JP4270931B2 - タッチセンサ - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、指など可動体の移動を検出する静電容量式のタッチセンサに係わり、特に可動体の位置などを簡単な構成により高精度且つ広い範囲にわたって検出できるようにしたタッチセンサに関する。
【0002】
【従来の技術】
図8は従来の静電容量式のタッチセンサの一部を示し、Aはタッチセンサの平面図、Bはタッチセンサの出力信号を示す図である。
【0003】
図8に示すように、このタッチセンサは静電容量を検出するための電極1と電極2とを有している。前記電極1および電極2の表面は絶縁シートで覆われているが、図8Aでは前記絶縁シートを省略している。
【0004】
前記電極1,2には所定の電圧が印加されており、この電極1,2を覆う前記絶縁シートの表面に指や入力ペンなどの可動体Hを接触させると、前記可動体Hと対向する電極1,2との間に静電容量Cが形成される。前記可動体Hと電極1との間の対向面積をS1、可動体Hと電極2との間の対向面積をS2、対向距離をd、誘電率をεとすると、前記可動体Hと電極1との間に形成される静電容量C1はC1=ε・S1/d、前記可動体Hと電極2との間に形成される静電容量C2はC2=ε・S2/dでそれぞれ規定される。そして、前記可動体Hを図示X1またはX2方向に移動させると、前記対向面積S1および対向面積S2が変化するため、前記静電容量C1および静電容量C2の大きさを変化させることが可能とされている。
【0005】
前記タッチセンサには、静電容量Cを電圧に変換するC/V変換手段が設けられており(図示せず)、前記可動体Hの移動により時間的に変化する静電容量C1および静電容量C2の大きさを検出することができるようになっている。
【0006】
指などの可動体Hを図示X1側からX2方向へ移動させたときに、前記C/V変換手段が静電容量C1を変換した電圧の信号をV1、静電容量C2を変換した電圧の信号をV2とすると、前記信号V1およびV2は図8Bに示されるようになる。
【0007】
よって、図示しない制御部が、前記C/V変換手段から出力される信号の順序として、最初に信号V1が検出され、次に信号V2が検出されたと認識した場合には、前記可動体Hは図示X1からX2方向に移動していると検知することができ、またその逆に最初に信号V2が検出され、次に信号V1が検出されたと認識した場合には、前記可動体Hは図示X2からX1方向に移動していると検知することができる。
【0008】
そして、制御部は、このような検知情報に基づき、例えば画面上のカーソルを移動させるなどの制御を行う。
【0009】
【特許文献1】
特開平2000−18905号公報
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記従来のタッチセンサでは以下に示すような問題がある。
(1)可動体を電極1から電極2に移動させた場合など、信号V1と信号V2とが重なる範囲Wでは、この間のデータに基づいて可動体Hの位置などを検出することが可能となるが、従来のタッチセンサでは前記範囲Wが狭いため、おおよその位置しか検出することができず、可動体Hの検出精度が粗くなりやすい。
(2)よって、可動体Hの移動をより広い範囲に設定し、且つ高い精度で検知したい場合には、前記のような電極1,2をX方向に複数並べて配置する必要があるが、このようなタッチセンサでは可動体Hの移動量が多くなるため、操作者に負担をかける。
(3)小型の電子機器などでは複数の電極を並べるためのスペースを確保することが困難である。
(4)さらに電極の数が増えると、これに対応して静電容量の変化を検出するC/V変換手段の数も増加せざる負えなくなるため、部品点数の増加および製造コストの高騰を免れない。
【0011】
本発明は上記従来の課題を解決するためのものであり、指などの可動体の移動量を少なくして操作者にかける負担を軽減することができるとともに、可動体の移動量を少なくした場合であっても、可動体の位置などを簡単な構成により高精度且つ広い範囲にわたって検出できるようにしたタッチセンサを提供することを目的としている。
【0012】
【課題を解決するための手段】
本発明は、一対の対向電極と、一対の前記対向電極の表面を覆う絶縁シートと、一対の前記対向電極に対向する可動体が前記絶縁シート上を移動するときに前記可動体と一対の前記対向電極との間に形成される静電容量を電圧に変換するC/V変換手段と、を備えたタッチセンサにおいて、
一対の前記対向電極は、ギャップを介して外周側の対向電極と内周側の対向電極とに分割され、外周側と内周側のそれぞれの対向電極は環状に形成され且つ前記ギャップは、一対の前記対向電極の一方の端部から他方の端部に向けて螺旋状に形成されることで、外周側の対向電極と内周側の対向電極の幅寸法が連続的に変化しており、
前記可動体を、一対の前記対向電極対向させながら一対の前記対向電極に沿って環状に移動させたときに、一方の対向電極は、可動体の移動量に応じて前記可動体との対向面積減少し、他方の対向電極は、可動体の移動量に応じて前記可動体との対向面積増加することを特徴とするものである。
【0013】
上記において、前記可動体を移動させたときに、前記可動体と一方の前記対向電極との対向面積が増加するときには、前記可動体と他方の前記対向電極との対向面積が減少し、且つ前記可動体と一方の前記対向電極との対向面積が減少するときには、前記可動体と他方の前記対向電極との対向面積が増加し、前記可動体と一方の前記対向電極との対向面積の増減と前記可動体と他方の前記対向電極との対向面積の増減が同時に且つ連続的に行われるものが好ましい
【0014】
本発明では、常に可動体に一対の対向電極が対向し、これらの間に2つの静電容量がそれぞれ形成されるため、実質的にはより広い範囲にわたって可動体の位置に関するデータなどを取得することができる。しかも2つの対向電極を用いて対向面積の増加と減少を同時に行わせることができ、これらの対向面積と可動体との間に形成された静電容量から可動体の位置などを高い精度で検出することが可能である。また多くの電極を配置する必要がないため、広いスペースを確保する必要がなく、小型の電子機器にも搭載することが可能である。
【0015】
例えば、前記C/V変換手段は、クロック信号を発生するクロック信号生成手段と、前記絶縁シート上を可動電極が移動するときに前記一対の対向電極で検知される容量に応じて前記クロック信号に立ち上がりの遅延を与える遅延手段と、前記遅延手段を経由しない前記クロック信号を基準として、遅延が与えられた遅延量に応じた信号を生成する平滑手段と、前記変化量に応じた信号をA/D変換するA/D変換手段と、を有するもので構成できる。
【0016】
上記C/V変換手段は、第1および第2の対向電極に対してそれぞれ設けるだけでよく、複数並設した個々の電極のすべてに設ける必要がないため、部品点数を削減することができ、製造コストを低廉することが可能となる。
【0017】
この場合、前記可動体と一方の対向電極との間に発生する静電容量を電圧に変換した第1の信号と、前記可動体と他方の対向電極との間に発生する静電容量を電圧に変換した第2の信号とから、前記可動体の位置が検出されるものとすることができる。
【0018】
2種類の信号から可動体の位置を検出することができるため、可動体の位置などの検出精度を高めることが可能となる。
【0019】
【発明の実施の形態】
図1は本発明の第1の参考例としてタッチセンサを示し、Aはタッチセンサの平面図、BはAのb−b線におけるタッチセンサの断面図、図2は静電容量を電圧に変換するC/V変換手段を示す回路構成図、図3は図2のC/V変換手段の各部における信号を示しており、AはAND回路の一方の入力部に入力されるクロック信号、BはAND回路の他方の入力部に入力される信号遅延手段からの出力信号、CはAND回路の出力信号、Dは平滑手段の出力信号を示している。また実線は静電容量Cが大きい場合、一点鎖線は静電容量Cが小さい場合を示している。図4はタッチセンサの移動距離と静電容量との関係を示す特性図、図5はタッチセンサの移動距離とC/V変換手段の出力電圧との関係を示す特性図である。
【0020】
図1Aに示すタッチセンサ10は、図示X方向に帯状に延びる電極の一方の対角部11aと他方の対角部12aとの間に所定の幅寸法からなるギャップ14を対角線状に形成することにより、略直角三角形状の第1の対向電極11と、同じく略直角三角形状の第2の対向電極12とに分割形成したものである。前記第1の対向電極11と第2の対向電極12とはギャップ14を介して対向しており、互いに絶縁された状態にある。なお、この参考例では、比較するためにタッチセンサ10の長手方向(X方向)の寸法が、上記従来の技術において説明したタッチセンサの電極1の左縁部と電極2の右縁部との間の長さと同じ寸法に設定されている。
【0021】
図1Bに示すように前記第1の対向電極11と第2の対向電極12の表面は所定の誘電率εを有する絶縁シート13で被覆されており、指等の人体の一部や入力ペンなどの可動体Hが、直接第1及び第2の対向電極11,12に接触できないようになっている。
【0022】
図2に示すように、前記可動体Hを前記絶縁シート13の表面に接触させると、可動体Hと前記第1の対向電極11との間に静電容量C1が形成され、可動体Hと第2の対向電極12との間に静電容量C2が形成される。
【0023】
ここで、前記可動体Hと第1の対向電極11との間の対向面積をS1、前記可動体Hと第2の対向電極12との間の対向面積をS2、絶縁シート13の誘電率をε、可動体Hと第1及び第2の対向電極11,12間の対向距離(絶縁シート13の厚み寸法)をdとすると、前記静電容量C1,C2は、それぞれ以下の数1および数2で規定される。
【0024】
【数1】
Figure 0004270931
【0025】
【数2】
Figure 0004270931
【0026】
前記静電容量C1,C2は、例えば図2に示すようなC/V変換手段20によって電圧に変換させられる。前記C/V変換手段20はクロック信号生成手段21、信号遅延手段22A,22B、遅延量検出手段23A,23B、A/D変換手段24A,24Bで構成されており、これらは制御部25で制御されている。
【0027】
前記クロック信号生成手段21は、所定の周波数からなる規則的なパルス信号を連続的に出力する。前記信号遅延手段22Aは、前記静電容量C1と前記クロック信号生成手段21との間に接続された抵抗R1とで構成され、前記信号遅延手段22Bは、前記静電容量C2と前記クロック信号生成手段21との間に接続された抵抗R2とで構成されている。なお、抵抗R1と抵抗R2とは同じ大きさであるものが好ましい(R1=R2=R)。
【0028】
前記遅延量検出手段23A,23Bは、ともにAND回路23aと、その後段に設けられた抵抗RaとコンデンサCaからなる平滑手段23bとで構成されている。一方の遅延量検出手段23A側では、前記AND回路23aの入力部23a1,23a2に前記静電容量C1側である信号遅延手段22Aを経由した信号と、前記クロック信号生成手段21の出力であるクロック信号CK(信号遅延手段22Aを経由しないクロック信号)とが入力されており、このAND回路23aの出力が前記平滑手段23bに入力されている。
【0029】
同様に、他方の遅延量検出手段23B側では、前記AND回路23aの入力部23a1,23a2に前記静電容量C2側である信号遅延手段22Bを経由した信号と、前記クロック信号生成手段21の出力であるクロック信号CK(信号遅延手段22Bを経由しないクロック信号)とが入力されており、このAND回路23aの出力が前記平滑手段23bに入力されている。
【0030】
前記遅延量検出手段23A,23Bの平滑手段23b,23bの後段には、例えば8ビットのA/D変換手段24A,24Bがそれぞれ接続されている。前記各A/D変換手段24A,24Bは、所定のサンプリング周期(例えばクロック信号CKの周期)で前記平滑手段23b,23bの出力電圧(アナログ量)V1,V2をディジタル出力D1,D2にそれぞれ変換して出力し、これを制御部25に送る。
【0031】
前記制御部25はCPUを主体として構成されており、各A/D変換手段24A,24Bから出力される各ディジタル出力D1,D2のデータを取得し、このデータを基にカーソルの移動などを行う。
【0032】
前記クロック信号生成手段21からは、図3Aに示すような振幅電圧Vccの所定の周波数からなるクロック信号CKが出力される。前記クロック信号CKがが遅延量検出手段23A,23BのAND回路23a,23aおよび信号遅延手段22A,22Bに出力されている状態において、前記可動体HをX1またはX2方向に移動させると、上記対向面積S1,S2が移動距離に比例して変化するため、静電容量C1,C2は対向面積S1,S2も比例して変化させられる。
【0033】
可動体Hを前記タッチセンサ10の絶縁シート13の表面に接触させた状態で、図示X1またはX2方向へ移動させた場合の可動体Hの位置と、第1及び第2の対向電極11,12との間の静電容量C1,C2とは図4に示すような関係となる。
【0034】
すなわち、図1Aおよび図4に示すように、可動体Hが実線で示す図示X1側に位置する場合には、前記対向面積S1は最大となるため、数1より静電容量C1も最大となる。同時に前記対向面積S2は最小となるため、数2より静電容量C2も最小となる。また可動体Hが一点鎖線で示す図示X2側に位置する場合には、前記とは逆に前記対向面積S1(静電容量C1)が最小になり、対向面積S2(静電容量C2)が最大となる。そして、可動体HをX1側からX2方向へ移動させていくと前記対向面積S1(静電容量C1)を連続的に徐々に減少させ、同時に対向面積S2(静電容量C2)を連続的に徐々に増加させることができる。同様に可動体HをX2側からX1方向へ移動させていくと、前記対向面積S2(静電容量C2)を連続的に徐々に減少させ、同時に対向面積S1(静電容量C1)を連続的に徐々に増加させることができる。
【0035】
そして、可動体Hが図示X1側の実線の位置からタッチセンサ10のX方向の中間部X0までの間では前記対向面積がS1>S2(静電容量はC1>C2)の関係にあり、中間部X0ではS1=S2(C1=C2)となる。また可動体Hが前記中間部X0を過ぎて図示X2側の一点鎖線に示す位置までの間ではS1<S2(C1<C2)の関係にある。
【0036】
可動体Hが図1Aに実線で示すX1側の端部に位置する場合には、対向面積はS1>S2(C1>C2)である。よって、一方の信号遅延手段22Aの出力は、前記信号遅延手段22Aの抵抗R1と静電容量C1(数1)の積で規定される時定数CRが大きくなるため、図3Bに実線で示すような三角波状の信号Saとなる。よって、前記AND回路23aの出力(論理積)は、図3Cに実線に示すようなパルス幅taのパルス波形となる。
【0037】
また他方の信号遅延手段22Bの出力は、前記信号遅延手段22Bの抵抗R2と静電容量C2(数2)の積で規定される時定数CRが小さくなるため、図3Bに一点鎖線で示すような信号Sbとなる。よって、前記AND回路23aの出力(論理積)は、図3Cに一点鎖線に示すようなパルス幅tbのパルス波形となる。なお、ここではAND回路23aにおけるHレベルとLレベルのしきい値SLをVcc/2としている。
【0038】
前記静電容量Cが大きい場合のパルス幅taと静電容量Cが小さい場合のパルス幅tbとは、ta<tbの関係にある。よって、図5に示すように、遅延量検出手段23Aの平滑手段23bがパルス信号を平滑した電圧(静電容量C1を変換した電圧)である第1の信号V1および遅延量検出手段23Bの平滑手段23bがパルス信号を平滑した電圧(静電容量C2を変換した電圧)である第2の信号V2は、可動体Hをタッチセンサ10上のX1側に移動させた場合(C1>C2)には、静電容量C2を変換した第2の信号V2の方が、静電容量C1を変換した第1の信号V1よりも大きな値(V1<V2)として出力される。
【0039】
また可動体Hが図1Aに一点鎖線で示すX2側の端部に位置する場合には、対向面積はS1<S2(C1<C2)である。よって、この場合には、図5に示すように静電容量C1を変換した第1の信号V1の方が、静電容量C2を変換した第2の信号V2よりも大きな値(V1>V2)として出力される。
【0040】
前記第1,第2の信号V1,V2は、前記A/D変換手段24A,24Bによってそれぞれディジタル出力D1,D2に変換されて前記制御部25に送られる。
【0041】
前記制御部25は、前記第1,第2の信号V1,V2を所定のサンプリング周期で検出することにより、可動体Hの移動に合わせて時間的に変化するディジタル出力D1,D2の検出を行っている。よって、制御部25は前記ディジタル出力D1,D2と、例えば図示しないメモリ手段内のテーブルに予め記憶されている可動体Hの位置を示すデータとを照合することにより、タッチセンサ10上の可動体Hの位置や移動距離を検出することが可能となる。また時間的に変化するディジタル出力D1,D2を基に前記移動距離を時間で微分することにより、可動体Hの移動速度や加速度を検出することも可能である。
【0042】
よって、制御部25はA/D変換手段24A側(C1側)のディジタル出力D1が電圧を増加させる方向に変化し、同時にA/D変換手段24B(C2側)のディジタル出力D2が電圧を減少させる方向に変化する場合には、可動体HがX1側からX2方向へ移動していることを検知することができる。また前記とは逆にA/D変換手段24A側(C1側)のディジタル出力D1が電圧を減少させる方向に変化し、同時にA/D変換手段24B(C2側)のディジタル出力D2が電圧を増加させる方向に変化する場合には、可動体HがX2側からX1方向へ移動していることを検知することができる。すなわち、可動体Hの移動方向を検知することができる。
【0043】
よって、制御部25は前記ディジタル出力D1,D2から算出される各種のデータに基づいて例えばモニタ画面上のカーソルの移動を行うことが可能となる。
【0044】
上記のタッチセンサ10では、帯状の電極に対角線状のギャップ14を形成して、可動体Hとの間の対向面積S1,S2の減少と増加とが同時に且つ連続的に生じるようにしたことにより、電極を移動方向に複数並べて配置する従来の場合に比べて、可動体Hの移動量を少なくすることができ、操作者にかける負担を軽減できる。
【0045】
しかも実際の可動体Hの移動量は少ない、または従来と変わらないにもかかわらず、可動体Hは常に第1及び第2の対向電極11,12と対向して静電容量C1,C2が形成されるようになるため、前記第1の信号V1と第2の信号V2とが重なる範囲W1を従来よりも広範囲とすることができる。よって、実質的にはより広い範囲にわたって前記第1の信号V1と第2の信号V2を取得することが可能となる。よって、高い精度で可動体Hの位置などを検出することが可能となる。また移動量を少なくすることができるため、タッチセンサ10を設けるためのスペースを少なくすることができ、小型の電子機器などに搭載することが可能となる。
【0046】
また制御部は第1の対向電極11に対応するディジタル出力D1と第2の対向電極12に対応するディジタル出力D2を用いることにより、可動体Hの位置を高い精度で検出することが可能となる。
【0047】
図6は第2の参考例を示すタッチセンサの平面図、図7は本発明の実施の形態を示すタッチセンサの平面図である。
【0048】
上記第1の参考例に示したタッチセンサでは、帯状の電極の対角部と対角部との間に一定の幅寸法からなる直線状に形成されたギャップ14を設けたもので説明したが、本発明はこれに限られるものではなく、可動体Hを移動させたときに、第1の対向電極は対向面積が徐々に減少させられる形状に形成され、且つ第2の対向電極は対向面積が徐々に増加させられる形状で形成されていればよく、例えば図6に示すようなタッチセンサ30であってもよい。
【0049】
図6に示す第2の参考例のタッチセンサ30では、X方向に延びる帯状の電極の一方の対角部と他方の対角部との間に円弧形状のギャップ34を形成し、第1の対向電極31と第2の対向電極32とに分割形成したものである。このような構成であっても可動体Hを電極が延びる方向に移動させると、一方の対向電極の対向面積が減少するときには、同時に他方の対向電極の対向面積を増加させることが可能である。よって、第1の参考例同様に高い精度で可動体Hの位置を検出することができる。
【0050】
また図7は、本発明の実施の形態として環状に配置した電極の一方の端部40aの内周側と、他方の端部40bの外周側との間に所定の幅寸法からなるギャップ44を螺旋状に形成することにより、第1の対向電極41と第2の対向電極42を分割形成したタッチセンサ40であ
【0051】
本発明の実施の形態に示すタッチセンサ40では、例えば可動体Hを第1の対向電極41および第2の対向電極42を覆う絶縁シート(図示せず)上に接触させた状態で、前記可動体Hを一方の端部40a側から他方の端部40bに向かって図示α1方向に回転するように移動させると、可動体Hと第1の対向電極41との間の対向面積S1を連続的に減少させることができ、同時に可動体Hと第2の対向電極42との間の対向面積S2を連続的に増加させることができる。また前記とは逆に端部40b側から他方の端部40aに向かって図示α2方向に移動させると、可動体Hと第1の対向電極41との間の対向面積S1を連続的に増加させることができ、同時に可動体Hと第2の対向電極42との間の対向面積S2を連続的に減少させることができる。よって、上記第1の参考例同様に、少ない移動量であるにもかかわらずより広い範囲に亘る可動体Hのデータを取得することができる。よって、高い精度で可動体Hの位置を検出することが可能となる。
【0052】
【発明の効果】
以上のように本発明では、指などの可動体の移動量を少なくして操作者にかける負担を軽減することができる。
【0053】
しかも可動体の移動量を少なくした場合であっても、可動体の位置などを簡単な構成により高精度且つ広い範囲にわたって検出できるようにしたタッチセンサを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の参考例としてタッチセンサを示し、Aはタッチセンサの平面図、BはAのb−b線におけるタッチセンサの断面図、
【図2】静電容量を電圧に変換するC/V変換手段を示す回路構成図、
【図3】図2のC/V変換手段の各部における信号を示しており、AはAND回路の一方の入力部に入力されるクロック信号、BはAND回路の他方の入力部に入力される信号遅延手段からの出力信号、CはAND回路の出力信号、Dは平滑手段の出力信号、
【図4】タッチセンサの移動距離と静電容量との関係を示す特性図、
【図5】タッチセンサの移動距離とC/V変換手段の出力電圧との関係を示す特性図、
【図6】第2の参考例を示すタッチセンサの平面図、
【図7】本発明の実施の形態を示すタッチセンサの平面図、
【図8】従来の静電容量式のタッチセンサの一部を示し、Aはタッチセンサの平面図、Bはタッチセンサの出力信号を示す図、
【符号の説明】
10,30,40 タッチセンサ
11,31,41 第1の対向電極
12,32,42 第2の対向電極
13 絶縁シート
14,34,44 ギャップ
20 C/V変換手段
21 クロック信号生成手段
22A,22B 信号遅延手段
23A,23B 遅延量検出手段
23a AND回路
23b 平滑手段
24A,24B A/D変換手段
25 制御部
S1 可動体と第1の対向電極との対向面積
S2 可動体と第2の対向電極との対向面積
C1 可動体と第1の対向電極との間の静電容量
C2 可動体と第2の対向電極との間の静電容量
V1 第1の信号(静電容量C1を変換した電圧)
V2 第2の信号(静電容量C2を変換した電圧)
D1 ディジタル出力(第1の信号をディジタル信号に変換したデータ)
D2 ディジタル出力(第2の信号をディジタル信号に変換したデータ)
ε 誘電率
d 対向距離
H 可動体(指などの人体又は入力ペンなど)

Claims (4)

  1. 一対の対向電極と、一対の前記対向電極の表面を覆う絶縁シートと、一対の前記対向電極に対向する可動体が前記絶縁シート上を移動するときに前記可動体と一対の前記対向電極との間に形成される静電容量を電圧に変換するC/V変換手段と、を備えたタッチセンサにおいて、
    一対の前記対向電極は、ギャップを介して外周側の対向電極と内周側の対向電極とに分割され、外周側と内周側のそれぞれの対向電極は環状に形成され且つ前記ギャップは、一対の前記対向電極の一方の端部から他方の端部に向けて螺旋状に形成されることで、外周側の対向電極と内周側の対向電極の幅寸法が連続的に変化しており、
    前記可動体を、一対の前記対向電極対向させながら一対の前記対向電極に沿って環状に移動させたときに、一方の対向電極は、可動体の移動量に応じて前記可動体との対向面積減少し、他方の対向電極は、可動体の移動量に応じて前記可動体との対向面積増加することを特徴とするタッチセンサ。
  2. 前記可動体を移動させたときに、前記可動体と一方の前記対向電極との対向面積が増加するときには、前記可動体と他方の前記対向電極との対向面積が減少し、且つ前記可動体と一方の前記対向電極との対向面積が減少するときには、前記可動体と他方の前記対向電極との対向面積が増加し、前記可動体と一方の前記対向電極との対向面積の増減と前記可動体と他方の前記対向電極との対向面積の増減が同時に且つ連続的に行われる請求項1記載のタッチセンサ。
  3. 前記C/V変換手段は、クロック信号を発生するクロック信号生成手段と、前記絶縁シート上を前記可動体が移動するときに一対の前記対向電極で検知される容量に応じて前記クロック信号に立ち上がりの遅延を与える遅延手段と、前記遅延手段を経由しない前記クロック信号を基準として、遅延が与えられた遅延量に応じた信号を生成する平滑手段と、前記遅延量に応じた信号をA/D変換するA/D変換手段と、を有する請求項1または2に記載のタッチセンサ。
  4. 前記可動体と一方の前記対向電極との間に発生する静電容量を電圧に変換した第1の信号と、前記可動体と他方の前記対向電極との間に発生する静電容量を電圧に変換した第2の信号とから、前記可動体の位置が検出される請求項1ないしのいずれか1項に記載のタッチセンサ。
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