JP4249003B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
しかしながら、前記垂直型ステージでは、バンプへの熱の伝わりが悪く、500℃前後の高温にする必要があった。
第1番目の発明は、インナーリードと半導体チップ上のバンプとの位置合わせを行う位置合わせ工程と、前記位置合わせした状態のままでインナーリードボンディングを行うインナーリードボンディング工程とを備えた半導体装置の製造方法において、前記インナーリードボンディング工程は、ボンディングツールと加熱手段を有する熱伝性の良い金属製台形のステージを用いることを特徴とする。
なお、本発明に係る実施例の全図において、同一機能を有するものと同一符号を付けその繰り返しの説明は省略する。
2…半導体チップ 3…リード
3A…インナーリード 4…バンプ
5…ソルダーレジスト
11…ステージ 11A…ステージの上面
11B…ステージ台 12…ツール
13…ガイド 14…クランパ
21…ツールヒータ 22、24…熱電対
23…ステージヒータ 25…支持台
26…断熱材 27…ステージ高さ調整台
Claims (9)
- (a)ボンディングツールと、前記ボンディングツールと対向するように設けられ、かつ金属からなり、かつ加熱手段を有し、かつ断面形状が台形からなるステージを有するボンディング装置を準備する工程と、
(b)フィルムと、前記フィルム上に形成されたリードと、前記フィルム上に形成され、かつ前記リードの一部であるインナーリードと、前記リード上に形成されたソルダーレジストを有するテープを準備する工程と、
(c)バンプを有する半導体チップを前記ステージ上に配置する工程と、
(d)前記テープを前記ボンディングツールと前記半導体チップの間に配置する工程と、
(e)前記ボンディングツールに荷重を加えて前記インナーリードと前記半導体チップのバンプを電気的に接続する工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1記載の半導体装置の製造方法において、
前記(e)工程の後に、前記半導体チップと前記テープの間を樹脂封止する工程を行うことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1記載の半導体装置の製造方法において、
前記ステージは、ステージ載置台と、前記ステージ載置台上に設けられたステージ部で構成されており、
前記ステージ載置台は、平面形状が円盤で構成され、
前記ステージ部は、前記ステージ載置台の平面と垂直方向に交差する断面形状が台形で構成されていることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項3記載の半導体装置の製造方法において、
前記ステージ部の傾斜角度は70度であることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項3記載の半導体装置の製造方法において、
前記ステージ載置台は、コバルトからなることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1記載の半導体装置の製造方法において、
前記(e)工程では、前記ステージの温度は、設定値が表面実測値よりも高いことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1記載の半導体装置の製造方法において、
前記(e)工程の後に製造される半導体装置は、COFであることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1記載の半導体装置の製造方法において、
前記ボンディング装置は、さらにガイドと、前記ガイドと対向するように設けられたクランパを有し、
前記(d)工程では、前記テープは前記ガイドと前記クランパで挟持されていることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項8記載の半導体装置の製造方法において、
前記(d)工程では、前記テープのインナーリードと前記半導体チップのバンプを位置合わせした状態で行うことを特徴とする半導体装置の製造方法。
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