JP4208983B2 - 半導体熱電材料の製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、熱エネルギーを電気エネルギーに直接変換できる熱電発電(ゼーベック効果)、及び電流によるヒートポンプ効果(ペルチエ効果)を実用化に供するための熱電変換材料に関する。
【0002】
【従来の技術】
熱電変換技術には、半導体のゼーベック効果を利用した熱電発電とペルチエ効果を利用したヒートポンプ効果がある。熱電変換は、駆動部分がなく小型軽量であり、メンテナンスフリーで半永久的に使えるなどの優れた特徴があるので、その特徴を活かして、例えば、熱電発電では宇宙探査機の電源、灯台等の僻地利用の電源として使用されている。最近では、自動車の排熱の有効活用や小型燃焼炉の排熱利用など、幅広い利用分野での検討がなされている。
【0003】
また、ペルチエ効果は、半導体レーザー、センサー、集積回路(LSI)などの電子素子の冷却や、小型のクーラーボックスなどに利用されている。しかし、現状では、いずれの場合も変換効率は15%以下であるので、現有のエネルギー変換系(例えば、火力発電、燃料電池等の発電や、家庭用の電気冷蔵庫など)と競合できる段階には至っていない。
【0004】
この技術革新には、高い変換効率が発現できる新規の熱電材料の開発が重要な課題であり、変換効率20%を達成することが当面の目標である。この目標を達成すれば、熱電変換技術の応用分野は飛躍的に拡大できる。
【0005】
熱電材料の性能は、ゼーベック係数(単位温度差当たり素子に発生する熱起電力で、以下これを熱電能という)S、電気伝導度σ、熱伝導度κをパラメータとして、
Z=S2σ/κ
で表わされる。
【0006】
このZは性能指数(Figure of merit)と呼ばれ、熱電変換効率を決める重要な材料パラメーターである。ここで、S2σは出力因子とよばれている。熱電能Sが大きく、電気伝導度σが大きい材料ほど出力因子が高い。性能指数Zを決めるもう一つの因子は、上式の分母の熱伝導度κである。この値をどこまで小さくできるかが、性能指数Zを高める重要な鍵になっている。
【0007】
現在使用されている主要な熱電材料は、ビスマス・テルライド(Bi2Te3)を主体とした三元系化合物、鉛テルル(PbTe)、ゲルマニウム・シリコン(GeSi)である。この中で、Bi2Te3はペルチエ冷却用材料として、またPbTe、GeSiは熱電発電用材料として実用に供されている。
【0008】
これらの材料の性能指数Zの大きさは、Bi2Te3でZ〜2.5×10-3K-1(300K)、PbTeでZ〜1.4×10-3K-1(580K)、GeSiで0.8×10-3K-1(900K)であり、既存の材料の中ではBi2Te3の性能が最も高い値をもっている。しかし、これらの値は、いずれもピーク値であり、( )内に示した温度以外では小さい。
【0009】
一般的に、性能指数Zが大きい材料ほどその温度変化は顕著である。熱電変換では、基本的に広い温度領域で高い熱電性能をもつことが要求されているので、以下の議論では性能指数Zと無次元性能指数ZT(Tは絶対温度)により熱電特性を評価する。
【0010】
室温から800Kの広い温度領域で高い性能をもつn型 Co1-XPdXSb3 (0.03<x<0.05)化合物熱電材料についての記載がある(AIP Conf. Proc. 316, pp.226-229, 1994)。この新規材料の性能指数の大きさは、この温度領域においてZ〜0.6×10-3K-1、ZT〜0.4である。出力因子(S2σ)で比較すると、Bi2Te3よりも約2倍大きい値である。これは、この材料の特記すべき点である。
【0011】
しかし、まだ実用的に満足できる性能(ZT>1)には達していない。この第1の問題点は、Co1-XPdXSb3 置換型化合物において、パラジウム(Pd)置換で達成できる電気伝導度σは組成比x=0.1の試料で約900S/cm(室温)であり、これがこの材料の限界値である。
【0012】
この試料の電気伝導度σに関わるキャリヤー濃度は1.5×1020cm-3であり、移動度は33cm2/Vsである。Pd置換しないCoSb3の移動度は室温で2000cm2/Vsであるので、Pdの置換で移動度は著しく減少している。
【0013】
第2の問題点は、熱伝導度κがBi2Te3に比較して3〜5倍程度大きいことである。実際に、Pd単独の場合で組成比x=0.05である化合物の熱伝導度κは0.05W/cmK程度に大きい値をもっている。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】
本発明が解決しようとする課題は、従来のCo1-XPdXSb3 置換型化合物においてPd置換で得られている材料の電気伝導度σ〜900S/cmの限界値を打開して、少なくとも電気伝導度σが103S/cmを超える手段を提供することである。この課題が解決できれば、熱電材料として実用的に満足できる性能(ZT>1)が達成できる。
【0015】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、CoSb3 化合物の構成元素であるCO格子サイトの一部をパラジウム(Pd)と白金(Pt)の両元素で置換することにより上記のような限界を打開しうることを見出した。
【0016】
この知見に基づく本発明の要旨は、
(1)スクッテルダイト型結晶構造を持つコバルト・アンチモナイド(CoSb3)において、その構成元素であるCo元素の一部を組成比Aが0.001以上のパラジウム(Pd)と組成比Bが0.001以上の白金(Pt)の両元素で置換した置換型化合物Co1-XMXSb3(ここで、X=A+B)からなるn型の半導体熱電材料の製造方法であって、Sb,Co,Pd,Ptを混合する際に、Sb:Co=3:1よりSbを約3原子パーセント多く用いて粉体を混合して、前記粉体を加圧成形して、加圧成形した前記粉体を加熱し固相反応によってCo1-XMXSb3を作製して、前記Co1-XMXSb3を粒径90μm以下に粉砕し、この粉末をホットプレスにより焼結を行う半導体熱電材料の製造方法である。
【0017】
(2)前記の置換型化合物において、Coとの置換元素M(Mは、PdとPtを含む)の組成比xが0.01<x<0.2である前項(1)記載の半導体熱電材料の製造方法である。
【0018】
(3)前記の置換型化合物において、置換元素Mの組成比xのうち白金(Pt)の含有率が5原子パーセント以上、85原子パーセント以下である前項(1)又は(2)記載の半導体熱電材料の製造方法である。
【0019】
本発明の根拠は、置換型化合物Co1-XMXSb3の置換元素MとしてPdとPtを同時に加えることによってキャリアー濃度の増加をはかり、その結果として電気伝導度σを大幅に増大せしめることである。さらに、その付加的効果として、CoSb3結晶中での格子歪によるフォノン散乱が増えて、熱伝導度κの格子熱伝導度(結晶の格子振動による熱伝導度成分)が低減できる。この目的のために、置換元素であるPdとPtは、それぞれの組成比AとBで、ともに0.001以上含まれていなければならない。
【0020】
また、Coとの置換元素M(Mは、PdとPtを含む)の組成比xは0.01<x<0.2の範囲であることが望ましい。その理由は、xが0.01以下では、上記のような電気伝導度σを増大させる効果および熱伝導度κを低減させる効果が十分でないためである。またxを0.2以上にしても、これらの効果はそれ以上改善されず、添加元素のコストが大きくなって好ましくないためである。
【0021】
さらに、置換元素Mの組成比xのうち、Ptの含有率は5原子パーセント以上、85原子パーセント以下であることが望ましい。Ptの含有率が5原子パーセントより小さいか、または85原子パーセントより大きいと、上述した電気伝導度の増大効果や熱伝導度の低減効果が十分でない場合があるからである。
【0022】
以下、実施例に基づき本発明をさらに詳しく説明する。
本発明の置換型化合物の創製には、原料の純度はいずれも99.99%アップで、粒径が250μm以下の粉体を使用した。本実施例では、SbはCoに対し化学量論的組成比のSb:Co=3:1より約3原子パーセント程度過剰にして、固相反応の過程でCoSb3以外の化合物、とくにCoSb2化合物(半導体)の生成を抑えた。
【0023】
次に、秤量粉体をプラスチック容器中で十分混合し、加圧成形(圧力:200kgf/cm2)する。これをカーボンコーテイング処理した石英管の中に真空封入し、電気炉中で600℃で48時間の熱処理をすると、固相反応により均質組成の置換型化合物CO1-XMXSb3 がつくれる。得られたインゴットの粉末X線回折による構造解析の結果、熱処理の過程で置換元素であるPdとPtはCoSb3 結晶格子のCoサイトに安定に置換していることが確認された。
【0024】
このような固相反応で得られたインゴットの焼結密度は約50パーセントである。そのため、このインゴットをめのう鉢を用いて粒径が90μm以下に粉砕し、ホットプレスにより焼結した。ホットプレスの条件は、アルゴンガス雰囲気中750℃、圧力15MPa(約153kgf/cm2)で焼結時間は80分である。
【0025】
この焼結温度条件の下では、秤量時に加えた過剰のSbはダイス外に流出し焼結体中には残らない。ちなみに、Sbの融点は630℃である。このホットプレスの条件で達成できる材料の焼結密度は理論密度に対して98%以上であり、研磨面は鮮やかな金属光沢を呈する。
【0026】
上記の手法により作製した化合物材料について主要な特性測定は、以下の手法で行った。まず、ゼーベック係数S(熱電能)測定では、2×2×15mm3カットの試料片を切り出してその両端部にPt−PtRh熱電対線(0.1mmφ)を付けた。昇温炉中で、この試料片に5〜6℃の温度差をつけて発生する熱起電力を測定し、これを試料片の温度差で除することによってゼーベック係数(熱電能)Sを求めた。この測定での温度範囲は室温から800Kである。
【0027】
電気伝導度σは、高温度域では上記の試料片を用いて熱起電力測定と併用して測定した。また、低温域での測定はファン・デル・パウ(van der Pauw)法により行った。ファン・デル・パウ法は、主として液体窒素温度(77K)から室温までの温度域での電気伝導度の測定と、この温度域でのキャリヤー移動度の測定のために使用した。
【0028】
この場合の試料片は、表面が5×5mm2、厚みが0.3mmの平板形状であり、4つの電極リード線(Cu線)を等間隔で付けた。移動度測定での磁界の強さは1テスラー(10Kガウス)である。
【0029】
また、熱伝導度κの測定では、レーザー・フラッシュ法(理学電気(株):LF/TCM−FA8510B)を用いて行った。この測定での試料片は、直径が10mmφで厚みが1mmの円板である。このセンターに細いプラチネル熱電対(0.1mmφ)を付ける。試料片にレーザーパルスを照射して熱エネルギーを与え、このときに発生する試料温度の時間応答より、比熱(CP)と熱拡散率(α)を測定し、この結果に試料の密度(ρ)を各々乗じて熱伝導度κを求めた。
【0030】
上記の手法により創製した置換型化合物の測定結果について、以下に詳しく説明する。
置換型化合物Co1-XMXSb3(Mは、置換元素)において、Coの格子サイトに入るMの組成比xが0.01<x<0.2の範囲であり、MとしてPdとPtの両元素を含むことに本発明の特徴がある。高純度のCoSb3の伝導タイプはp型であり、PdとPtの置換系の伝導タイプは全てn型であった。
【0031】
本発明の実施例として、xが0.06〜0.15で、PdとPtをそれぞれx/2含む置換型化合物(以下、単に化合物ということがある)について熱電特性を調査した。また、比較例1としてxが0.01〜0.2でPdのみを含む化合物を、比較例2としてxが0.03〜0.1でPtのみを含む化合物を対象として、これらの熱電特性を比較した。
【0032】
図1は、実施例および比較例の置換型化合物の、置換元素Mの組成比xと電気伝導度σの関係を示す。実施例(PdとPtがそれぞれx/2)の化合物の電気伝導度σの値は、比較例1(Pd単独)の場合より2倍程度大きい。比較例1と比較例2(Pt単独)では、σの値は比較例2の方が比較例1より1.6倍大きい値をもつ。いずれの場合も、組成比xの小さい範囲では、電気伝導度σはxに比例して増加している。
【0033】
図2は、実施例および比較例の置換型化合物の室温でのゼーベック係数(熱電能)Sの組成比xの依存性を示す。これらの化合物は全てn型(すなわち、Sは負(−)符号)であるので、図ではSの絶対値は下になるほど大である。
【0034】
この結果から、(1)組成比xが増すほど、熱電能Sの絶対値は単調に減少する、(2)比較例1の化合物に比べると、比較例2および実施例の化合物の熱電能Sの絶対値は低いことがわかる。
上記の(2)の結果は、図1に示す電気伝導度σの結果に対応している。即ち、電気伝導度の増加にともない熱電能Sが低下する一般的な傾向を示している。
【0035】
図3は、これらの置換型化合物の室温での熱伝導度κの組成比xの依存性を示す。熱伝導度κの値は組成比xの増加で単調に減少している。組成比x=0.1でのκの値は、高純度CoSb3(x=0)の約0.5倍に減少している。また、各々の置換元素で比べると、実施例および比較例1の化合物が比較例2の場合よりも小さくなっている。
【0036】
図4は、これらの測定結果から算出された置換型化合物の性能指数Z(=S2σ/κ)の組成比xの依存性を示す。実施例の置換型化合物では、室温でZ〜0.9×10-3K-1になる。この値は、比較例1のZ〜0.8×10-3K-1、比較例2のZ〜0.5×10-3K-1より明らかに増加している。
【0037】
共通的には、組成比xが大きいほど性能指数Zの値は高くなり、xが0.1(10原子%)以上ではzの値は飽和している。これは、x>0.1ではゼーベック係数(熱電能)Sおよび熱伝導度κの値が飽和することに起因している。
【0038】
図5に、Co1-XMXSb3(x=0.1)において、実施例および比較例の試料の出力因子(S2σ)の温度特性を示す。図には、最良の熱電材料として知られるn型Bi2(Te,Se)3の温度特性を比較のために示してある。(比較例3)この結果に見るように、当該のCo1-XMXSb3系化合物は室温から約800Kまでの広い温度域でフラットな特性を発現している。
【0039】
これらの化合物の出力因子(S2σ)の最大値は、それぞれ比較例1では3.9×10-5W/cmK2、比較例2では3.8×10-5W/cmK2とほぼ同程度である。これに対して、実施例では4.6×10-5W/cmK2となり、出力因子(S2σ)が比較例のPd、Pt単独置換型の場合より約1.2倍大きくなっている。
【0040】
図6は、出力因子(S2σ)を各々の化合物の熱伝導度κの値(図3参照)で除して得られる性能指数Zの温度特性である。この結果に示すように、比較例1および2の場合と比較して、実施例の化合物の性能指数Zは明らかに増大している。
【0041】
【発明の効果】
本発明は、スクッテルダイト型結晶構造をもつ置換型化合物Co1-XMXSb3において、置換元素Mがパラジウム(Pd)と白金(Pt)の両元素からなることを特徴としている。置換元素MがPdである従来の材料の場合、熱電材料の性能に関わる電気伝導度σの値は、例えば、組成比x=0.1の材料で900S/cm(限界値)であった。この場合、キャリヤー濃度(この場合は、電子濃度)は1×1020cm-3であり、これが限界値である。
【0042】
これに対して、PdにPtを加えた本発明の新規材料の場合では、同じ組成比であるx=0.1(Pd、Ptともに0.05)において電気伝導度σ〜1950S/cmが達成できた。PdにPtを加えることで、キャリヤー濃度はPd単独置換の場合の約4倍増加した。その結果、熱電材料の特性が向上して、500Kから750Kの比較的広い温度域にわたってZ〜1.2×10-3K-1を実現することができた。
【0043】
この新材料の無次元性能指数は、例えば、750Kの温度域においてZT〜0.9まで向上し実用化レベルに必要なZT〜1の条件をほぼ満たす結果である。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例および比較例の置換型化合物の電気伝導度σの組成比xの依存性を示す図。
【図2】実施例および比較例の置換型化合物の室温でのゼーベック係数(熱起電力)Sの組成比xの依存性を示す図。
【図3】実施例および比較例の置換型化合物の室温での熱伝導度κの組成比xの依存性をを示す図。
【図4】図1〜3の測定結果から算出された性能指数Z(=S2σ/κ)の組成比xの依存性を示す図。
【図5】Co1-XMXSb3(x=0.1)において、実施例および比較例の試料の出力因子(S2σ)の温度特性を示す図。ただし、比較例3はn型Bi2(Te,Se)3である。
【図6】出力因子(S2σ)を各々の化合物の熱伝導度κの値で除して得られる性能指数Zの温度特性を示す図。
Claims (3)
- スクッテルダイト型結晶構造を持つコバルト・アンチモナイド(CoSb3)において、その構成元素であるCo元素の一部を組成比Aが0.001以上のパラジウム(Pd)と組成比Bが0.001以上の白金(Pt)の両元素で置換した置換型化合物Co1-XMXSb3(ここで、X=A+B)からなるn型の半導体熱電材料の製造方法であって、Sb,Co,Pd,Ptを混合する際に、Sb:Co=3:1よりSbを約3原子パーセント多く用いて粉体を混合して、前記粉体を加圧成形して、加圧成形した前記粉体を加熱し固相反応によってCo1-XMXSb3を作製して、前記Co1-XMXSb3を粒径90μm以下に粉砕し、この粉末をホットプレスにより焼結を行う半導体熱電材料の製造方法。
- 前記の置換型化合物において、Coとの置換元素M(Mは、PdとPtを含む)の組成比xが0.01<x<0.2である請求項1記載の半導体熱電材料の製造方法。
- 前記の置換型化合物において、置換元素Mの組成比xのうち白金(Pt)の含有率が5原子パーセント以上、85原子パーセント以下である請求項1又は2記載の半導体熱電材料の製造方法。
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