にて導電性物質を配することにより、基板12表裏面の配線16同士を導通させる。このとき、無電解めっきにより析出する導電性物質(銅)は配線16及び電極12表面にも析出する。その結果配線16、電極12のそれぞれの高さは、30〜50μmの略一定値になる。
【0023】
次いで基板1の電極12が形成された面に、スクリーン印刷技術により抵抗体13を配し、加熱硬化する。これで図6に示すような対となる電極12及び抵抗体13からなる抵抗素子が、応力センサ一つあたり四つ同時に形成された。ここで抵抗体13は、アモルファスカーボン粉末を導電性物質とし、エポキシ系樹脂材料を非導電性物質とするものである。四つの抵抗素子は、それらの抵抗値を略同等とするため、レーザトリミング工程に供される。
【0024】
その後基板1の略中央であって抵抗素子が形成された基板1面とは逆側の面に、アルミナセラミック製ポスト3を固定する。かかる固定にはエポキシ系接着剤を用いた。
【0025】
次いで本発明に係る基板1への凹部4形成工程を実施する。以下にその手順を説明する。まず基板1の外端を固定する。かかる固定は、例えば基板1の四隅に、穴を設け、当該穴を介して固定用冶具にネジにより固定する等による。
【0026】
次に本例の応力センサに対し応力を付与しない状態での歪ゲージ2(抵抗素子)特性値を把握する(上述した「第1の工程」に相当)。かかる特性値の把握は、図4に示す本発明の応力センサ動作時の上記ブリッジ回路の電気信号入出力と略同じ手順による。このブリッジ回路の電圧印加端子(Vcc)−(GND)間に一定の電圧が印加される。そしてXout−GND間の電圧を測定し、これを応力を付与しない状態での歪ゲージ2(抵抗素子)特性値とする。Youtについても同様である。
【0027】
次にポスト8へ所定の応力を付与し(上述した「第2の工程」に相当)、同様にXout−GND間の電圧を測定し(上述した「第3の工程」に相当)、これを応力付与状態での歪ゲージ2(抵抗素子)特性値とする。応力が付与されたことによるXout−GND間の電圧の変化、即ち(応力付与状態の特性値)−(応力付与状態特性値)がXout出力電圧となる。Youtについても同様に測定する。
【0028】
ここで上記応力付与状態を形成する方法は、図2に示す荷重付加部材7により一定の荷重をポスト3側面に付与する方法とする。当該一定の荷重は、錘8の質量に依存する。エアシリンダ11の作動により、荷重付加部材7のストッパ10を自由にすることで、錘8を下降させ、滑車9を介して荷重付加部材7が応力センサのポスト3側面を錘8の重量分だけ押圧するのである。かかる押圧を、図6におけるポスト3を、各々4つの歪ゲージ2(抵抗素子)側に倒す方向(X,Y方向)について行う。
【0029】
各々の歪ゲージ2(抵抗素子)側に倒す方向に応力を付与したときの上記出力電圧を所望の値とすべく、レーザ照射装置6にて、歪ゲージ2が配された基板1面とは反対側の基板1面に凹部4を形成する(上述した「第4の工程」に相当)。かかる凹部4は、図3に示すように形成する。ここでレーザ照射は、基板1外端側からポスト3に向かって移動させることにより、出力電圧が所望の値となるまで溝状の凹部4を形成した。以上で本発明に係る基板1への凹部4形成工程が終了する。
【0030】
本例では基板1材料をガラス繊維混入エポキシ系樹脂とし、ポスト3をアルミナセラミックとしたが、この組み合わせに限定されないことは言うまでもない。例えばポスト3と基板1の双方をセラミック材料とすることもできる。但し本例のように基板1材料を樹脂系材料として、凹部4を加工・形成し易くすることが好ましい。
【0031】
また本例では、X,Y方向にポスト3を押圧した際に検出される歪ゲージ2特性値に基づき、出力電圧が所望の値となるまで凹部4を形成する過程を経て本発明に係る応力センサを得ている。しかし前記検出される歪ゲージ2特性値は、X,Y方向にポスト3を押圧した際に検出される歪ゲージ2特性値に限られない。応力センサの用途によっては例えば、ポスト3頂面を押圧する方向(Z方向)に対する歪ゲージ2特性値に基づき、凹部4を形成することができる。またこれらX,Y,Zの全ての方向へのポスト3の押圧に対する歪ゲージ2特性値に基づき、凹部4を形成することができることは言うまでもない。
【0032】
図7は、本発明の応力センサの製造法に係る凹部4形成位置の他の例を平面図として示したものである。同図で、破線で示した歪ゲージ2は、基板1の裏側に配されている。
【0033】
図7(a)及び図7(b)は、凹部4形成位置と、歪ゲージ2配置位置との距離を大きくした例である。この構成にすることにより、凹部4形成の過程において極力歪ゲージ2の損傷を抑えることができる。また上述した「情報のずれ」を無視できる程度に小さく、又は無くすることができる構成でもある。
【0034】
図7(c)は、図7(a)及び図7(b)同様凹部4形成位置と、歪ゲージ2配置位置との距離を大きくした例であるが、凹部4形状を略円形としている点で異なる。図7(a)及び図7(b)の構成にて得られる利点に加え、ポスト3底面の輪郭の中で最も応力の集中するポスト3角部付近の基板1部分を集中的に撓み易くすることで、少ない凹部4形成量(深さ、長さ)で所望の歪ゲージ2特性値を得ることができる。即ち基板1を極力損傷させない利点がある。
【0035】
図7(d)は、図7(c)の構成において、集中的に撓み易い部分に歪ゲージ2を配置することで、更に少ない凹部4形成量(深さ、長さ)で所望の歪ゲージ2特性値を得ることができる利点がある。
【0036】
図7(e)は、図7(c)の構成において、凹部4を歪ゲージ2存在部分に集中的に形成したものである。比較的少ない凹部4形成量(深さ、長さ)で所望の歪ゲージ2特性値を得ることができる利点がある。
【0037】
【発明の効果】
本発明により、基板1面に歪ゲージ2と、応力受け部材としてのポスト3が配され、そのポスト3への応力付与が前記基板1を撓ませて前記歪ゲージ2を刺激し、当該刺激による前記歪ゲージ2の特性値変化により、付与された応力の方向を把握し得る応力センサの製造法において、付与された応力に対する歪ゲージ感度が揃った応力センサを提供することができた。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の応力センサの製造法の概要を示す当該応力センサ側面図である。
【図2】所定の荷重をポストに付与する手段の例を示す図である。
【図3】本発明に係る応力センサの一例の平面図を示す図である。
【図4】本発明に係る応力センサの一例の平面図を示す図である。
【図5】本発明の応力センサの製造法に係る特性値測定法を説明する図である。
【図6】本発明の応力センサの製造法に係るポスト3と歪ゲージ2である抵抗素子との位置関係を示した図である。
【図7】本発明の応力センサの製造法に係る凹部4形成位置の例の平面図である。
【符号の説明】
1.基板
2.歪ゲージ
3.ポスト
4.凹部
5.内層金属
6.レーザ照射装置
7.荷重付加部材
8.錘
9.滑車
10.ストッパ
11.エアシリンダ
12.電極
13.抵抗体
16.配線
Claims (5)
- 基板面に歪ゲージと、応力受け部材としてのポストが配され、そのポストへの応力付与が前記基板を撓ませて前記歪ゲージを刺激し、当該刺激による前記歪ゲージの特性値変化により、付与された応力の方向を把握し得る応力センサの製造法において、
前記基板はその内層に金属箔からなる凹部形成阻害部材を有するものであって、
所定の荷重を前記ポストに付与する第2の工程と、
当該荷重に対する歪ゲージ特性値を測定する第3の工程と、
当該特性値が所望の値となるまで基板面に凹部を形成する第4の工程とを有し、
第2〜第4の工程をこの順に実施することを特徴とする応力センサの製造法。 - 第2の工程の前に、前記ポストに応力を付与しない状態の歪ゲージ特性値を測定する第1の工程を有することを特徴とする請求項1記載の応力センサの製造法。
- 凹部を形成する手段が、レーザ照射であることを特徴とする請求項1又は2記載の応力センサの製造法。
- 歪ゲージへの刺激が当該歪ゲージの伸縮を伴い、当該伸縮方向に実質的に沿った直線であって当該歪ゲージの実質的な中心を通る直線に沿って基板面に凹部を形成することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の応力センサの製造法。
- 歪ゲージへの刺激が当該歪ゲージの伸縮を伴い、当該伸縮方向に実質的に直交する直線沿って基板面に凹部を形成する応力センサの製造法であって、
当該凹部形成の起点が当該歪ゲージの実質的な中心を通る前記伸縮方向に沿った直線上にあり、当該起点から前記伸縮方向に沿った直線に沿って往復移動させながら凹部を形成し、徐々に当該往復移動距離を大きくすることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の応力センサの製造法。
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