JP4208775B2 - 光電信号検出器 - Google Patents

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Description

本発明は、冷却装置を備えた光電信号検出器に係り、詳細には精密な温度制御が可能な冷却装置を備えた光電信号検出器に関する。
IR(赤外線)センサーは温度に非常に敏感に反応して若干の温度偏差にも応答感度が変わり、また波長変化を起こす。したがって、正確な信号検出のためには非常に精密な温度調節が必要である。しかし、温度調節用の電子冷却モジュールが内蔵されていないTO缶タイプのセンサーパッケージは別途のクーリングユニットを外装して間接冷却する方式を採用している。このように外装方式の場合はセンサーパッケージの表面とクーリングユニット間に表面の不完全な接触によって電子冷却モジュールとの熱伝逹が円滑に行われず、また温度感知用プローブも熱伝逹ブロックに間接的に固定されることによって正確な温度検出が難しい問題がある。
一例として、グルコース濃度を測定するためにグルコースに吸収の多い波長帯域と吸収の少ない波長帯域とを含む特定帯域スペクトルを発生させ、この分離された波長を生体に照射して反射または透過された光量を検出器で測定して波長別光量の吸収差を分析して、血中成分の濃度を正確に測定する。しかし、グルコース濃度変化による吸収スペクトルの変化は非常に小さい。したがって、この時に使われる検出器の温度変化によるスペクトル変化はグルコース濃度変化による吸収スペクトル影響より少なくなければならず、その結果として検出器の温度はターゲット温度に精密に制御されねばならない。
特許文献1はスペクトロフォトメータ−に利用されるPbS検出器の温度を周囲温度より低い温度に制御するための温度制御ユニットについての装置に関する発明であって、密閉されたハウジングの中に温度検出素子を近赤外線センサーの近くに付着する構造である。これは温度検出素子をセンサー隣接面に付着することによって不要な密閉ハウジングを必要とする短所がある。電子冷却モジュールの表面をセンサー下部面に接触させてセンサーとの熱的接触状態を改善したが、TO缶の温度をモニタリングする検出プローブは電子冷却モジュールの基板上に直接付着されることによって正確な温度を検出できない短所がある。
米国特許5,041,727公報
本発明が解決しようとする技術的課題は、TO缶タイプの検出器の温度を効果的に制御するための装置を提供することである。
本発明の一類型によれば、光信号を電気的信号に変換する光電変換素子を備えた光検出器と、前記光検出器が密着して配設される吸熱側第1プレートと、前記吸熱側第1プレートに対向する放熱側第2プレートと、前記第1プレートと第2プレートと間に多数配列される熱電冷却素子とからなり、前記光検出器から突出する複数のリードを、前記第1プレートから第2プレートを抜けて導出させるべく前記第1プレートと前記第2プレートに形成された複数の貫通孔を有する電子冷却素子と、前記電子冷却素子の前記第1プレートの内面に密着させて取り付けられた温度センサーと、を具備する光電信号検出器が提供される。
前記本発明の信号検出器において、前記光検出器は前記光電変換素子が内蔵されるヘッドとそれを支持するベース及び前記光電変換素子に電気的に連結されるものであって、前記ベースから延びる複数のリードを備えることが望ましい。
一方、本発明の望ましい実施例によって、前記第1プレートの内面には前記電子冷却素
子が電気的に連結される配線層が形成され、さらに望ましくは、前記温度センサーは前記
配線層に直接連結され、前記光センサーはTO缶タイプである。
前記本発明の光電信号検出器において、前記ヘッドは缶タイプであることが望ましい。
また、熱抵抗の高い断熱材料で形成され、前記光検出器と前記電子冷却素子とを所定の開口部を除いて覆い、前記第2プレートをヒートシンクに密着させるようにして固定する固定部材を更に備えることが望ましい。

本発明の光電信号検出器は、電子冷却装置の表面を直接TO缶タイプの光検出器のベースに当接させ、光検出器と電子冷却装置間の熱的接触状態を改善した。また、光検出器10の温度をモニタリングする温度センサーを電子冷却装置の基板、特に第1プレートの内面に直接付着して温度センサーが一体に備えられる電子冷却装置を構成することによって正確な温度のセンシング及びそれを通した精密な温度の制御が可能になる。
前記電子冷却装置の電気的仕様及びこれに関係する要素、例えば第1、第2プレートの形状や材質、第1、第2プレート内面に形成される配線層の形態などは光検出器の熱容量及び動作条件の熱負荷によって決定される。このような、本発明による電子冷却装置は温度制御専用のワンチップ型ハイブリッド温度制御回路を設計した結果、温度精密度及び信頼性が大幅に向上した。
以下、添付された図面を参照しながら本発明による光電信号検出器の望ましい実施例を詳細に説明する。
図1は、本発明による光電信号検出器の概略的斜視図であり、図2は、図1に示された本発明による光電信号検出器の概略的断面図である。
図1ないし図3を参照すれば、TO缶タイプの光検出器10が電子冷却装置20上に固定されており、前記光検出器10及び電子冷却装置20は断熱材料で形成されたブラケット30により保護されている。
前記光検出器10は内部に光電変換素子が内蔵されたヘッド11とヘッド11の下部を支持するベース12、そして前記ヘッド11内の光電変換素子などに電気的に連結されるものであって前記ベース12の下部に延びる多数のリード13を備える。
前記電子冷却装置20は前記ヘッド11底部のベース12が固定される吸熱側の第1プレート21と放熱側の第2プレート22及びこれら間に配置される多数の電子冷却素子23を具備する。
前記ブラケット30は上部のヘッド11とヘッド下部の電子冷却素子23とを収容し、前記ヘッド11の上面がその上部に露出させる本体33と、本体33の両側に備えられるものであって、締結部品が設置される貫通孔32が形成されるフランジ31を具備する。
したがって、前記ブラケット30は熱抵抗の高い断熱材料で形成されるものであって、前記ヘッド11と電子冷却装置23を保護し、図2に示されたようにヒートシンク40に設置されて前記電子冷却装置20の放熱側第2プレート22からの熱が前記ヒートシンクに伝えられる。
前記のような構造に加えて本発明の特徴によって、前記第1プレート21の内面に温度センサー50が設置される。すなわち、前記温度センサー50は前記第1プレート21を中心として前記光検出器10の反対側に備えられている。したがって、光検出器10のベース12から第1プレート21に吸収された熱を温度センサー50により精密に検出できるようになる。さらに、温度センサー50が電子冷却装置20の内部で保護されているために、第1プレート21に伝えられた熱により感応し、外部からの熱的雑音に対して保護される。
このように温度センサー50が電子冷却装置20の内部に備えられ、特に電気的配線の構成が容易である第1プレート21の内面に設置されるために、別途の配線ラインが不要である。すなわち、第1プレート21と第2プレート22の内面には電子冷却素子23を電気的に連結するための配線層が形成されているが、この配線層を形成する時に前記温度センサーのための配線層を形成でき、追加的な配線層の形成やこれらを連結するためのワイヤーリングが不要となる。
図4は、本発明による光電信号検出器に適用される電子冷却素子20の概略的斜視図であり、図5は、図4のB部分の拡大図である。そして、図6Aは、第1プレート21の内面を示した平面図であり、図6Bは、第2プレート22の内面を示した平面図である。
図4に示されたように電子冷却素子20は、熱電冷却素子23に連結される1対の第1リード23a、23aと温度センサー50に連結される1対の第2リード50a、50aとを備える。第1プレート21に光検出器10のリード13が通過する貫通孔21aが多数形成されている。また、前記第1プレート21の貫通孔21aに対応して図6Bに示されたように第2プレート22に貫通孔22aが形成されている。前記第1プレート21と第2プレート22との間には熱電冷却素子23が多数配置されている。
第1プレート21と第2プレート22の内面には図6A及び図6Bに示されたように前記熱電冷却素子23を電気的に連結する配線層21b、22bが形成されている。一方、図6Aに示されたように第1プレート21の内面に温度センサー50が連結される配線層21c、21cが形成されている。
ここで、前記第1プレート21及び第2プレート22は電気的絶縁物質、例えばアルミナ(Al)で形成される。
本発明は図面に示された実施例を参考で説明されたが、これは例示的なものに過ぎず、当業者であれば、これより多様な変形及び均等な他の実施例が可能であることが理解できるであろう。したがって、本発明の真の技術的保護範囲は添付された特許請求の範囲上に限って定められねばならない。
本発明は、冷却装置を備えた光電信号検出器、詳細には精密な温度制御が可能な冷却装置を備えた光電信号検出器に関わり、例えば本発明の光電信号検出器の応用分野は多様であり、温度センサーが内蔵されていない外装型IRセンサーパッケージに適している。例えば、光を生体の一部に照射して透過するか反射される光を測定して体液成分の濃度を浸湿的または非浸湿的に測定するシステムに非常に効果的であり、以外に類似応用システムに応用可能である。
本発明による光電信号検出器の概略的外観を示した斜視図である。 図1に示された本発明による光電信号検出器の概略的断面図である。 図2のA部分の拡大図である。 本発明による光電信号検出器に適用される電子冷却装置の概略的外観を示す斜視図である。 図4のB部分の拡大図である。 図4に示された電子冷却装置の第1プレートと第2プレートの内面をそれぞれ示す平面図である。 図4に示された電子冷却装置の第1プレートと第2プレートの内面をそれぞれ示す平面図である。
符号の説明
20 電子冷却装置
21 吸熱側の第1プレート
21a、22a 貫通孔
22 放熱側の第2プレート
22b 配線層
23 電子冷却素子
23a 第1リード
50 温度センサー
50a 第2リード

Claims (6)

  1. 光信号を電気的信号に変換する光電変換素子を備えた光検出器と、
    前記光検出器が密着して配設される吸熱側第1プレートと、前記吸熱側第1プレートに対向する放熱側第2プレートと、前記第1プレートと第2プレートと間に多数配列される熱電冷却素子とからなり、前記光検出器から突出する複数のリードを、前記第1プレートから第2プレートを抜けて導出させるべく前記第1プレートと前記第2プレートに形成された複数の貫通孔を有する電子冷却素子と、
    前記電子冷却素子の前記第1プレートの内面に密着させて取り付けられた温度センサーと、
    を具備することを特徴とする光電信号検出器。
  2. 前記光検出器は前記光電変換素子が内蔵されるヘッドとそれを支持するベース及び前記光電変換素子に電気的に連結されるものであって、前記ベースから延びる複数のリードを備えることを特徴とする請求項1に記載の光電信号検出器。
  3. 前記第1プレートの内面には前記電子冷却素子が電気的に連結される配線層が形成されていることを特徴とする請求項に記載の光電信号検出器。
  4. 前記温度センサーは前記配線層に直接連結されることを特徴とする請求項に記載の光電信号検出器。
  5. 前記光検出器はTO缶タイプであることを特徴とする請求項1または2に記載の光電信号検出器。
  6. 熱抵抗の高い断熱材料で形成され、前記光検出器と前記電子冷却素子とを所定の開口部を除いて覆い、前記第2プレートをヒートシンクに密着させるようにして固定する固定部材を更に備えることを特徴とする請求項1に記載の光電信号検出器。
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Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20080087316A1 (en) * 2006-10-12 2008-04-17 Masa Inaba Thermoelectric device with internal sensor
JP4905185B2 (ja) * 2007-03-07 2012-03-28 ヤマハ株式会社 熱電モジュール
KR101378297B1 (ko) * 2010-09-06 2014-03-27 한국전자통신연구원 냉각기를 구비하는 광 송신 장치
US9465049B2 (en) * 2012-04-13 2016-10-11 James B. Colvin Apparatus and method for electronic sample preparation
JP6049489B2 (ja) * 2013-02-15 2016-12-21 三菱電機株式会社 光源モジュール
CN111016756B (zh) 2014-02-14 2023-08-08 金瑟姆股份公司 传导对流气候控制组件
US11857004B2 (en) 2014-11-14 2024-01-02 Gentherm Incorporated Heating and cooling technologies
EP3726594B1 (en) 2014-11-14 2022-05-04 Gentherm Incorporated Heating and cooling technologies
US11639816B2 (en) 2014-11-14 2023-05-02 Gentherm Incorporated Heating and cooling technologies including temperature regulating pad wrap and technologies with liquid system
KR101875902B1 (ko) * 2016-05-13 2018-07-06 티엠에스테크 주식회사 열전소자 및 열전소자 제조 방법
US10908208B2 (en) * 2017-01-13 2021-02-02 ams Sensors Singapore. Pte. Ltd. Apparatus for testing an optoelectronic device and method of operating the same
US20200035898A1 (en) 2018-07-30 2020-01-30 Gentherm Incorporated Thermoelectric device having circuitry that facilitates manufacture
JP2022511801A (ja) 2018-11-30 2022-02-01 ジェンサーム インコーポレイテッド 熱電調整システム及び方法
US11152557B2 (en) 2019-02-20 2021-10-19 Gentherm Incorporated Thermoelectric module with integrated printed circuit board
DE102020120167A1 (de) 2020-07-30 2022-02-03 Schott Ag Gehäuse, vorzugsweise TO-Gehäuse, Sockel für Gehäuse und Baugruppe mit einem solchen Gehäuse und/oder Sockel

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4611124A (en) * 1984-06-13 1986-09-09 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Fly's eye sensor nonlinear signal processing
JPH02221823A (ja) 1989-02-22 1990-09-04 Hitachi Ltd 光度計
US6509520B1 (en) * 1995-06-07 2003-01-21 Raytheon Company High strength composite thermoelectric cooler and method for making same
KR970059716A (ko) 1996-01-10 1997-08-12 권문구 분포형 광온도센서
US5918469A (en) * 1996-01-11 1999-07-06 Silicon Thermal, Inc. Cooling system and method of cooling electronic devices
US5704212A (en) * 1996-09-13 1998-01-06 Itronix Corporation Active cooling system for cradle of portable electronic devices
US6230497B1 (en) * 1999-12-06 2001-05-15 Motorola, Inc. Semiconductor circuit temperature monitoring and controlling apparatus and method
KR20020035961A (ko) 2000-11-07 2002-05-16 송문섭 전자냉각소자를 이용한 이동통신단말기 내 전력증폭기의온도제어장치
US20020121094A1 (en) * 2001-03-02 2002-09-05 Vanhoudt Paulus Joseph Switch-mode bi-directional thermoelectric control of laser diode temperature
US7403347B2 (en) * 2002-04-04 2008-07-22 The Furukawa Electric Co., Ltd. Optical transmission module with temperature control

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