JP2005229219A - Laminated filter and laminated filter array - Google Patents

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JP2005229219A JP2004034087A JP2004034087A JP2005229219A JP 2005229219 A JP2005229219 A JP 2005229219A JP 2004034087 A JP2004034087 A JP 2004034087A JP 2004034087 A JP2004034087 A JP 2004034087A JP 2005229219 A JP2005229219 A JP 2005229219A
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Yutaka Abe
裕 阿部
Kuniyasu Watanabe
邦保 渡邉
Yoshimitsu Sato
善光 佐藤
Osami Kumagai
修美 熊谷
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a laminated filter and a laminated filter array with high reliability which can properly be mounted onto an external board or the like. <P>SOLUTION: The laminated filter F1 is provided with a coil section 10 including a coil and a capacitor section 20 including a capacitor. The coil is configured by laminating a plurality of nonmagnetic body green sheets 11 to 22 to which conductor patterns 11a to 22a are respectively formed. The capacitor is configured by laminating a plurality of nonmagnetic body green sheets 31 to 33 to which capacitor electrodes 31a to 33a are respectively formed. Through-electrodes 12b, 14b, 16b, 18b are arranged at two positions in relation to the laminated direction. The through-electrodes 12b, 16b and the through-electrodes 14b, 18b are arranged along the length direction of elements 1 orthogonal to each other in the laminated direction and apart in the length direction of the elements 1 by a prescribed length. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、積層型フィルタ及び積層型フィルタアレイに関する。   The present invention relates to a multilayer filter and a multilayer filter array.

この種の積層型フィルタとして、スパイラル状の導体パターンが形成された複数の絶縁体が積層されることによって構成されるコイルと、コンデンサ電極が形成された複数の絶縁体が積層されることによって構成されるコンデンサとを有する積層体と、積層体における絶縁体の積層方向に平行な側面に形成され、コイルの両端にそれぞれ接続された一対の入出力電極と、を備えたものが知られている(例えば、特許文献1参照)。   This type of multilayer filter is constructed by laminating a coil composed of a plurality of insulators formed with a spiral conductor pattern and a plurality of insulators formed with capacitor electrodes. And a pair of input / output electrodes formed on side surfaces parallel to the stacking direction of the insulator in the stack and connected to both ends of the coil, respectively. (For example, refer to Patent Document 1).

特許文献1に記載された積層型フィルタにおいては、積層方向に隣接する導体パターンの内側端部同士は、絶縁体に形成された貫通電極により電気的に接続されている。また、内側端部同士を電気的に接続する各貫通電極は、積層方向から見て、同一箇所に集中して配置されている。
特開2003−69358号公報
In the multilayer filter described in Patent Document 1, the inner ends of the conductor patterns adjacent to each other in the stacking direction are electrically connected by through electrodes formed in an insulator. In addition, the through electrodes that electrically connect the inner end portions are concentrated in the same place as viewed from the stacking direction.
JP 2003-69358 A

ところで、上述したような構成の積層型フィルタは、導体パターンが形成された複数の絶縁体やコンデンサ電極が形成された複数の絶縁体等を積層した後に焼成することにより製造される。この場合、導体パターン、コンデンサ電極、貫通電極、及び絶縁体は、焼成時の加熱によって収縮する。導体パターンや貫通電極に用いられる導電体材料は、絶縁体を構成する磁性体材料や非磁性体材料よりも焼成後の縮率が小さいため、導体パターンや貫通電極に比べて絶縁体の方がより収縮する。従って、導体パターンの内側端部同士を電気的に接続する各貫通電極が、積層方向から見て、同一箇所に集中して配置されていると、絶縁体の積層方向に直交する側面には、貫通電極に対応する位置に、突部が形成されることとなる。   By the way, the multilayer filter having the above-described configuration is manufactured by laminating a plurality of insulators on which conductor patterns are formed, a plurality of insulators on which capacitor electrodes are formed, and the like, followed by firing. In this case, the conductor pattern, the capacitor electrode, the through electrode, and the insulator shrink due to heating during firing. The conductor material used for the conductor pattern and the through electrode has a smaller shrinkage ratio after firing than the magnetic material and the non-magnetic material constituting the insulator, so the insulator is better than the conductor pattern and the through electrode. Shrink more. Therefore, when the through electrodes that electrically connect the inner ends of the conductor pattern are arranged in the same location as viewed from the stacking direction, on the side surface orthogonal to the stacking direction of the insulator, A protrusion is formed at a position corresponding to the through electrode.

上記突部は、積層型フィルタを外部基板等に実装する場合、当該突部が形成された側面がマウンタによる吸着面とされると、マウンタの吸着不良の要因となり、また、突部が形成された側面がマウント面とされると、外部基板等への実装不良の要因となる。   When the multilayer filter is mounted on an external substrate or the like, if the side surface on which the protrusion is formed is an adsorption surface by the mounter, the protrusion causes a mounter adsorption failure and the protrusion is formed. If the side surface is the mounting surface, it may cause a mounting failure on an external substrate or the like.

また、上記突部の周りにはクラックが発生しやすくなる。万が一、クラックが発生した場合には、発生したクラックに水分等が滞留して、絶縁抵抗が低下し、積層型フィルタの信頼性が著しく低下することとなる。   Further, cracks are likely to occur around the protrusion. If a crack occurs, moisture or the like stays in the generated crack, the insulation resistance is lowered, and the reliability of the multilayer filter is significantly lowered.

本発明は、上記事情に鑑み、外部基板等への実装を適切に行なうことが可能であり、且つ、信頼性が高い積層型フィルタ及び積層型フィルタアレイを提供することを目的とする。   In view of the above circumstances, an object of the present invention is to provide a multilayer filter and a multilayer filter array that can be appropriately mounted on an external substrate or the like and have high reliability.

本発明に係る積層型フィルタは、スパイラル状の導体パターンが形成された複数の絶縁体が積層されることによって構成されるコイルと、コンデンサ電極が形成された複数の絶縁体が積層されることによって構成されるコンデンサとを有する積層体と、積層体における絶縁体の積層方向に平行な側面に形成され、コイルの両端にそれぞれ接続された一対の入出力電極と、を備え、積層方向に隣接する導体パターンの内側端部同士は、絶縁体に形成された貫通電極により電気的に接続されており、内側端部同士を電気的に接続する各貫通電極は、積層方向から見て、複数箇所に配置されていることを特徴とする。   The multilayer filter according to the present invention includes a coil constituted by laminating a plurality of insulators formed with a spiral conductor pattern and a plurality of insulators formed with capacitor electrodes. And a pair of input / output electrodes formed on side surfaces parallel to the stacking direction of the insulator in the stack and respectively connected to both ends of the coil, and adjacent to each other in the stacking direction. The inner ends of the conductor pattern are electrically connected by through electrodes formed in the insulator, and each through electrode that electrically connects the inner ends is seen at a plurality of locations when viewed from the stacking direction. It is arranged.

本発明に係る積層型フィルタでは、導体パターンの内側端部同士を電気的に接続する各貫通電極が、積層方向から見て、複数箇所に配置されるので、積層方向から見て同一位置に配置される貫通電極の数が、従来のものよりも少なくなる。このため、積層方向に直交する側面における貫通電極に対応する各位置に形成される突部の高さが軽減されることとなる。この結果、積層型フィルタを実装する場合に、マウンタの吸着不良、あるいは、外部基板等への実装不良となるのが抑制され、外部基板等への実装を適切に行なうことができる。また、突部周りにおけるクラックの発生も抑制されることとなり、信頼性が高まる。   In the multilayer filter according to the present invention, each through electrode that electrically connects the inner ends of the conductor pattern is disposed at a plurality of locations as viewed from the stacking direction, and therefore is disposed at the same position as viewed from the stacking direction. The number of through-electrodes to be performed is smaller than that of the conventional one. For this reason, the height of the protrusion formed in each position corresponding to the through electrode on the side surface orthogonal to the stacking direction is reduced. As a result, when the multilayer filter is mounted, it is possible to suppress mounting failure of the mounter or mounting failure to an external substrate or the like, and mounting to the external substrate or the like can be performed appropriately. In addition, the occurrence of cracks around the protrusion is suppressed, and the reliability is improved.

また、各貫通電極は、積層方向から見て、当該積層方向に直交する所定の方向に沿うように配置されていることが好ましい。   Moreover, it is preferable that each penetration electrode is arrange | positioned so that it may see along the predetermined direction orthogonal to the said lamination direction seeing from the lamination direction.

また、積層方向に隣接する導体パターンの外側端部同士は、絶縁体に形成された貫通電極により電気的に接続されており、外側端部同士を電気的に接続する各貫通電極は、積層方向から見て、複数箇所に配置されていることが好ましい。このように構成した場合、導体パターンの外側端部同士を電気的に接続する各貫通電極が、積層方向から見て、複数箇所に配置されるので、積層方向から見て同一位置に配置される貫通電極の数が、従来のものよりも少なくなる。この結果、積層方向に直交する側面における貫通電極に対応する各位置に形成される突部の高さが軽減され、外部基板等への実装をより一層適切に行なうことができると共に、信頼性もより一層高まることとなる。   In addition, the outer ends of the conductor patterns adjacent to each other in the stacking direction are electrically connected by through electrodes formed in an insulator, and each through electrode that electrically connects the outer ends is stacked in the stacking direction. From the viewpoint, it is preferable that they are arranged at a plurality of locations. When configured in this way, each through electrode that electrically connects the outer ends of the conductor pattern is disposed at a plurality of locations as viewed from the stacking direction, and therefore is disposed at the same position as viewed from the stacking direction. The number of through electrodes is smaller than the conventional one. As a result, the height of the protrusion formed at each position corresponding to the through electrode on the side surface orthogonal to the stacking direction is reduced, and mounting on an external substrate or the like can be performed more appropriately and reliability is also improved. It will be even higher.

また、内側端部同士を電気的に接続する各貫通電極は、積層方向から見て、当該積層方向に直交する所定の方向に沿うように配置されており、外側端部同士を電気的に接続する各貫通電極は、積層方向から見て、積層方向に直交し且つ内側端部同士を電気的に接続する各貫通電極の配置方向と交差する所定の方向に沿うように配置されていることが好ましい。   In addition, each through electrode that electrically connects the inner ends is disposed along a predetermined direction orthogonal to the stacking direction when viewed from the stacking direction, and the outer ends are electrically connected to each other. Each through-electrode to be arranged is arranged so as to be along a predetermined direction perpendicular to the lamination direction and intersecting the arrangement direction of each through-electrode that electrically connects the inner end portions when viewed from the lamination direction. preferable.

本発明に係る積層型フィルタは、スパイラル状の導体パターンが形成された複数の絶縁体が積層されることによって構成されるコイルと、コンデンサ電極が形成された複数の絶縁体が積層されることによって構成されるコンデンサとを有する積層体と、積層体における絶縁体の積層方向に平行な側面に形成され、コイルの両端にそれぞれ接続された一対の入出力電極と、を備え、前積層方向に隣接する導体パターンの内側端部同士は、絶縁体に形成された貫通電極により電気的に接続されており、積層方向に隣接する貫通電極同士は、積層方向から見て、当該積層方向に直交する方向に所定の長さに離れていることを特徴とする。   The multilayer filter according to the present invention includes a coil constituted by laminating a plurality of insulators formed with a spiral conductor pattern and a plurality of insulators formed with capacitor electrodes. And a pair of input / output electrodes formed on side surfaces parallel to the stacking direction of the insulator in the stack and respectively connected to both ends of the coil, and adjacent to the stacking direction. The inner ends of the conductor pattern to be connected are electrically connected by through electrodes formed in the insulator, and the through electrodes adjacent to each other in the stacking direction are perpendicular to the stacking direction when viewed from the stacking direction. It is characterized by being separated by a predetermined length.

本発明に係る積層型フィルタでは、導体パターンの内側端部同士を電気的に接続する複数の貫通電極のうち積層方向に隣接するもの同士が、積層方向から見て、当該積層方向に直交する方向に所定の長さに離されているので、積層方向から見て同一位置に配置される貫通電極の数が、従来のものよりも少なくなる。このため、積層方向に直交する側面における貫通電極に対応する各位置に形成される突部の高さが軽減されることとなる。この結果、積層型フィルタを実装する場合に、マウンタの吸着不良、あるいは、外部基板等への実装不良となるのが抑制され、外部基板等への実装を適切に行なうことができる。また、突部周りにおけるクラックの発生も抑制されることとなり、信頼性が高まる。   In the multilayer filter according to the present invention, among the plurality of through-electrodes that electrically connect the inner ends of the conductor pattern, those adjacent in the stacking direction are perpendicular to the stacking direction when viewed from the stacking direction. Therefore, the number of through electrodes arranged at the same position when viewed from the stacking direction is smaller than that of the conventional one. For this reason, the height of the protrusion formed in each position corresponding to the through electrode on the side surface orthogonal to the stacking direction is reduced. As a result, when the multilayer filter is mounted, it is possible to suppress mounting failure of the mounter or mounting failure to an external substrate or the like, and mounting to the external substrate or the like can be performed appropriately. In addition, the occurrence of cracks around the protrusion is suppressed, and the reliability is improved.

また、積層方向に隣接する導体パターンの外側端部同士は、絶縁体に形成された貫通電極により電気的に接続されており、外側端部同士を電気的に接続する複数の貫通電極のうち積層方向に隣接するもの同士が、積層方向から見て、積層方向に直交し且つ内側端部同士を電気的に接続する貫通電極同士が離れている方向と交差する方向に所定の長さに離れていることが好ましい。このように構成した場合、導体パターンの外側端部同士を電気的に接続する複数の貫通電極のうち積層方向に隣接するもの同士が、積層方向から見て、積層方向に直交し且つ内側端部同士を電気的に接続する貫通電極同士が離れている方向と交差する方向に所定の長さに離されているので、積層方向から見て同一位置に配置される貫通電極の数が、従来のものよりも少なくなる。この結果、積層方向に直交する側面における貫通電極に対応する各位置に形成される突部の高さが軽減され、外部基板等への実装をより一層適切に行なうことができると共に、信頼性もより一層高まることとなる。   In addition, the outer ends of the conductor patterns adjacent in the stacking direction are electrically connected by a through electrode formed in an insulator, and stacked among the plurality of through electrodes that electrically connect the outer ends. Adjacent to each other, when viewed from the stacking direction, are separated by a predetermined length in a direction perpendicular to the stacking direction and intersecting with the direction in which the through electrodes that electrically connect the inner ends are separated from each other. Preferably it is. When configured in this manner, among the plurality of through electrodes that electrically connect the outer end portions of the conductor pattern, those adjacent in the stacking direction are orthogonal to the stacking direction and viewed from the stacking direction, and the inner end portions Since the through electrodes that electrically connect each other are separated by a predetermined length in a direction that intersects the direction in which the through electrodes are separated from each other, the number of through electrodes that are arranged at the same position when viewed from the stacking direction is Less than things. As a result, the height of the protrusion formed at each position corresponding to the through electrode on the side surface orthogonal to the stacking direction is reduced, and mounting on an external substrate or the like can be performed more appropriately and reliability is also improved. It will be even higher.

本発明に係る積層型フィルタアレイは、スパイラル状の導体パターンが形成された複数の絶縁体が積層されることによって構成される複数のコイルと、各コイルに対応するコンデンサ電極が形成された複数の絶縁体が積層されることによって構成される複数のコンデンサとを有する積層体と、積層体における絶縁体の積層方向に平行な側面に形成され、各コイルの両端にそれぞれ接続された一対の入出力電極と、を備え、各コイルにおいて、積層方向に隣接する導体パターンの内側端部同士は、絶縁体に形成された貫通電極により電気的に接続されており、内側端部同士を電気的に接続する各貫通電極は、積層方向から見て、複数箇所に配置されていることを特徴とする。   The multilayer filter array according to the present invention includes a plurality of coils formed by laminating a plurality of insulators each having a spiral conductor pattern, and a plurality of capacitor electrodes corresponding to the coils. A laminated body having a plurality of capacitors configured by laminating insulators, and a pair of input / outputs formed on side surfaces parallel to the laminating direction of the insulators in the laminated body and connected to both ends of each coil, respectively In each coil, the inner ends of the conductor patterns adjacent to each other in the stacking direction are electrically connected by a through electrode formed in the insulator, and the inner ends are electrically connected to each other. Each through electrode is arranged at a plurality of locations as viewed from the stacking direction.

本発明に係る積層型フィルタアレイでは、各コイルにおいて、導体パターンの内側端部同士を電気的に接続する各貫通電極が、積層方向から見て、複数箇所に配置されるので、積層方向から見て同一位置に配置される貫通電極の数が、従来のものよりも少なくなる。このため、積層方向に直交する側面における貫通電極に対応する各位置に形成される突部の高さが軽減されることとなる。この結果、積層型フィルタアレイを実装する場合に、マウンタの吸着不良、あるいは、外部基板等への実装不良となるのが抑制され、外部基板等への実装を適切に行なうことができる。また、突部周りにおけるクラックの発生も抑制されることとなり、信頼性が高まる。   In the multilayer filter array according to the present invention, in each coil, the through electrodes that electrically connect the inner ends of the conductor pattern are arranged at a plurality of locations as viewed from the stacking direction. Thus, the number of through electrodes arranged at the same position is smaller than that of the conventional one. For this reason, the height of the protrusion formed in each position corresponding to the through electrode on the side surface orthogonal to the stacking direction is reduced. As a result, when the multilayer filter array is mounted, it is possible to suppress mounting failure of the mounter or mounting failure to an external substrate or the like, and mounting to the external substrate or the like can be performed appropriately. In addition, the occurrence of cracks around the protrusion is suppressed, and the reliability is improved.

また、各コイルにおいて、各貫通電極は、積層方向から見て、当該積層方向に直交する所定の方向に沿うように配置されていることが好ましい。   Moreover, in each coil, it is preferable that each penetration electrode is arrange | positioned along the predetermined direction orthogonal to the said lamination direction seeing from the lamination direction.

また、各コイルにおいて、積層方向に隣接する導体パターンの外側端部同士は、絶縁体に形成された貫通電極により電気的に接続されており、外側端部同士を電気的に接続する各貫通電極は、積層方向から見て、複数箇所に配置されていることが好ましい。このように構成した場合、各コイルにおいて、導体パターンの外側端部同士を電気的に接続する各貫通電極が、積層方向から見て、複数箇所に配置されるので、積層方向から見て同一位置に配置される貫通電極の数が、従来のものよりも少なくなる。この結果、積層方向に直交する側面における貫通電極に対応する各位置に形成される突部の高さが軽減され、外部基板等への実装をより一層適切に行なうことができると共に、信頼性もより一層高まることとなる。   Further, in each coil, the outer ends of the conductor patterns adjacent to each other in the stacking direction are electrically connected by a through electrode formed in an insulator, and each through electrode that electrically connects the outer ends is provided. Are preferably arranged at a plurality of locations as viewed from the stacking direction. When configured in this way, in each coil, each through electrode that electrically connects the outer ends of the conductor pattern is disposed at a plurality of locations as viewed from the stacking direction, so that the same position as viewed from the stacking direction is provided. The number of through-electrodes arranged in the is less than that of the conventional one. As a result, the height of the protrusion formed at each position corresponding to the through electrode on the side surface orthogonal to the stacking direction is reduced, and mounting on an external substrate or the like can be performed more appropriately and reliability is also improved. It will be even higher.

また、各コイルにおいて、内側端部同士を電気的に接続する各貫通電極は、積層方向から見て、当該積層方向に直交する所定の方向に沿うように配置されており、外側端部同士を電気的に接続する各貫通電極は、積層方向から見て、積層方向に直交し且つ内側端部同士を電気的に接続する各貫通電極の配置方向と交差する所定の方向に沿うように配置されていることが好ましい。   Further, in each coil, each through electrode that electrically connects the inner ends is arranged along a predetermined direction orthogonal to the stacking direction when viewed from the stacking direction, and the outer ends are connected to each other. Each electrically connected through electrode is arranged so as to be along a predetermined direction that is orthogonal to the laminated direction and intersects the arrangement direction of each through electrode that electrically connects the inner end portions when viewed from the laminated direction. It is preferable.

本発明に係る積層型フィルタアレイは、スパイラル状の導体パターンが形成された複数の絶縁体が積層されることによって構成される複数のコイルと、各コイルに対応するコンデンサ電極が形成された複数の絶縁体が積層されることによって構成される複数のコンデンサとを有する積層体と、積層体における絶縁体の積層方向に平行な側面に形成され、各コイルの両端にそれぞれ接続された一対の入出力電極と、を備え、各コイルにおいて、積層方向に隣接する貫通電極同士は、積層方向から見て、当該積層方向に直交する方向に所定の長さに離れていることを特徴とする。   The multilayer filter array according to the present invention includes a plurality of coils formed by laminating a plurality of insulators each having a spiral conductor pattern, and a plurality of capacitor electrodes corresponding to the coils. A laminated body having a plurality of capacitors configured by laminating insulators, and a pair of input / outputs formed on side surfaces parallel to the laminating direction of the insulators in the laminated body and connected to both ends of each coil, respectively In each coil, the through electrodes adjacent to each other in the stacking direction are separated from each other by a predetermined length in a direction orthogonal to the stacking direction when viewed from the stacking direction.

本発明に係る積層型フィルタアレイでは、各コイルにおいて、導体パターンの内側端部同士を電気的に接続する複数の貫通電極のうち積層方向に隣接するもの同士が、積層方向から見て、当該積層方向に直交する方向に所定の長さに離されているので、積層方向から見て同一位置に配置される貫通電極の数が、従来のものよりも少なくなる。このため、積層方向に直交する側面における貫通電極に対応する各位置に形成される突部の高さが軽減されることとなる。この結果、積層型フィルタを実装する場合に、マウンタの吸着不良、あるいは、外部基板等への実装不良となるのが抑制され、外部基板等への実装を適切に行なうことができる。また、突部周りにおけるクラックの発生も抑制されることとなり、信頼性が高まる。   In the multilayer filter array according to the present invention, in each coil, a plurality of through electrodes that electrically connect the inner ends of the conductor pattern are adjacent to each other in the laminating direction when viewed from the laminating direction. Since they are separated from each other by a predetermined length in the direction orthogonal to the direction, the number of through electrodes arranged at the same position when viewed from the stacking direction is smaller than that of the conventional one. For this reason, the height of the protrusion formed in each position corresponding to the through electrode on the side surface orthogonal to the stacking direction is reduced. As a result, when the multilayer filter is mounted, it is possible to suppress mounting failure of the mounter or mounting failure to an external substrate or the like, and mounting to the external substrate or the like can be performed appropriately. In addition, the occurrence of cracks around the protrusion is suppressed, and the reliability is improved.

また、各コイルにおいて、積層方向に隣接する導体パターンの外側端部同士は、絶縁体に形成された貫通電極により電気的に接続されており、外側端部同士を電気的に接続する複数の貫通電極のうち積層方向に隣接するもの同士が、積層方向から見て、積層方向に直交し且つ内側端部同士を電気的に接続する貫通電極同士が離れている方向と交差する方向に所定の長さに離れていることが好ましい。このように構成した場合、各コイルにおいて、導体パターンの外側端部同士を電気的に接続する複数の貫通電極のうち積層方向に隣接するもの同士が、積層方向から見て、積層方向に直交し且つ内側端部同士を電気的に接続する貫通電極同士が離れている方向と交差する方向に所定の長さに離されているので、積層方向から見て同一位置に配置される貫通電極の数が、従来のものよりも少なくなる。この結果、積層方向に直交する側面における貫通電極に対応する各位置に形成される突部の高さが軽減され、外部基板等への実装をより一層適切に行なうことができると共に、信頼性もより一層高まることとなる。   Further, in each coil, the outer ends of the conductor patterns adjacent to each other in the stacking direction are electrically connected by through electrodes formed in an insulator, and a plurality of penetrations that electrically connect the outer ends are connected. The electrodes adjacent to each other in the stacking direction have a predetermined length in a direction perpendicular to the stacking direction and intersecting with the direction in which the through electrodes that electrically connect the inner ends are separated from each other when viewed from the stacking direction. It is preferable to be far away. When configured in this way, in each coil, among the plurality of through electrodes that electrically connect the outer ends of the conductor pattern, those adjacent in the stacking direction are orthogonal to the stacking direction when viewed from the stacking direction. In addition, since the through electrodes that electrically connect the inner end portions are separated by a predetermined length in the direction intersecting with the direction in which the through electrodes are separated from each other, the number of through electrodes arranged at the same position when viewed from the stacking direction However, it is less than the conventional one. As a result, the height of the protrusion formed at each position corresponding to the through electrode on the side surface orthogonal to the stacking direction is reduced, and mounting on an external substrate or the like can be performed more appropriately and reliability is also improved. It will be even higher.

また、絶縁体は、非磁性体で形成されていることが好ましい。このように構成した場合、コンデンサのキャパシタンスとコイルのインダクタンスとで決まる共振周波数を高周波側に設定することが可能となり、より高帯域のノイズを除去することができる。   The insulator is preferably formed of a nonmagnetic material. When configured in this manner, the resonance frequency determined by the capacitance of the capacitor and the inductance of the coil can be set on the high frequency side, and higher-band noise can be removed.

また、導体パターンが形成された絶縁体は、磁性体で形成されていることが好ましい。このように構成した場合、コンデンサのキャパシタンスとコイルのインダクタンスとで決まる共振周波数を低周波側に設定することが可能となり、より低帯域のノイズを除去することができる。   The insulator on which the conductor pattern is formed is preferably formed of a magnetic material. When configured in this manner, the resonance frequency determined by the capacitance of the capacitor and the inductance of the coil can be set on the low frequency side, and noise in a lower band can be removed.

本発明によれば、外部基板等への実装を適切に行なうことが可能であり、且つ、信頼性が高い積層型フィルタ及び積層型フィルタアレイを提供することができる。   According to the present invention, it is possible to provide a multilayer filter and a multilayer filter array that can be appropriately mounted on an external substrate or the like and have high reliability.

本発明の実施形態に係る積層型フィルタ及び積層型フィルタアレイについて図面を参照して説明する。なお、説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には、同一符号を用いることとし、重複する説明は省略する。また、説明中、「上」及び「下」なる語を使用することがあるが、これは各図の上下方向に対応したものである。   A multilayer filter and a multilayer filter array according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. In the description, the same reference numerals are used for the same elements or elements having the same function, and redundant description is omitted. In the description, the terms “upper” and “lower” may be used, which correspond to the vertical direction of each figure.

(第1実施形態)
図1は、第1実施形態に係る積層型フィルタを示す斜視図である。図2は、第1実施形態に係る積層型フィルタの断面構成を説明するための概略図である。図3は、第1実施形態に係る積層型フィルタを示す分解斜視図である。図4は、第1実施形態に係る積層型フィルタにおける貫通電極の配置を説明するための図である。図5は、第1実施形態に係る積層型フィルタの等価回路を説明するための図である。本第1実施形態は、本発明をL型の積層型3端子フィルタに適用したものである。
(First embodiment)
FIG. 1 is a perspective view showing the multilayer filter according to the first embodiment. FIG. 2 is a schematic diagram for explaining a cross-sectional configuration of the multilayer filter according to the first embodiment. FIG. 3 is an exploded perspective view showing the multilayer filter according to the first embodiment. FIG. 4 is a view for explaining the arrangement of through electrodes in the multilayer filter according to the first embodiment. FIG. 5 is a diagram for explaining an equivalent circuit of the multilayer filter according to the first embodiment. In the first embodiment, the present invention is applied to an L-type multilayer three-terminal filter.

積層型フィルタF1は、図1に示されるように、素子1の長手方向の両端部に形成された一対の入出力電極3,5と、同じく素子1の側面に形成されたグランド電極7とを備えている。なお、素子1の底面は、積層型フィルタF1が外部基板(図示せず)に実装されたときに、当該外部基板に対向する面である。   As shown in FIG. 1, the multilayer filter F <b> 1 includes a pair of input / output electrodes 3 and 5 formed at both ends in the longitudinal direction of the element 1, and a ground electrode 7 that is also formed on the side surface of the element 1. I have. The bottom surface of the element 1 is a surface facing the external substrate when the multilayer filter F1 is mounted on the external substrate (not shown).

積層型フィルタF1は、図2及び図3に示されるように、コイルLを含むコイル部10と、コンデンサCを含むコンデンサ部30とを備えている。これらコイル部10及びコンデンサ部30が積層されることにより直方体形状の素子(積層体)1が構成されることとなる。コンデンサ部30は、コイル部10の下に位置する。   As shown in FIGS. 2 and 3, the multilayer filter F <b> 1 includes a coil unit 10 including a coil L and a capacitor unit 30 including a capacitor C. The coil unit 10 and the capacitor unit 30 are laminated to form a rectangular parallelepiped element (laminated body) 1. The capacitor unit 30 is located below the coil unit 10.

コイルLは、導体パターン11a〜22aが形成された複数(本実施形態においては、6層)の非磁性体グリーンシート(絶縁体)11〜22が積層されることにより構成される。入出力電極3,5が形成された側面は、非磁性体グリーンシート11〜22の積層方向に平行である。   The coil L is configured by laminating a plurality (six layers in this embodiment) of non-magnetic green sheets (insulators) 11 to 22 on which conductor patterns 11a to 22a are formed. The side surface on which the input / output electrodes 3 and 5 are formed is parallel to the stacking direction of the nonmagnetic green sheets 11 to 22.

導体パターン11aは、非磁性体グリーンシート11上で略J字状に伸びている。導体パターン11aの一端は、非磁性体グリーンシート11の縁部に引き出されており、非磁性体グリーンシート11の端面に露出している。導体パターン11aは、コイルLの一方の端部に位置することとなる。コイルLの一方の端部(導体パターン11a)は、素子1の縁部まで引き出されており、一方の入出力電極3に電気的に接続される。   The conductor pattern 11 a extends in a substantially J shape on the nonmagnetic green sheet 11. One end of the conductor pattern 11 a is drawn to the edge of the nonmagnetic green sheet 11 and is exposed on the end surface of the nonmagnetic green sheet 11. The conductor pattern 11a is located at one end of the coil L. One end (conductor pattern 11 a) of the coil L is drawn to the edge of the element 1 and is electrically connected to one input / output electrode 3.

導体パターン12a〜20aは、コイルLの略1ターン分に相当し、非磁性体グリーンシート12〜20上でスパイラル状に巻き回されている。導体パターン21aは、コイルLの略1/2ターン分に相当し、非磁性体グリーンシート21上で略C字状に巻き回されている。   The conductor patterns 12a to 20a correspond to approximately one turn of the coil L, and are wound spirally on the nonmagnetic green sheets 12 to 20. The conductor pattern 21a corresponds to approximately ½ turn of the coil L, and is wound on the nonmagnetic green sheet 21 in a substantially C shape.

導体パターン22aは、非磁性体グリーンシート22上で略I字状に伸びている。導体パターン22aの一端は、非磁性体グリーンシート22の縁部に引き出され、非磁性体グリーンシート22の端面に露出している。導体パターン22aは、コイルLの他方の端部に位置することとなる。コイルLの他方の端部(導体パターン22a)は、素子1の縁部まで引き出されており、他方の入出力電極5に電気的に接続される。   The conductor pattern 22 a extends in a substantially I shape on the nonmagnetic green sheet 22. One end of the conductor pattern 22 a is drawn to the edge of the nonmagnetic green sheet 22 and is exposed on the end surface of the nonmagnetic green sheet 22. The conductor pattern 22a is located at the other end of the coil L. The other end (conductor pattern 22 a) of the coil L is drawn to the edge of the element 1 and is electrically connected to the other input / output electrode 5.

導体パターン11a〜22aは、その端部同士が非磁性体グリーンシート11〜21にそれぞれ形成された貫通電極11b〜21bにより電気的に接続される。導体パターン11a〜22aは、相互に電気的に接続されることで、コイルLを構成することとなる。   The end portions of the conductor patterns 11a to 22a are electrically connected by through electrodes 11b to 21b formed on the nonmagnetic green sheets 11 to 21, respectively. The conductor patterns 11a to 22a constitute the coil L by being electrically connected to each other.

導体パターン11aの他端と、導体パターン12aの外側端部とが、貫通電極11bにより電気的に接続される。導体パターン12aの内側端部と、導体パターン13aの内側端部とが、貫通電極12bにより電気的に接続される。導体パターン13aの外側端部と、導体パターン14aの外側端部とが、貫通電極13bにより電気的に接続される。導体パターン14aの内側端部と、導体パターン15aの内側端部とが、貫通電極14bにより電気的に接続される。導体パターン15aの外側端部と、導体パターン16aの外側端部とが、貫通電極15bにより電気的に接続される。導体パターン16aの内側端部と、導体パターン17aの内側端部とが、貫通電極16bにより電気的に接続される。導体パターン17aの外側端部と、導体パターン18aの外側端部とが、貫通電極17bにより電気的に接続される。導体パターン18aの内側端部と、導体パターン19aの内側端部とが、貫通電極18bにより電気的に接続される。導体パターン19aの外側端部と、導体パターン20aの外側端部とが、貫通電極19bにより電気的に接続される。導体パターン20aの内側端部と、導体パターン21aの一方の端部とが、貫通電極20bにより電気的に接続される。導体パターン21aの他方の端部と、導体パターン22aの一方の端部とが、貫通電極21bにより電気的に接続される。このように、導体パターン12a〜20aに関しては、積層方向に隣接する導体パターン13aと14a,15aと16a,17aと18a,19aと20aの外側端部同士が、対応する貫通電極13b,15b,17b,19bにより電気的に接続される。また、積層方向に隣接する導体パターン12aと13a,14aと15a,16aと17a,18aと19aの内側端部同士が、対応する貫通電極12b,14b,16b,18bにより電気的に接続される。   The other end of the conductor pattern 11a and the outer end of the conductor pattern 12a are electrically connected by the through electrode 11b. The inner end portion of the conductor pattern 12a and the inner end portion of the conductor pattern 13a are electrically connected by the through electrode 12b. The outer end portion of the conductor pattern 13a and the outer end portion of the conductor pattern 14a are electrically connected by the through electrode 13b. The inner end portion of the conductor pattern 14a and the inner end portion of the conductor pattern 15a are electrically connected by the through electrode 14b. The outer end of the conductor pattern 15a and the outer end of the conductor pattern 16a are electrically connected by the through electrode 15b. The inner end portion of the conductor pattern 16a and the inner end portion of the conductor pattern 17a are electrically connected by the through electrode 16b. The outer end portion of the conductor pattern 17a and the outer end portion of the conductor pattern 18a are electrically connected by the through electrode 17b. The inner end of the conductor pattern 18a and the inner end of the conductor pattern 19a are electrically connected by the through electrode 18b. The outer end of the conductor pattern 19a and the outer end of the conductor pattern 20a are electrically connected by the through electrode 19b. The inner end portion of the conductor pattern 20a and one end portion of the conductor pattern 21a are electrically connected by the through electrode 20b. The other end of the conductor pattern 21a and one end of the conductor pattern 22a are electrically connected by the through electrode 21b. As described above, regarding the conductor patterns 12a to 20a, the outer end portions of the conductor patterns 13a and 14a, 15a and 16a, 17a and 18a, 19a and 20a adjacent to each other in the stacking direction correspond to the corresponding through electrodes 13b, 15b, and 17b. , 19b are electrically connected. Further, the inner ends of the conductor patterns 12a and 13a, 14a and 15a, 16a and 17a, 18a and 19a adjacent to each other in the stacking direction are electrically connected by corresponding through electrodes 12b, 14b, 16b and 18b.

貫通電極12b,14b,16b,18bは、図4に示されるように、積層方向から見て、複数箇所(本実施形態においては、2箇所)に配置されている。貫通電極12b,16bと貫通電極14b,18bとは、積層方向に直交する素子1の長手方向に沿うように配置されており、素子1の長手方向に所定の長さ(本実施形態においては、素子1の長手方向における貫通電極13b,15b,17b,19bと貫通電極21bとの間隔の略1/3の長さ)に離れている。   As shown in FIG. 4, the through electrodes 12 b, 14 b, 16 b, and 18 b are arranged at a plurality of locations (two locations in the present embodiment) when viewed from the stacking direction. The through electrodes 12b and 16b and the through electrodes 14b and 18b are disposed along the longitudinal direction of the element 1 orthogonal to the stacking direction, and have a predetermined length in the longitudinal direction of the element 1 (in this embodiment, The distance between the through electrodes 13b, 15b, 17b, 19b and the through electrode 21b in the longitudinal direction of the element 1 is approximately 1/3 of the distance between the through electrodes 21b.

貫通電極13b,15b,17b,19bは、図4に示されるように、積層方向から見て、複数箇所(本実施形態においては、2箇所)に配置されている。貫通電極13b,17bと貫通電極15b,19bとは、素子1の長手方向(貫通電極12b,16bと貫通電極14b,18bとの配置方向)と交差(本実施形態においては、直交)する方向に沿うように配置されており、素子1の長手方向に所定の長さに離れている。   As shown in FIG. 4, the through electrodes 13b, 15b, 17b, and 19b are arranged at a plurality of locations (two locations in the present embodiment) when viewed from the stacking direction. The through electrodes 13b and 17b and the through electrodes 15b and 19b are in a direction intersecting (orthogonal in the present embodiment) with the longitudinal direction of the element 1 (the arrangement direction of the through electrodes 12b and 16b and the through electrodes 14b and 18b). The elements 1 are arranged so as to extend along the longitudinal direction of the element 1.

コンデンサCは、コンデンサ電極31a〜33aが形成された複数(本実施形態においては、3層)の非磁性体グリーンシート(絶縁体)31〜33が積層されることにより構成される。コンデンサ電極31a,33aは、素子1の側面を構成する非磁性体グリーンシート31,33の端面にそれぞれ露出する一対の導出部31b,33bを含んでおり、非磁性体グリーンシート31,33上で略矩形状に形成されている。コンデンサ電極32aは、一端が非磁性体グリーンシート32の端面に露出しており、非磁性体グリーンシート32上で略矩形状に形成されている。コンデンサ電極31a〜33aと、これらの間に位置する非磁性体グリーンシート31,32と、非磁性体グリーンシート33とが、コンデンサCを構成することとなる。   The capacitor C is configured by laminating a plurality (three layers in this embodiment) of non-magnetic green sheets (insulators) 31 to 33 on which capacitor electrodes 31a to 33a are formed. Capacitor electrodes 31a and 33a include a pair of lead-out portions 31b and 33b exposed at the end faces of the nonmagnetic green sheets 31 and 33 constituting the side surfaces of the element 1, respectively, on the nonmagnetic green sheets 31 and 33. It is formed in a substantially rectangular shape. One end of the capacitor electrode 32 a is exposed at the end face of the nonmagnetic green sheet 32, and is formed in a substantially rectangular shape on the nonmagnetic green sheet 32. The capacitor electrodes 31a to 33a, the nonmagnetic green sheets 31 and 32 positioned therebetween, and the nonmagnetic green sheet 33 constitute the capacitor C.

コンデンサ電極31a,33aの導出部31b,33bは、グランド電極7に電気的に接続される。コンデンサ電極32aの一端は、一方の入出力電極3に電気的に接続される。これにより、コンデンサ電極32aは、コイルLの一方の端部(導体パターン11a)に電気的に接続されることとなる。本実施形態においては、コンデンサ電極32aは信号用の電極とされ、コンデンサ電極31a,33aは接地用の電極とされる。   The lead-out portions 31 b and 33 b of the capacitor electrodes 31 a and 33 a are electrically connected to the ground electrode 7. One end of the capacitor electrode 32 a is electrically connected to one input / output electrode 3. As a result, the capacitor electrode 32a is electrically connected to one end (conductor pattern 11a) of the coil L. In the present embodiment, the capacitor electrode 32a is a signal electrode, and the capacitor electrodes 31a and 33a are grounding electrodes.

コイル部10(非磁性体グリーンシート22)とコンデンサ部30(非磁性体グリーンシート31)との間には、導体パターン22aとコンデンサ電極31aとの間の距離を調整するための非磁性体グリーンシート41が積層されている。コイル部10(非磁性体グリーンシート11)の上部には、導体パターン11aを保護するためのベース層とされる非磁性体グリーンシート42が積層されている。非磁性体グリーンシート41,42は、電気絶縁性も有している。   A non-magnetic green for adjusting the distance between the conductor pattern 22a and the capacitor electrode 31a between the coil part 10 (non-magnetic green sheet 22) and the capacitor part 30 (non-magnetic green sheet 31). Sheets 41 are laminated. A nonmagnetic green sheet 42 serving as a base layer for protecting the conductor pattern 11a is laminated on the upper portion of the coil portion 10 (nonmagnetic green sheet 11). The nonmagnetic green sheets 41 and 42 also have electrical insulation.

非磁性体グリーンシート11〜22,41,42は、例えばFe、ZnO及びCuOの混合粉を原料としたスラリーをフィルム上にドクターブレード法により塗布して形成したものを用いることができる。非磁性体グリーンシート31〜33は、例えばTiO、CuO及びNiOの混合粉を原料としたスラリーをフィルム上にドクターブレード法により塗布して形成したものを用いることができる。非磁性体グリーンシート11〜22,31〜33,41,42の厚みは、例えば18μm程度である。 As the non-magnetic green sheets 11 to 22, 41, 42, for example, those formed by applying slurry using a mixed powder of Fe 2 O 3 , ZnO and CuO as a raw material on a film by a doctor blade method can be used. . As the non-magnetic green sheets 31 to 33, for example, a slurry formed by applying a slurry using a mixed powder of TiO 2 , CuO and NiO as a raw material by a doctor blade method can be used. The thickness of the nonmagnetic green sheets 11 to 22, 31 to 33, 41 and 42 is, for example, about 18 μm.

導体パターン11a〜22aとコンデンサ電極31a〜33aとは、例えば、銀を主成分とする導体ペーストをスクリーン印刷した後、乾燥することによって形成される。   The conductor patterns 11a to 22a and the capacitor electrodes 31a to 33a are formed, for example, by screen-printing a conductor paste mainly composed of silver and then drying.

素子1は、導体パターン11a〜22aが形成された非磁性体グリーンシート11〜22と、コンデンサ電極31a〜33aが形成された非磁性体グリーンシート31〜33と、非磁性体グリーンシート41,42とを、図3に示されるように積層して圧着し、チップ単位に切断した後に所定温度(例えば、800〜900℃)にて焼成することにより、得られる。素子1は、例えば、焼成後における長手方向の長さが2.0mm程度、幅が1.25mm程度、高さが0.8mm程度となるようにする。   The element 1 includes nonmagnetic green sheets 11 to 22 on which conductor patterns 11a to 22a are formed, nonmagnetic green sheets 31 to 33 on which capacitor electrodes 31a to 33a are formed, and nonmagnetic green sheets 41 and 42. 3 are laminated and pressure-bonded as shown in FIG. 3 and cut into chips, and then fired at a predetermined temperature (for example, 800 to 900 ° C.). The element 1 has, for example, a length in the longitudinal direction after firing of about 2.0 mm, a width of about 1.25 mm, and a height of about 0.8 mm.

入出力電極3,5及びグランド電極7は、上述するように得られた素子1の外面に銀を主成分とする電極ペーストを転写した後に所定温度(例えば、700℃程度)にて焼き付け、更に電気めっきを施すことにより、形成される。電気めっきには、CuとNiとSn、NiとSn、NiとAu、NiとPdとAu、NiとPdとAg、又は、NiとAg等を用いることができる。   The input / output electrodes 3 and 5 and the ground electrode 7 are baked at a predetermined temperature (for example, about 700 ° C.) after transferring an electrode paste mainly composed of silver to the outer surface of the element 1 obtained as described above. It is formed by applying electroplating. For electroplating, Cu and Ni and Sn, Ni and Sn, Ni and Au, Ni and Pd and Au, Ni and Pd and Ag, Ni and Ag, or the like can be used.

導体パターン11a〜22aの焼成後における幅は、例えば70μ程度に設定される。導体パターン11a〜22aの焼成後における厚みは、例えば12μ程度に設定される。コンデンサ電極31a〜33aの焼成後における厚みは、例えば6μm程度に設定される。   The width of the conductor patterns 11a to 22a after firing is set to about 70 μm, for example. The thickness of the conductor patterns 11a to 22a after firing is set to about 12 μm, for example. The thickness of the capacitor electrodes 31a to 33a after firing is set to, for example, about 6 μm.

上述した構成の積層型フィルタF1においては、図5に示されるように、コイルLとコンデンサCとでL型回路を構成している。   In the multilayer filter F1 having the above-described configuration, an L-type circuit is configured by the coil L and the capacitor C as shown in FIG.

以上のように、本第1実施形態においては、導体パターン12a,14a,16a,18aの内側端部同士を電気的に接続する各貫通電極12b,14b,16b,18bが、非磁性体グリーンシート11〜22,31〜33,41,42の積層方向から見て複数箇所に配置されており、貫通電極12b,16bと貫通電極14b,18bとが、素子1の長手方向に所定の長さに離されている。このため、積層方向から見て同一位置に配置される貫通電極の数が、従来のものよりも少なくなり、積層方向に直交する側面における貫通電極12b,14b,16b,18bに対応する各位置に形成される突部の高さが軽減されることとなる。この結果、積層型フィルタF1を実装する場合に、マウンタの吸着不良、あるいは、外部基板等への実装不良となるのが抑制され、外部基板等への実装を適切に行なうことができる。また、突部周りにおけるクラックの発生も抑制されることとなり、信頼性が高まる。   As described above, in the first embodiment, the through electrodes 12b, 14b, 16b, 18b that electrically connect the inner ends of the conductor patterns 12a, 14a, 16a, 18a are non-magnetic green sheets. 11 to 22, 31 to 33, 41 and 42 are disposed at a plurality of positions when viewed from the stacking direction, and the through electrodes 12 b and 16 b and the through electrodes 14 b and 18 b have a predetermined length in the longitudinal direction of the element 1. Have been separated. For this reason, the number of through electrodes arranged at the same position when viewed from the stacking direction is smaller than that of the conventional one, and at each position corresponding to the through electrodes 12b, 14b, 16b, and 18b on the side surface orthogonal to the stacking direction. The height of the formed protrusion will be reduced. As a result, when the multilayer filter F1 is mounted, mounting failure on the mounter or mounting failure on an external substrate or the like is suppressed, and mounting on the external substrate or the like can be performed appropriately. In addition, the occurrence of cracks around the protrusion is suppressed, and the reliability is improved.

また、本第1実施形態において、導体パターン13a,15a,17a,19aの外側端部同士を電気的に接続する各貫通電極13b,15b,17b,19bは、積層方向から見て、複数箇所に配置されている。これにより、各貫通電極13b,15b,17b,19bが、積層方向から見て、複数箇所に配置されるので、積層方向から見て同一位置に配置される貫通電極の数が、従来のものよりも少なくなる。この結果、積層方向に直交する側面における貫通電極13b,15b,17b,19bに対応する各位置に形成される突部の高さが軽減され、外部基板等への実装をより一層適切に行なうことができると共に、信頼性もより一層高まることとなる。   In the first embodiment, the through electrodes 13b, 15b, 17b, and 19b that electrically connect the outer ends of the conductor patterns 13a, 15a, 17a, and 19a are provided at a plurality of locations as viewed from the stacking direction. Has been placed. Thereby, since each penetration electrode 13b, 15b, 17b, 19b is arrange | positioned in multiple places seeing from the lamination direction, the number of penetration electrodes arrange | positioned in the same position seeing from the lamination direction is different from the conventional one. Less. As a result, the height of the protrusion formed at each position corresponding to the through electrodes 13b, 15b, 17b, and 19b on the side surface orthogonal to the stacking direction is reduced, and mounting on an external substrate or the like can be performed more appropriately. As well as increased reliability.

また、本第1実施形態においては、絶縁体として非磁性体グリーンシート11〜22,31〜33を用いている。これにより、コンデンサCのキャパシタンスとコイルLのインダクタンスとで決まる共振周波数を高周波側に設定することが可能となり、より高帯域(例えば、1〜3GHz)のノイズを除去することができる。   In the first embodiment, nonmagnetic green sheets 11 to 22 and 31 to 33 are used as insulators. Thereby, the resonance frequency determined by the capacitance of the capacitor C and the inductance of the coil L can be set on the high frequency side, and noise in a higher band (for example, 1 to 3 GHz) can be removed.

なお、本第1実施形態において、コイル部10の絶縁体は、磁性体で形成してもよい。この場合、コンデンサCのキャパシタンスとコイルLのインダクタンスとで決まる共振周波数を低周波側に設定することが可能となり、より低帯域(例えば、400〜800MHz)のノイズを除去することができる。コイル部10の絶縁体としては、非磁性体グリーンシート11〜22の代わりに、磁性体グリーンシートを用いることができる。磁性体グリーンシートは、例えばフェライト(例えば、Ni−Cu−Zn系フェライト、Ni−Cu−Zn−Mg系フェライト、Cu−Zn系フェライト、又は、Ni−Cu系フェライト等)粉末の磁性体粉末をバインダーで結着させてシート状に形成したものが用いられる。   In the first embodiment, the insulator of the coil unit 10 may be formed of a magnetic material. In this case, the resonance frequency determined by the capacitance of the capacitor C and the inductance of the coil L can be set on the low frequency side, and noise in a lower band (for example, 400 to 800 MHz) can be removed. As the insulator of the coil unit 10, a magnetic green sheet can be used instead of the non-magnetic green sheets 11-22. The magnetic green sheet is made of, for example, ferrite (for example, Ni—Cu—Zn ferrite, Ni—Cu—Zn—Mg ferrite, Cu—Zn ferrite, or Ni—Cu ferrite) powder. A sheet formed by binding with a binder is used.

(第2実施形態)
図6は、第2実施形態に係る積層型フィルタアレイを示す斜視図である。図7は、第2実施形態に係る積層型フィルタアレイを示す分解斜視図である。図8及び図9は、第2実施形態に係る積層型フィルタアレイに含まれるコイル部を示す分解斜視図である。図10は、第2実施形態に係る積層型フィルタアレイの等価回路を説明するための図である。本第2実施形態は、本発明をL型の積層型3端子フィルタアレイに適用したものである。
(Second Embodiment)
FIG. 6 is a perspective view showing the multilayer filter array according to the second embodiment. FIG. 7 is an exploded perspective view showing the multilayer filter array according to the second embodiment. 8 and 9 are exploded perspective views showing coil portions included in the multilayer filter array according to the second embodiment. FIG. 10 is a diagram for explaining an equivalent circuit of the multilayer filter array according to the second embodiment. In the second embodiment, the present invention is applied to an L-type multilayer three-terminal filter array.

積層型フィルタアレイF2は、図6に示されるように、素子51の一方の側面に形成された複数(本実施形態においては、4個)の入出力電極3と、素子51の他方の側面に形成された複数(本実施形態においては、4個)の入出力電極5と、素子51の長手方向の両端部に形成された一対のグランド電極7とを備えている。   As shown in FIG. 6, the multilayer filter array F <b> 2 includes a plurality of (four in the present embodiment) input / output electrodes 3 formed on one side surface of the element 51, and the other side surface of the element 51. A plurality of (in the present embodiment, four) input / output electrodes 5 formed and a pair of ground electrodes 7 formed at both ends in the longitudinal direction of the element 51 are provided.

積層型フィルタアレイF2は、図7に示されるように、複数のコイルLを含むコイル部10と、複数のコンデンサCを含むコンデンサ部30とを備えている。これらコイル部10及びコンデンサ部30が積層されることにより直方体形状の素子(積層体)51が構成されることとなる。入出力電極3,5が形成された側面は、非磁性体グリーンシート11〜22の積層方向に平行である。   As shown in FIG. 7, the multilayer filter array F <b> 2 includes a coil unit 10 including a plurality of coils L and a capacitor unit 30 including a plurality of capacitors C. The coil part 10 and the capacitor part 30 are laminated to form a rectangular parallelepiped element (laminated body) 51. The side surface on which the input / output electrodes 3 and 5 are formed is parallel to the stacking direction of the nonmagnetic green sheets 11 to 22.

各導体パターン11aは、図8にも示されるように、互いに所定の間隔を有した状態で、素子51の長手方向に併設されている。導体パターン11a同士は、電気的に絶縁されている。各導体パターン12a〜21aは、図8及び図9に示されるように、導体パターン11aと同じく、互いに所定の間隔を有した状態で、素子51の長手方向に併設されている。導体パターン12a〜21a同士は、電気的に絶縁されている。各導体パターン22aは、図9にも示されるように、導体パターン11a〜21aと同じく互いに所定の間隔を有した状態で、素子51の長手方向に併設されている。導体パターン22a同士は、電気的に絶縁されている。各導体パターン11a〜22aは、相互に電気的に接続されることで、各コイルLを構成する。本実施形態では、コイル部10内に、4個のコイルLが併設されることとなる。   As shown in FIG. 8, the conductor patterns 11 a are provided side by side in the longitudinal direction of the element 51 with a predetermined distance from each other. The conductor patterns 11a are electrically insulated from each other. As shown in FIGS. 8 and 9, each of the conductor patterns 12 a to 21 a is provided side by side in the longitudinal direction of the element 51 with a predetermined distance from each other, like the conductor pattern 11 a. The conductor patterns 12a to 21a are electrically insulated. As shown in FIG. 9, each conductor pattern 22a is provided side by side in the longitudinal direction of the element 51 in a state having a predetermined distance from each other like the conductor patterns 11a to 21a. The conductor patterns 22a are electrically insulated. Each conductor pattern 11a-22a comprises each coil L by being electrically connected mutually. In the present embodiment, four coils L are provided in the coil unit 10.

各コイルLにおいて、積層方向に隣接する導体パターン13aと14a,15aと16a,17aと18a,19aと20aの外側端部同士が、対応する貫通電極13b,15b,17b,19bにより電気的に接続される。また、各コイルLにおいて、積層方向に隣接する導体パターン12aと13a,14aと15a,16aと17a,18aと19aの内側端部同士が、対応する貫通電極12b,14b,16b,18bにより電気的に接続される。   In each coil L, the outer end portions of conductor patterns 13a and 14a, 15a and 16a, 17a and 18a, 19a and 20a adjacent in the stacking direction are electrically connected by corresponding through electrodes 13b, 15b, 17b and 19b. Is done. In each coil L, the inner ends of the conductor patterns 12a and 13a, 14a and 15a, 16a and 17a, 18a and 19a adjacent to each other in the laminating direction are electrically connected by corresponding through electrodes 12b, 14b, 16b and 18b. Connected to.

各コイルLにおいて、貫通電極12b,14b,16b,18bは、積層方向から見て、複数箇所(本実施形態においては、2箇所)に配置されている。貫通電極12b,16bと貫通電極14b,18bとは、積層方向及び素子51の長手方向に直交する方向に沿うように配置されており、当該方向に所定の長さに離れている。また、各コイルLにおいて、貫通電極13b,15b,17b,19bは、積層方向から見て、複数箇所(本実施形態においては、2箇所)に配置されている。貫通電極13b,17bと貫通電極15b,19bとは、素子51の長手方向に沿うように配置されており、素子1の長手方向に所定の長さに離れている。   In each coil L, the through electrodes 12b, 14b, 16b, and 18b are arranged at a plurality of locations (two locations in the present embodiment) when viewed from the stacking direction. The through electrodes 12b, 16b and the through electrodes 14b, 18b are arranged along the direction perpendicular to the stacking direction and the longitudinal direction of the element 51, and are separated by a predetermined length in the direction. In each coil L, the through electrodes 13b, 15b, 17b, and 19b are arranged at a plurality of locations (two locations in the present embodiment) when viewed from the stacking direction. The through electrodes 13 b and 17 b and the through electrodes 15 b and 19 b are arranged along the longitudinal direction of the element 51 and are separated by a predetermined length in the longitudinal direction of the element 1.

各コンデンサCは、図7に示されるように、各コイルLに対応するコンデンサ電極61a〜68aが形成された複数(本実施形態においては、8層)の非磁性体グリーンシート(絶縁体)61〜68が積層されることにより構成される。各コンデンサ電極61a,63a,65a,67aは、非磁性体グリーンシート61,63,65,67の端面にそれぞれ露出する一対の導出部61b,63b,65b,67bを含んでおり、各非磁性体グリーンシート61,63,65,67上で略矩形状に形成されている。各コンデンサ電極62a,64a,66a,68aは、素子51の側面を構成する非磁性体グリーンシート62,64,66,68の端面に露出する導出部62b,64b,66b,68bを含んでおり、各非磁性体グリーンシート62,64,66,68上で略矩形状に形成されている。各導出部62b,64b,66b,68bは、素子51の長手方向にずれて配置されている。   As shown in FIG. 7, each capacitor C includes a plurality (8 layers in this embodiment) of non-magnetic green sheets (insulators) 61 in which capacitor electrodes 61 a to 68 a corresponding to the coils L are formed. ˜68 are stacked. Each capacitor electrode 61a, 63a, 65a, 67a includes a pair of lead-out portions 61b, 63b, 65b, 67b exposed at the end faces of the nonmagnetic green sheets 61, 63, 65, 67, respectively. The green sheets 61, 63, 65 and 67 are formed in a substantially rectangular shape. Each capacitor electrode 62a, 64a, 66a, 68a includes lead-out portions 62b, 64b, 66b, 68b exposed on the end faces of the nonmagnetic green sheets 62, 64, 66, 68 constituting the side surface of the element 51, On each nonmagnetic green sheet 62, 64, 66, 68, it is formed in a substantially rectangular shape. Each lead-out portion 62 b, 64 b, 66 b, 68 b is arranged so as to be shifted in the longitudinal direction of the element 51.

コンデンサ電極61a,62aと、これらの間に位置する非磁性体グリーンシート61とが、1個のコンデンサCを構成する。コンデンサ電極63a,64aと、これらの間に位置する非磁性体グリーンシート63とが、1個のコンデンサCを構成する。コンデンサ電極65a,66aと、これらの間に位置する非磁性体グリーンシート65とが、1個のコンデンサCを構成する。コンデンサ電極67a,68aと、これらの間に位置する非磁性体グリーンシート67とが、1個のコンデンサCを構成する。本実施形態では、コンデンサ部30内に、4個のコンデンサCが積層方向に併設されることとなる。   The capacitor electrodes 61a and 62a and the non-magnetic green sheet 61 positioned between them constitute one capacitor C. The capacitor electrodes 63a and 64a and the non-magnetic green sheet 63 positioned between them constitute one capacitor C. The capacitor electrodes 65a and 66a and the nonmagnetic green sheet 65 positioned between them constitute one capacitor C. The capacitor electrodes 67a and 68a and the nonmagnetic green sheet 67 positioned between them constitute one capacitor C. In this embodiment, four capacitors C are provided in the capacitor unit 30 in the stacking direction.

コンデンサ電極61a,63a,65a,67aの導出部61b,63b,65b,67bは、グランド電極7に電気的に接続される。コンデンサ電極62a,64a,66a,68aの導出部62b,64b,66b,68bは、一方の入出力電極3に電気的に接続される。これにより、コンデンサ電極62a,64a,66a,68aは、対応するコイルLの一方の端部(導体パターン11a)に電気的に接続されることとなる。本実施形態においては、コンデンサ電極62b,64b,66b,68bは信号用の電極とされ、コンデンサ電極61a,63a,65a,67aは接地用の電極とされる。   The lead-out portions 61b, 63b, 65b, 67b of the capacitor electrodes 61a, 63a, 65a, 67a are electrically connected to the ground electrode 7. The lead-out portions 62b, 64b, 66b, 68b of the capacitor electrodes 62a, 64a, 66a, 68a are electrically connected to one input / output electrode 3. As a result, the capacitor electrodes 62a, 64a, 66a, 68a are electrically connected to one end (conductor pattern 11a) of the corresponding coil L. In the present embodiment, the capacitor electrodes 62b, 64b, 66b, and 68b are signal electrodes, and the capacitor electrodes 61a, 63a, 65a, and 67a are ground electrodes.

非磁性体グリーンシート61〜68は、非磁性体グリーンシート31〜33と同じく、例えばTiO、CuO及びNiOの混合粉を原料としたスラリーをフィルム上にドクターブレード法により塗布して形成したものを用いることができる。非磁性体グリーンシート61〜68の厚みは、例えば18μm程度である。 The non-magnetic green sheets 61 to 68 are formed by applying a slurry using, for example, a mixed powder of TiO 2 , CuO and NiO on the film by a doctor blade method, like the non-magnetic green sheets 31 to 33. Can be used. The thickness of the nonmagnetic green sheets 61 to 68 is, for example, about 18 μm.

コンデンサ電極61a〜68aは、コンデンサ電極31a〜33aと同じく、例えば、銀を主成分とする導体ペーストをスクリーン印刷した後、乾燥することによって形成される。   The capacitor electrodes 61a to 68a are formed by, for example, screen-printing a conductor paste mainly composed of silver and then drying the same as the capacitor electrodes 31a to 33a.

素子51は、導体パターン11a〜22aが形成された非磁性体グリーンシート11〜22と、コンデンサ電極61a〜68aが形成された非磁性体グリーンシート61〜68と、非磁性体グリーンシート41,42とを、図7に示されるように積層して圧着し、チップ単位に切断した後に所定温度(例えば、800〜900℃)にて焼成することにより、得られる。素子51は、例えば、焼成後における長手方向の長さが2.0mm程度、幅が1.0mm程度、高さが0.7mm程度となるようにする。   The element 51 includes nonmagnetic green sheets 11 to 22 on which conductor patterns 11a to 22a are formed, nonmagnetic green sheets 61 to 68 on which capacitor electrodes 61a to 68a are formed, and nonmagnetic green sheets 41 and 42. Are stacked and pressure-bonded as shown in FIG. 7, cut into chips, and then fired at a predetermined temperature (for example, 800 to 900 ° C.). The element 51 has, for example, a length in the longitudinal direction after firing of about 2.0 mm, a width of about 1.0 mm, and a height of about 0.7 mm.

上述した構成の積層型フィルタアレイF2においては、図10に示されるように、各コイルLと、当該各コイルLに対応する各コンデンサCとでL型回路を構成している。   In the multilayer filter array F2 having the above-described configuration, as shown in FIG. 10, each coil L and each capacitor C corresponding to each coil L constitute an L-type circuit.

以上のように、本第2実施形態においては、各コイルLにおいて、導体パターン12a,14a,16a,18aの内側端部同士を電気的に接続する各貫通電極12b,14b,16b,18bが、非磁性体グリーンシート11〜22,61〜68,41,42の積層方向から見て複数箇所に配置されており、貫通電極12b,16bと貫通電極14b,18bとが、素子1の長手方向に所定の長さに離されている。このため、積層方向から見て同一位置に配置される貫通電極の数が、従来のものよりも少なくなり、積層方向に直交する側面における貫通電極12b,14b,16b,18bに対応する各位置に形成される突部の高さが軽減されることとなる。この結果、積層型フィルタアレイF2を実装する場合に、マウンタの吸着不良、あるいは、外部基板等への実装不良となるのが抑制され、外部基板等への実装を適切に行なうことができる。また、突部周りにおけるクラックの発生も抑制されることとなり、信頼性が高まる。   As described above, in the second embodiment, in each coil L, the through electrodes 12b, 14b, 16b, and 18b that electrically connect the inner ends of the conductor patterns 12a, 14a, 16a, and 18a, The non-magnetic green sheets 11 to 22, 61 to 68, 41 and 42 are arranged at a plurality of locations when viewed from the stacking direction, and the through electrodes 12 b and 16 b and the through electrodes 14 b and 18 b are arranged in the longitudinal direction of the element 1. Separated by a predetermined length. For this reason, the number of through electrodes arranged at the same position when viewed from the stacking direction is smaller than that of the conventional one, and at each position corresponding to the through electrodes 12b, 14b, 16b, and 18b on the side surface orthogonal to the stacking direction. The height of the formed protrusion will be reduced. As a result, when the multilayer filter array F2 is mounted, the mounting failure of the mounter or the mounting failure to the external substrate or the like is suppressed, and the mounting to the external substrate or the like can be performed appropriately. In addition, the occurrence of cracks around the protrusion is suppressed, and the reliability is improved.

また、本第2実施形態において、各コイルLにおいて、導体パターン13a,15a,17a,19aの外側端部同士を電気的に接続する各貫通電極13b,15b,17b,19bは、積層方向から見て、複数箇所に配置されている。これにより、各コイルLにおいて、各貫通電極13b,15b,17b,19bが、積層方向から見て、複数箇所に配置されるので、積層方向から見て同一位置に配置される貫通電極の数が、従来のものよりも少なくなる。この結果、積層方向に直交する側面における貫通電極13b,15b,17b,19bに対応する各位置に形成される突部の高さが軽減され、外部基板等への実装をより一層適切に行なうことができると共に、信頼性もより一層高まることとなる。   In the second embodiment, in each coil L, the through electrodes 13b, 15b, 17b, and 19b that electrically connect the outer ends of the conductor patterns 13a, 15a, 17a, and 19a are viewed from the stacking direction. Are arranged at a plurality of locations. Thereby, in each coil L, since each penetration electrode 13b, 15b, 17b, 19b is arrange | positioned in multiple places seeing from a lamination direction, the number of the penetration electrodes arrange | positioned in the same position seeing from a lamination direction is the same. , Less than the conventional one. As a result, the height of the protrusion formed at each position corresponding to the through electrodes 13b, 15b, 17b, and 19b on the side surface orthogonal to the stacking direction is reduced, and mounting on an external substrate or the like can be performed more appropriately. As well as increased reliability.

ここで、本実施形態によって、外部基板等への実装を適切に行なうことが可能であり、且つ、信頼性が高くなることを、実施例及び比較例によって、具体的に示す。   Here, the embodiment and the comparative example will specifically show that according to the present embodiment, mounting on an external substrate or the like can be appropriately performed and the reliability is improved.

実施例では、第1実施形態の積層型フィルタF1と同じ構成の積層型フィルタを用いた。比較例では、図11に示されるように、積層方向に隣接する1組の導体パターン101,103の内側端部同士を電気的に接続する各貫通電極105及び同じく積層方向に隣接する1組の導体パターン101,103の外側端部同士を電気的に接続する各貫通電極107は、積層方向から見て、同一箇所に集中して配置されている積層型フィルタを用いた。なお、比較例に係る積層型フィルタは、上記貫通電極105,107の配置の点を除いて上述した積層型フィルタF1と同じ構成としている。   In the example, a multilayer filter having the same configuration as that of the multilayer filter F1 of the first embodiment was used. In the comparative example, as shown in FIG. 11, each through electrode 105 that electrically connects the inner ends of a pair of conductor patterns 101 and 103 adjacent in the stacking direction and a pair of adjacent adjacent patterns in the stacking direction. As each through electrode 107 that electrically connects the outer end portions of the conductor patterns 101 and 103, a multilayer filter that is concentrated in the same position as viewed from the lamination direction is used. The multilayer filter according to the comparative example has the same configuration as the multilayer filter F1 described above except for the arrangement of the through electrodes 105 and 107.

実施例に係る積層型フィルタでは、図12に示されるように、積層方向から見て同一位置に配置される貫通電極12b,14b,16b,18b,20bの数が、3個、あるいは、2個である。貫通電極12b,16b,20bに対応する位置に形成される突部の高さH1は、3〜4μm程度である。貫通電極14b,18bに対応する位置に形成される突部の高さH2は、2〜3μm程度である。なお、貫通電極21bに対応する位置に形成される突部の高さH3は、1〜2μm程度である。   In the multilayer filter according to the embodiment, as shown in FIG. 12, the number of through electrodes 12b, 14b, 16b, 18b, and 20b arranged at the same position when viewed from the stacking direction is three or two. It is. The height H1 of the protrusion formed at a position corresponding to the through electrodes 12b, 16b, and 20b is about 3 to 4 μm. The height H2 of the protrusion formed at a position corresponding to the through electrodes 14b and 18b is about 2 to 3 μm. The height H3 of the protrusion formed at the position corresponding to the through electrode 21b is about 1 to 2 μm.

実施例に係る積層型フィルタを製造し、製造された積層型フィルタから抜き取り検査(抜き取り検体数:2万)を行なったところ、突部の周りにおいてクラックの発生は見られず、クラックの発生率は0%であった。また、製造した積層型フィルタをマウンタによりピックアップしたところ、ピックアップ率(ピックアップした検体数に対する適切にピックアップできた検体数の比率)は、99.98%であった。   When the multilayer filter according to the example was manufactured and a sampling inspection (the number of sampling samples: 20,000) was performed from the manufactured multilayer filter, no crack was observed around the protrusion, and the crack generation rate Was 0%. Further, when the manufactured multilayer filter was picked up by the mounter, the pickup rate (ratio of the number of samples that could be properly picked up with respect to the number of samples picked up) was 99.98%.

一方、比較例に係る積層型フィルタでは、図13に示されるように、積層方向から見て同一位置に配置される貫通電極105,107の数が、5個である。貫通電極105,107に対応する位置に形成される突部の高さH4,H5は、9〜14μm程度である。   On the other hand, in the multilayer filter according to the comparative example, as shown in FIG. 13, the number of through-electrodes 105 and 107 arranged at the same position when viewed from the stacking direction is five. The heights H4 and H5 of the protrusions formed at positions corresponding to the through electrodes 105 and 107 are about 9 to 14 μm.

比較例に係る積層型フィルタを製造し、製造された積層型フィルタから抜き取り検査(抜き取り検体数:2万個)を行なったところ、突部の周りにおいてクラックKの発生が見られ、クラックの発生率は0.68%であった。また、製造した積層型フィルタをマウンタによりピックアップしたところ、ピックアップ率は、99.76%であった。   When a multilayer filter according to the comparative example is manufactured and a sampling inspection (the number of sampling samples: 20,000) is performed from the manufactured multilayer filter, cracks K are observed around the protrusions, and cracks are generated. The rate was 0.68%. Further, when the manufactured multilayer filter was picked up by a mounter, the pickup rate was 99.76%.

以上のことから、本実施形態の有効性が確認された。なお、ピックアップ率の良否を判定するための基準値は、一般に99.9%とされている。   From the above, the effectiveness of the present embodiment was confirmed. The reference value for determining whether the pickup rate is good is generally 99.9%.

本発明は、上述した実施形態に限定されるものではない。例えば、第2実施形態の積層型フィルタアレイF2は、コイルL及びコンデンサCを含むフィルタを4組備える構成としているが、これに限られることなく、3組以下のフィルタを備える構成としてもよく、また、5組以上のフィルタを備える構成としてもよい。   The present invention is not limited to the embodiment described above. For example, the multilayer filter array F2 of the second embodiment is configured to include four sets of filters including the coil L and the capacitor C, but is not limited thereto, and may be configured to include three or less sets of filters. Moreover, it is good also as a structure provided with 5 or more sets of filters.

また、積層型フィルタF1及び積層型フィルタアレイF2におけるコイルLのインダクタンスは、導体パターン11a〜22aの幅や層数等によって調整可能であり、上述した実施形態に限られるものではない。また、積層型フィルタF1及び積層型フィルタアレイF2におけるコンデンサCのキャパシタンスは、コンデンサ電極31a〜33a,61a〜68aの面積や層数等によって調整可能であり、上述した実施形態に限られるものではない。   Further, the inductance of the coil L in the multilayer filter F1 and the multilayer filter array F2 can be adjusted by the width and the number of layers of the conductor patterns 11a to 22a, and is not limited to the above-described embodiment. Further, the capacitance of the capacitor C in the multilayer filter F1 and the multilayer filter array F2 can be adjusted by the area and the number of layers of the capacitor electrodes 31a to 33a, 61a to 68a, and is not limited to the above-described embodiment. .

また、第1及び第2実施形態においては、グリーンシートを積層すること(グリーンシート積層工法)により素子1,51を構成しているが、これに限られることなく、非磁性体スラリーを用い、当該非磁性体スラリー、導体パターン11a〜22a及びコンデンサ電極31a〜33a,61a〜68aを印刷して積層すること(印刷積層工法)により素子1,51を構成するようにしてもよい。   In the first and second embodiments, the elements 1 and 51 are configured by laminating green sheets (green sheet laminating method). However, the present invention is not limited to this, and a nonmagnetic slurry is used. The elements 1 and 51 may be configured by printing and laminating the non-magnetic slurry, the conductor patterns 11a to 22a and the capacitor electrodes 31a to 33a and 61a to 68a (print lamination method).

第1実施形態においては、本発明をL型の積層型3端子フィルタに適用しているが、これに限られることなく、本発明をT型、π型、又はダブルπ型の積層型3端子フィルタに適用してもよい。また、第2実施形態においては、本発明をL型の積層型3端子フィルタアレイにそれぞれ適用しているが、これに限られることなく、本発明をT型、π型、又はダブルπ型の積層型3端子フィルタアレイに適用してもよい。   In the first embodiment, the present invention is applied to the L-type multilayer three-terminal filter. However, the present invention is not limited to this, and the present invention is not limited to this. The T-type, π-type, or double π-type multilayer three-terminal filter. It may be applied to a filter. In the second embodiment, the present invention is applied to each of the L-type stacked three-terminal filter arrays. However, the present invention is not limited to this, and the present invention is not limited to this. You may apply to a lamination type 3 terminal filter array.

第1実施形態に係る積層型フィルタを示す斜視図である。1 is a perspective view showing a multilayer filter according to a first embodiment. 第1実施形態に係る積層型フィルタの断面構成を説明するための概略図である。It is the schematic for demonstrating the cross-sectional structure of the multilayer filter which concerns on 1st Embodiment. 第1実施形態に係る積層型フィルタを示す分解斜視図である。1 is an exploded perspective view showing a multilayer filter according to a first embodiment. 第1実施形態に係る積層型フィルタにおける貫通電極の配置を説明するための図である。It is a figure for demonstrating arrangement | positioning of the penetration electrode in the multilayer filter which concerns on 1st Embodiment. 第1実施形態に係る積層型フィルタの等価回路を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the equivalent circuit of the multilayer filter which concerns on 1st Embodiment. 第2実施形態に係る積層型フィルタアレイを示す斜視図である。It is a perspective view which shows the multilayer filter array which concerns on 2nd Embodiment. 第2実施形態に係る積層型フィルタアレイを示す分解斜視図である。It is a disassembled perspective view which shows the multilayer filter array which concerns on 2nd Embodiment. 第2実施形態に係る積層型フィルタアレイに含まれるコイル部を示す分解斜視図である。It is a disassembled perspective view which shows the coil part contained in the multilayer filter array which concerns on 2nd Embodiment. 第2実施形態に係る積層型フィルタアレイに含まれるコイル部を示す分解斜視図である。It is a disassembled perspective view which shows the coil part contained in the multilayer filter array which concerns on 2nd Embodiment. 第2実施形態に係る積層型フィルタアレイの等価回路を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the equivalent circuit of the multilayer filter array which concerns on 2nd Embodiment. 比較例における貫通電極の配置を説明するための図である。It is a figure for demonstrating arrangement | positioning of the penetration electrode in a comparative example. 実施例に係る積層型フィルタの断面構成を説明するための概略図である。It is the schematic for demonstrating the cross-sectional structure of the laminated filter which concerns on an Example. 比較例に係る積層型フィルタの断面構成を説明するための概略図である。It is the schematic for demonstrating the cross-sectional structure of the laminated filter which concerns on a comparative example.

符号の説明Explanation of symbols

1,51…素子、3,5…入出力電極、7…グランド電極、10…コイル部、11〜22,31〜33,41,42,61〜68…非磁性体グリーンシート(絶縁体)、11a〜22a…導体パターン、11b〜21b…貫通電極、30…コンデンサ部、31a〜33a,61a〜68a…コンデンサ電極、C…コンデンサ、F1…積層型フィルタ、F2…積層型フィルタアレイ、L…コイル。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1,51 ... Element, 3, 5 ... Input / output electrode, 7 ... Ground electrode, 10 ... Coil part, 11-22, 31-33, 41, 42, 61-68 ... Nonmagnetic green sheet (insulator), 11a to 22a ... conductive pattern, 11b to 21b ... through electrode, 30 ... capacitor part, 31a-33a, 61a-68a ... capacitor electrode, C ... capacitor, F1 ... multilayer filter, F2 ... multilayer filter array, L ... coil .

Claims (16)

スパイラル状の導体パターンが形成された複数の絶縁体が積層されることによって構成されるコイルと、コンデンサ電極が形成された複数の絶縁体が積層されることによって構成されるコンデンサとを有する積層体と、
前記積層体における前記絶縁体の積層方向に平行な側面に形成され、前記コイルの両端にそれぞれ接続された一対の入出力電極と、を備え、
前記積層方向に隣接する前記導体パターンの内側端部同士は、前記絶縁体に形成された貫通電極により電気的に接続されており、
前記内側端部同士を電気的に接続する前記各貫通電極は、前記積層方向から見て、複数箇所に配置されていることを特徴とする積層型フィルタ。
A laminate having a coil constituted by laminating a plurality of insulators formed with a spiral conductor pattern and a capacitor constituted by laminating a plurality of insulators formed with capacitor electrodes. When,
A pair of input / output electrodes formed on side surfaces parallel to the stacking direction of the insulator in the stacked body and connected to both ends of the coil;
Inner ends of the conductor patterns adjacent to each other in the stacking direction are electrically connected by a through electrode formed in the insulator,
Each of the through electrodes that electrically connect the inner end portions is disposed at a plurality of locations when viewed from the stacking direction.
前記各貫通電極は、前記積層方向から見て、当該積層方向に直交する所定の方向に沿うように配置されていることを特徴とする請求項1に記載の積層型フィルタ。   2. The multilayer filter according to claim 1, wherein each of the through electrodes is disposed along a predetermined direction orthogonal to the stacking direction when viewed from the stacking direction. 前記積層方向に隣接する前記導体パターンの外側端部同士は、前記絶縁体に形成された貫通電極により電気的に接続されており、
前記外側端部同士を電気的に接続する前記各貫通電極は、前記積層方向から見て、複数箇所に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の積層型フィルタ。
Outer ends of the conductor patterns adjacent in the laminating direction are electrically connected by a through electrode formed in the insulator,
2. The multilayer filter according to claim 1, wherein each of the through electrodes that electrically connect the outer end portions is disposed at a plurality of locations when viewed from the laminating direction.
前記内側端部同士を電気的に接続する前記各貫通電極は、前記積層方向から見て、当該積層方向に直交する所定の方向に沿うように配置されており、
前記外側端部同士を電気的に接続する前記各貫通電極は、前記積層方向から見て、前記積層方向に直交し且つ前記内側端部同士を電気的に接続する前記各貫通電極の配置方向と交差する所定の方向に沿うように配置されていることを特徴とする請求項3に記載の積層型フィルタ。
Each through electrode that electrically connects the inner end portions is disposed along a predetermined direction orthogonal to the stacking direction when viewed from the stacking direction,
The through electrodes that electrically connect the outer ends are arranged in the direction in which the through electrodes are orthogonal to the stacking direction and electrically connect the inner ends as viewed from the stacking direction. The multilayer filter according to claim 3, wherein the multilayer filter is disposed along a predetermined direction that intersects.
スパイラル状の導体パターンが形成された複数の絶縁体が積層されることによって構成されるコイルと、コンデンサ電極が形成された複数の絶縁体が積層されることによって構成されるコンデンサとを有する積層体と、
前記積層体における前記絶縁体の積層方向に平行な側面に形成され、前記コイルの両端にそれぞれ接続された一対の入出力電極と、を備え、
前記積層方向に隣接する前記導体パターンの内側端部同士は、前記絶縁体に形成された貫通電極により電気的に接続されており、
前記積層方向に隣接する貫通電極同士は、前記積層方向から見て、当該積層方向に直交する方向に所定の長さに離れていることを特徴とする積層型フィルタ。
A laminate having a coil constituted by laminating a plurality of insulators formed with a spiral conductor pattern and a capacitor constituted by laminating a plurality of insulators formed with capacitor electrodes. When,
A pair of input / output electrodes formed on side surfaces parallel to the stacking direction of the insulator in the stacked body and connected to both ends of the coil;
Inner ends of the conductor patterns adjacent to each other in the stacking direction are electrically connected by a through electrode formed in the insulator,
The multilayer filter, wherein the through electrodes adjacent to each other in the stacking direction are separated from each other by a predetermined length in a direction orthogonal to the stacking direction when viewed from the stacking direction.
前記積層方向に隣接する前記導体パターンの外側端部同士は、前記絶縁体に形成された貫通電極により電気的に接続されており、
前記外側端部同士を電気的に接続する複数の前記貫通電極のうち前記積層方向に隣接するもの同士が、前記積層方向から見て、前記積層方向に直交し且つ前記内側端部同士を電気的に接続する前記貫通電極同士が離れている方向と交差する方向に所定の長さに離れていることを特徴とする請求項5に記載の積層型フィルタ。
Outer ends of the conductor patterns adjacent in the laminating direction are electrically connected by a through electrode formed in the insulator,
Among the plurality of through electrodes that electrically connect the outer end portions, those adjacent in the stacking direction are perpendicular to the stacking direction and viewed from the stacking direction, and the inner end portions are electrically connected to each other. The multilayer filter according to claim 5, wherein the through-electrodes connected to each other are separated by a predetermined length in a direction intersecting with a direction in which the through electrodes are separated from each other.
前記絶縁体は、非磁性体で形成されていることを特徴とする請求項1〜請求項6のいずれか一項に記載の積層型フィルタ。   The multilayer filter according to any one of claims 1 to 6, wherein the insulator is made of a non-magnetic material. 前記導体パターンが形成された前記絶縁体は、磁性体で形成されていることを特徴とする請求項1〜請求項6のいずれか一項に記載の積層型フィルタ。   The multilayer filter according to claim 1, wherein the insulator on which the conductor pattern is formed is made of a magnetic material. スパイラル状の導体パターンが形成された複数の絶縁体が積層されることによって構成される複数のコイルと、前記各コイルに対応するコンデンサ電極が形成された複数の絶縁体が積層されることによって構成される複数のコンデンサとを有する積層体と、
前記積層体における前記絶縁体の積層方向に平行な側面に形成され、前記各コイルの両端にそれぞれ接続された一対の入出力電極と、を備え、
前記各コイルにおいて、
前記積層方向に隣接する前記導体パターンの内側端部同士は、前記絶縁体に形成された貫通電極により電気的に接続されており、
前記内側端部同士を電気的に接続する前記各貫通電極は、前記積層方向から見て、複数箇所に配置されていることを特徴とする積層型フィルタアレイ。
Constructed by laminating a plurality of coils formed by laminating a plurality of insulators formed with spiral conductor patterns and a plurality of insulators formed with capacitor electrodes corresponding to the coils. A laminate having a plurality of capacitors to be
A pair of input / output electrodes formed on a side surface of the laminate that is parallel to the lamination direction of the insulator, and connected to both ends of each coil; and
In each of the coils,
Inner ends of the conductor patterns adjacent to each other in the stacking direction are electrically connected by a through electrode formed in the insulator,
Each of the through electrodes that electrically connect the inner end portions is disposed at a plurality of locations when viewed from the stacking direction.
前記各コイルにおいて、前記各貫通電極は、前記積層方向から見て、当該積層方向に直交する所定の方向に沿うように配置されていることを特徴とする請求項9に記載の積層型フィルタアレイ。   10. The multilayer filter array according to claim 9, wherein, in each of the coils, each through electrode is disposed along a predetermined direction orthogonal to the stacking direction when viewed from the stacking direction. . 前記各コイルにおいて、
前記積層方向に隣接する前記導体パターンの外側端部同士は、前記絶縁体に形成された貫通電極により電気的に接続されており、
前記外側端部同士を電気的に接続する前記各貫通電極は、前記積層方向から見て、複数箇所に配置されていることを特徴とする請求項9に記載の積層型フィルタアレイ。
In each of the coils,
Outer ends of the conductor patterns adjacent in the laminating direction are electrically connected by a through electrode formed in the insulator,
The multilayer filter array according to claim 9, wherein each of the through electrodes that electrically connect the outer end portions is disposed at a plurality of locations when viewed from the stacking direction.
前記各コイルにおいて、
前記内側端部同士を電気的に接続する前記各貫通電極は、前記積層方向から見て、当該積層方向に直交する所定の方向に沿うように配置されており、
前記外側端部同士を電気的に接続する前記各貫通電極は、前記積層方向から見て、前記積層方向に直交し且つ前記内側端部同士を電気的に接続する前記各貫通電極の配置方向と交差する所定の方向に沿うように配置されていることを特徴とする請求項11に記載の積層型フィルタアレイ。
In each of the coils,
Each through electrode that electrically connects the inner end portions is disposed along a predetermined direction orthogonal to the stacking direction when viewed from the stacking direction,
The through electrodes that electrically connect the outer ends are arranged in the direction in which the through electrodes are orthogonal to the stacking direction and electrically connect the inner ends as viewed from the stacking direction. The multilayer filter array according to claim 11, wherein the multilayer filter array is arranged along a predetermined direction that intersects.
スパイラル状の導体パターンが形成された複数の絶縁体が積層されることによって構成される複数のコイルと、前記各コイルに対応するコンデンサ電極が形成された複数の絶縁体が積層されることによって構成される複数のコンデンサとを有する積層体と、
前記積層体における前記絶縁体の積層方向に平行な側面に形成され、前記各コイルの両端にそれぞれ接続された一対の入出力電極と、を備え、
前記各コイルにおいて、前記積層方向に隣接する貫通電極同士は、前記積層方向から見て、当該積層方向に直交する方向に所定の長さに離れていることを特徴とする積層型フィルタアレイ。
Constructed by laminating a plurality of coils formed by laminating a plurality of insulators formed with spiral conductor patterns and a plurality of insulators formed with capacitor electrodes corresponding to the coils. A laminate having a plurality of capacitors to be
A pair of input / output electrodes formed on a side surface of the laminate that is parallel to the lamination direction of the insulator, and connected to both ends of each coil; and
In each coil, the through-electrodes adjacent in the stacking direction are separated from each other by a predetermined length in a direction orthogonal to the stacking direction when viewed from the stacking direction.
前記各コイルにおいて、
前記積層方向に隣接する前記導体パターンの外側端部同士は、前記絶縁体に形成された貫通電極により電気的に接続されており、
前記外側端部同士を電気的に接続する複数の前記貫通電極のうち前記積層方向に隣接するもの同士が、前記積層方向から見て、前記積層方向に直交し且つ前記内側端部同士を電気的に接続する前記貫通電極同士が離れている方向と交差する方向に所定の長さに離れていることを特徴とする請求項13に記載の積層型フィルタアレイ。
In each of the coils,
Outer ends of the conductor patterns adjacent in the laminating direction are electrically connected by a through electrode formed in the insulator,
Among the plurality of through electrodes that electrically connect the outer end portions, those adjacent in the stacking direction are perpendicular to the stacking direction and viewed from the stacking direction, and the inner end portions are electrically connected to each other. The multilayer filter array according to claim 13, wherein the through-electrodes connected to each other are separated by a predetermined length in a direction intersecting with a direction in which the through electrodes are separated from each other.
前記絶縁体は、非磁性体で形成されていることを特徴とする請求項9〜請求項14のいずれか一項に記載の積層型フィルタアレイ。   The multilayer filter array according to any one of claims 9 to 14, wherein the insulator is made of a non-magnetic material. 前記導体パターンが形成された前記絶縁体は、磁性体で形成されていることを特徴とする請求項9〜請求項14のいずれか一項に記載の積層型フィルタアレイ。
The multilayer filter array according to claim 9, wherein the insulator on which the conductor pattern is formed is formed of a magnetic material.
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