JP4215228B2 - 卓上4軸鏡面加工装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子・光学デバイス、金型部品等の超精密加工技術に係わり、更に詳しくは、硬質脆性材料や超硬金属等であっても高精度かつ高能率に複雑形状を鏡面に加工する卓上4軸鏡面加工装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
家庭や研究室等で小型部品を機械加工するために卓上旋盤、卓上フライス盤、等が広く用いられている。これらの卓上加工装置は、比較的加工しやすい材料、例えば銅、アルミニウム、木材、プラスチック等を対象としている。これに対して、加工しにくい材料、例えば電子・光学デバイスに用いるファインセラミックス、光学ガラス、半導体単結晶等の硬質脆性材料や金型部品等の超硬金属等は、被加工物(ワーク)が小型であっても、従来は汎用の大型機械を用いざるを得なかった。そのため、卓上旋盤等のように、手軽に使用でき、かつ硬質脆性材料や超硬金属等であっても高精度かつ高能率で加工できる卓上加工装置が従来から要望されていた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、かかる卓上加工装置を実現しようとすると、以下の問題点があった。
(1)硬質脆性材料や超硬金属等を自由な形状に加工するには、ワークを3次元(例えばX,Y,Z方向)に高精度に移動する必要がある。この場合、通常、ワークを水平面内で2方向(例えばX,Y方向)に移動させるが、そのため、X,Y方向に直進ガイドやNC駆動機器が張出し、卓上加工装置の設置面積が過大になってしまう。
(2)この問題を回避するため、ワークを水平面内では1方向(例えばY方向)のみに移動させ、工具を鉛直面内で2方向(例えばX,Z方向)に移動させると、工具を案内する直進ガイドが大型となる。特に、工具の交換等を容易にするため、直進ガイドやNC駆動機器から片持ちで支持した取付ヘッド上に工具を取り付けると、加工抵抗による取付ヘッドのたわみ等により高精度加工が不可能になる。更に、硬質脆性材料や超硬金属等を加工するには、砥石を用いた研削加工が最適であるが、研削加工の加工抵抗は通常の切削加工に比べて大きいため、ヘッドのたわみ等の変位が更に大きくなってしまう。
(3)砥石を用いた研削加工の場合に、工具(砥石)自体を回転してワークを加工する必要がある。この場合、砥石回転軸の方向が1方向(例えばZ方向)のみでは、ワークの加工形状の制約が大きい。そのため、砥石回転軸を2方向(例えば、Y,Z方向)に設ける必要があるが、その場合、砥石駆動機構が複雑・大型化し、卓上加工装置が更に大型化してしまう。
【0004】
本発明は、かかる問題点を解決するために創案されたものである。すなわち、本発明の目的は、工具を取り付ける取付ヘッドのたわみ等の変位が少なく、2方向の砥石回転に対応でき、かつ設置面積を小さく装置を小型化することができ、これにより硬質脆性材料や超硬金属等であっても高精度かつ高能率で加工できる卓上4軸鏡面加工装置を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】
研削加工に用いる砥石は、短時間で目が詰まってしまうため、通常、能率化が困難である。また、この問題を解決するために、電解インプロセスドレッシング研削法(以下、ELID研削法)が本発明の発明者等により開発されている。本発明はかかるELID研削を適用して加工抵抗を低減し卓上4軸鏡面加工装置の実現を図るものである。
【0006】
すなわち、本発明によれば、被加工材(1)を取付け鉛直なB軸を中心に数値制御で回転駆動するθテーブル(4)と、導電性砥石(2)を取付けその軸心を中心に回転駆動するスピンドル(6)と、スピンドルの回転軸CをB軸に平行なZ軸方向とB軸に水平に直交するY軸方向に着脱自在に取り付ける砥石取付ヘッド(8)と、砥石取付ヘッドのX軸まわり及びZ軸まわりのねじれを防止するねじれ防止ガイド(10)と、砥石取付ヘッドをX軸方向及びZ軸方向に数値制御で直動するX・Zテーブル(12)と、θテーブルをX−Z面に水平に直交するY軸方向に数値制御で直動するYテーブル(14)と、電極及び/又は被加工材を電気的に加工する電気加工手段とを備え、
前記ねじれ防止ガイド(10)は、砥石取付ヘッド(8)をX軸方向に案内する平行な2軸ロッドガイド(11a)と、該2軸ロッドガイドの両端を支持する両端支持ブロック(11b)と、両端支持ブロックをZ軸方向に案内する平行な2軸ロッドガイド(11c)とからなり、
前記電気加工手段は、砥石を回転給電体を介して陽極とし、前記電極を陰極とする電力供給手段(16)と、前記砥石と電極間に導電性加工液を供給する加工液供給手段(18)とからなり、前記電極を砥石に非接触で電解して除去する電解ドレッシング、または、前記電極を一時的もしくは間欠的に砥石に接触させる放電ツルーイングを行うことで、前記電極を電気的に加工する、ことを特徴とする卓上4軸鏡面加工装置が提供される。
【0007】
この構成により、Yテーブル(14)でワークを水平面内ではY方向のみに移動させ、X・Zテーブル(12)で砥石を鉛直面内でX,Z方向に移動させるので、X方向への張出しがなく設置面積を小さくできる。また、ねじれ防止ガイド(10)で砥石取付ヘッド(8)のX軸まわり及びZ軸まわりのねじれを防止するので、X・Zテーブル(12)との協働で砥石取付ヘッド(8)を案内しながら、そのたわみ等の変位を小さくできる。更に、砥石取付ヘッド(8)がスピンドル(6)の回転軸CをZ軸方向とY軸方向に着脱自在に取り付けるようになっているので、砥石取付ヘッドを脱着するだけで、2方向の砥石回転に対応でき、砥石駆動機構の複雑・大型化を回避することができる。
【0008】
また、数値制御機構等を含まない簡単な構成のねじれ防止ガイド(10)でX軸まわり及びZ軸まわりのねじれを防止し、かつX・Zテーブル(12)でX軸方向及びZ軸方向に数値制御するので、砥石取付ヘッドの変位を小さくでき、X軸及びZ軸を高精度に数値制御できる。
さらに、非接触で電極を電解する電解ドレッシングと、接触させる放電ツルーイングの両方が適用でき、電極の高精度ツルーイングと、加工しながらのELID研削が可能となる。従って、硬質脆性材料や超硬金属等であっても高精度かつ高能率で加工できる。
【0009】
また、前記スピンドル(6)は、X−Z面に平行なX・Z取付面(6a)と、X−Y面に平行なX・Y取付面(6b)とを有し、X・Z取付面とX・Y取付面は互いに反対に砥石取付ヘッド(8)に取付可能に構成されている。
この構成により、X・Z取付面(6a)とX・Y取付面(6b)を単に反対にして砥石取付ヘッド(8)に取付けるだけで、スピンドル(6)の回転軸CをY軸方向とZ軸方向の2方向の砥石回転に対応でき、かつ砥石駆動機構を小型化できる。
【0011】
θテーブル、X・Zテーブル、Yテーブルを数値制御する数値制御装置(20)とを備え、3直進軸(X,Y,Z)および1回転軸(θ)の同時もしくは逐次制御により、被加工材の自由曲面のELID研削加工を行う。
この構成により、数値制御装置(20)(例えば、パーソナルコンピュータ)で制御することにより、簡易な数値制御が可能となり、高精度加工が実現できる。
【0012】
前記導電性砥石(2)は、導電性粉末と非導電性粉末を焼結もしくはメッキにより固化するのがよい。この構成により、円板状、円筒形、ボールノーズ形等の導電性回転砥石を容易に製造することができる。
【0013】
前記導電性砥石(2)は、底面、外周面、エッジ部を有する回転体とし、これらの部位の全て、もしくはいずれか1つ以上の部位により、被加工材を加工する。この構成により、導電性砥石を回転させながら、被加工材を複雑形状に加工することができる。
【0014】
前記被加工材(1)は導電性材料からなり、かつ前記導電性砥石と電気的に絶縁され、加工中に前記電極と接触する。この構成により、被加工材と導電性砥石との間での放電を回避しながら、被加工材に電極を接触させて被加工材を放電加工することができる。
【0015】
導電性砥石(2)と被加工材(1)との接触を検出するAEセンサもしくは前記導電性材料からなる被加工材と前記導電性砥石との間に電圧を印加してその接触による電位差・電流変化を検知する接触検出手段を備え、該接触検出手段により、前記電気加工手段のON−OFF制御を行う。この構成により、導電性砥石(2)と被加工材(1)との接触に連動して電気加工手段をON−OFF制御することができる。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して説明する。なお、各図において、共通する部分には同一の符号を付し、重複した説明を省略する。
図1は本発明による卓上4軸鏡面加工装置の全体斜視図であり、図2はその正面図、図3はその左側面図である。
【0017】
図1〜図3に示すように、本発明の卓上4軸鏡面加工装置は、θテーブル4、スピンドル6、砥石取付ヘッド8、ねじれ防止ガイド10、X・Zテーブル12、Yテーブル14及び電気加工手段を備える。
【0018】
本発明の卓上4軸鏡面加工装置により加工する被加工材1は、例えば電子・光学デバイスに用いるファインセラミックス、光学ガラス、半導体単結晶等の硬質脆性材料や金型部品等の超硬金属である。また、この被加工材1を加工する工具は、導電性砥石2である。この導電性砥石2は、底面、外周面、エッジ部を有する回転体であり、これらの部位の全て、もしくはいずれか1つ以上の部位により、被加工材1を研削加工する。また、この導電性砥石2は、導電性粉末と非導電性粉末を焼結もしくはメッキにより固化することで製造する。この構成により、円板状、円筒形、ボールノーズ形等の導電性回転砥石2を容易に製造することができ、この導電性砥石2を回転させながら、被加工材1を複雑形状に加工することができる。
【0019】
θテーブル4は、クロスローラーベアリングで回転可能に支持され、パルスモータ4aにより、鉛直なB軸を中心に数値制御で回転駆動される。このθテーブル4の上面に被加工材1が取付けられる。また、この例では、被加工材1は導電性材料(例えば、超硬金属)からなり、導電性砥石2と電気的に絶縁されている。
【0020】
スピンドル6は、導電性砥石2が取付けられ、その軸心を中心に回転駆動する。このスピンドル6は、例えばAC100V、50/60Hzの電源で駆動され、導電性砥石2を最大2万rpmで回転する。
また、このスピンドル6は、X−Z面に平行なX・Z取付面6aと、X−Y面に平行なX・Y取付面6bとを有する。この2つの取付面6a,6bは、例えばボルトの着脱により、スピンドルの回転軸CをB軸に平行なZ軸方向とB軸に水平に直交するY軸方向に着脱して取り付けることができるように構成されている。
【0021】
この構成により、図1〜3に示すように取り付けることにより、スピンドル6の回転軸CをY軸方向にセットすることができ、逆にX・Z取付面6aとX・Y取付面6bを単に反対にして砥石取付ヘッド8に取付けるだけで、スピンドル6の回転軸CをZ軸方向にセットすることができる。なお、この場合には、導電性砥石2として円筒形砥石、カップ砥石、ボールノーズ砥石等を用いるのがよい。従って、スピンドル6の回転軸CをY軸方向とZ軸方向の2方向の砥石回転に対応でき、かつ砥石駆動機構を小型化できる。
【0022】
ねじれ防止ガイド10は、砥石取付ヘッド8をX軸方向に案内する平行な2軸ロッドガイド11aと、この2軸ロッドガイド11aの両端を支持する両端支持ブロック11bと、両端支持ブロック11bをZ軸方向に案内する平行な2軸ロッドガイド11cとからなる。両端支持ブロック11bには、2軸の平行なロッドを直線的に案内するリニアベアリングが組み込まれており、砥石取付ヘッド8を上下左右に低抵抗で自由に移動させ、かつX軸まわり及びZ軸まわりのねじれを防止している。
この構成により、砥石2に作用する加工抵抗を砥石取付ヘッド8を介して2軸ロッドガイド11a,11bで受け、砥石取付ヘッド8のX軸まわり及びZ軸まわりのねじれを防止することができる。また、この構成でX・Zテーブル12でX軸方向及びZ軸方向に数値制御するので、X・Zテーブル12のガイドを小さくでき、かつ砥石取付ヘッド8の変位を小さく抑えて、X軸及びZ軸を高精度に数値制御できる。
【0023】
X・Zテーブル12は、V溝とクロスローラーでX軸方向及びZ軸方向に案内され、パルスモータ12aにより砥石取付ヘッド8をZ軸方向に数値制御で直動し、図示しない別のパルスモータ12aにより砥石取付ヘッド8をX軸方向に数値制御で直動する。また、Yテーブル14は、同様にV溝とクロスローラーでY軸方向に案内され、パルスモータ14aによりθテーブル4をY軸方向に数値制御で直動する。なお、パルスモータを用いてオープン回路の替わりにリニアセンサを用いたフィードバック制御により数値制御を行ってもよい。
この構成により、砥石取付ヘッド8のたわみ等の変位を小さく抑えることができるので、X・Zテーブル12とYテーブル14により、ワーク1と工具2を相対移動されて3軸NC制御を精度よく行うことができる。また、Yテーブル14は、θテーブル4の半径分で直径分を加工できるため、そのストロークを半減でき、パルスモータ14a等の突出を防止できる。なお、9は、全体又は部分的に透明なカバーであり、卓上4軸鏡面加工装置を覆い、作動中に内部を観察できるようになっている。
【0024】
電気加工手段は、電極22及び/又は被加工材1を電気的に加工する。この電気的加工には、電解ドレッシングと放電ツルーイングを含む。この電気加工手段は、砥石2を回転給電体(図示せず)を介して陽極(+)とし、電極22を陰極とする電力供給手段16と、砥石2と電極22間に導電性加工液を供給する加工液供給手段18とからなる。電極22は、砥石2の加工面と一定の間隔を隔てているのがよいが、電極を砥石に一時的に接触するように構成してもよい。
この構成により、非接触状態で電極22を電解して除去する電解ドレッシングと、一時的又は間欠的に接触させる放電ツルーイングとの両方が適用できる。従って、電極の高精度ツルーイングと、加工しながらのELID研削が可能となり、硬質脆性材料や超硬金属等であっても高精度かつ高能率で加工でき、平均粗さRa10nm以下に鏡面加工することが可能となる。
【0025】
数値制御装置20は、θテーブル4、X・Zテーブル12及びYテーブル14を数値制御し、3直進軸X,Y,Zおよび1回転軸θを同時もしくは逐次制御して被加工材1の自由曲面のELID研削加工を行う。
また、導電性砥石2と被加工材1との接触を検出するAEセンサを有する接触検出手段(図示せず)を備え、この接触検出手段により、電気加工手段のON−OFF制御を行い、導電性砥石2と被加工材1との接触に連動して電気加工手段をON−OFF制御するようになっている。
【0026】
なお、本発明は、上述した実施例に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々に変更できることは勿論である。
【0027】
【発明の効果】
上述した本発明の構成により、Yテーブル14でワークを水平面内ではY方向のみに移動させ、X・Zテーブル12で砥石を鉛直面内でX,Z方向に移動させるので、X方向への張出しがなく設置面積を小さくできる。また、ねじれ防止ガイド10で砥石取付ヘッド8のX軸まわり及びZ軸まわりのねじれを防止するので、X・Zテーブル12との協働で砥石取付ヘッド8を案内しながら、そのたわみ等の変位を小さくできる。更に、砥石取付ヘッド8がスピンドル6の回転軸CをZ軸方向とY軸方向に着脱自在に取り付けるようになっているので、砥石取付ヘッドを脱着するだけで、2方向の砥石回転に対応でき、砥石駆動機構の複雑・大型化を回避することができる。
【0028】
また、簡単な構成のねじれ防止ガイド10でX軸まわり及びZ軸まわりのねじれを防止し、かつX・Zテーブル12でX軸方向及びZ軸方向に数値制御するので、砥石取付ヘッドの変位を小さくでき、X軸及びZ軸を高精度に数値制御できる。更に、X・Z取付面6aとX・Y取付面6bを単に反対にして砥石取付ヘッド8に取付けるだけで、スピンドル6の回転軸CをY軸方向とZ軸方向の2方向の砥石回転に対応でき、かつ砥石駆動機構を小型化できる。更にまた、非接触で電極を電解する電解ドレッシングと、接触させる放電ツルーイングの両方が適用でき、電極の高精度ツルーイングと、加工しながらのELID研削が可能となる。従って、硬質脆性材料や超硬金属等であっても高精度かつ高能率で加工できる。
【0029】
従って、本発明の卓上4軸鏡面加工装置は、工具を取り付ける取付ヘッドのたわみ等の変位が少なく、2方向の砥石回転に対応でき、かつ設置面積を小さく装置を小型化することができ、これにより硬質脆性材料や超硬金属等であっても高精度かつ高能率で加工できる、等の優れた効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による卓上4軸鏡面加工装置の全体斜視図である。
【図2】図1の正面図である。
【図3】図1の左側面図である。
【符号の説明】
1 被加工材(ワーク)
2 導電性砥石
4 θテーブル
6 スピンドル
6a X・Z取付面
6b X・Y取付面
8 砥石取付ヘッド
9 カバー
10 ねじれ防止ガイド
11a,11c 2軸ロッドガイド
11b 両端支持ブロック
12 X・Zテーブル
14 Yテーブル
16 電力供給手段
18 加工液供給手段
20 数値制御装置
22 電極
Claims (7)
- 被加工材(1)を取付け鉛直なB軸を中心に数値制御で回転駆動するθテーブル(4)と、導電性砥石(2)を取付けその軸心を中心に回転駆動するスピンドル(6)と、スピンドルの回転軸CをB軸に平行なZ軸方向とB軸に水平に直交するY軸方向に着脱自在に取り付ける砥石取付ヘッド(8)と、砥石取付ヘッドのX軸まわり及びZ軸まわりのねじれを防止するねじれ防止ガイド(10)と、砥石取付ヘッドをX軸方向及びZ軸方向に数値制御で直動するX・Zテーブル(12)と、θテーブルをX−Z面に水平に直交するY軸方向に数値制御で直動するYテーブル(14)と、電極及び/又は被加工材を電気的に加工する電気加工手段とを備え、
前記ねじれ防止ガイド(10)は、砥石取付ヘッド(8)をX軸方向に案内する平行な2軸ロッドガイド(11a)と、該2軸ロッドガイドの両端を支持する両端支持ブロック(11b)と、両端支持ブロックをZ軸方向に案内する平行な2軸ロッドガイド(11c)とからなり、
前記電気加工手段は、砥石を回転給電体を介して陽極とし、前記電極を陰極とする電力供給手段(16)と、前記砥石と電極間に導電性加工液を供給する加工液供給手段(18)とからなり、前記電極を砥石に非接触で電解して除去する電解ドレッシング、または、前記電極を一時的もしくは間欠的に砥石に接触させる放電ツルーイングを行うことで、前記電極を電気的に加工する、ことを特徴とする卓上4軸鏡面加工装置。 - 前記スピンドル(6)は、X−Z面に平行なX・Z取付面(6a)と、X−Y面に平行なX・Y取付面(6b)とを有し、X・Z取付面とX・Y取付面は互いに反対に砥石取付ヘッド(8)に取付可能に構成されている、ことを特徴とする請求項1記載の卓上4軸鏡面加工装置。
- θテーブル、X・Zテーブル、Yテーブルを数値制御する数値制御装置(20)とを備え、3直進軸(X,Y,Z)および1回転軸(θ)の同時もしくは逐次制御により、被加工材の自由曲面のELID研削加工を行うことを特徴とする請求項1記載の卓上4軸鏡面加工装置。
- 前記導電性砥石(2)は、導電性粉末と非導電性粉末を焼結もしくはメッキにより固化することを特徴とする請求項1に記載の卓上4軸鏡面加工装置。
- 前記導電性砥石(2)は、底面、外周面、エッジ部を有する回転体とし、これらの部位の全て、もしくはいずれか1つ以上の部位により、被加工材を加工することを特徴とする請求項1記載の卓上4軸鏡面加工装置。
- 前記被加工材(1)は導電性材料からなり、かつ前記導電性砥石と電気的に絶縁され、加工中に前記電極と接触することを特徴とする請求項1記載の卓上4軸鏡面加工装置。
- 導電性砥石(2)と被加工材(1)との接触を検出するAEセンサもしくは前記導電性材料からなる被加工材と前記導電性砥石との間に電圧を印加してその接触による電位差・電流変化を検知する接触検出手段を備え、該接触検出手段により、前記電気加工手段のON−OFF制御を行うことを特徴とする請求項1記載の卓上4軸鏡面加工装置。
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