JP4239902B2 - インクジェットヘッド及びインクジェットプリンタ - Google Patents
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Description
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、吐出精度が高く、ワイピング特性の良好なインクジェットヘッドとその製造方法、インクジェットプリンタを提供することを目的とする。
本構成では、緩衝壁構造を一方の基板の吐出側と反対側の面に作りこむことによって、吐出側の面にこれらの構造による段差が生じないようにしている。このため、従来と同様の吐出精度を維持しつつ、良好なワイピング特性を得ることができる。
本方法では、緩衝壁を形成するための凹部を前記一方の基板の吐出側と反対側の面に形成しているため、吐出側の面には従来のような凹凸形状は形成されない。このため、ワイピング特性の優れたインクジェットヘッドを提供することができる。
本発明の製造方法では、前記一方の基板がシリコン基板又はホウ珪酸ガラスからなることが望ましい。これにより、ヘッドの信頼性向上及び低コスト化を図ることができる。
以下、本発明の一実施の形態である、インクジェットヘッドを備えたインクジェットプリンタについて説明する。尚、本実施形態では記録紙等に文字や画像を印刷するプリンタを例示して説明するが、本発明におけるインクジェットプリンタは、記録紙等に印刷する形態に限らず、工業的に用いられる液滴吐出装置(例えばカラーフィルタ製造装置や、有機EL素子製造装置、配線パターン形成装置等)も含めたものである。
次に、図1に示したインクジェットヘッド1の構成について説明する。図2は、本実施形態のインクジェットヘッド1の概観形状を示す斜視図及びその分解斜視図であり、図3はその部分断面図である。以下の説明では、インクジェットヘッド1を単にヘッド1と称することもある。
次に、インクジェットヘッド1の製造方法を図6を用いて説明する。
まず、図6(a)に示すように、ノズルプレート用の比較的厚めのシリコン基板(シリコン基板)30を用意する。ノズルプレート2には、ステンレス等の金属基板やアクリル等の樹脂基板を用いることもできる。しかし、金属基板は微細加工が難しく、樹脂基板はワイピングの際に吐出面が摩耗したり、撥水性状を維持できない等の問題がある。シリコン基板を用いた場合には、これらの問題が生じないため、ヘッドの信頼性向上及び低コスト化を図ることができる。
Claims (2)
- 対向する一対の基板間に、インクを収容する共通インク室と該共通インク室に連通する圧力室とを備え、前記一対の基板の一方の基板の表面に前記圧力室に連通するノズルが形成されており、前記圧力室の圧力変動により前記圧力室内に収容されたインクを前記ノズルを介して吐出するインクジェットヘッドであって、
前記一方の基板の前記共通インク室に対応する部分に、前記一方の基板の吐出側と反対側の面を加工して形成された凹部を有し、前記凹部によって前記一方の基板の厚みを減じることによって前記一方の基板に前記共通インク室内の圧力変動を緩衝するための可撓性の緩衝壁が形成される一方、前記一方の基板の吐出側の面であって前記緩衝壁から前記ノズルの開口部までの連続した面が平坦面に形成され、前記一方の基板の吐出側と反対側の面であって前記緩衝壁が形成された部分に、前記緩衝壁を補強するための梁が形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。 - 請求項1に記載のインクジェットヘッドを備えたことを特徴とするインクジェットプリンタ。
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