JP4276918B2 - 荷電粒子線装置 - Google Patents
荷電粒子線装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4276918B2 JP4276918B2 JP2003336654A JP2003336654A JP4276918B2 JP 4276918 B2 JP4276918 B2 JP 4276918B2 JP 2003336654 A JP2003336654 A JP 2003336654A JP 2003336654 A JP2003336654 A JP 2003336654A JP 4276918 B2 JP4276918 B2 JP 4276918B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- charged particle
- particle beam
- aperture
- objective lens
- hole
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Description
(走査速度,加速電圧など)やビーム傾斜条件(傾斜方向や傾斜角度)の指定、および画像の出力や記憶装置31への保存などを指定することができる。
16は長時間(数ヶ月間)使用するとコンタミネーションなどが発生してその絞り穴がふさがり、使用できなくなるのであるが、複数の絞り穴が設けられているため絞り板自体の交換頻度は低減することができる。図4(b)は異なる穴径の絞り穴16を複数備えた絞り板の実施例であるが、穴径を変えることによってプローブ電流を変化させることができる。もちろん、図1に示した陰極1,第一陽極2,第二陽極3などの条件を変えてもプローブ電流を変化させることはできるが、これらの条件を頻繁に変化させると陰極1からの一次電子線4の発生状態が不安定になり、装置の性能が劣化する場合がある。これらの条件を変化させることでは大幅にプローブ電流を変えることはできない。これに対して、絞り穴径を変更する手法であればこのような問題が生じない。図4(c)は異なる穴径の絞り穴16をそれぞれ複数設けた絞り板8の実施例である。図4(a),図4(b),図4(c)では4つの絞り穴16を設けた実施例を示しているが、もちろん絞り穴の数も種類もこの限りではない。なお、図4の実施例では全ての絞り穴が直線的に配置されていたが、隣り合う絞り穴16同士が十分な距離(例えば、絞り板8に照射される一次電子線4のビームスポット径よりも大きい距離)離れてさえいれば、図5(a)のように2次元的に配置されていても、図5(b)のように同心円状に配置されていても良い。
(b)に示したように、絞り板8の絞り穴16が開いていない場所に十分な面積(例えば、絞り板8に照射される一次電子線4aのビームスポット径よりも大きい面積)の場所を設け、一次電子線4aを試料10に照射する必用が無いタイミングにはこの位置に絞り板8を移動させるようにする。これによって、一次電子線4aが無用に絞り穴16に照射されるのを低減し、絞り板8の交換頻度を低減することができる。
26,記憶装置31,入力装置32,操作画面表示部33,記憶媒体34が装備されている。このような形態をとれば装置の近くに行かなくても絞り穴16の位置調整および位置登録を実施したり、各絞り穴16の使用履歴を確認したりすることができる。また、絞り穴16使用状況から、絞り板8の交換時期を予測できるので、装置の保守計画を作成する際の手助けになる。
Claims (4)
- 荷電粒子源と、
前記荷電粒子源から放出される荷電粒子線を集束して試料上で走査する荷電粒子光学系と、前記荷電粒子線の走査によって試料から発生する二次信号粒子を検出する検出手段とを備え、前記二次信号粒子検出手段の信号を用いて試料像を形成する荷電粒子線装置において、
前記荷電粒子光学系は、
対物レンズと、
当該対物レンズに前記荷電粒子線を照射する他のレンズと、
前記対物レンズに対する前記荷電粒子線の入射軌道を変化させることで、前記対物レンズの中心軸に対し斜めの方向から、前記荷電粒子線を試料に入射させる偏向器を有し、
前記荷電粒子線の一部だけを通過させるための絞り穴の開口中心を、前記対物レンズの中心軸に対し斜めの方向から、前記荷電粒子線が試料に入射するときに発生する軸外収差を打ち消す軸外収差を、前記他のレンズで発生するように、前記荷電粒子線の光軸外に、自動的に移動させる手段と、前記絞り穴の移動位置を検出する手段を備え、
前記絞り穴の開口中心を移動させる手段は、当該絞り穴への照射時間が所定時間に達した場合には、前記開口中心を、前記荷電粒子線の中心へ移動、或いは当該開口を他の絞り穴に替えることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 荷電粒子源と、前記荷電粒子源から放出される荷電粒子線を集束して試料上で走査する荷電粒子光学系と、前記荷電粒子線の走査によって試料から発生する二次信号粒子を検出する検出手段とを備え、前記二次信号粒子検出手段の信号を用いて試料像を形成する荷電粒子線装置において、
前記荷電粒子光学系は、
対物レンズと、
当該対物レンズに前記荷電粒子線を照射する他のレンズと、
前記対物レンズに対する前記荷電粒子線の入射軌道を変化させることで、前記対物レンズの中心軸に対し斜めの方向から、前記荷電粒子線を試料に入射させる偏向器を有し、
前記荷電粒子線の一部だけを通過させるための絞り穴の開口中心を、前記対物レンズの中心軸に対し斜めの方向から、前記荷電粒子線が試料に入射するときに発生する軸外収差を打ち消す軸外収差を、前記他のレンズで発生するように、前記荷電粒子線の光軸外に、自動的に移動させる手段と、前記絞り穴の移動位置を検出する手段を備え、前記絞り穴の開口中心を移動させる手段は、前記荷電粒子線を使用する必要がない場合に、前記絞り穴に荷電粒子線が照射されない位置まで移動させることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項2の荷電粒子線装置において、
再び荷電粒子線装置を使用する必要が生じた場合に、自動的に元の絞り穴位置に戻す手段と、元の絞り穴位置に戻した際に当該絞り穴の位置を最適な位置に自動調整する手段を備えることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 荷電粒子源と、前記荷電粒子源から放出される荷電粒子線を集束して試料上で走査する荷電粒子光学系と、前記荷電粒子線の走査によって試料から発生する二次信号粒子を検出する検出手段とを備え、前記二次信号粒子検出手段の信号を用いて試料像を形成する荷電粒子線装置において、
前記荷電粒子光学系は、
対物レンズと、
当該対物レンズに前記荷電粒子線を照射する他のレンズと、
前記対物レンズに対する前記荷電粒子線の入射軌道を変化させることで、前記対物レンズの中心軸に対し斜めの方向から、前記荷電粒子線を試料に入射させる偏向器を有し、
前記荷電粒子線の一部だけを通過させるための絞り穴の開口中心を、前記対物レンズの中心軸に対し斜めの方向から、前記荷電粒子線が試料に入射するときに発生する軸外収差を打ち消す軸外収差を、前記他のレンズで発生するように、前記荷電粒子線の光軸外に、自動的に移動させる手段と、前記絞り穴の移動位置を検出する手段と、前記荷電粒子線の照射時間と前記絞り穴の使用時間が重なった時間を計算し、記録する手段を備えることを特徴とする荷電粒子線装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003336654A JP4276918B2 (ja) | 2003-09-29 | 2003-09-29 | 荷電粒子線装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003336654A JP4276918B2 (ja) | 2003-09-29 | 2003-09-29 | 荷電粒子線装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005108470A JP2005108470A (ja) | 2005-04-21 |
JP4276918B2 true JP4276918B2 (ja) | 2009-06-10 |
Family
ID=34532686
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003336654A Expired - Fee Related JP4276918B2 (ja) | 2003-09-29 | 2003-09-29 | 荷電粒子線装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4276918B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5378185B2 (ja) * | 2009-12-08 | 2013-12-25 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 集束イオンビーム装置、及び集束イオンビーム加工方法 |
JP5735262B2 (ja) * | 2010-11-12 | 2015-06-17 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子光学装置及びレンズ収差測定方法 |
JP5464534B1 (ja) * | 2013-06-14 | 2014-04-09 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置及び荷電粒子線装置の調整方法 |
-
2003
- 2003-09-29 JP JP2003336654A patent/JP4276918B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005108470A (ja) | 2005-04-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11239053B2 (en) | Charged particle beam system and method | |
JP3944373B2 (ja) | 試料の測長方法、及び走査顕微鏡 | |
JP4679978B2 (ja) | 荷電粒子ビーム応用装置 | |
WO2014188882A1 (ja) | 荷電粒子線応用装置 | |
US10483088B2 (en) | Multi charged particle beam writing apparatus and multi charged particle beam writing method | |
EP0641011B1 (en) | An electron beam apparatus | |
JP6851181B2 (ja) | マルチビーム光学系の調整方法 | |
CN108463869B (zh) | 带电粒子束装置及其光轴调整方法 | |
US20130299715A1 (en) | Charged particle beam device | |
JP4621097B2 (ja) | 電子線装置およびその制御方法 | |
JP2010055756A (ja) | 荷電粒子線の照射方法及び荷電粒子線装置 | |
JP2014026834A (ja) | 荷電粒子線応用装置 | |
JP4616180B2 (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
JP4276918B2 (ja) | 荷電粒子線装置 | |
US8124940B2 (en) | Charged particle beam apparatus | |
JP2007012516A (ja) | 荷電粒子ビーム装置及び荷電粒子ビームを用いた試料情報検出方法 | |
JP3494068B2 (ja) | 荷電粒子線装置 | |
JP4221817B2 (ja) | 投射型イオンビーム加工装置 | |
JP2001006591A (ja) | 荷電粒子ビーム装置 | |
JP2002352758A (ja) | 荷電粒子線調整方法及び荷電粒子線装置 | |
KR20210014078A (ko) | 빔 위치 시각화를 위한 시스템 및 방법 | |
JP3911407B2 (ja) | 荷電粒子線走査式装置 | |
JP4528589B2 (ja) | マスク検査装置、マスク検査方法及び電子ビーム露光装置 | |
JP5896870B2 (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
JP6959969B2 (ja) | 荷電粒子線装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050928 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050928 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20060511 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20060511 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070412 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070424 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070621 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080226 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080428 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20080819 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080919 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081020 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20081202 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090224 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090309 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4276918 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120313 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120313 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130313 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130313 Year of fee payment: 4 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |