JP4216856B2 - Multilayer electronic components - Google Patents

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Description

本発明は、積層型電子部品に関する。   The present invention relates to a multilayer electronic component.

積層型電子部品の一種としての積層型コモンモードフィルタの中には、そのインダクタを構成するコイル導体回りを形成する非磁性体にCu−Zn系フェライトを用いるものがある。このように、非磁性体としてCu−Zn系フェライトを用いると、誘電率が14〜16と比較的高い値になり、高周波帯域におけるノイズ成分の減衰特性が不十分であるという問題がある。この問題に対して、上記非磁性体としてセラミックやガラスを用いることが提案されている(下記特許文献1参照)。
特開2002−270451号公報
Some multilayer common mode filters as a type of multilayer electronic component use Cu—Zn-based ferrite as a nonmagnetic material that forms the periphery of a coil conductor that constitutes the inductor. As described above, when Cu—Zn based ferrite is used as the non-magnetic material, the dielectric constant becomes a relatively high value of 14 to 16, and there is a problem that the attenuation characteristic of the noise component in the high frequency band is insufficient. In order to solve this problem, it has been proposed to use ceramic or glass as the nonmagnetic material (see Patent Document 1 below).
JP 2002-270451 A

ところで、上記非磁性体として用いるセラミックは、いかなる種類のセラミックでも好適であるというわけではない。例えば、ある種のセラミックを用いると、必要とされる程度にはデファレンシャルモード特性が高周波帯域まで伸びない場合もある。また、ある種のセラミックを用いると、磁性体層と非磁性体層との間にいわゆるデラミネーションが発生する場合もある。   By the way, the ceramic used as the non-magnetic material is not necessarily suitable for any kind of ceramic. For example, when a certain type of ceramic is used, the differential mode characteristics may not extend to the high frequency band to the extent required. In addition, when a certain type of ceramic is used, so-called delamination may occur between the magnetic layer and the nonmagnetic layer.

そこで本発明では、高周波帯域におけるノイズ成分の減衰特性を向上させることが可能であると共に、デラミネーションといった不具合発生の可能性を低減することが可能な積層型電子部品を提供することを目的とする。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a multilayer electronic component that can improve the attenuation characteristics of noise components in a high-frequency band and can reduce the possibility of occurrence of problems such as delamination. .

本発明に係る積層型電子部品は、少なくとも1層以上の磁性体層と、少なくとも1層以上の非磁性体層と、を備える積層型電子部品であって、非磁性体層は、Znを含むフォルステライト系セラミックを含有するものである。   A multilayer electronic component according to the present invention is a multilayer electronic component comprising at least one magnetic layer and at least one nonmagnetic layer, and the nonmagnetic layer contains Zn. It contains forsterite ceramic.

本発明によれば、非磁性体層がZnを含むフォルステライト系セラミックを含有しているので、高周波帯域におけるノイズ成分の減衰特性を向上させることが可能であると共に、デラミネーションといった不具合発生の可能性を低減することが可能となる。   According to the present invention, since the nonmagnetic layer contains forsterite-based ceramic containing Zn, it is possible to improve the attenuation characteristics of noise components in the high frequency band and to cause problems such as delamination. Can be reduced.

また本発明に係る積層型電子部品は、非磁性体層はインダクタを構成するコイル導体を含むことも好ましい。非磁性体層がコイル導体を含むので、上述の特性を持ったコイル部品としての積層型電子部品を提供することができる。   In the multilayer electronic component according to the present invention, it is also preferable that the nonmagnetic layer includes a coil conductor constituting an inductor. Since the nonmagnetic layer includes the coil conductor, it is possible to provide a multilayer electronic component as a coil component having the above-described characteristics.

また本発明に係る積層型電子部品は、コイル導体が一対形成されコモンモードフィルタとして機能することも好ましい。高周波帯域におけるノイズ成分の減衰特性を向上させることが可能なコモンモードフィルタとしての積層型電子部品を提供することができる。   The multilayer electronic component according to the present invention preferably has a pair of coil conductors and functions as a common mode filter. It is possible to provide a multilayer electronic component as a common mode filter capable of improving the attenuation characteristics of noise components in a high frequency band.

また本発明に係る積層型電子部品は、インダクタと共にコンデンサを含みLCフィルタとして機能することも好ましい。このような構成により、上述の特性を持ったLCフィルタとしての積層型電子部品を提供できる。   The multilayer electronic component according to the present invention preferably includes a capacitor together with an inductor and functions as an LC filter. With such a configuration, a multilayer electronic component as an LC filter having the above-described characteristics can be provided.

また本発明に係る積層型電子部品は、コモンモードフィルタと共にコンデンサを含みLCフィルタとして機能することも好ましい。このような構成により、上述の特性を持ったLCフィルタとしての積層型電子部品を提供できる。   The multilayer electronic component according to the present invention preferably includes a capacitor together with a common mode filter and functions as an LC filter. With such a configuration, a multilayer electronic component as an LC filter having the above-described characteristics can be provided.

また本発明に係る積層型電子部品では、非磁性体層が一対の磁性体層によって挟まれていることも好ましい。   In the multilayer electronic component according to the present invention, it is also preferable that the nonmagnetic layer is sandwiched between a pair of magnetic layers.

また本発明に係る積層型電子部品では、バリスタ機能を発現するバリスタ層を更に備えることも好ましい。このような構成により、上述の特性を持ったバリスタ機能付きの積層型電子部品を提供できる。   The multilayer electronic component according to the present invention preferably further includes a varistor layer that exhibits a varistor function. With such a configuration, it is possible to provide a multilayer electronic component with a varistor function having the above-described characteristics.

本発明によれば、高周波帯域におけるノイズ成分の減衰特性を向上させることが可能であると共に、デラミネーションといった不具合発生の可能性を低減することが可能となる積層型電子部品を提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, while being able to improve the attenuation | damping property of the noise component in a high frequency band, the multilayer electronic component which can reduce the possibility of malfunctions, such as delamination, can be provided. .

本発明の知見は、例示のみのために示された添付図面を参照して以下の詳細な記述を考慮することによって容易に理解することができる。引き続いて、添付図面を参照しながら本発明の実施の形態を説明する。可能な場合には、同一の部分には同一の符号を付して、重複する説明を省略する。また、説明中、「上」、「右」及び「左」なる語を使用することがあるが、これは各図の上方向、右方向及び左方向に対応したものである。   The knowledge of the present invention can be easily understood by considering the following detailed description with reference to the accompanying drawings shown for illustration only. Subsequently, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. Where possible, the same parts are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted. In the description, the terms “upper”, “right”, and “left” may be used, which correspond to the upward, rightward, and leftward directions of each figure.

(第1実施形態)   (First embodiment)

図1〜図3を参照して、第1実施形態に係る積層型インダクタL1(積層型電子部品)の構成について説明する。図1は、本発明の第1実施形態に係る積層型インダクタの斜視図である。図2は、第1実施形態に係る積層型インダクタの断面構成を説明するための図である。図3は、第1実施形態に係る積層型インダクタに含まれる積層体の分解斜視図である。   The configuration of the multilayer inductor L1 (multilayer electronic component) according to the first embodiment will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is a perspective view of the multilayer inductor according to the first embodiment of the present invention. FIG. 2 is a diagram for explaining a cross-sectional configuration of the multilayer inductor according to the first embodiment. FIG. 3 is an exploded perspective view of the multilayer body included in the multilayer inductor according to the first embodiment.

積層型インダクタL1は、図1に示されるように、略直方体形状の積層体1と、積層体1の長手方向の両側面にそれぞれ形成された一対の端子電極2,3とを備える。なお、積層体1の底面は、積層型インダクタL1が外部基板(図示せず)に実装されたときに、当該外部基板に対向する面である。   As shown in FIG. 1, the multilayer inductor L <b> 1 includes a substantially rectangular parallelepiped multilayer body 1, and a pair of terminal electrodes 2 and 3 formed on both side surfaces of the multilayer body 1 in the longitudinal direction. The bottom surface of the multilayer body 1 is a surface that faces the external substrate when the multilayer inductor L1 is mounted on the external substrate (not shown).

積層体1は、図2及び図3に示されるように、複数(本第1実施形態では14枚)の磁性体グリーンシートA1〜A14がそれぞれシート積層工法によって積層されてなる複数(本第1実施形態では4つ)の磁性体層4と、複数(本第1実施形態では6枚)の非磁性体グリーンシートB1〜B6がそれぞれシート積層工法によって積層されてなる複数(本第1実施形態では3つ)の非磁性体層5とにより構成される。また、積層体1は、内部に導体パターンC1〜C12からなる複数のコイル10〜16を備えている。実際の積層型インダクタL1は、磁性体グリーンシートA1〜A14及び非磁性体グリーンシートB1〜B6の境界が視認できない程度に一体化されている。   As shown in FIG. 2 and FIG. 3, the laminate 1 is a plurality (14 in the first embodiment) of magnetic material green sheets A1 to A14 that are laminated by a sheet lamination method (this 1st embodiment). A plurality (in this embodiment, four) magnetic layers 4 and a plurality (in the first embodiment, six) non-magnetic green sheets B1 to B6 are laminated by a sheet lamination method (this first embodiment). 3) of nonmagnetic layers 5. Moreover, the laminated body 1 is provided with the several coils 10-16 which consist of conductor patterns C1-C12 inside. The actual multilayer inductor L1 is integrated to such an extent that the boundaries between the magnetic green sheets A1 to A14 and the nonmagnetic green sheets B1 to B6 cannot be visually recognized.

各磁性体層4は、それぞれ内部にコイル10,12,14,16を有しており、各コイル10,12,14,16が非磁性体層5に接しないようになっている。また、各磁性体層4は、後述するように磁性体グリーンシートA1〜A14が焼成されて焼結することで形成され、電気絶縁性を有する絶縁体として機能する。   Each magnetic layer 4 has coils 10, 12, 14, and 16 therein, and the coils 10, 12, 14, and 16 are not in contact with the nonmagnetic layer 5. Each magnetic layer 4 is formed by firing and sintering the magnetic green sheets A1 to A14 as described later, and functions as an insulator having electrical insulation.

各磁性体層4を形成する磁性体グリーンシートA1〜A14は、フェライト(例えば、Ni−Cu−Zn系フェライト)を原料としたスラリーをドクターブレード法によりフィルム上に塗布することで形成される。磁性体グリーンシートA1〜A14の厚みは、例えば70μmである。   The magnetic green sheets A1 to A14 forming each magnetic layer 4 are formed by applying a slurry made of ferrite (for example, Ni—Cu—Zn based ferrite) as a raw material on a film by a doctor blade method. The thickness of the magnetic green sheets A1 to A14 is, for example, 70 μm.

各非磁性体層5は、内部に各コイル11,13,15をそれぞれ有し、各磁性体層4の間にそれぞれ位置している。また、各非磁性体層5は、後述するように非磁性体グリーンシートB1〜B6が焼成されて焼結することで形成され、電気絶縁性を有する絶縁体として機能する。   Each nonmagnetic material layer 5 has coils 11, 13, and 15 therein, and is positioned between the magnetic material layers 4. Each nonmagnetic layer 5 is formed by firing and sintering nonmagnetic green sheets B1 to B6 as described later, and functions as an insulator having electrical insulation.

各非磁性体層5を形成する非磁性体グリーンシートB1〜B6は、Znを含むフォルステライト系セラミックを原料としたスラリーをドクターブレード法によりフィルム上に塗布することで形成される。非磁性体グリーンシートB1〜B6の厚みは、例えば70μmである。   Nonmagnetic green sheets B1 to B6 forming each nonmagnetic layer 5 are formed by applying a slurry of forsterite ceramic containing Zn as a raw material on a film by a doctor blade method. The nonmagnetic green sheets B1 to B6 have a thickness of, for example, 70 μm.

コイル10は、導体パターンC1,C2が電気的に接続されることにより形成される。コイル11,13,15,16は、それぞれ導体パターンC3,C7,C11,C12により構成される。コイル12は、導体パターンC4〜C6が電気的に接続されることにより形成される。コイル14は、導体パターンC8〜C10が電気的に接続されることにより形成される。なお、各コイル11,13,15を構成する導体パターンC3,C7,C11は、各コイル10,12,14,16をそれぞれ電気的に接続する接続導体として機能する。   The coil 10 is formed by electrically connecting the conductor patterns C1 and C2. The coils 11, 13, 15, and 16 are configured by conductor patterns C3, C7, C11, and C12, respectively. The coil 12 is formed by electrically connecting the conductor patterns C4 to C6. The coil 14 is formed by electrically connecting the conductor patterns C8 to C10. Note that the conductor patterns C3, C7, and C11 constituting the coils 11, 13, and 15 function as connection conductors that electrically connect the coils 10, 12, 14, and 16, respectively.

導体パターンC1は、コイル10の略1/2ターンに相当し、磁性体グリーンシートA2上で略L字状に形成されている。導体パターンC1の一端には、導出部C1aが一体的に形成されている。導体パターンC1の導出部C1aは、磁性体グリーンシートA2の縁に引き出され、その端部が磁性体グリーンシートA2の端面に露出している。このため、導出部C1aは、端子電極2に電気的に接続されることとなる。導体パターンC1の他端は、磁性体グリーンシートA2を厚み方向に貫通して形成されたスルーホール電極D1と電気的に接続されている。このため、導体パターンC1は、積層された状態で、スルーホール電極D1を介して、対応する導体パターンC2の一端と電気的に接続される。   The conductor pattern C1 corresponds to approximately ½ turn of the coil 10, and is formed in an approximately L shape on the magnetic green sheet A2. A lead-out portion C1a is integrally formed at one end of the conductor pattern C1. The lead-out portion C1a of the conductor pattern C1 is drawn out to the edge of the magnetic green sheet A2, and its end is exposed at the end face of the magnetic green sheet A2. For this reason, the derivation | leading-out part C1a will be electrically connected to the terminal electrode 2. FIG. The other end of the conductor pattern C1 is electrically connected to a through-hole electrode D1 formed through the magnetic green sheet A2 in the thickness direction. For this reason, the conductor pattern C1 is electrically connected to one end of the corresponding conductor pattern C2 through the through-hole electrode D1 in a stacked state.

導体パターンC2,C12は、それぞれコイル10,16の略1ターンに相当し、各磁性体グリーンシートA3,A13上でスパイラル状に巻回されている。各導体パターンC2,C12の一端には、積層された状態でスルーホール電極D1,D18と電気的に接続される領域がそれぞれ含まれている。各導体パターンC2,C12の他端は、各磁性体グリーンシートA3,A13を厚み方向に貫通して形成された各スルーホール電極D2,D12とそれぞれ電気的に接続されている。このため、各導体パターンC2,C12は、積層された状態で、各スルーホール電極D2,D12を介して、対応する各導体パターンC13,C19とそれぞれ電気的に接続される。   The conductor patterns C2 and C12 correspond to approximately one turn of the coils 10 and 16, respectively, and are wound spirally on the magnetic green sheets A3 and A13. One end of each of the conductor patterns C2 and C12 includes a region electrically connected to the through-hole electrodes D1 and D18 in a stacked state. The other ends of the conductor patterns C2 and C12 are electrically connected to through-hole electrodes D2 and D12 formed through the magnetic green sheets A3 and A13 in the thickness direction, respectively. Therefore, the conductor patterns C2 and C12 are electrically connected to the corresponding conductor patterns C13 and C19 via the through-hole electrodes D2 and D12 in a stacked state.

導体パターンC3,C7,C11は、それぞれコイル11,13,15の略1ターンに相当し、各非磁性体グリーンシートB2,B4,B6上でスパイラル状に巻回されている。各導体パターンC3,C7,C11の一端には、積層された状態で各スルーホール電極D13,D15,D17と電気的に接続される領域がそれぞれ含まれている。各導体パターンC3,C7,C11の他端は、各非磁性体グリーンシートB2,B4,B6を厚み方向に貫通して形成された各スルーホール電極D3,D7,D11とそれぞれ電気的に接続されている。このため、各導体パターンC3,C7,C11は、積層された状態で、各スルーホール電極D3,D7,D11を介して、対応する各導体パターンC14,C16,C18とそれぞれ電気的に接続される。   The conductor patterns C3, C7, and C11 correspond to substantially one turn of the coils 11, 13, and 15, respectively, and are wound spirally on the nonmagnetic green sheets B2, B4, and B6. One end of each conductor pattern C3, C7, C11 includes a region electrically connected to each through-hole electrode D13, D15, D17 in a stacked state. The other ends of the conductor patterns C3, C7, and C11 are electrically connected to through-hole electrodes D3, D7, and D11 formed through the nonmagnetic green sheets B2, B4, and B6 in the thickness direction, respectively. ing. Therefore, the conductor patterns C3, C7, and C11 are electrically connected to the corresponding conductor patterns C14, C16, and C18 through the through-hole electrodes D3, D7, and D11 in a stacked state, respectively. .

導体パターンC4〜C6は、それぞれコイル12の略1ターンに相当し、各磁性体グリーンシートA5〜A7上でスパイラル状に巻回されている。各導体パターンC4〜C6の一端には、積層された状態で各スルーホール電極D14,D4,D5と電気的に接続される領域がそれぞれ含まれている。各導体パターンC4〜C6の他端は、各磁性体グリーンシートA5〜A7を厚み方向に貫通して形成された各スルーホール電極D4〜D6とそれぞれ電気的に接続されている。このため、各導体パターンC4〜C6は、積層された状態で、各スルーホール電極D4〜D6を介して、対応する各導体パターンC5,C6,C15とそれぞれ電気的に接続される。   The conductor patterns C4 to C6 correspond to approximately one turn of the coil 12, and are wound spirally on the magnetic green sheets A5 to A7. One end of each of the conductor patterns C4 to C6 includes a region electrically connected to each of the through-hole electrodes D14, D4, and D5 in a stacked state. The other ends of the conductor patterns C4 to C6 are electrically connected to through-hole electrodes D4 to D6 formed through the magnetic green sheets A5 to A7 in the thickness direction, respectively. Therefore, the conductor patterns C4 to C6 are electrically connected to the corresponding conductor patterns C5, C6, and C15 through the through-hole electrodes D4 to D6 in a stacked state.

導体パターンC8〜C10は、それぞれコイル14の略1ターンに相当し、各磁性体グリーンシートA9〜A11上でスパイラル状に巻回されている。各導体パターンC8〜C10の一端には、積層された状態で各スルーホール電極D16,D8,D9と電気的に接続される領域がそれぞれ含まれている。各導体パターンC8〜C10の他端は、各磁性体グリーンシートA9〜A11を厚み方向に貫通して形成された各スルーホール電極D8〜D10とそれぞれ電気的に接続されている。このため、各導体パターンC8〜C10は、積層された状態で、各スルーホール電極D8〜D10を介して、対応する各導体パターンC9,C10,C17とそれぞれ電気的に接続される。   The conductor patterns C8 to C10 correspond to approximately one turn of the coil 14, respectively, and are wound spirally on the magnetic green sheets A9 to A11. One end of each of the conductor patterns C8 to C10 includes a region electrically connected to each through-hole electrode D16, D8, D9 in a stacked state. The other ends of the conductor patterns C8 to C10 are electrically connected to through-hole electrodes D8 to D10 formed through the magnetic green sheets A9 to A11 in the thickness direction, respectively. Therefore, the conductor patterns C8 to C10 are electrically connected to the corresponding conductor patterns C9, C10, and C17 through the through-hole electrodes D8 to D10 in a stacked state.

導体パターンC13,C15,C17は、各非磁性体グリーンシートB1,B3,B5上で島状に形成されている。各導体パターンC13,C15,C17には、積層された状態で各スルーホール電極D2,D6,D10と電気的に接続される領域がそれぞれ含まれている。また、各導体パターンC13,C15,C17の中央には、各非磁性体グリーンシートB1,B3,B5を厚み方向に貫通して形成された各スルーホール電極D13,D15,D17とそれぞれ電気的に接続されている。このため、各導体パターンC13,C15,C17は、積層された状態で、各スルーホール電極D13,D15,D17を介して、対応する各導体パターンC3,C7,C11とそれぞれ電気的に接続される。   The conductor patterns C13, C15, and C17 are formed in an island shape on the nonmagnetic green sheets B1, B3, and B5. Each of the conductor patterns C13, C15, and C17 includes regions that are electrically connected to the through-hole electrodes D2, D6, and D10 in a stacked state. Further, in the center of each conductor pattern C13, C15, C17, each through-hole electrode D13, D15, D17 formed through the nonmagnetic green sheets B1, B3, B5 in the thickness direction is electrically connected. It is connected. Therefore, the conductor patterns C13, C15, and C17 are electrically connected to the corresponding conductor patterns C3, C7, and C11 through the through-hole electrodes D13, D15, and D17 in a stacked state. .

導体パターンC14,C16,C18は、各磁性体グリーンシートA4,A8,A12上で島状に形成されている。各導体パターンC14,C16,C18には、積層された状態で、各スルーホール電極D3,D7,D11と電気的に接続される領域がそれぞれ含まれている。また、各導体パターンC14,C16,C18の中央には、各磁性体グリーンシートA4,A8,A12を厚み方向に貫通して形成された各スルーホール電極D14,D16,D18と電気的に接続されている。このため、各導体パターンC14,C16,C18は、積層された状態で、各スルーホール電極D14,D16,D18を介して、対応する各導体パターンC4,C8,C12とそれぞれ電気的に接続される。   The conductor patterns C14, C16, C18 are formed in an island shape on the magnetic green sheets A4, A8, A12. Each of the conductor patterns C14, C16, and C18 includes regions that are electrically connected to the through-hole electrodes D3, D7, and D11 in a stacked state. Further, at the center of each conductor pattern C14, C16, C18, it is electrically connected to each through-hole electrode D14, D16, D18 formed through each magnetic green sheet A4, A8, A12 in the thickness direction. ing. Therefore, the conductor patterns C14, C16, and C18 are electrically connected to the corresponding conductor patterns C4, C8, and C12 through the through-hole electrodes D14, D16, and D18 in a stacked state, respectively. .

導体パターンC19は、磁性体グリーンシートA14上で略I字状に形成されている。導体パターンC19の一端には、積層された状態で、スルーホール電極D12と電気的に接続される領域が含まれている。導体パターンC19の他端には、導出部C19aが一体的に形成されている。導体パターンC19の導出部C19aは、磁性体グリーンシートA14の縁に引き出され、磁性体グリーンシートA14の端面に露出している。このため、導出部C19aは、端子電極3と電気的に接続されることとなる。   The conductor pattern C19 is formed in a substantially I shape on the magnetic green sheet A14. One end of the conductor pattern C19 includes a region electrically connected to the through-hole electrode D12 in a stacked state. A lead-out portion C19a is integrally formed with the other end of the conductor pattern C19. The lead-out part C19a of the conductor pattern C19 is drawn out to the edge of the magnetic green sheet A14 and exposed at the end face of the magnetic green sheet A14. For this reason, the derivation | leading-out part C19a will be electrically connected with the terminal electrode 3. FIG.

次に、図3を参照して、上述した構成の積層型インダクタL1の製造方法について説明する。   Next, a manufacturing method of the multilayer inductor L1 having the above-described configuration will be described with reference to FIG.

まず、磁性体グリーンシートA1〜A14及び非磁性体グリーンシートB1〜B6を用意する。なお、磁性体グリーンシートA1〜A14及び非磁性体グリーンシートB1〜B6は、形成の際に酸性化合物等の添加又は脱イオン処理等により、密度が例えば2.62g/cm程度に調整される。 First, magnetic green sheets A1 to A14 and nonmagnetic green sheets B1 to B6 are prepared. The density of the magnetic green sheets A1 to A14 and the nonmagnetic green sheets B1 to B6 is adjusted to, for example, about 2.62 g / cm 3 by addition of an acidic compound or the like or deionization treatment. .

続いて、各磁性体グリーンシートA2〜A13及び各非磁性体グリーンシートB1〜B6の所定の位置、すなわちスルーホール電極D1〜D18が形成される予定の位置に、レーザー加工等によってスルーホールをそれぞれ形成する。次に、各磁性体グリーンシートA2〜A14及び各非磁性体グリーンシートB1〜B6の上に、各導体パターンC1〜C19をそれぞれ形成する。ここで、各導体パターンC1〜C19及び各スルーホール電極D1〜D18は、銀又はニッケルを主成分とするペーストをメタルマスク等にて印刷することにより形成される。   Subsequently, through holes are formed by laser processing or the like at predetermined positions of the magnetic green sheets A2 to A13 and the nonmagnetic green sheets B1 to B6, that is, positions where the through hole electrodes D1 to D18 are to be formed. Form. Next, the conductor patterns C1 to C19 are formed on the magnetic green sheets A2 to A14 and the nonmagnetic green sheets B1 to B6, respectively. Here, each conductor pattern C1-C19 and each through-hole electrode D1-D18 are formed by printing the paste which has silver or nickel as a main component with a metal mask etc.

続いて、各磁性体グリーンシートA1〜A14及び各非磁性体グリーンシートB1〜B6を図3に示される順序にて積層し、積層方向に圧力を加えて各磁性体グリーンシートA1〜A14及び各非磁性体グリーンシートB1〜B6の間に隙間が生じないよう圧着する。この際、磁性体グリーンシートA1〜A14及び非磁性体グリーンシートB1〜B6の密度(2.62g/cm程度)は、従来のグリーンシートの密度(3.0g/cm程度)と比較して低密度であるため、導体パターンC1〜C19を挟む位置にある各グリーンシートA1〜A14,B1〜B6が大きく凹んで変形し、導体パターンC1〜C19の厚みを吸収することができることとなる。 Subsequently, the magnetic green sheets A1 to A14 and the nonmagnetic green sheets B1 to B6 are stacked in the order shown in FIG. 3, and each magnetic green sheet A1 to A14 and each of the magnetic green sheets A1 to A14 is applied by applying pressure in the stacking direction. The non-magnetic green sheets B1 to B6 are pressure-bonded so that no gap is generated. In this case, the density (2.62 g / cm 3 or so) of the magnetic green sheet A1~A14 and nonmagnetic green sheet B1~B6 compares the density of conventional green sheet (3.0 g / cm 3 or so) Because of the low density, the green sheets A1 to A14 and B1 to B6 at the positions sandwiching the conductor patterns C1 to C19 are greatly recessed and deformed, and the thickness of the conductor patterns C1 to C19 can be absorbed.

続いて、この圧着した磁性体グリーンシートA1〜A14及び非磁性体グリーンシートB1〜B6をチップ単位に切断した後に、所定温度(例えば、840〜900℃程度)にて焼成を行い、積層体1を形成する。積層体1は、例えば、焼成後における長手方向の長さが3.2mm、幅が2.5mm、高さが1.3mmとなるようにする。また、各導体パターンC1〜C12は、例えば、焼成後における幅が250μm、厚みが35μmとなるようにする。   Subsequently, the bonded magnetic green sheets A1 to A14 and nonmagnetic green sheets B1 to B6 are cut into chips, and then fired at a predetermined temperature (for example, about 840 to 900 ° C.). Form. For example, the length of the laminate 1 in the longitudinal direction after firing is 3.2 mm, the width is 2.5 mm, and the height is 1.3 mm. In addition, each of the conductor patterns C1 to C12 has, for example, a width after firing of 250 μm and a thickness of 35 μm.

続いて、この積層体1に端子電極2,3を形成する。これにより、積層型インダクタL1が形成されることとなる。端子電極2,3は、積層体1の長手方向の両端面にそれぞれ銀、ニッケル又は銅を主成分とする電極ペーストを塗布して、所定温度(例えば、680〜740℃程度)で焼付けを行い、さらに電気めっきを施すことにより形成される。この電気めっきとしては、Cu、Ni及びSn等を用いることができる。   Subsequently, terminal electrodes 2 and 3 are formed on the laminate 1. Thereby, the multilayer inductor L1 is formed. The terminal electrodes 2 and 3 are each baked at a predetermined temperature (for example, about 680 to 740 ° C.) by applying an electrode paste mainly composed of silver, nickel or copper to both end faces in the longitudinal direction of the laminate 1. Further, it is formed by performing electroplating. For this electroplating, Cu, Ni, Sn, or the like can be used.

以上のように、本第1実施形態においては、各コイル10,12,14,16がそれぞれ各磁性体層4の内部に設けられ、各磁性体層4が各非磁性体5によって隔てられている。このため、各磁性体層4内に存在する各コイル10,12,14,16のターン数がそれぞれ1〜3ターン程度と少なくなっており、積層体1が全て磁性体によって形成され、その内部にコイルが設けられている場合に比べて、各コイル10,12,14,16に電流が流れることにより発生する磁界の大きさが小さくなる。この結果、各磁性体層4において磁気飽和が抑制されることとなり、本第1実施形態に係る積層型インダクタL1に大きな電流を流した場合でもインダクタンス値の低下を抑えることができ、直流重畳特性の改善を図ることができることとなる。   As described above, in the first embodiment, each of the coils 10, 12, 14, and 16 is provided inside each magnetic layer 4, and each magnetic layer 4 is separated by each nonmagnetic material 5. Yes. For this reason, the number of turns of each of the coils 10, 12, 14, and 16 existing in each magnetic layer 4 is reduced to about 1 to 3 turns, respectively. As compared with the case where the coils are provided in the coil 10, the magnitude of the magnetic field generated by the current flowing through the coils 10, 12, 14, 16 is reduced. As a result, magnetic saturation is suppressed in each magnetic layer 4, and even when a large current is passed through the multilayer inductor L 1 according to the first embodiment, a decrease in inductance value can be suppressed, and the DC superposition characteristics can be suppressed. Can be improved.

また、本第1実施形態においては、各コイル10,12,14,16が非磁性体層5に接しないようになっている。このため、この積層型インダクタL1に直流電流を流したときに各コイル10,12,14,16の周囲に発生する磁束Fが、非磁性体層5によって阻害されることがほとんどない(図2参照)。この結果、積層型インダクタL1の初期インダクタンス値を高くすることができることとなる。   In the first embodiment, the coils 10, 12, 14, and 16 are not in contact with the nonmagnetic layer 5. For this reason, the magnetic flux F generated around each of the coils 10, 12, 14, 16 when a direct current flows through the multilayer inductor L 1 is hardly disturbed by the nonmagnetic layer 5 (FIG. 2). reference). As a result, the initial inductance value of the multilayer inductor L1 can be increased.

また、本第1実施形態においては、各コイル11,13,15が各コイル10,12,14,16を電気的に接続する接続導体となっているので、非磁性体層5の内部に設けられた各コイル11,13,15によって積層型インダクタL1の初期インダクタンス値をさらに高くすることができることとなる。   In the first embodiment, since the coils 11, 13, and 15 are connection conductors that electrically connect the coils 10, 12, 14, and 16, they are provided inside the nonmagnetic material layer 5. The initial inductance value of the multilayer inductor L1 can be further increased by the coils 11, 13, and 15 thus obtained.

また、本第1実施形態においては、各非磁性体層5がZnを含むフォルステライト系セラミックを含有しているので、高周波帯域におけるノイズ成分の減衰特性を向上させることが可能である。また、各非磁性体層5と各磁性体層4との間におけるデラミネーションといった不具合発生の可能性を低減することが可能となる。   In the first embodiment, since each nonmagnetic layer 5 contains forsterite ceramic containing Zn, it is possible to improve the attenuation characteristics of noise components in the high frequency band. In addition, it is possible to reduce the possibility of occurrence of a problem such as delamination between each nonmagnetic layer 5 and each magnetic layer 4.

(第2実施形態)   (Second Embodiment)

図4を参照して、第2実施形態に係るコモンモードフィルタCF1(積層型電子部品)の構成について説明する。図4は、本発明の第2実施形態に係るコモンモードフィルタCF1の断面構成を説明するための図である。   With reference to FIG. 4, the configuration of the common mode filter CF1 (multilayer electronic component) according to the second embodiment will be described. FIG. 4 is a diagram for explaining a cross-sectional configuration of the common mode filter CF1 according to the second embodiment of the present invention.

コモンモードフィルタCF1は、略直方体形状の積層体41と、積層体41の長手方向の両側面にそれぞれ形成された一対の端子電極42,43とを備える。なお、積層体41の底面は、コモンモードフィルタCF1が外部基板(図示せず)に実装されたときに、当該外部基板に対向する面である。   The common mode filter CF1 includes a substantially rectangular parallelepiped laminated body 41 and a pair of terminal electrodes 42 and 43 formed on both side surfaces of the laminated body 41 in the longitudinal direction. The bottom surface of the stacked body 41 is a surface facing the external substrate when the common mode filter CF1 is mounted on the external substrate (not shown).

積層体41は、複数の磁性体グリーンシート(詳細図示せず)がそれぞれシート積層工法によって積層されてなる一対の磁性体層ML1,ML2と、複数の非磁性体グリーンシート(詳細図示せず)がそれぞれシート積層工法によって積層されてなる非磁性体層LSと、複数のバリスタグリーンシート(詳細図示せず)がそれぞれシート積層工法によって積層されてなるバリスタ層VLとにより構成される。実際のコモンモードフィルタCF1は、磁性体グリーンシート、非磁性体グリーンシート及びバリスタグリーンシートの境界が視認できない程度に一体化されている。   The laminated body 41 includes a pair of magnetic layers ML1 and ML2 formed by laminating a plurality of magnetic green sheets (not shown in detail), respectively, and a plurality of non-magnetic green sheets (not shown in detail). Are formed by a non-magnetic layer LS that is laminated by a sheet laminating method and a varistor layer VL that is formed by laminating a plurality of varistor green sheets (not shown in detail) by a sheet laminating method. The actual common mode filter CF1 is integrated so that the boundary between the magnetic green sheet, the non-magnetic green sheet, and the varistor green sheet cannot be visually recognized.

各磁性体層ML1,ML2を形成する磁性体グリーンシート(詳細図示せず)は、フェライト(例えば、Ni−Cu−Zn系フェライト)を原料としたスラリーをドクターブレード法によりフィルム上に塗布することで形成される。磁性体グリーンシート(詳細図示せず)の厚みは、例えば20μmである。   The magnetic green sheets (not shown in detail) forming the magnetic layers ML1 and ML2 are obtained by applying a slurry of ferrite (for example, Ni—Cu—Zn based ferrite) as a raw material on the film by a doctor blade method. Formed with. The thickness of the magnetic green sheet (not shown in detail) is, for example, 20 μm.

非磁性体層LSは、その内部にコモンモードフィルタを形成するようにコイルC41が配置されている。また、各非磁性体層5は、後述するように非磁性体グリーンシート(詳細図示せず)が焼成されて焼結することで形成され、電気絶縁性を有する絶縁体として機能する。   The non-magnetic layer LS has a coil C41 disposed therein so as to form a common mode filter. Each nonmagnetic layer 5 is formed by firing and sintering a nonmagnetic green sheet (not shown in detail) as will be described later, and functions as an insulator having electrical insulation.

非磁性体層LSを形成する非磁性体グリーンシート(詳細図示せず)は、Znを含むフォルステライト系セラミックを原料としたスラリーをドクターブレード法によりフィルム上に塗布することで形成される。非磁性体グリーンシート(詳細図示せず)の厚みは、例えば20μmである。   A non-magnetic green sheet (not shown in detail) forming the non-magnetic layer LS is formed by applying a slurry of forsterite-based ceramic containing Zn as a raw material on a film by a doctor blade method. The thickness of the nonmagnetic green sheet (not shown in detail) is, for example, 20 μm.

バリスタ層VLは、ホット電極又はグランド電極が形成されたバリスタグリーンシート(詳細図示せず)が焼成されて焼結することで形成される。バリスタグリーンシート(詳細図示せず)は、ZnO、Co、Pr11、CaCO、SiOの混合粉を原料としたスラリーをドクターブレード法によりフィルム上に塗布することで形成される。バリスタグリーンシート(詳細図示せず)の厚みは、例えば30μmである。 The varistor layer VL is formed by firing and sintering a varistor green sheet (not shown in detail) on which a hot electrode or a ground electrode is formed. A varistor green sheet (not shown in detail) is formed by applying a slurry using a mixed powder of ZnO, Co 3 O 4 , Pr 6 O 11 , CaCO 3 , and SiO 2 as a raw material on a film by a doctor blade method. The The thickness of the varistor green sheet (not shown in detail) is, for example, 30 μm.

次に、上述した構成のコモンモードフィルタCF1の製造方法について説明する。まず、磁性体グリーンシート(詳細図示せず)、バリスタグリーンシート(詳細図示せず)及び非磁性体グリーンシート(詳細図示せず)を用意する。   Next, a method for manufacturing the common mode filter CF1 having the above-described configuration will be described. First, a magnetic green sheet (not shown in detail), a varistor green sheet (not shown in detail) and a non-magnetic green sheet (not shown in detail) are prepared.

続いて、各非磁性体グリーンシート(詳細図示せず)の所定の位置、すなわちスルーホール電極(詳細図示せず)が形成される予定の位置に、レーザー加工等によってスルーホールをそれぞれ形成する。次に、各磁性体グリーンシート(詳細図示せず)、バリスタグリーンシート(詳細図示せず)及び各非磁性体グリーンシート(詳細図示せず)の上に、各導体パターン(詳細図示せず)をそれぞれ形成する。ここで、各導体パターン(詳細図示せず)及び各スルーホール電極(詳細図示せず)は、銀又はニッケルを主成分とするペーストをメタルマスク等にて印刷することにより形成される。   Subsequently, through holes are formed by laser processing or the like at predetermined positions on each non-magnetic green sheet (not shown in detail), that is, positions where through-hole electrodes (not shown in detail) are to be formed. Next, on each magnetic green sheet (not shown in detail), varistor green sheet (not shown in detail) and each non-magnetic green sheet (not shown in detail), each conductor pattern (not shown in detail) Respectively. Here, each conductor pattern (not shown in detail) and each through-hole electrode (not shown in detail) are formed by printing a paste mainly composed of silver or nickel with a metal mask or the like.

続いて、各磁性体グリーンシート(詳細図示せず)、バリスタグリーンシート(詳細図示せず)及び各非磁性体グリーンシート(詳細図示せず)を所定の順序にて積層し、積層方向に圧力を加えて圧着する。   Subsequently, each magnetic green sheet (not shown in detail), a varistor green sheet (not shown in detail) and each non-magnetic green sheet (not shown in detail) are stacked in a predetermined order, and pressure is applied in the stacking direction. Add and crimp.

続いて、この圧着した磁性体グリーンシート(詳細図示せず)、バリスタグリーンシート(詳細図示せず)及び非磁性体グリーンシート(詳細図示せず)をチップ単位に切断した後に、所定温度(例えば、840〜900℃程度)にて焼成を行い、積層体41を形成する。   Subsequently, the pressure-bonded magnetic green sheet (not shown in detail), the varistor green sheet (not shown in detail) and the non-magnetic green sheet (not shown in detail) are cut into chips, and then a predetermined temperature (for example, , About 840 to 900 ° C.) to form the laminated body 41.

続いて、この積層体41に端子電極42,43を形成する。これにより、コモンモードフィルタCF1が形成されることとなる。端子電極42,43は、積層体41の長手方向の両端面にそれぞれ銀、ニッケル又は銅を主成分とする電極ペーストを塗布して、所定温度(例えば、680〜740℃程度)で焼付けを行い、さらに電気めっきを施すことにより形成される。この電気めっきとしては、Cu、Ni及びSn等を用いることができる。   Subsequently, terminal electrodes 42 and 43 are formed on the laminate 41. As a result, the common mode filter CF1 is formed. The terminal electrodes 42 and 43 are each baked at a predetermined temperature (for example, about 680 to 740 ° C.) by applying an electrode paste mainly composed of silver, nickel or copper to both end surfaces of the laminate 41 in the longitudinal direction. Further, it is formed by performing electroplating. For this electroplating, Cu, Ni, Sn, or the like can be used.

以上のように、本第2実施形態においては、非磁性体層LSがZnを含むフォルステライト系セラミックを含有しているので、高周波帯域におけるノイズ成分の減衰特性を向上させることが可能である。また、非磁性体層LSと各磁性体層ML1,ML2との間におけるデラミネーションといった不具合発生の可能性を低減することが可能となる。   As described above, in the second embodiment, since the nonmagnetic material layer LS contains forsterite ceramic containing Zn, it is possible to improve the attenuation characteristics of noise components in the high frequency band. In addition, it is possible to reduce the possibility of occurrence of problems such as delamination between the nonmagnetic layer LS and the magnetic layers ML1 and ML2.

尚、上述した第1実施形態ではコイル部品としての積層型電子部品を、上述した第2実施形態ではコモンモードフィルタとしての積層型電子部品を例示したが、本発明の実施形態はこれらに限られない。   In the first embodiment described above, the multilayer electronic component as the coil component is exemplified, and in the second embodiment described above, the multilayer electronic component as the common mode filter is exemplified. However, the embodiment of the present invention is not limited thereto. Absent.

本発明の実施形態としては、少なくとも1層以上の磁性体層と、少なくとも1層以上の非磁性体層とを備え、非磁性体層がZnを含むフォルステライト系セラミックを含有する積層型電子部品であればよく、他の形態も採用可能である。例えば、インダクタと共に共振回路を構成するコンデンサを含むLCフィルタも採用可能である。   As an embodiment of the present invention, a multilayer electronic component comprising at least one magnetic layer and at least one nonmagnetic layer, the nonmagnetic layer containing forsterite ceramic containing Zn Any other form may be adopted. For example, an LC filter including a capacitor that forms a resonance circuit together with an inductor can be employed.

本発明の第1実施形態である積層型インダクタの斜視図である。1 is a perspective view of a multilayer inductor according to a first embodiment of the present invention. 図1の積層型インダクタの断面構成を説明するための図である。FIG. 2 is a diagram for explaining a cross-sectional configuration of the multilayer inductor of FIG. 1. 図1の積層型インダクタに含まれる積層体の分解斜視図である。FIG. 2 is an exploded perspective view of a multilayer body included in the multilayer inductor of FIG. 1. 本発明の第2実施形態であるコモンモードフィルタの断面構成を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the cross-sectional structure of the common mode filter which is 2nd Embodiment of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1…積層体、2,3…端子電極、4…磁性体層、5…非磁性体層、L1…積層型インダクタ。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Laminated body, 2, 3 ... Terminal electrode, 4 ... Magnetic material layer, 5 ... Nonmagnetic material layer, L1 ... Multilayer inductor.

Claims (7)

少なくとも層以上の磁性体層と、
少なくとも1層以上の非磁性体層と、を備える積層型電子部品であって、
前記非磁性体層は、前記少なくとも2層以上の磁性体層の間に挟まれて該磁性体層を隔てていると共に、Znを含むフォルステライト系セラミックを含有する積層型電子部品。
At least two or more magnetic layers;
A multilayer electronic component comprising at least one non-magnetic layer,
The non-magnetic layer is a multilayer electronic component that includes a forsterite-based ceramic containing Zn, and is sandwiched between the at least two magnetic layers to separate the magnetic layer .
前記非磁性体層はインダクタを構成するコイル導体を含む、請求項1に記載の積層型電子部品。   The multilayer electronic component according to claim 1, wherein the nonmagnetic layer includes a coil conductor constituting an inductor. 前記コイル導体が一対形成されコモンモードフィルタとして機能する、請求項2に記載の積層型電子部品。   The multilayer electronic component according to claim 2, wherein a pair of the coil conductors are formed and function as a common mode filter. 前記インダクタと共にコンデンサを含みLCフィルタとして機能する、請求項2に記載の積層型電子部品。   The multilayer electronic component according to claim 2, comprising a capacitor together with the inductor and functioning as an LC filter. 前記コモンモードフィルタと共にコンデンサを含みLCフィルタとして機能する、請求項3に記載の積層型電子部品。   The multilayer electronic component according to claim 3, which includes a capacitor together with the common mode filter and functions as an LC filter. 前記非磁性体層が一対の前記磁性体層によって挟まれている、請求項1〜5のいずれか1項に記載の積層型電子部品。   The multilayer electronic component according to claim 1, wherein the nonmagnetic layer is sandwiched between a pair of the magnetic layers. バリスタ機能を発現するバリスタ層を更に備える、請求項1〜6のいずれか1項に記載の積層型電子部品。   The multilayer electronic component according to claim 1, further comprising a varistor layer that exhibits a varistor function.
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