JP4232183B2 - 気密検査方法及び装置 - Google Patents
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Description
本発明は、最近のこのような問題点に鑑みてなされたものである。本発明の主な目的は、超音波を用いて水槽内に定在音場を作り出し、その定在音場が水槽内の超音波反射環境により一義的に生じる再現性のある定在音場であることに着目し、水槽内の漏洩による超音波反射環境の変化に伴う定在音場の変化を受信波形から検出することで、従来の気密検査装置では対応できないほどの微少漏洩を検知し、且つ受信波形を演算解析することによりその漏洩位置を推定することもできる高性能な気密検査装置を提供することにある。
13:検査液
14:液面
16:検査気体
17:超音波送信部
25:送信器
30:超音波受信部
30A:第1の超音波受信部
30B:第2の超音波受信部
35:受信器
40:被検査物
41:欠陥部
45:給気管
50:加圧給気装置
60:コントローラ
65:演算部
70:フィルター
71:鋼管
72:保持装置
73:空気圧送装置
74:貫通孔
75:検出装置
76:水槽
77:記録計
Claims (4)
- 検査液槽内の検査液中に被検査物を浸漬させて、被検査物に接続される配管から被検査物内に気体を供給し、加圧された被検査物の欠陥部から発生する気泡を検知することで被検査物の気密性を検査する気密検査方法において、
前記検査液槽内の異なる任意の位置に超音波送信部と、超音波受信部とを配置し、
前記検査液槽内に超音波送信部から既定のパターン波形を繰り返し送信するような周期性超音波によって定在音場を作り出し、超音波受信部において被検査物の欠陥部から発生した気泡による前記定在音場の変化を定在波形の周波数パワースペクトルの変化として検知し、加圧前と加圧後の前記周波数パワースペクトルを比較することにより被検査物の気密性を検査することを特徴とする気密検査方法。 - 前記検査液槽外に検知演算部を備え、前記検査液槽内の任意の異なる2カ所以上に超音波受信部を配置し、該配置された超音波受信部の各々で受信された、被検査物の欠陥部から発生した気泡による前記定在波形の周波数パワースペクトルの変化を互いに比較することにより、被検査物の欠陥部から発生した気泡の発生位置を演算処理により推定することを特徴とする請求項1に記載の気密検査方法。
- 検査液槽内の検査液中に被検査物を浸漬させて、被検査物に接続された配管から被検査物内に気体を供給し、加圧された被検査物の欠陥部から発生する気泡を検知することで被検査物の気密性を検査する気密検査装置であって、
前記検査液槽内の検査液に対して超音波を送信し、前記検査液槽内に隙間無く定在波を作り出すために、前記検査液槽内の任意の位置に超音波送信部を配置すると共に、
前記検査液槽内の異なる任意の位置に超音波受信部を配置し、
前記検査液槽内に前記超音波送信部から既定のパターン波形を繰り返し送信するような周期性超音波によって定在音場を作り出す一方、前記超音波受信部において被検査物の欠陥部から発生した気泡による前記定在音場の変化を定在波形の周波数パワースペクトルの変化として検知し、加圧前と加圧後の前記周波数パワースペクトルを比較することにより被検査物の気密性を検査するようになしたことを特徴とする気密検査装置。 - 検査液槽外に検知演算部を設けると共に、前記検査液槽内の任意の異なる2カ所以上に夫々超音波受信部を配置して該配置された超音波受信部の各々で受信された、被検査物の欠陥部から発生した気泡による前記定在波形の周波数パワースペクトルの変化を互いに比較することにより、被検査物の欠陥部から発生した気泡の発生位置を上記検知演算部で演算処理することにより推定することを可能となしたことを特徴とする請求項3に記載の気密検査装置。
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