JP2020143938A - 超音波式漏れ検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】検査液槽内を浮上する微細な気泡を広い領域で検出する。【解決手段】超音波式漏れ検査装置は、被検査物Ｗを検査液Ｌに水没させる検査液槽１と、検査液槽１の送信壁６に配置されて超音波振動の送信ビームを放射する超音波送信部２と、検査液槽１の受信壁７に配置されて超音波振動を所定の受信ビームで受信する超音波受信部３とを備えている。検査液槽１は、送信壁６と受信壁７を対向して配置している。超音波送信部２は、送信壁６の内側に配置された複数の超音波振動子４を備え、各々の超音波振動子４は、超音波振動を放射する送信ビームの方向を受信壁７の方向とする姿勢に配置している。超音波受信部３は、受信壁７の内側に配置された複数の超音波センサ５を備え、超音波センサ５は、送信ビームの中心軸４ｘからずれた位置に配置され、最大感度となる受信ビームの中心軸５ｘが、検査液槽１内において送信ビームの中心軸４ｘに交差する姿勢としている。【選択図】図２

Description

本発明は、超音波を利用して液中を浮上する気泡を検出して漏れを検査する装置に関し、とくに、内部に中空部のある被検査物の小孔やクラック等を検出するのに最適な超音波式漏れ検査装置に関する。

本発明者は、液中を浮上する微細な気泡を検出することで、ガソリンタンクやマフラー等のように、内部を密閉構造の中空部とする部品のピンホールやクラック等を検査する装置を開発した。（特許文献１参照）
この検査装置は、被検査物の開口部を密閉して水等の検査液に水没し、被検査物の内部に空気を圧入して、ピンホールなどの微細な隙間からの空気漏れで発生する気泡を検出する。

特開２００７−４７０５６号公報

本発明者が先に開発した検査装置を、図１５の斜視図に示す。この検査装置９０は、開口部を密閉して加圧空気を圧入した被検査物Ｗを水等の検査液Ｌに水没し、ピンホールやクラックからの空気の漏れを、液中を浮上する気泡Ｂに超音波を放射して検出する。この検査装置９０は、検査液Ｌに超音波を放射する超音波振動子９４と、液中に放射された超音波振動を受信する超音波センサ９５とを設けている。この検査装置９０は、超音波を検査液Ｌ中に放射して検査液Ｌを浮上する気泡Ｂを検出する。超音波が気泡に当たるとその９０％以上を反射するので、反射波を検出して気泡を検出できる。また検査液中を上昇する気泡は、螺旋運動や振り子運動、表面形状の変化等の揺動を伴って浮上するので、超音波を放射するとその反射波は揺動に伴う周波数偏移を生じる。さらに超音波は回折し、重畳するので、気泡の後方でも観測される。このように気泡の揺動に応じて、反射波の周波数偏移の量が異なるので、これらを検出して気泡の状態、すなわち被検査物の気密性や漏れ量等を検出できる。

以上の検査装置は、検査液中を浮上する気泡を検出して被検査物の漏れを発見できる特徴がある。この方式の検査装置は、検査液槽の広い範囲で浮上する微細な気泡を検出できることが大切である。図１５に示す検査装置９０は、検査液槽９１のひとつの内面に、上下に離して超音波振動子９４と超音波センサ９５を配置している。この図の検査装置９０は、超音波振動子９４の下方に超音波センサ９５を配置して、超音波振動子９４で下向きに超音波振動の送信ビームを放射して、気泡の反射波を下方に配置する超音波センサ９５で受信する。この検査装置９０は、送信ビームを通過する気泡が反射する超音波振動を超音波センサ９５で受信する。超音波は指向性が鋭いので、超音波振動子９４は鋭い送信ビームで超音波を放射し、超音波センサ９５は鋭い受信ビームで超音波を受信する。図１５の検査装置９０は、検査液槽９１の中央部の反射領域を浮上する気泡の反射波を、超音波センサ９５が高い感度で受信する。超音波センサ９５の受信ビームが鋭いので、反射領域の外側を浮上する気泡の反射波は、受信ビームから離れるにしたがって受信感度が低下するので、信号レベルが小さくなって気泡を確実に検出できなくなる。送信ビームの中心軸に配置する超音波センサは、送信ビームの中心軸に位置するので、超音波振動子が放射する直接波を強い信号レベルで受信して、気泡が反射する弱い反射波を直接波から分離して検出するのが難しい。したがって、図１５に示す従来の検査装置９０は、検査液槽９１の内部を広い領域で浮上する微細な気泡を安定して確実に検出するのが難しい欠点がある。

本発明は、従来の以上の欠点を解消することを目的に開発されたもので、本発明の大切な目的は、極めて簡単な構造としながら、検査液槽の内部を浮上する微細な気泡を広い領域で検出できる超音波式漏れ検査装置を提供することにある。

本発明のある態様に係る超音波式漏れ検査装置は、検査液Ｌ中に被検査物Ｗを水没させた状態で、被検査物Ｗから漏れ出る気泡Ｂの有無を検出して被検査物Ｗの漏れを検出する。超音波式漏れ検査装置は、被検査物Ｗを検査液Ｌに水没させる検査液槽１と、検査液槽１の送信壁６に配置されて検査液Ｌに超音波振動の送信ビームで放射する超音波送信部２と、検査液槽１の受信壁７に配置されて検査液Ｌの超音波振動を所定の受信ビームで受信する超音波受信部３とを備えている。検査液槽１は、送信壁６と受信壁７を対向して配置している。超音波送信部２は、送信壁６の内側に配置してなる複数の超音波振動子４を備えている。各々の超音波振動子４は、超音波振動を放射する送信ビームの方向を受信壁７の方向とする姿勢に配置している。超音波受信部３は、受信壁７の内側に配置してなる複数の超音波センサ５を備えている。超音波センサ５は、送信ビームの中心軸４ｘからずれた位置に配置され、かつ、最大感度となる受信ビームの中心軸５ｘが、検査液槽１内において送信ビームの中心軸４ｘに交差する姿勢に配置されている。

以上の超音波式漏れ検査装置は、簡単な構造で検査液槽の内部を浮上する微細な気泡を広い領域で検出できる特長がある。

本発明の一実施形態に係る超音波式漏れ検査装置の概略斜視図である。 本発明の一実施形態に係る超音波式漏れ検査装置の垂直横断面図である。 本発明の一実施形態に係る超音波式漏れ検査装置の平面図である。 超音波振動子から放射される送信ビームの模式図である。 図２に示す超音波式漏れ検査装置の超音波センサが気泡を検出する範囲を示す模式断面図である。 超音波送信部の超音波振動子から時分割で超音波を発生させるタイミングを示すタイミングチャートである。 気泡がない場合の反射波のスペクトルを示すグラフである。 小さな気泡が１個ある場合の反射波のスペクトルを示すグラフである。 小さな気泡が複数個ある場合の反射波のスペクトルを示すグラフである。 大きな気泡が１個ある場合の反射波のスペクトルを示すグラフである。 大きな気泡が複数個ある場合の反射波のスペクトルを示すグラフである。 気泡がない場合の直接波の振幅波形を示すグラフである。 気泡がある場合の直接波の振幅波形を示すグラフである。 本発明の他の実施形態に係る超音波式漏れ検査装置の垂直横断面図である。 従来の検査装置の概略斜視図である。

以下、図面に基づいて本発明を詳細に説明する。なお、以下の説明では、必要に応じて特定の方向や位置を示す用語（例えば、「上」、「下」、及びそれらの用語を含む別の用語）を用いるが、それらの用語の使用は図面を参照した発明の理解を容易にするためであって、それらの用語の意味によって本発明の技術的範囲が制限されるものではない。また、複数の図面に表れる同一符号の部分は同一もしくは同等の部分又は部材を示す。
さらに以下に示す実施形態は、本発明の技術思想の具体例を示すものであって、本発明を以下に限定するものではない。また、以下に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対的配置等は、特定的な記載がない限り、本発明の範囲をそれのみに限定する趣旨ではなく、例示することを意図したものである。また、一の実施の形態、実施例において説明する内容は、他の実施の形態、実施例にも適用可能である。また、図面が示す部材の大きさや位置関係等は、説明を明確にするため、誇張していることがある。

本発明の第１の発明の超音波式漏れ検査装置は、検査液中に被検査物を水没させた状態で、被検査物から漏れ出る気泡の有無を検出して被検査物の漏れを検出する。この超音波式漏れ検査装置は、被検査物を検査液に水没させる検査液槽と、検査液槽の送信壁に配置されて検査液に超音波振動の送信ビームで放射する超音波送信部と、検査液槽の受信壁に配置されて検査液の超音波振動を所定の受信ビームで受信する超音波受信部とを備える。検査液槽は、送信壁と受信壁を対向して配置している。超音波送信部は、送信壁の内側に配置してなる複数の超音波振動子を備える。各々の超音波振動子は、超音波振動を放射する送信ビームの方向を受信壁の方向とする姿勢に配置している。超音波受信部は、受信壁の内側に配置している複数の超音波センサを備える。超音波センサは、送信ビームの中心軸からずれた位置に配置されて、最大感度となる受信ビームの中心軸が、検査液槽内において送信ビームの中心軸に交差する姿勢で配置されている。

以上の超音波式漏れ検査装置は、検査液槽の送信壁に超音波送信部を配置して、対向する受信壁に超音波受信部を設けており、超音波送信部の超音波振動子は受信壁に向かって超音波振動を放射する。超音波は可聴周波数に比べて周波数が高いので、超音波振動子は超音波振動を鋭い送信ビームで検査液中に放射する。超音波受信部は、超音波センサの特定の位置に、特定の姿勢で配置して、気泡の反射波を効果的に受信する。図２に示すように、超音波センサ５は、送信ビームの中心軸４ｘからずれた位置に配置されて、超音波振動子４の直接波を強い信号レベルで受信しない。すなわち、超音波センサ５が受信する直接波の信号レベルを低くしている。さらに、超音波センサ５は、最大感度となる受信ビームの中心軸５ｘが、検査液槽１内において送信ビームの中心軸４ｘに交差する姿勢で配置されて、気泡からの反射波を広い範囲で検出する。

超音波振動子と超音波センサの指向性は、周波数が高くなるほど鋭くなるので、可聴周波数に比較して周波数の高い超音波は、送信ビームと受信ビームの指向性が極めて鋭くなる。送信ビームの鋭い超音波振動子は、狭い範囲に収束して強い超音波振動を放射し、受信ビームの鋭い超音波センサは、狭い範囲の超音波振動を高感度に受信する。送信ビームが狭いほど、放射領域の超音波振動は強くなり、受信ビームが鋭くなるほど、受信領域の受信感度が高くなるからである。したがって、鋭い送信ビームで超音波振動を放射する、超音波の放射領域において強い超音波振動となり、鋭い受信ビームの超音波センサは、狭い受信領域の超音波振動を高感度に受信する。このことは、微細な気泡の検出に極めて有効である。微細な気泡を強い超音波振動で励起して反射波のレベルを強くし、高い受信感度で微細な気泡からの弱い反射波を確実に受信できるからである。

送信ビームと受信ビームが鋭いことは、検査液槽の内部を浮上する気泡を検出できる領域を狭く制限する。送信ビームと受信ビームの両方に含まれる領域において、微細な気泡を確実に検出できるからである。図２において、超音波振動子４は送信ビームの範囲内に強い超音波振動を放射するので、送信ビーム内を浮上する気泡を強い超音波振動で励起する。超音波センサ５は、受信ビームの範囲内の気泡Ｂからの反射波を高感度に受信する。図２において、超音波センサ５の姿勢、すなわち向きは、最高感度となる受信ビームの中心軸５ｘを、検査液槽１内において、送信ビームの中心軸４ｘに交差するように配置している。この姿勢に配置される超音波センサ５は、送信ビームの中心軸４ｘの両側に受信ビームが広がるので、送信ビームの中心軸４ｘの近傍を浮上する気泡Ｂからの反射波を高感度に受信する。さらに、超音波センサは、送信ビームの中心軸からずれた位置に配置しているので、超音波振動子からの直接波の信号レベルを低くできる。強い直接波と、気泡からの微弱な反射波の両方を検出する超音波センサは、信号レベルの高い直接波の信号レベルを低下できることで、微弱な反射波が強い反射波でマスクされるのを抑制して、微弱な反射波を高感度に検出できる。微弱な反射波を安定に検出することが難しいのは、直接波に比べて極めて信号レベルが低く、さらに、周波数が極めて接近することの原因となる。超音波センサの位置を送信ビームの中心軸からずらして直接波の信号レベルを低くすることは、微弱な気泡からの反射波を検出に有効に作用する。

本発明の第２の発明の超音波式漏れ検査装置は、超音波センサが、最大感度となる受信ビームの中心軸を、検査液槽内において送信ビームの中心軸の中央部で交差する姿勢に配置している。

以上の超音波式漏れ検査装置は、送信ビーム内を浮上する気泡の反射波を受信する感度差を少なくして、広い領域を浮上する気泡をより均等に検出できる特長がある。それは、図２に示すように、超音波センサ５の受信ビームの中心軸５ｘが、送信ビームの中心軸４ｘの中央部と交差する姿勢に超音波センサ５を配置するので、送信ビーム内を浮上する気泡Ｂの反射波を受信ビームの中心軸５ｘに近い領域に配置して、高感度に検出できるからである。

本発明の第３の発明の超音波式漏れ検査装置は、超音波振動子と超音波センサが、検査液槽の内面に水平方向に並べて配置されている。

本発明の第４の発明の超音波式漏れ検査装置は、超音波振動子と超音波センサが、検査液槽の内面に、水平視において互いに対向位置に配置されている。

本発明の第５の発明の超音波式漏れ検査装置は、超音波送信部と超音波受信部が、送信ビームと受信ビームを下向きとする姿勢に検査液槽に配置されている。

本発明の第６の発明の超音波式漏れ検査装置は、超音波送信部と超音波受信部が検査液槽の内面のほぼ同一平面に配置されている。

本発明の第７の発明の超音波式漏れ検査装置は、受信壁において、超音波センサの中心と送信ビームの中心軸との変位間隔（ｄ）を５ｍｍ〜５０ｍｍとしている。

本発明の第８の発明の超音波式漏れ検査装置は、超音波センサが、受信ビームの中心軸を、検査液槽内における送信ビームの中心軸の中央部を向く姿勢に配置されている。

本発明の第９の発明の超音波式漏れ検査装置は、検査液槽が、第１ないし第４の周壁からなり、上方の開口部を四角形とする直方体で、第１の周壁と第３の周壁が対向し、かつ第２の周壁と第４の周壁が対向して配置されており、超音波送信部が、超音波を第３の周壁に向かって放射するように第１の周壁に配置され、超音波受信部が、第３の周壁に配置されている。

（実施の形態１）
本発明の実施の形態１に係る超音波式漏れ検査装置を図１〜図３に示す。図１は超音波式漏れ検査装置の概略斜視図を、図２は漏れ検査装置の垂直横断面図を、図３は漏れ検査装置の平面図をそれぞれ示している。これらの図に示す超音波式漏れ検査装置１００は、被検査物Ｗを検査液Ｌに水没させる検査液槽１と、検査液槽１の送信壁６に配置されて検査液Ｌに超音波振動の送信ビームを放射する超音波送信部２と、検査液槽１の受信壁７に配置されて検査液Ｌの超音波振動を所定の受信ビームで受信する超音波受信部３と、超音波送信部２と超音波受信部３に接続しているコントローラ３０とを備えている。

（検査液槽１）
図１に示す検査液槽１は、上方の開口部を四角形とする直方体形状であって、底板１５の周囲に周壁１０を設けている。周壁１０は、第１の周壁１１ないし第４の周壁１４からなり、第１の周壁１１と第３の周壁１３を対向位置に配置して、第２の周壁１２と第４の周壁１４を対向位置に配置している。図１の検査液槽１は、上方開口部を長方形とする細長い直方体である。この検査液槽１は、第１の周壁１１と第３の周壁１３を、平面視における長手方向の両側に設けた側面板とし、第２の周壁１２と第４の周壁１４を長手方向の両端に設けた端面板としている。図の検査液槽１は、第１の周壁１１を送信壁６として超音波送信部２を配置し、第３の周壁１３を受信壁７として超音波受信部３を配置している。超音波送信部２と超音波受信部３は、周壁１０の上部であるが、液面レベルよりも下に配置される。超音波送信部２は、浮上する気泡Ｂに超音波を放射し、超音波受信部３は気泡Ｂからの反射波を受信する位置に配置される。

（超音波送信部２）
超音波送信部２は、複数の超音波振動子４を所定の間隔で水平方向に並べて配置している。各々の超音波振動子４は、図１の矢印Ａで示す方向に超音波振動を放射する。超音波振動子４から放射される超音波は、所定の面積で検査液Ｌ中を直進する。超音波振動子４は、特定の指向性で超音波振動を放射する。超音波振動子４が特定の指向性で超音波振動を放射する送信ビームを図４に示している。この図に示すように、超音波振動子４は、送信ビームの中心軸４ｘに最も強く超音波振動を放射して、その周囲にも超音波振動を放射する。送信ビームの放射角は超音波振動子４の指向性で特定される。超音波振動子４の指向性は、周波数やホーンの形状等で調整できるが、一般的には送信ビームの放射角は約８〜３０度である。半値角(θ）は、超音波振動の強さが１／２に半減する角度で、指向性を表す指標のひとつである。半値角（θ）は、角度をずらして超音波振動の強度を測定して、信号レベルが中心軸の１／２に低下する角度である。したがって、超音波振動子４は、半値角（θ）の内側において超音波振動の強さを、送信ビームの中心軸４ｘの１／２以上にできる。

超音波振動子４は、送信ビームの半値角(θ）を小さくして、すなわち超音波振動を狭く収束して、遠い距離まで強い強度に放射できる。半値角（θ）の小さい超音波振動子４は、離れた位置の超音波振動を強くできるので、超音波振動子４から離れた位置の気泡を検出できる。しかしながら、半値角（θ）の狭い超音波振動子４は、狭い領域に特定して超音波振動を放射するので、気泡を検出できる検出範囲が狭くなる。

超音波送信部２は、複数の超音波振動子４を、超音波の放射方向、すなわち送信ビームの中心軸４ｘを平行とする姿勢で、所定の間隔で水平方向に並べて、送信ビームを放射する。超音波送信部２は、複数の超音波振動子４で超音波振動を放射して、送信ビームを平行に並べて、検査液Ｌを浮上する気泡Ｂを検出する超音波振動面を構成する。超音波振動子４の間隔は、超音波振動面にほぼ均一に超音波を放射する間隔に設定される。超音波振動子４の間隔が広すぎると、超音波振動子４の間の超音波振動が弱くなって、この領域を浮上する気泡Ｂを確実に検出できなくなる。超音波振動子４の間隔を狭くして、超音波振動面の全体を充分な強度の超音波振動にできるが、超音波振動子４の個数が多くなって部品コストが高くなる。したがって、超音波振動子４の間隔は、超音波振動面をほぼ均一な超音波振動としながら、できる限り超音波振動子４の個数を少なくするように、たとえば、１ｃｍよりも広く、５ｃｍよりも狭くする。

超音波振動子４は、送信ビームの半値角（θ）で超音波振動を放射する角度が特定されるので、超音波送信部２に配置される複数の超音波振動子４は、送信ビームの半値角（θ）で隣接する超音波振動子４の間隔を最適値に調整し、半値角（θ）の大きい超音波振動子４は間隔を広く、半値角（θ）の小さい超音波振動子４は間隔を狭くする。このことから、超音波振動子４の間隔は、前述した範囲には特定されず、超音波振動子４の特性、検査する精度などを考慮して最適値に設定される。

（超音波受信部３）
超音波受信部３は、複数の超音波センサ５を水平方向に並べて配置している。超音波センサ５は、超音波振動の入射角で受信感度が変化し、受信ビームの中心軸５ｘの方向から入射する超音波振動の感度が最大となる。超音波送信部２は、複数の超音波振動子４を水平方向に並べて配置している。超音波振動子４は、送信ビームの中心軸４ｘの方向に最も強く超音波振動を放射する。図３の平面図に示すように、超音波センサ５と超音波振動子４は水平面内において対向位置に配置されて、対向位置にある超音波振動子４の超音波振動に励起された気泡Ｂの反射波を超音波センサ５で受信する。この構造の超音波式漏れ検査装置１００は、対向位置にある超音波振動子４からの超音波振動を対向位置の超音波センサ５で受信するので、対向位置にある超音波振動子４との間を浮上する気泡Ｂからの反射波を超音波センサ５が高い感度で受信できる。

超音波式漏れ検査装置１００において、直接波の受信レベルを低くして、反射波の受信レベルを高くすることは、微細な気泡の検出に有効である。超音波センサ５が、受信感度を高くして低レベルの反射波を受信できるからである。漏れ検査装置１００は、直接波と反射波の両方を検出して気泡Ｂを検出し、あるいはドップラー効果で反射波の周波数が変化したことを検出して気泡Ｂを検出できるが、直接波と反射波の両方を検出する装置においては、直接波は信号レベルが高いので、超音波センサ５を受信ビームの中心軸５ｘからずらした位置に配置して、超音波センサ５が検出する直接波の信号レベルを低くしても、直接波は充分な信号レベルで受信できる。反射波は、直接波に比べて信号レベルが低いので、いかに高感度に検出できるかは、いずれの方式の漏れ検査装置においても微細な気泡の検出において極めて重要である。

このことから、微弱な信号レベルの反射波を確実に安定して検出することは、漏れ検査装置において極めて重要である。ただ、微細な気泡が反射する超音波の信号レベルは極めて低いので、超音波センサ５は、極めて高い感度で低レベルの反射波を安定して受信する高感度、ローノイズ特性が要求される。超音波センサ５は、低レベルの反射波を検出するが、超音波センサ５は、反射波のみでなく、超音波振動子４が検査液Ｌに放射する直接波も検出する。直接波は、反射波に比較して信号レベルが高いので、低感度の超音波センサ５で検出できるが、低感度の超音波センサ５では低レベルの反射波を確実に安定して検出できない。さらに、反射波は直接波に対して周波数が変化しているが、その割合は極めて少なく、反射波と直接波の周波数差は極めて小さい。周波数が近似し、かつ信号レベルが極めて低い反射波を確実に検出するために、低レベルの反射波を効率よく超音波センサ５で受信し、高レベルの直接波の信号レベルを低くするために、超音波センサ５は超音波振動子４の直接波を最大感度で受信しない位置に配置される。

このことを実現するために、図２の垂直断面図に示す超音波式漏れ検査装置１００は、超音波振動子４が超音波を放射する中心軸４ｘ上に超音波センサ５を配置しないで、放射される超音波振動の中心軸４ｘからずれた位置に超音波センサ５を配置している。超音波センサ５が超音波振動が放射される中心軸４ｘ上に配置されると、気泡Ｂで反射されない超音波振動である直接波が超音波センサ５に入射されるからである。超音波放射の中心軸４ｘに配置されない超音波センサ５は、直接波の入力レベルが低下して、反射波を高い感度で受信できる。

超音波受信部３は、低レベルの反射波を検出して気泡Ｂを検出するが、微細な気泡Ｂによる反射波の信号レベルは極めて低い。低レベルの反射波を検出する超音波受信部３は、ノイズレベルを低くして、低レベルの反射波を高いＳ／Ｎ比で安定して検出できるかが、微細な気泡Ｂを安定して検出できる検出能力に影響を与える。検査液Ｌ中に超音波振動を放射する漏れ検査装置は、検査液Ｌに放射された超音波振動があらゆる面に衝突して反射され、拡散されて、超音波振動子４から超音波センサ５までの距離が変化して位相のずれた超音波が互いに干渉してノイズ成分となって超音波センサ５に受信される。ノイズ成分は、高感度に反射波を受信する超音波受信部３のＳ／Ｎ比を低下させて、実質的に受信できる反射波の最低レベルを高くする原因となる。超音波受信部３が受信できる反射波の最低レベルは、検出できる気泡Ｂの大きさに影響を与える。したがって、より微細な気泡Ｂを検出するために、超音波センサ５が検出するノイズ成分を低くして、より低レベルの反射波を安定して確実に受信することが大切である。

超音波受信部３は、検査液Ｌ中を浮上する気泡Ｂの反射波を高感度に受信する位置と姿勢に配置される。超音波受信部３は、複数の超音波センサ５を備え、超音波センサ５を所定の間隔で水平方向に並べている。超音波受信部３は複数の超音波センサ５を、超音波送信部２は複数の超音波振動子４を水平方向に並べて配置している。超音波受信部３は複数の超音波センサ５を水平方向に並べて配置しているが、超音波送信部２の超音波振動子４と、超音波受信部３の超音波センサ５は同じ個数として、水平面内において、すなわち平面視において、超音波振動子４の対向位置に超音波センサ５を配置して、各々の超音波センサ５は、対向位置にある超音波振動子４からの超音波振動、すなわち対向位置にある超音波振動子４からの直接波と気泡Ｂの反射波を受信する。

超音波センサ５も、超音波振動子４と同様に鋭い指向性があり、さらに受信ビームの半値角（θ）を狭くして受信感度を高くできる。受信感度の高い超音波センサ５は、気泡Ｂからの微弱な反射波を受信できるので、超音波センサ５は、受信ビームの半値角（θ）を狭く、たとえば８度ないし３０度とする。超音波センサ５の半値角（θ）は、受信する超音波振動の周波数やホーンで調整できる。超音波センサ５は、半値角（θ）の内側にある気泡Ｂからの反射波を、送信ビームの中心軸４ｘに対して１／２以上の信号レベルで受信できる。

超音波受信部３は、超音波振動子４からの直接波の信号レベルを低くするために、送信ビームの中心軸４ｘからずれた位置に超音波センサ５を配置している。直接波は気泡Ｂの反射波に比較して信号レベルが高いので、送信ビームの中心軸４ｘから離れた位置に配置して、超音波振動子４の直接波を充分な信号レベルで受信できる。超音波センサ５は、送信ビームの中心軸４ｘに接近して配置するほど、直接波の信号レベルが高くなり、送信ビームの中心軸４ｘから離れるにしたがって、直接波の信号レベルが低くなる。受信壁７に超音波センサ５を配置する位置は、すなわち、超音波センサ５の中心と送信ビームの中心軸４ｘとの変位間隔（ｄ）は、送信ビームと受信ビームの半値角（θ）を考慮して最適値に設定されるが、好ましくは５ｍｍ以上であって５０ｍｍ以下に設定される。受信ビームの半値角（θ）が広い超音波センサ５は、変位間隔（ｄ）を大きくして、検査液槽１中を浮上する気泡Ｂの水平面内における検出範囲を広くできる。

図５は、超音波センサ５が、検査液槽１中を浮上する気泡Ｂを検出する範囲を示している。この超音波受信部３は、超音波センサ５の位置を、送信ビームの中心軸４ｘから半値角（θ）の範囲に配置している。この超音波センサ５は、直接波の信号レベルを送信ビームの中心軸４ｘに対して１／２以上の信号レベルで受信できる。超音波センサ５の位置を、送信ビームの半値角（θ）の内側に配置する漏れ検査装置は、直接波の信号レベルを高くできるので、気泡Ｂの検出に直接波と反射波の両方を利用する方式に適している。漏れ検査装置は、ドップラー効果で反射波の周波数が変化することを検出して気泡Ｂを検出することもできるので、この漏れ検査装置は、直接波を高い信号レベルで検出する必要がないので、超音波センサ５の位置を送信ビームの半値角（θ）の外側に配置することもできる。反射波のドップラー効果から気泡Ｂを検出する漏れ検査装置においても、超音波センサ５の位置を送信ビームの半値角（θ）の内側に配置することで、気泡Ｂからの反射波の信号レベルを高くできる。送信ビームの半値角（θ）の内側にある気泡Ｂは、超音波振動子４から放射される超音波振動が強いので、気泡Ｂからの反射波も強くなるからである。したがって、超音波センサ５は、好ましくは、送信ビームの半値角（θ）の内側に配置される。

図５の漏れ検査装置１００は、送信ビームの中心軸４ｘと受信ビームの中心軸５ｘが検査液槽１内において交差する姿勢に、超音波センサ５を配置している。この図の漏れ検査装置１００は、受信ビームの中心軸５ｘが送信ビームの中心軸４ｘの中央部で交差する姿勢に超音波センサ５を配置している。この姿勢に配置される超音波センサ５は、受信ビームの両側に広がる領域を検出範囲として気泡Ｂを広い領域で広くできる。好ましくは、検査液槽１中における受信ビームと送信ビームの交差点Ｘは、送信ビームの中心軸４ｘの中央よりも受信壁７に変位した位置とする。受信ビームが、送信壁６から受信壁７に向かって次第に広がって、中央部よりも受信壁７側において、半値角内の領域が広くなるからである。

図５に示す漏れ検査装置は、送信ビームと受信ビームとが重なる領域（図において薄墨を付した領域）において、気泡Ｂは、送信ビームの中心軸４ｘの１／２以上の強さの超音波振動で励起され、かつ受信ビームの中心軸５ｘの１／２以上の信号レベルで反射波を受信できる。したがって、送信ビームと受信ビームの交差する領域を浮上する気泡Ｂは、充分な超音波振動レベルで励起され、かつ気泡Ｂが放射する反射波が充分な信号レベルで超音波センサ５に受信される。気泡Ｂが超音波振動に励起されるエネルギーは、超音波振動子４から離れるにしたがって低下するが、気泡Ｂからの反射波は超音波センサ５に接近するにしたがって強くなるので、超音波センサ５は、送信ビームと受信ビームとが重なる領域を浮上する気泡Ｂからの反射波を充分な信号レベルで受信できる。超音波振動子４から離れて超音波センサ５に接近する領域を浮上する気泡Ｂは、超音波振動のエネルギーは低下するが超音波センサ５の受信感度が高くなり、超音波センサ５から離れて超音波振動子４に接近する領域を浮上する気泡Ｂは、超音波センサ５の受信感度は低下するが、励起される超音波振動のエネルギーが強くなって、気泡Ｂの反射波が強くなるので、超音波センサ５は充分な信号レベルで反射波を受信できる。

以上の漏れ検査装置は、以下の状態で使用されて被検査物の漏れを検出する。
検査液槽１に充填された検査液Ｌに被検査物Ｗを水没させる。被検査物Ｗは、浮上する気泡Ｂの反射波を超音波受信部３で受信できるように、超音波送信部２と超音波受信部３を配置した水平面よりも低い位置まで被検査物Ｗを水没させ、被検査物Ｗから漏れ出る気泡Ｂが超音波送信部２と超音波受信部３の間を通過するようにしている。

また、超音波送信部２及び超音波受信部３は、コントローラ３０と接続される。コントローラ３０は、超音波受信部３で受信した超音波を検出して気泡Ｂの有無を検出する気泡検出部（図示せず）を備える。コントローラ３０は、外付けのコンピュータ等の外部機器とすることもできるが、超音波式漏れ検査装置自体にコントローラ３０を組み込むことにより、外部機器を付加することなく気泡検出やその位置、量の検出を実現できる。コントローラ３０には、超音波受信部３が検出した直接波と反射波、又は反射波の周波数変化から、浮上する気泡Ｂを検出して表示する表示部（図示せず）を備える。表示部はＣＲＴや液晶パネル等とすることができる。またコントローラ等の部材を操作するための操作パネルやコンソール、キーボード等の入力デバイスを必要に応じて設ける。

さらに、検査液槽１内には、検査液Ｌに水没された被検査物Ｗの内部に圧縮空気を供給するためのエアー配管３１を備える。これにより、被検査物Ｗに圧縮空気を送出して、被検査物Ｗに小孔や亀裂が存在する場合に小孔や亀裂から気泡Ｂの漏れを生じさせる。気泡Ｂは検査液槽１内の検査液Ｌ中を上昇し、検査液Ｌの液面に到達して破消する。超音波振動子４から放射する超音波振動は、気泡Ｂを励起して反射波を放射する。超音波受信部３は、気泡Ｂの反射波と、超音波振動子４からの直接波を受信する。コントローラ３０は、反射波と直接波の両方で、あるいは反射波で気泡Ｂを検出して、気密漏れを判定する。さらに、コントローラ３０は、気泡Ｂの位置、発生量なども検出する。

検査液槽１は、検査液Ｌを蓄える水槽であり、上方を開口した略矩形状の容器型に形成される。また検査液槽１の壁面には、超音波送信部２及び超音波受信部３がそれぞれ配置される。超音波送信部２の超音波振動子４は、受信壁７に向けて超音波振動を放射する。コントローラ３０は、反射波を検出して、水平面内で超音波の進行方向における気泡Ｂの発生位置を放射から反射までの時間差として検出できる。また複数の超音波振動子４を水平面内に並べて配置し、各超音波振動子４から各々超音波を時分割で線状にバースト放射することで面状の検出面を構成でき、反射波と直接波から気泡Ｂの発生位置も検出できる。

超音波送信部２は、全ての超音波振動子４から同時に超音波を放射し、あるいは、隣接する超音波振動子４を時分割に切り替えて超音波を放射する。隣接する超音波振動子４が、時分割に切り換えて順番に超音波を放射する漏れ検査装置は、隣接する超音波振動子４の干渉を防止し、高い分解能で超音波を検出できる。図６は、複数の超音波振動子４から時分割で超音波を発生させるタイミングチャートを示す。この図に示すように、バースト状の超音波を発生させるタイミングを時分割で切り替え、検査液槽１中を超音波振動子４の配列方向に隙間無く順次走査するように超音波を放射する。これによって、超音波を放射したタイミングから反射波、直接波を検出するまでの時間差と、どこの超音波センサ５が反射波を受信したかを検出して、気泡Ｂの発生位置つまり漏れ位置を特定できる。

隣接して配置する各々の超音波振動子を時分割で切り替えて超音波を放射する構成に限らず、隣接する複数の超音波振動子から同時に超音波を放射して、複数の超音波振動子と対向位置にある超音波センサとをペアとして直接波と反射波を検出することもできる。また、超音波振動子と超音波センサとを必ずしも一対に対向位置に配置する必要はなく、例えば一つの超音波振動子から放射する超音波の放射方向を水平面内で時間的に変更して、送信ビームの中心軸を水平面内で移動して、複数の超音波センサで超音波振動を受信して気泡の位置を検出することもできる。

被検査物Ｗは、気密性や亀裂、小孔の発生を検出したい部材であり、検査液Ｌに水没可能なあらゆる部材が対象となる。例えば、燃料タンク、車両用触媒コンバータ、マフラー等である。また検査液Ｌは、被検査物Ｗに腐食等の損傷を与えない、あるいはその影響の少ない液体が選択され、例えば水等である。検査液Ｌは防錆剤の水溶液を使用することが望ましく、また必要に応じて気泡流動や超音波伝搬を考慮した粘度、温度に調整する。

超音波振動子４は、ＭＨｚオーダーの超音波を送信する。検査液Ｌでの減衰を考慮して、好ましくは１ＭＨｚ以上２０ＭＨｚ以下の超音波を使用し、信号処理回路の容易さ等から１ＭＨｚから２ＭＨｚが望ましい。超音波は気泡Ｂに当たるとその９０％以上を反射するので、超音波センサ５は反射波を検出できる。また気泡Ｂが検査液Ｌ中を上昇する際には、検査液Ｌに上昇を阻まれ、螺旋運動や振り子運動、表面形状の変化等の揺動を伴って浮上するので、ＭＨｚオーダーの超音波を水平方向から放射するとその反射波は揺動に伴う周波数偏移を生じる。周波数偏移は周波数の変化量、言い換えれば振動数の変化量であり、通常ヘルツ（Ｈｚ）で表わされる。さらに超音波は回折し、重畳するので、気泡の後方でも観測される。このように気泡の揺動に応じて、直接波及び反射波の周波数偏移の量が異なる。したがって、これらを検出することで気泡の状態を検出して、被検査物Ｗの気密性や漏れ量等を検出できる。

超音波送信部２と超音波受信部３とを検査液槽１の対向位置に配置する漏れ検査装置は、超音波送信部２が超音波受信部３に向かって超音波を放射して、直接波と反射波を超音波センサ５で受信する。直接波と反射波は、異なる性質を有するため、これらを併用して検出する漏れ検査装置は、誤検出を防止して精度よく気泡の性質を特定できる。一般に直接波は気泡の量が多い場合の検出に好適であり、一方反射波は気泡の量が少ない場合に好適である。また反射波は、小さな気泡が複数個あるときは複数の任意の周波数に顕著な変化を生じ、大きな気泡が複数個あるとき周波数のパワースペクトルが幅広く持ち上がり、気泡の大きさと数に相関を示す。さらに小さな気泡が１個あるときは幅の狭い急峻な波形を示し、大きな気泡が１個あるときは幅広の波形を示して、気泡の大きさと周波数のパワースペクトルに相関を示す。一方、直接波は気泡があるとき振幅が減少する。

気泡の状態を検出する方法を、図７〜図１１に基づいて説明する。まず、図７を気泡がないときの反射波の受信信号とする。このように、気泡がない場合は超音波の放射波の周波数とほぼ同じ位置にピークが表れる。

検査液Ｌ内を浮上する気泡Ｂは検査液Ｌの粘性によって気泡Ｂの大きさに係わる異なった揺動を示す。例えば、小さい気泡の揺動は水平方向の軌跡の変化が支配的であるためその周波数のパワースペクトルは裾野の狭い鋭い波形となり、大きい気泡の揺動は水平方向の軌跡の変化と気泡の表面形状の歪みの双方が支配的となるためその周波数のパワースペクトルは裾野の広い波形となるので、揺動に伴って生じる反射波及び直接波の周波数のパワースペクトルの形状は気泡の大きさに係わりを持った形状となり、この周波数のパワースペクトルの面積は気泡の量つまり気泡の大きさに相当する。検査液Ｌを使用した超音波式漏れ検査装置１００の気泡検出部において、送信周波数を除くピーク周波数のパワースペクトル値とこのピーク周波数から一定の幅の１つ以上の周波数でのパワースペクトル値との差を算出することにより、周波数のパワースペクトルの形状つまり周波数のパワースペクトルの面積を求めることができ、気泡の大きさ、すなわち気泡の体積、言い換えれば漏れ量が検出できる。

さらに、反射波は、同一の小孔や亀裂の位置からの漏れに伴う気泡が１個の場合には気泡の揺動に伴う周波数のパワースペクトルが、超音波振動子４が放射する超音波の周波数によるピークを除き唯一のピークを有するが、気泡が複数の場合にはそれぞれの気泡が少し異なった揺動を示すために一定の範囲内に複数のピークを有するような周波数のパワースペクトル波形となり、実際にはこれらのピークを有する周波数のパワースペクトルの重畳により複数のピークを有し且つ周波数のパワースペクトルの裾野が幅広く持ち上がるような波形を示すこととなる。検査液Ｌを使用した超音波式漏れ検査装置１００の気泡検出部において一定の周波数範囲内の周波数のパワースペクトルの変化量を計測することにより気泡の総量すなわち漏れ量を算出することができ、ピークの数を求めることにより気泡の数が検出できる。

反射波について、以上をまとめると、微少気泡が１個のときの反射波は、図８に示すように主ピークから離れた周波数で小ピークが見られ、例えば放射波の主ピークよりも高い周波数に半値幅の狭い小ピークが検出される。一方、微小気泡が複数個あるときの反射波は、図９に示すように、主ピークから離れた位置に複数の小ピークが見られる。ここでは放射波である主ピークの近傍で複数の小ピークが検出される。さらに大きな気泡が１個あるときの反射波は、図１０に示すように幅広の小ピークが観察される。また大きな気泡が複数個あるときの反射波は、図１１に示すように幅広の小ピークが複数形成される結果、スペクトル全体がブロードに嵩上げされる状態となる。このように反射波は気泡の大きさ及び数と相関しており、このような差異を用いることで、気泡量すなわち漏れ量を換算できる。

また、漏れ検査装置は、超音波を気泡に放射して気泡の揺動を能動的に生じさせ、この変化を受信信号の位相・周波数変化等として検出することで、高精度な気泡検出を図ることができる。例えば、気泡が検査液Ｌ中を上昇する際には、検査液Ｌの粘性に伴う抵抗力によって上昇を阻まれ、その結果として検査液Ｌの流動や地球の自転等の微少な影響を伴って螺旋運動や振り子運動、表面形状の変化等の揺動を生じる。これらの揺動は気泡の大きさと相関関係を有しているが、些細な力学的影響により変化を生じるため現実的には再現性が低い。しかし、比較的パワーの大きい超音波を水平方向から気泡に放射することで、気泡の大きさに係わる固有の揺動を誘導することができ、気泡の大きさに相関関係を有する揺動の再現性を高めることができる。例えば、大きな気泡においては超音波を水平方向から受けたとしても表面の形状が変化するだけで気泡の水平位置はほとんど変化しない、一方、小さな気泡においては超音波を水平方向から受けると放射方向に相対的な位置の移動を生じる。これにより反射波と直接波に気泡の大きさに相関関係を有する位相及び周波数の変化を能動的に生じさせると共に、特徴が発散しがちな揺動を気泡の大きさに係わる特定の揺動に収束させ、安定した気泡量の算出が可能となる。

このように、スペクトル波形の変化を観察することで、気泡の数及び大きさを把握することができる。スペクトル波形の観察は、演算処理により定量的に処理することができる。例えばスペクトルのピーク位置や半値幅、平均値等を演算し、所定の基準値や閾値と比較することでこれらの判定を自動化することが可能となる。この演算及び判定は、コントローラ３０で行う。

本実施の形態では、超音波の直接波の振幅減衰あるいは位相の変化を検出して、気泡の有無を検出することができる。この原理を図１２及び図１３に基づいて説明する。超音波は進行に伴って減衰する性質を有する。検査液Ｌを透過する直接波の振幅は、気泡のある場合に顕著に減衰し、流動や浮遊物によっては振幅の減衰は顕著でない。これは、音響インピーダンスの違いから検査液Ｌ中の気泡が超音波を９０％以上反射するのに対して、検査液Ｌの流動ではほぼ０％、浮遊物の多くは親水性であるため遙かに低い反射となり、十分区別できる程度の相違が見られる。

図１２に示すように、気泡がない場合は、超音波センサ５が受信する直接波の気泡による減衰が少なく、信号レベルの振幅す大きくなる。一方、気泡がある場合は、気泡によって超音波振動が減衰し、図１３に示すように超音波センサ５が受信する直接波の振幅が小さくなる。よって、振幅の変化量を検出することで、気泡の有無を検出できる。このような振幅の変化は比較的顕著であるため、直接波を利用して気泡の有無を確実に検出でき、反射波で気泡の変化が誤検出されても、直接波の減衰の変化量から気泡の有無が判定できるので、このような誤検出を回避でき、信頼性の高い安定した気泡検出が図られる。

また、本実施の形態では、一般的に被検査物内に供給する気体として空気を用いる為、ヘリウムガス拡散式に比べるとランニングコストが安く、水素ガス拡散式では困難な水素吸脱性部品であるアルミや炭素繊維等の材料が使われている被検査物にも適用可能である。

以上の超音波式漏れ検査装置は、検査液槽１に貯留された検査液Ｌに被検査物Ｗを水没させた状態で、超音波送信部２から検査液Ｌに超音波振動を放射し、気泡Ｂで励起された信号を超音波受信部３で受信することにより、気泡を検出している。このため、超音波式漏れ検査装置は、検査液槽１の内部に所定量の検査液Ｌを貯留できる構造としている。ここで、検査液槽１に貯留される検査液Ｌは、被検査物Ｗを水没させる際の流動によって、あるいは、放射される超音波振動の直接波や反射波の振動によって、あるいはまた、検査液中を浮上する気泡Ｂが水面近くではじける際の衝撃等によって、液面が波立つ場合がある。液面で発生する波は、検査液中を伝わる超音波を乱反射させる原因となり、これによりノイズが発生して超音波センサの受信感度が低下するおそれがある。したがって、この種の超音波式漏れ検査装置にとって、検査液槽１に貯留された検査液Ｌの液面が波立つことは決して好ましい状態ではない。このように、検査液Ｌの液面が波立つのを防止するために、超音波式漏れ検査装置は、以下に示す構造とすることもできる。

（実施の形態２）
図１４に示す超音波式漏れ検査装置２００は、検査液槽１に貯留される検査液Ｌをオーバーフローさせて排液することにより、検査液Ｌの液面が波立つのを防止している。図の超音波式漏れ検査装置２００は、検査液槽１に貯留される検査液Ｌをオーバーフローさせるために、検査液槽１に設けた排液部１６と、検査液槽１に検査液Ｌを供給する給液部１７とを備えている。

検査液槽１に形成される排液部１６は、たとえば、特定の周壁を他の周壁よりも低く形成することによって構成することができる。図１４に示す検査液槽１は、平面視において長方形状の４辺を構成する周壁１０のうち、１辺である第３の周壁１３を他の３辺の周壁１０よりも低く形成して、検査液槽１内の検査液Ｌをオーバーフローさせる排液部１６としている。この排液部１６は、第３の周壁１３の上端縁が水平姿勢となるようにカットして形成されており、検査液槽１に貯留される検査液Ｌの液面を均一にオーバーフローさせて排液できるようにしている。とくに、検査液槽１に形成される排液部１６は、検査液Ｌをオーバーフローさせる周壁の全長にわたって設けることで、水面付近の検査液Ｌを、排液部となる周壁全体から均一にオーバーフローさせて排液できる。ただ。排液部は、特定の周壁の一部を低く形成して設けることもできる。

さらに、検査液槽は、図示しないが、平面視において長方形状の４辺を構成する周壁のうち、２辺の周壁を他の２辺の周壁よりも低く形成して排液部とすることも、３辺の周壁を他の１辺の周壁よりも低く形成して排液部とすることもできる。とくに、長方形を構成する４辺のうち、対向する２辺の周壁を他の２辺の周壁よりも低く形成して排液部を設ける構造は、水面近くの検査液を検査液槽の両側方向にオーバーフローさせてスムーズに排液できる。さらに、検査液槽１は、必ずしもいずれかの周壁を他の周壁よりも低く形成する必要はなく、全ての周壁を同じ高さとして、周壁の全周の上端を排液部として周壁全体からオーバーフローさせて排液することもできる。

以上のように、検査液槽１に貯留される検査液Ｌをオーバーフローさせる超音波式漏れ検査装置２００は、液面近くの検査液Ｌを、図１４の矢印で示すように排液部１６に流動させてオーバーフローさせるので、検査液Ｌの液面が継続的に波立つのを有効に防止でき、液面に発生する波による悪影響を効果的に防止してノイズを低減できる。

給液部１７は、検査液Ｌを連続して検査液槽１に供給して、過剰となる検査液Ｌを検査液槽１からオーバーフローさせる。このような給液部１７として、たとえば、給液ポンプや、高低差による圧力を利用した給液機構が使用できる。とくに、検査液Ｌを水とする場合においては、給液部１７を水道として、蛇口や給水栓から供給される水道水を検査液槽１に給水することもできる。以上の給液部１７は、検査液槽１に連続供給する検査液Ｌの供給量を調整することで検査液槽１からのオーバーフロー量を調整できる。給液部１７は、検査液槽１に貯留される検査液Ｌの液面が波立つのを抑制できるオーバーフロー量となるように、検査液Ｌの供給量を調整する。

図１４に示す検査液槽１は、給液部１７から検査液Ｌが供給される供給部１８を、検査液槽１の上部に配置している。この構造は、液面に近い位置に検査液Ｌを供給することで、検査液槽１内の検査液全体を流動させることなく、水面近くの検査液Ｌのみを流動させることで、効率よくオーバーフローして配液できる。この漏れ検査装置は、検査液槽１の内部における検査液Ｌの流動を抑制することで、検査液中を上昇する気泡Ｂへの影響を低減しながら、気泡Ｂを正確に検出できる。

さらに、検査液槽は、図示しないが、給液部から検査液が供給される供給部を、検査液槽の底部に配置することもできる。この構造は、検査液槽の底部に配置される供給部から供給される検査液を、検査液槽の上部に流動させながらオーバーフローさせて排液できるので、検査液を経時的に新しいものに交換しながら検査できる。たとえば、汚れた被検査物を検査する場合等においては、検査液中の汚れ成分を排出することで、検査液を清澄にしながら検査を継続できる。このため、検査液中を浮遊する汚れ成分による、誤検出やノイズの発生を有効に防止しながら検査できる。

本発明の超音波式漏れ検査装置は、超音波計測センサを用いた水没式空気漏れ検査装置に好適に適用できる。また検査対象としては、エンジンブロック、ミッションケース、ショックアブソーバ、燃料パイプ、燃料タンク等の自動車部品、電気機器部品、ガス・水道器具、食品・薬品、医療器具等が挙げられる。例えば車両用触媒コンバータの空気漏れ検査や、密封充填の包装容器のピンホール等シール不良の検出に好適に利用できる。

１００、２００…気泡検査装置
１…検査液槽
２…超音波送信部
３…超音波受信部
４…超音波振動子
４ｘ…中心軸
５…超音波センサ
５ｘ…中心軸
６…送信壁
７…受信壁
１０…周壁
１１…第１の周壁
１２…第２の周壁
１３…第３の周壁
１４…第４の周壁
１５…底板
１６…排液部
１７…給液部
１８…供給部
３０…コントローラ
３１…エアー配管
９０…検査装置
９１…検査液槽
９４…超音波振動子
９５…超音波センサ
Ｌ…検査液
Ｗ…被検査物
Ｂ…気泡

Claims (9)

1. 検査液中に被検査物を水没させた状態で、被検査物から漏れ出る気泡の有無を検出して漏れを検査する超音波式漏れ検査装置であって、
   被検査物を検査液に水没させる検査液槽と、
   前記検査液槽の送信壁に配置されて検査液に超音波振動を送信ビームで放射する超音波送信部と、
   前記検査液槽の受信壁に配置されて検査液の超音波振動を所定の受信ビームで受信する超音波受信部とを備え、
   前記検査液槽は、前記送信壁と前記受信壁を対向して配置しており、
   前記超音波送信部は、
   前記送信壁の内側に配置してなる複数の超音波振動子を備え、
   各々の前記超音波振動子は、超音波振動を放射する送信ビームの方向を受信壁の方向とする姿勢に配置され、
   前記超音波受信部は、
   前記受信壁の内側に配置してなる複数の超音波センサを備え、
   前記超音波センサが送信ビームの中心軸からずれた位置に配置され、かつ、
   最大感度となる受信ビームの中心軸が、前記検査液槽内において送信ビームの中心軸に交差する姿勢に配置されてなることを特徴とする超音波式漏れ検査装置。
2. 請求項１に記載する超音波式漏れ検査装置であって、
   前記超音波センサが、
   最大感度となる受信ビームの中心軸を、前記検査液槽内において送信ビームの中心軸の中央部で交差する姿勢に配置されてなることを特徴とする超音波式漏れ検査装置。
3. 請求項１または２に記載する超音波式漏れ検査装置であって、
   前記超音波振動子と前記超音波センサが、
   前記検査液槽の内面に水平方向に並べて配置されてなることを特徴とする超音波式漏れ検査装置。
4. 請求項３に記載される超音波式漏れ検査装置であって、
   前記超音波振動子と前記超音波センサが、
   前記検査液槽の内面に、水平視において互いに対向位置に配置されてなることを特徴とする超音波式漏れ検査装置。
5. 請求項１ないし４に記載する超音波式漏れ検査装置であって、
   前記超音波送信部と前記超音波受信部が、送信ビームと受信ビームを下向きとする姿勢で前記検査液槽に配置されてなることを特徴とする超音波式漏れ検査装置。
6. 請求項３ないし５のいずれかに記載する超音波式漏れ検査装置であって、
   前記超音波送信部と前記超音波受信部が前記検査液槽の内面のほぼ同一平面に配置されてなることを特長とする超音波式漏れ検査装置。
7. 請求項１ないし６のいずれかに記載する超音波式漏れ検査装置であって、
   前記受信壁において、
   前記超音波センサの中心と送信ビームの中心軸との変位間隔（ｄ）を５ｍｍ〜５０ｍｍとしてなることを特徴とする超音波式漏れ検査装置。
8. 請求項１ないし７のいずれかに記載する超音波式漏れ検査装置であって、
   前記超音波センサが、受信ビームの中心軸を、前記検査液槽内における送信ビームの中心軸の中央部を向く姿勢に配置されてなることを特徴とする超音波式漏れ検査装置。
9. 請求項１ないし８に記載する超音波式漏れ検査装置であって、
   前記検査液槽が、
   第１ないし第４の周壁からなり、上方の開口部を四角形とする直方体で、
   第１の周壁と第３の周壁が対向し、かつ第２の周壁と第４の周壁が対向して配置され、
   前記超音波送信部が、
   超音波を前記第３の周壁に向かって放射するように前記第１の周壁に配置され、
   前記超音波受信部が
   第３の周壁に配置されてなることを特徴とする超音波式漏れ検査装置。