JP4272946B2 - 被測定物の変位検出装置 - Google Patents
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E.Yablonovitch,Phys.Rev.Lett.,58(1987)2059-2062 日本物理学会誌第55巻(2000)3月号172-179
前記被測定物から来る検出光が入射する様に配置された屈折率が周期的に変化する屈折率周期構造体(上記特許文献1の段落(0007)でも説明されている様に、一般に、フォトニック結晶とも呼ばれる。)と、
該屈折率周期構造体からの検出光の角度変化を計測する光検出手段と、を有し、
前記屈折率周期構造体は、前記検出光が該屈折率周期構造体に入射する角度の変化に比べて、該検出光が該屈折率周期構造体内を伝播する角度の変化が増幅されるように構成され、且つ該屈折率周期構造体を透過して出射した前記検出光が、前記伝播する角度を保持して前記光検出手段に入射するように構成されることを特徴とする。
上記伝播角度は、検出光が入射する屈折率周期構造体の入射面の法線に対して屈折率周期構造体内の伝播光の伝播方向が成す角度である。この基本構成に基づいて、以下のごとき態様が可能である。前記屈折率周期構造体は、屈折率周期構造体中の検出光の伝播角度と、屈折率周期構造体の端面から出射する検出光の出射角度(検出光が出射する屈折率周期構造体の出射面の法線に対して屈折率周期構造体外に出射する検出光の伝播方向が成す角度である)が等しくなるように、前記出射する端面が加工された形態をとり得る。また、前記検出光が出射する前記屈折率周期構造体の端面と前記光検出手段とが密着して設け得る。前記被測定物はカンチレバーであったりする。この場合、カンチレバーは、その中を伸びる光導波路を有し、検出光は、該光導波路を伝播して出射させて前記屈折率周期構造体に入射させ得る。さらには、カンチレバーは、その先端に前記光導波路と光学的に結合したマイクロレンズを有し、検出光は、該レンズを通って出射させて前記屈折率周期構造体に入射させ得る。或いは、検出光は、前記カンチレバーの反射面で反射させて前記屈折率周期構造体に入射させてもよい。前記屈折率周期構造体は、検出光の波長、偏光状態、この屈折率周期構造体への光の入射角を考慮して、入射面に対する伝播角度が屈折率周期構造体の上記屈折率異常のものとなる様に、その屈折率変調構造(周期、屈折率変化態様など)が設計されている。
また、本発明の他の変位検出装置は、カンチレバーの変位を、カンチレバーから来る検出光の角度変化を利用して検出する変位検出装置であって、
前記カンチレバーから来る検出光が入射する様に配置された屈折率が周期的に変化する屈折率周期構造体と、
前記屈折率周期構造体からの検出光の角度変化を計測する光検出手段と、を有し、
前記屈折率周期構造体は、前記検出光が該屈折率周期構造体に入射する角度の変化に比べて、該検出光が該屈折率周期構造体内を伝播する角度の変化が増幅されるように構成され、且つ該屈折率周期構造体を透過して出射した前記検出光が、前記伝播する角度を保持して前記光検出手段に入射するように構成され、
前記カンチレバーは、光導波路と、該カンチレバーの先端に該光導波路と光学的に結合したレンズと、を有し、
前記カンチレバーと前記屈折率周期構造体とは、
前記光導波路を伝播した前記検出光が、前記レンズで集光されて出射し、前記屈折率周期構造体に入射するように配置されることを特徴とする。
更に、本発明の他の変位検出装置は、プローブを有し、測定物と該プローブとの間に存在する物理量によって撓む被測定物の撓み量を検出するための変位検出装置であって、
光の入射角の変化を検出するための光検出手段と、
屈折率が周期的に変化するように構成される屈折率周期構造体と、を備え、
前記被測定物は、光を導波するための光導波路と、前記被測定物の先端の端面に密着されたレンズと、を有し、
前記光導波路により導波され且つ前記レンズにより集光された光が、前記屈折率周期構造体に入射するように構成されることを特徴とする。
図2に実施例1の構成を示す。図2中、上記のものと同一部に関しては同符号を用いる。本実施例の偏向素子101の出射面は、増幅された検出光の伝播角度と偏向素子101の端面から出射する検出光の出射角度が等しくなるように、加工されている(典型的には、検出光の入射位置をほぼ中心とする球面形状である)。そのため、偏向素子101によって、伝播角度が増幅された検出光は、増幅された角度を保持したまま、フォトディテクタ102に入射することができる。
102 フォトディテクタ
103 カンチレバー
103a プローブ
104 光源
105 サンプル
402 導波路
403 レンズ
Claims (7)
- 被測定物の変位を、該被測定物から来る検出光の角度変化を利用して検出する変位検出装置であって、
前記被測定物から来る検出光が入射する様に配置された屈折率が周期的に変化する屈折率周期構造体と、
該屈折率周期構造体からの検出光の角度変化を計測する光検出手段と、を有し、
前記屈折率周期構造体は、前記検出光が該屈折率周期構造体に入射する角度の変化に比べて、該検出光が該屈折率周期構造体内を伝播する角度の変化が増幅されるように構成され、且つ該屈折率周期構造体を透過して出射した前記検出光が、前記伝播する角度を保持して前記光検出手段に入射するように構成されることを特徴とする変位検出装置。 - 前記屈折率周期構造体は、前記検出光が入射する該屈折率周期構造体の入射面の法線に対して該屈折率周期構造体内を伝播する光の伝播方向が成す伝播角度と、前記入射面の法線に対して該屈折率周期構造体から出射する検出光の伝播方向が成す出射角度とが等しくなるように、該検出光が出射する該屈折率周期構造体の端面が球面形状に加工され、
前記検出光が前記入射面の中心に入射されるように構成されていることを特徴とする請求項1に記載の変位検出装置。 - 前記検出光が出射する前記屈折率周期構造体の端面と前記光検出手段とが密着して設けられていることを特徴とする請求項1に記載の変位検出装置。
- 前記被測定物は、光導波路と、該被測定物の先端に該光導波路と光学的に結合したレンズと、を有し、
前記被測定物と前記屈折率周期構造体とは、
前記光導波路を伝播した前記検出光が、前記レンズで集光されて出射し、前記屈折率周期構造体に入射するように配置されることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の変位検出装置。 - 前記被測定物はカンチレバーで、且つ該カンチレバーはプローブを有し、
測定物と前記プローブとの間に存在する物理量によって撓む前記カンチレバーの撓み量を検出することを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の変位検出装置。 - 光を発生させるための光源と、
前記光源が発生した光を前記光導波路に結合させるための導波路と、を有することを特徴とする請求項4に記載の変位検出装置。 - 前記屈折率周期構造体は、スーパープリズム効果が起きるように結晶構造が制御されているフォトニック結晶であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の変位検出装置。
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