JP4310233B2 - 半導体集積回路装置 - Google Patents

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Description

本発明は、半導体集積回路装置に関するものであり、特に静電破壊防止回路を有し、別の回路へ固定のローレベル及びハイレベル信号を供給する半導体集積回路装置に関するものである。
近年、半導体集積回路装置のプロセス分野では、微細化及び高密度化の技術進歩により高集積化が進行している。それに伴い、半導体集積回路装置は、静電放電によってもたらされるダメージに弱くなってきている。例えば、外部接続用端子から進入するサージによって、入力回路、出力回路、入出力回路あるいは内部回路の素子が破壊され、素子の性能が低下する可能性が大きくなっている。これを防止するため、外部接続用端子に付随して、入力回路、出力回路、入出力回路あるいは内部回路をサージから保護するための保護回路が備えられている。
図5及び図6は、従来において、別の回路へ固定のローレベル及びハイレベル信号を供給するための電気回路の構成を示す図である。図5に示す半導体集積回路では、NMISトランジスタ103と電源間静電放電保護回路104とが設けられ、ここでは、NMISトランジスタ103のゲートは電源ライン101に直接接続されている。電源ライン101がハイレベルのとき、NMISトランジスタ103はオンし、それにより低出力ライン105はローレベルとなり、別の回路へ固定のローレベル信号を供給する。
図6に示す半導体集積回路では、PMISトランジスタ106と電源間静電放電保護回路104とが設けられ、ここでは、PMISトランジスタ106のゲートは接地ライン102に直接接続されている。接地ライン102がローレベルのとき、PMISトランジスタ106はオンし、それにより高出力ライン105はハイレベルとなり、別の回路へ固定のハイレベル信号を供給する。図5及び図6に示す電源間静電放電保護回路104は、通常動作時にはオフの状態となるが、例えば、電源ライン101に静電放電によるサージが印加された場合には、電源間静電放電保護回路104はクランプし、サージを接地ラインに逃がす動作を行う。
特開平07−86906号公報
しかしながら、電源間静電放電保護回路104がサージを接地ライン102に逃がしている間、電源ライン101の電位は上昇しており、NMISトランジスタ103やPMISトランジスタ106のゲートと基板間に電位差が生じている。その電位差がNMISトランジスタ103やPMISトランジスタ106のゲート絶縁膜耐圧を超えると、ゲート絶縁膜破壊が発生する。一旦ゲート絶縁膜破壊が生じると、別の回路へ固定の信号を供給することができなくなる。
さらに、近年では、プロセスの微細化に伴い、ゲート絶縁膜の薄膜化が進み、耐圧が低下してきている。このことからも、ゲート絶縁膜破壊がより起こりやすくなってきている。
ゲートと基板間に電位を生じさせないためには、電源間静電放電保護回路のトランジスタサイズを大きくして能力を高くする方法が考えられる。しかしながら、この方法では、電源間静電放電保護回路の面積が拡大してチップサイズも大きくなってしまうため、微細化の要請に反するものとなってしまう。
本発明の目的は、通常動作時には外部に固定のローレベル及びハイレベル信号を供給することができ、静電放電等によるサージが電源ラインに印加された場合には、信号を供給するトランジスタのゲートにかかる電位を制御することができる半導体集積回路装置を提供することにある。
本発明の第1の半導体集積回路装置は、電源ラインと、接地ラインと、上記接地ラインにソースが接続される第1のゲート絶縁型素子と、上記第1のゲート絶縁型素子のドレインに接続され、ローレベル信号を出力する低出力ラインと、上記電源ラインと上記接地ラインとに接続され、出力が上記第1のゲート絶縁型素子のゲートに接続され、上記第1のゲート絶縁型素子のゲート電位を制御することが可能な第1のゲート電位制御回路と、上記電源ラインと上記接地ラインとに接続される電源間静電放電保護回路とを備える。
これにより、電源ラインにサージが印加された場合には、電源間静電放電保護回路がクランプし、このサージを接地ラインに逃がす。電源間静電放電保護回路がサージを逃がしている間には電源ラインの電位が上昇するが、第1のゲート電位制御回路によって、第1のゲート絶縁型素子のゲートにかかる電位を低く抑えることができるため、第1のゲート絶縁型素子のゲートと基板との間の電位差を電源ラインと接地ラインとの電位差よりも小さくすることができる。
さらに、第1のゲート電位制御回路によって、第1のゲート絶縁型素子のゲートへの電圧の印加が遅延するため、従来のように電源間静電放電保護回路がオンする前に第1のゲート絶縁型素子のゲートに高い電圧が印加されるのを防止することができる。以上のことにより、サージが印加された場合にはゲート絶縁膜破壊を防止することができる。また、通常動作時は固定のローレベル信号を出力することができる。
また、上述の半導体集積回路装置において、上記第1のゲート絶縁型素子は第1のNMISトランジスタであって、上記第1のゲート電位制御回路は、第1のPMISトランジスタと、第2のNMISトランジスタとを有し、上記第1のPMISトランジスタでは、ソースが上記電源ラインに接続され、ゲートが上記低出力ラインに接続され、上記第2のNMISトランジスタでは、ドレインが上記電源ラインに接続され、ソースが上記第1のNMISトランジスタのゲートに接続され、ゲートが、上記第1のPMISトランジスタのドレインからの信号を受けてもよい。
この場合には、電源ラインにサージが印加されると、電源間静電放電保護回路がクランプし、このサージを接地ラインに逃がす。電源間静電放電保護回路がサージを逃がしている間、電源ラインの電位は上昇し、第1のPMISトランジスタがオンする。第1のPMISトランジスタがオンし、第2のNMISトランジスタのゲート電位はハイレベルとなり、第2のNMISトランジスタがオンする。第2のNMISトランジスタがオンすると、第1のNMISトランジスタのゲート電位は、電源ラインの電位よりも低い電位となる。
また、通常動作時には、電源ラインに電源電圧が加わった場合、第1のPMISトランジスタがオンし、第2のNMISトランジスタのゲート電位がハイレベルとなり、第2のNMISトランジスタがオンする。ここで、第2のNMISトランジスタによってゲート電位が降下(VDD−Vt)しても第1のNMISトランジスタの閾値電圧Vtよりも高く、オンを維持できるため、第1のNMISトランジスタはオンし、常に固定のローレベル信号を出力することができる。
また、上述の半導体集積回路装置において、上記第1のゲート電位制御回路は、上記第1のPMISトランジスタの上記ドレインと上記第2のNMISトランジスタの上記ゲートとの間に設けられた少なくとも1つの第3のNMISトランジスタをさらに有し、上記第3のNMISトランジスタでは、ドレインが上記電源ラインに接続され、ゲートが上記第1のPMISトランジスタの上記ドレインからの信号を受け、ソースが上記第2のNMISトランジスタの上記ゲートに信号を与えてもよい。
この場合には、第3のNMISトランジスタが設けられていることにより、第1のNMISトランジスタのゲートの電位がさらに降下するため、第1のNMISトランジスタのゲートと基板との間の電位差をさらに小さくすることができ、また、第1のNMISトランジスタのゲートへの電圧の印加もさらに遅延するため、ゲート絶縁膜破壊をより確実に防止することができる。
本発明の第2の半導体集積回路装置は、電源ラインと、接地ラインと、上記電源ラインにソースが接続される第2のゲート絶縁型素子と、上記第2のゲート絶縁型素子のドレインに接続され、ハイレベル信号を出力する高出力ラインと、上記電源ラインと上記接地ラインとに接続され、出力が上記第2のゲート絶縁型素子のゲートに接続され、上記第2のゲート絶縁型素子のゲート電位を制御することが可能な第2のゲート電位制御回路と、上記電源ラインと上記接地ラインとに接続される電源間静電放電保護回路とを備える。
これにより、電源ラインにサージが印加された場合には、電源間静電放電保護回路がクランプし、このサージを接地ラインに逃がす。電源間静電放電保護回路がサージを逃がしている間には電源ラインの電位が上昇するが、第2のゲート絶縁型素子のゲートの電位は、第2のゲート電位制御回路によって接地ラインの電位よりも浮いた値にすることができるため、第2のゲート絶縁型素子のゲートと基板との間の電位差を電源ラインと接地ラインの電位差よりも小さくすることができる。
さらに、第2のゲート電位制御回路によって、第2のゲート絶縁型素子のゲートへの電圧の印加が遅延するため、従来のように電源間静電放電保護回路がオンする前に第2のゲート絶縁型素子のゲートに高い電圧が印加されるのを防止することができる。以上のことにより、サージが印加された場合にはゲート絶縁膜破壊を防止することができる。また、通常動作時は固定のハイレベル信号を出力することができる。
上述の半導体集積回路装置において、上記第2のゲート絶縁型素子は第2のPMISトランジスタであって、上記第2のゲート電位制御回路は、第4のNMISトランジスタと、第3のPMISトランジスタとを有し、上記第4のNMISトランジスタでは、ソースが上記接地ラインに接続され、ゲートが上記高出力ラインに接続され、上記第3のPMISトランジスタでは、ドレインが上記接地ラインに接続され、ソースが上記第2のPMISトランジスタのゲートに接続され、ゲートが、上記第4のNMISトランジスタのドレインからの信号を受ける。
この場合には、電源ラインにサージが印加されると、電源間静電放電保護回路がクランプし、このサージを接地ラインに逃がす。電源間静電放電保護回路がサージを逃がしている間、電源ラインの電位は上昇し、第2のPMISトランジスタがオンする。第2のPMISトランジスタがオンし、高出力ラインはハイレベルとなり、第4のNMISトランジスタがオンする。第4のNMISトランジスタがオンすることで、第3のPMISトランジスタのゲート電位はローレベルとなり、第3のPMISトランジスタがオンする。第3のPMISトランジスタがオンすると、第2のPMISトランジスタのゲート電位は接地ラインの電位よりも浮いた電位となる。
また、通常動作時には、電源ラインに電源電圧が加わった場合、第2のPMISトランジスタがオンし、高出力ラインはハイレベルとなり、第4のNMISトランジスタはオンし、第3のPMISトランジスタのゲート電位はローレベルとなり、第2のPMISトランジスタがオンする。ここで、第3のPMISトランジスタによってゲート電位が上昇(VSS+Vt)しても第2のPMISトランジスタのオン電圧(VDD-Vt)よりも低く、オンを維持できるため、第2のPMISトランジスタはオンし、常に固定のハイレベルの信号を出力することができる。
上述の半導体集積回路装置において、上記第2のゲート電位制御回路は、上記第4のNMISトランジスタの上記ドレインと、上記第3のPMISトランジスタの上記ゲートとの間に設けられた少なくとも1つの第4のPMISトランジスタをさらに有し、上記第4のPMISトランジスタでは、ドレインが上記接地ラインに接続され、ゲートが上記第4のNMISトランジスタの上記ドレインからの信号を受け、ソースが上記第3のPMISトランジスタの上記ゲートに信号を与えてもよい。
この場合には、第4のPMISトランジスタが設けられていることにより、第2のPMISトランジスタのゲートの電位がさらに上昇するため、第2のPMISトランジスタのゲートと基板との間の電位差をさらに小さくすることができ、また、第2のPMISトランジスタのゲートへの電圧の印加もさらに遅延するため、ゲート絶縁膜破壊をより確実に防止することができる。
本発明の半導体集積回路装置によれば、通常動作時は、固定のローレベル及びハイレベル信号を別の回路へ供給することができ、また、静電放電等によるサージが電源ラインに印加された場合には、ゲート電位制御回路によって、信号を供給するトランジスタのゲート電位を低く抑えることができ、ゲート絶縁膜破壊を防止することができる。
(第1の実施形態)
以下に、本発明の第1の実施形態について図面を参照しながら説明する。図1は、第1の実施形態において、ゲート電位制御回路を有し、固定のローレベル信号を供給する半導体集積回路装置の構成を示す回路図である。
図1に示すように、本実施形態の半導体集積回路装置は、電源ライン1と接地ライン2との間に設けられたNMISトランジスタ3、ゲート電位制御回路4及び電源間静電放電保護回路14を備えている。NMISトランジスタ3は、接地ライン2に接続されるソースと、固定のローレベル信号を出力する低出力ライン5に接続されるドレインと、ゲート電位制御回路4の出力に接続されるゲートとを有している。
ゲート電位制御回路4は、NMISトランジスタ6とPMISトランジスタ7とを有している。PMISトランジスタ7は、電源電圧を供給する電源ライン1に接続されるソースと、NMISトランジスタ6のゲートに接続されるドレインと、低出力ライン5に接続されるゲートを有する。一方、NMISトランジスタ6は、電源ライン1に接続されるドレインと、NMISトランジスタ3のゲートに接続されるソースと、PMISトランジスタ7のドレインに接続されるゲートとを有している。
次に、本実施形態の半導体集積回路装置のサージ印加時及び通常動作時の動作について説明する。
まず、電源ライン1にサージが印加された場合には、電源間静電放電保護回路14がクランプし、このサージを接地ライン2に逃がす。電源間静電放電保護回路14がサージを逃がしている間、電源ライン1の電位は上昇し、PMISトランジスタ7がオンし、PMISトランジスタ7に接続されているNMISトランジスタ6のゲート電位はハイレベルとなり、NMISトランジスタ6がオンする。NMISトランジスタ6がオンすると、この分の電位の降下によってNMISトランジスタ3のゲート電位は電源ライン1の電位よりも低くなるため、NMISトランジスタ3のゲートと基板間の電位差を電源ラインと接地ラインの電位差よりも小さくすることができ、ゲート絶縁膜破壊を防止することができる。ここで、NMISトランジスタ6によってゲート電位が降下(VDD−Vt)してもNMISトランジスタ3の閾値電圧Vtよりも高くオンを維持できるため、たとえ電位の降下が起こってもNMISトランジスタ3はオンし、低出力ライン5はローレベル信号を出力する。
一方、通常動作の場合には、電源ライン1に電源電圧が印加されると、PMISトランジスタ7がオンし、NMISトランジスタ6のゲート電位はハイレベルとなり、NMISトランジスタ6がオンする。NMISトランジスタ6がオンすることで、この分の電位の降下によってNMISトランジスタ3のゲート電位は電源ライン1の電位よりも低下した電位となるが、NMISトランジスタ6によってゲート電位が降下(VDD−Vt)してもNMISトランジスタ3の閾値電圧Vtよりも高く、オンを維持できるので、たとえ電位の降下が起こってもNMISトランジスタ3はオンし、低出力ライン5はローレベル信号を出力する。この低出力ライン5のローレベル信号によって、PMISトランジスタ7はオン状態を維持し、常に低出力ライン5はローレベル信号を出力する。
以上のように、本実施形態では、電源ラインにサージが印加された場合に、ローレベル信号を出力するNMISトランジスタ3のゲートと基板との間に生じる電位差を電源ラインと接地ライン間の電位差よりも低く抑えることができるため、ゲート絶縁膜破壊を防止することができる。
さらに、PMISトランジスタ7によってNMISトランジスタ3のゲートへの電圧の印加が遅延するため、従来のように電源間静電放電保護回路14がオンする前にNMISトランジスタ3のゲートに高い電圧が印加されるのを防止することができ、これによってもゲート絶縁膜破壊を防止することができる。
また、NMISトランジスタ3からの出力信号を遅延させることで、出力ラインにつながる別の回路へ高い電位が加わることも防ぐことができる。
なお、上述の説明では、ゲート電位制御回路4に設けられるNMISトランジスタが1つである場合について説明したが、図2に示すようにNMISトランジスタは複数設けられていてもよい。図2は、第1の実施形態の変形例を示す回路図である。
図2において図1と異なる点は、ゲート電位制御回路4’において、PMISトランジスタ7のドレインとNMISトランジスタ3のゲートとの間にNMISトランジスタ8a, 8bが設けられている点である。より具体的には、NMISトランジスタ8aのゲートはPMISトランジスタ7のドレインに接続され、ドレインは電源ライン1に接続され、ソースはNMISトランジスタ8bのゲートに接続されている。そして、NMISトランジスタ8bのソースはNMISトランジスタ6のゲートに接続され、ドレインは電源ライン1に接続されている。なお、図2では、NMISトランジスタ8a, 8bの2つのトランジスタが設けられているが、このトランジスタが1つであってもよいし3つ以上であってもよい。
この構造では、PMISトランジスタ7がオンすると、NMISトランジスタ8a, 8b, 6が順にオンするため、これらのトランジスタの分だけ、NMISトランジスタ3のゲートの電位を電源ライン1よりも降下させることができ、また、NMISトランジスタ3のゲートに高い電圧が印加されるのを遅延させることができる。したがって、NMISトランジスタ3のゲート絶縁膜破壊を防止することができる。
(第2の実施形態)
以下に、本発明の第2の実施形態について図面を参照しながら説明する。図3は、第2の実施形態において、ゲート電位制御回路を有し、固定のハイレベル信号を供給する半導体集積回路装置の構成を示す回路図である。
図3に示すように、本実施形態の半導体集積回路装置は、電源ライン11と接地ライン12との間に設けられたPMISトランジスタ13、ゲート電位制御回路9及び電源間静電放電保護回路14を備えている。PMISトランジスタ13は、電源電圧を供給する電源ライン11に接続されるソースと、固定のハイレベル信号を出力する高出力ライン15に接続されるドレインと、ゲート電位制御回路9の出力に接続されるゲートとを有している。
ゲート電位制御回路9は、PMISトランジスタ16とNMISトランジスタ17とを有している。NMISトランジスタ17は、接地ライン12に接続されるソースと、PMISトランジスタ16のゲートに接続されるドレインと、高出力ライン15に接続されるゲートとを有する。一方、PMISトランジスタ16は、接地ライン12に接続されるドレインと、PMISトランジスタ13のゲートに接続されるソースと、NMISトランジスタ17のドレインに接続されるゲートとを有している。
次に、以上で説明した半導体集積回路装置について、以下、サージ印加時及び通常動作時のその動作を説明する。
まず、電源ライン11にサージが印加された場合には、電源間静電放電保護回路14がクランプし、このサージを接地ライン12に逃がす。電源間静電放電保護回路14がサージを逃がしている間、電源ライン11の電位は上昇し、PMISトランジスタ13がオンする。PMISトランジスタ13がオンすると、高出力ライン15はハイレベルとなり、PMISトランジスタ13のドレインに接続されるNMISトランジスタ17のゲートにハイレベルの電圧が供給される。そのため、NMISトランジスタ17はオンし、PMISトランジスタ16のゲートの電位はローレベルとなり、PMISトランジスタ16がオンする。PMISトランジスタ16がオンすると、PMISトランジスタ13のゲート電位は接地ライン12の電位よりも浮いた電位となり、PMISトランジスタ13のゲートと基板との間の電位差を電源ラインと接地ラインの電位差よりも小さくすることができ、ゲート絶縁膜破壊を防止することができる。ここで、PMISトランジスタ16によってゲート電位が上昇(VSS+Vt)してもPMISトランジスタ13のオン電圧(VDD-Vt)よりも低く、オンを維持できるので、たとえ電位の上昇が起こってもPMISトランジスタ13はオンし、高出力ライン15はハイレベルとなる。
一方、通常動作の場合には、電源ライン11に電源電圧が印加されると、PMISトランジスタ13がオンし、高出力ライン15にはハイレベル信号を出力する。高出力ライン15がハイレベルになると、高出力ラインにゲートが接続されるNMISトランジスタ17がオンし、PMISトランジスタ16のゲート電位がローレベルとなるため、PMISトランジスタ16がオンする。ここで、PMISトランジスタ16及びNMISトランジスタ17がオンすると、PMISトランジスタ13のゲート電位は接地ラインの電位レベルから浮いた電位となるが、PMISトランジスタ16によってゲート電位が上昇(VSS+Vt)してもPMISトランジスタ13のオン電圧(VDD-Vt)よりも低く、オンを維持できるので、たとえ電位の上昇が起こってもPMISトランジスタ13はオンし、高出力ライン15はハイレベルとなる。
以上のように、本実施形態では、電源ラインにサージが印加された場合に、ハイレベル信号を出力するPMISトランジスタ13のゲートと基板との間に生じる電位差を電源ラインと接地ライン間の電位差よりも低く抑えることができるため、ゲート絶縁膜破壊を防止することができる。
さらに、NMISトランジスタ17によってPMISトランジスタ13のゲートへの電圧の印加が遅延するため、従来のように電源間静電放電保護回路14がオンする前にPMISトランジスタ13のゲートに高い電圧が印加されるのを防止することができ、これによってもゲート絶縁膜破壊を防止することができる。
また、PMISトランジスタ13からの出力信号を遅延させることで、出力ラインにつながる別の回路へ高い電位が加わることも防ぐことができる。
なお、上述の説明では、ゲート電位制御回路4に設けられるPMISトランジスタが1つである場合について説明したが、図4に示すようにPMISトランジスタは複数設けられていてもよい。図4は、第2の実施形態の変形例を示す回路図である。
図4において図3と異なる点は、ゲート電位制御回路9’において、NMISトランジスタ17とPMISトランジスタ16との間にPMISトランジスタ18aが設けられている点である。より具体的には、PMISトランジスタ18aのゲートはNMISトランジスタ17のドレインに接続され、ソースがPMISトランジスタ16のゲートに接続され、ドレインは接地ライン12に接続されている。なお、図4では、PMISトランジスタ18aの2つのトランジスタが設けられているが、これが複数設けられていてもよい。
この構造では、NMISトランジスタ17がオンすると、PMISトランジスタ18a, 16が順にオンするため、これらのトランジスタの分だけPMISトランジスタ13のゲートの電位を接地ライン12よりも上昇させることができ、また、PMISトランジスタ13のゲートに高い電圧が印加されるのを防止することができる。したがって、PMISトランジスタ13のゲート絶縁膜破壊を防止することができる。
本発明の半導体集積回路装置は、電源間静電放電保護回路の能力を向上させるための保護回路の素子面積を増加することなく内部回路をサージから保護することが可能な点で産業上の利用可能性が高い。
第1の実施形態において、ゲート電位制御回路を有し、固定のローレベル信号を供給する半導体集積回路装置の構成を示す回路図である。 第1の実施形態の変形例を示す回路図である。 第2の実施形態において、ゲート電位制御回路を有し、固定のハイレベル信号を供給する半導体集積回路装置の構成を示す回路図である。 第2の実施形態の変形例を示す回路図である。 従来において、別の回路へ固定のローレベル信号を供給するための電気回路の構成を示す回路図である。 従来において、別の回路へ固定のハイレベル信号を供給するための電気回路の構成を示す回路図である。
符号の説明
1 電源ライン
2 接地ライン
3 NMISトランジスタ
4, 4’ ゲート電位制御回路
5 低出力ライン
6 NMISトランジスタ
7 PMISトランジスタ
8a NMISトランジスタ
8b NMISトランジスタ
9, 9’ ゲート電位制御回路
11 電源ライン
12 接地ライン
13 PMISトランジスタ
14 電源間静電放電保護回路
15 高出力ライン
16 PMISトランジスタ
17 NMISトランジスタ
18a PMISトランジスタ

Claims (4)

  1. 電源ラインと、
    接地ラインと、
    上記接地ラインにソースが接続される第1のNMISトランジスタと、
    上記第1のNMISトランジスタのドレインに接続され、ローレベル信号を出力する低出力ラインと、
    PMISトランジスタと第2のNMISトランジスタとを有するゲート電位制御回路と、
    上記電源ラインと上記接地ラインとに接続される電源間静電放電保護回路とを備え
    上記PMISトランジスタでは、ソースが上記電源ラインに接続され、ゲートが上記低出力ラインに接続され、
    上記第2のNMISトランジスタでは、ドレインが上記電源ラインに接続され、ソースが上記第1のNMISトランジスタのゲートに接続され、ゲートが、上記PMISトランジスタのドレインからの信号を受ける、半導体集積回路装置。
  2. 請求項1に記載の半導体集積回路装置であって、
    記ゲート電位制御回路は、上記PMISトランジスタの上記ドレインと上記第2のNMISトランジスタの上記ゲートとの間に設けられた少なくとも1つの第3のNMISトランジスタをさらに有し、
    上記第3のNMISトランジスタでは、ドレインが上記電源ラインに接続され、ゲートが上記PMISトランジスタの上記ドレインからの信号を受け、ソースが上記第2のNMISトランジスタの上記ゲートに信号を与える、半導体集積回路装置。
  3. 電源ラインと、
    接地ラインと、
    上記電源ラインにソースが接続される第1のPMISトランジスタと、
    上記第1のPMISトランジスタのドレインに接続され、ハイレベル信号を出力する高出力ラインと、
    NMISトランジスタと第2のPMISトランジスタとを有するゲート電位制御回路と、
    上記電源ラインと上記接地ラインとに接続される電源間静電放電保護回路とを備え
    上記NMISトランジスタでは、ソースが上記接地ラインに接続され、ゲートが上記高出力ラインに接続され、
    上記第2のPMISトランジスタでは、ドレインが上記接地ラインに接続され、ソースが上記第1のPMISトランジスタのゲートに接続され、ゲートが、上記NMISトランジスタのドレインからの信号を受ける、半導体集積回路装置。
  4. 請求項3に記載の半導体集積回路装置であって、
    記ゲート電位制御回路は、上記NMISトランジスタの上記ドレインと、上記第2のPMISトランジスタの上記ゲートとの間に設けられた少なくとも1つの第3のPMISトランジスタをさらに有し、
    上記第3のPMISトランジスタでは、ドレインが上記接地ラインに接続され、ゲートが上記NMISトランジスタの上記ドレインからの信号を受け、ソースが上記第2のPMISトランジスタの上記ゲートに信号を与える、半導体集積回路装置。
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