JP4249144B2 - 導波路作製方法および光導波路 - Google Patents
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以下に本発明の実施例を、図2を参照しながら具体的に説明する。なお、本実施例は一つの例示であって、本発明の精神を逸脱しない範囲で種々の変更あるいは改良を行いうることは言うまでもない。
2 下部クラッド層
3 コア層
4,13 マスク
5 コアリッジ
6 上部クラッド層
12 クラッド層
14 溝
15 コア
16 上部クラッド
Claims (4)
- KTax’Nb1−x’O3(0≦x’≦1)結晶材料からなる基板上に、KTaxNb1−xO3(0≦x≦1)結晶材料からなる薄膜を形成して光導波路を作製する導波路作製方法において、
前記基板上に、KTaxNb1−xO3(0≦x≦1)結晶材料からなるクラッド層を形成する工程と、
前記クラッド層に前記光導波路のコアのパターンに応じたマスクを形成し、前記コアを埋め込むための溝を形成する工程と、
選択エピタキシャル成長により前記溝にコアを形成する工程と、
選択エピタキシャル成長により前記コアの上に上部クラッドを形成する工程とを備え、
前記マスクの材料は、白金、金のいずれかであり、前記光導波路に電界を加えるための電極として用いることを特徴とする導波路作製方法。 - 前記KTaxNb1−xO3(0≦x≦1)結晶材料に、添加不純物として周期率表Ia、IIa族の1または複数種を含むことを特徴とする請求項1に記載の導波路作製方法。
- KTax’Nb1−x’O3(0≦x’≦1)結晶材料からなる基板上に、KTaxNb1−xO3(0≦x≦1)結晶材料からなる薄膜を形成した光導波路において、
前記基板上に、KTaxNb1−xO3(0≦x≦1)結晶材料からなるクラッド層と、
該クラッド層に埋設された前記光導波路のコアと、
前記クラッド層の上に形成された前記コアのパターンに応じた電極であって、白金、金のいずれかの材料からなり、前記光導波路に電界を加えるための電極とを備え、
前記電極は、前記コアを埋め込むために溝を形成し、選択エピタキシャル成長により前記溝に前記コアと上部クラッドとを形成する際にマスクとして用いられたことを特徴とする光導波路。 - 前記KTaxNb1−xO3(0≦x≦1)結晶材料に、添加不純物として周期率表Ia、IIa族の1または複数種を含むことを特徴とする請求項3に記載の光導波路。
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