JPH02221823A - 光度計 - Google Patents

光度計

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JPH02221823A
JPH02221823A JP1040253A JP4025389A JPH02221823A JP H02221823 A JPH02221823 A JP H02221823A JP 1040253 A JP1040253 A JP 1040253A JP 4025389 A JP4025389 A JP 4025389A JP H02221823 A JPH02221823 A JP H02221823A
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light
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Masaya Kojima
正也 小島
Sadao Minagawa
定雄 皆川
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Hitachi Ltd
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    • G01J5/02Constructional details
    • G01J5/06Arrangements for eliminating effects of disturbing radiation; Arrangements for compensating changes in sensitivity
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、近赤外波長領域における測定において、特に
、S/N比の向上、感度の向上に好適な分光光度計に関
する。
〔従来の技術〕
従来の分光光度計では、近赤外領域の検出器として、硫
化鉛(pbs)検出器が、室温下で使用されている。
〔発明が解決しようとする課題〕
上記従来技術は、検出器の感度が小さく、S/N比が低
かった。また室温下では、素子の劣化の問題があった。
本発明の目的は、近赤外領域において、感度の向上、及
び、S/N比を向上することにある。また素子の劣化を
防止することにある。
〔課題を解決するための手段〕
上記目的は、PbS検出器と電子冷熱素子、感温素子を
取り付け、温度制御装置により、PbS検出器を一定温
度に保つことにより、達成される。
〔作用〕
電子冷熱素子の上部に、PbS検出器と、感温素子が配
置され1分光光度計の検出部に設置される。また、基準
温度と比較する比較器と電力増幅器より構成された温度
制御装置が設置される。
感温素子で検知された温度と温度制御装置内の比較器で
基準温度と比較され、その出力により電子冷熱素子に流
れる電力を変化させ、一定温度になるように制御する。
〔実施例〕
以下、本発明の一実施例を第1図〜第5図を参照して説
明する。
第1図は検出器の切り換え機能を表わす概略図を示す。
紫外可視領域の光は、光電子増倍管1により検知され、
その出力電流は電流電圧変換器50により電圧に変換さ
れる。また、近赤外領域の光は、PbS検出器2により
検出され、その出力電圧は交流増幅器51で増幅される
。各々の検出器からの信号は常時出力されており、測定
する波長領域によって光電子増倍管又はPbS検出器の
いずれか一方を選択するように、マイクロコンピュータ
53により検出器からの出力信号を切り替えている。選
択された検出器の出力信号はA/D変換器52によりデ
ィジタル信号に変換され、マイクロコンピュータ53に
より処理され、各種測定結果が算出される。
第2図は分光光度計の全体の構成を示す図である。光源
には紫外可視領域用の重水素ランプ(Daランプ)3と
近赤外領域用のヨウ素タングステンランプ(WI)4を
使用しており、測定波長に対応してランプ3又は4を選
択する。このランプの選択は、波長と連動してミラー5
の角度を切り換えることにより行われる。波長に対応し
て選択された光源ランプからの白色光は分光器54に導
かれる0分光器54に導かれた白色光は、まずメカニカ
ルチョッパ6によりチョッピングされる。メカニカルチ
ョッパ6は1/4周期だけ白色光をカットする羽根を持
ち、この羽根を回転することにより、光の通過しない零
信号を周期的につくる。この光は第1スリツト7を通り
、トロイダル鏡8.凹面鏡9により反射され、プリズム
1゜に入射し、プリズム10による光の屈折により分光
される0分光された光は、平面1A11.12を通り、
第2入射スリツト17を通過する。さらに凹面鏡13に
より反射され、紫外可視用平面解析格子14又は近赤外
用平面回折格子15に入射して分光される0回折格子1
4及び15は、紫外可視領域と近赤外領域とを分離し、
各々の波長領域で最適になる格子定数になっている。ま
た、回折格子14.15は測定波長に連動して切り換え
られて使用する。
回折格子14又は15により分光された光は、凹面鏡1
6により反射され、第2出射スリツト18、平面!!1
9を通り1回転鏡20に到達する。
この光は、プリズム10と回折格子14又は15で分光
された純度の高い単色光である。
この単色光を、試料に照射する試料光と、参照先に分別
するのが回転鏡20である0回転鏡2゜は4分割され、
その対称部分に図示しないミラーが配置されている。こ
の回転鏡20が回転することにより、入射光を反射する
場合と、入射光を透過する場合とに分ける。回転鏡20
により反射された光は、シリンドリカル鏡24により試
料室55の試料側56に導かれ、試料25.レンズ26
を通って積分球58に入る。一方、回転鏡20を透過し
た光は、平面鏡21.シリンドリカル鏡22により、試
料室55の参照側57に導がれ、平面鏡23により反射
され積分球58に入る。
なお、積分球58には光電子増倍管1が紙面の奥行方向
に、また、PbS検出器2は紙面の手前方向に配置され
ている。さらに、光電子増倍管1゜PbS検出器2の出
力は、各々図示しない電流電圧変換器交流増幅器を経由
して、A/D変換器52、マイクロコンピュータ53に
接続される。
また、PbS検出器2には温度制御装置59が接続され
ている。
第3図及び第4図は検出部を示す図である。試料を照射
した光と参照先は、積分球58の各々別の入射窓から入
射し、積分球58の内面に到達する。積分球58の内面
は硫酸バリウムがコーティングされており、内面に到達
した光はすべて一様に散乱する。この散乱光は、試料光
又は参照光の入射面の下側に配置された紫外可視光検出
用の光電子増倍管1及び入射面の上側に配置された近赤
外光検出用のPbS検出器2により検出される。
第5図及び第6図は近赤外光検出用のPbS検出部の縦
断面図及び平面図を示す。図において、PbS検出器2
は、電子冷熱素子31上に配置され、その同一面上に感
温素子32が配置されている。また、この電子冷熱素子
31は熱伝導性の良い金属板30上に配置されており、
さらに、金属筒33及びサファイヤ製の窓により全体が
外気と遮断されている。また、その外周部は熱交換を考
慮した放熱フィン35.36を備えている。
電子冷熱素子31は、素子に流す電流の方向により加熱
にも冷却にも使える機能を持っている。
いま、PbS検出器2を冷却するように電子冷熱素子3
1に電流を流す。こうしてPbS検出器2が冷却される
と、感熱素子32がその温度を検知し、電子冷熱素子3
1に流す電流を変えることにより温度を一定に保持する
。また、N予冷熱素子31の冷却面と反対側に発生した
熱は、金属板30を介して放熱フィン35.36により
効率よく放熱できる。
次に、PbS検出器の温度制御装置を第7図により説明
する。感温素子32は、設定温度に相当する基準抵抗4
0とともにブリッジ回路が組み込まれ、比較器41で測
定温度と基準温度が比較され、その出力はアンプ42で
増幅され、さらにブースタ装置38により電流増幅され
、電子冷熱素子31に電流が供給される。この温度制御
は装置の電源投入と同時に開始し、常に恒温状態にする
6次に、本発明の分光光度計による測定例を示す。
第8図は、PbS検出器を冷却した場合の検出感度を波
長800〜3200nmの範囲で測定した結果である。
室温の場合に比較して、温度が低くなるとともに感度が
向上し、より長い波長まで測定できることがわかる。例
えば感度の場合は、最大感度が得られる1200〜14
00nmの波長領域で比較すると、従来の室温の場合よ
りも0℃では約2.5倍、10℃では約3,5倍50℃
・さ では約4.0 倍感度が向上する。また、測定可能な波
長は、室温の場合における長波長側は2600nm程度
であるが、0℃以下の場合には、測定した3200nm
程度まで長波長側に拡大される。
また、S/N比は感度上昇に見合った倍率で向上するこ
とがわかった。
さらに、検出器を低温で、かつ恒温化できるのでPbS
検出器の劣化を防止できる効果がある。
第9図は、PbS検出器の出力波形の立上り時間を示す
図である。検出器の温度は0℃と一20℃の場合である
。検出器の温度が0℃の場合の立上り時間は1msであ
るが、−20°Cの場合は1 、8 m s  であり
、0℃よりも一20℃の場合には立上り時間が遅く(約
56%)なる。
なお、検出器の温度を一20℃以下に設定する場合には
、本実施例で使用した電子冷熱素子の容量が小さいため
温度が下がるまでに長時間を要した。また、検出器に霜
が多く付着し、測定精度も低下することがわかった。
また、検出器の温度が室温近くになると温度コントロー
ルが難しくなる問題が生じた。
以上のように、検出感度、測定可能波長領域。
立上り時間、温度コントロール、測定精度等を考慮する
と、本実施例によるPbS検出器の最適温度範囲は0〜
−20℃がよい。
〔発明の効果〕
本発明によれば、PbS検出器の温度を冷却することが
できるので、近赤外領域の検出感度が向上し、測定波長
領域を長波長側に拡大できる。また、感度の向上により
S/N比が向上する。また、検出器を低温で、かつ恒温
化できるのでPbS検出器の特性の劣化を防止できる効
果がある。
さらに、PbS検出器の使用温度がO〜−20℃の範囲
であれば、検出感度が向上し、測定可能波長領域が長波
長側に拡大する効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明による検出器の切り換え機能を表わす概
略図、第2図は未発明による分光光度計の全体の構成図
、第3図は本発明による検出部の斜視図、第4図は第3
図に示す検出部のA−A断面図、第5図は本発明による
PbS検出部の縦断面図、第6図は第S図のPbS検出
部の平面図、第7図は本発明によるPbS検出器の温度
制御装置、第8図はpbs検出器を冷却した場合の測定
波長と検出感度の温度依存性、第9図はpbs検出器の
出力波形の立上り時間を示す図である。 1・・・光電子増倍管、2・・・硫化鉛(pbs)検出
器。 3110重水素ランプ、4・・・ヨウ化タングステンラ
ンプ(WI)、31・・・電子冷熱素子、32・・・感
温素子、34・・・サファイア製窓、52・・・A/D
変換器、53・・・マイクロコンピュータ、54・・・
分光器、59・・・温度制御装置。 第 図 第 図 2・・・PI)δ恢山書 第 図 第 図 波長(nm) 第 図 第 図 第 図 時間(S)

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、光源からの光を試料室に導いて試料からの光を検出
    する検出部を備えた光度計において、前記検出部は、紫
    外可視光を検出する紫外可視光用検出器と、近赤外光を
    検出する近赤外光用検出器を備え、上記近赤外用検出器
    は該近赤外用検出器を冷却する電子冷熱素子に接合され
    、前記電子冷熱素子は、上記可視光用検出器の温度を所
    望の温度に保つように制御されることを特徴とする光度
    計。 2、請求項第1項において、上記可視光用検出器は光電
    子増倍管であり、上記近赤外用検出器は硫化鉛検出器で
    あることを特徴とする光度計。
JP1040253A 1989-02-22 1989-02-22 光度計 Pending JPH02221823A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0552489A (ja) * 1991-08-20 1993-03-02 Baldwin Printing Controls Ltd ヒートパイプを用いた冷熱ローラ
JP2009121990A (ja) * 2007-11-15 2009-06-04 Shimadzu Corp 分光測定装置
WO2011112185A1 (en) * 2010-03-09 2011-09-15 Halliburton Energy Services, Inc. Optical detection apparatus with means for selecting an optical detector and/or a detector amplifier

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2560560B2 (ja) * 1991-04-22 1996-12-04 株式会社島津製作所 熱型光検出器およびその支持台の製造方法
US5235191A (en) * 1992-03-06 1993-08-10 Miller Robert N Real-time x-ray device
US5227631A (en) * 1992-04-30 1993-07-13 Nicolet Instrument Corporation Infrared detector of the type used in infrared spectrometers
DE4226820A1 (de) * 1992-08-13 1994-02-17 Bodenseewerk Geraetetech Kühlsystem zum Abkühlen eines Kühlobjektes auf tiefe Temperaturen mittels eines Joule-Thomson-Kühlers
US5298742A (en) * 1993-02-24 1994-03-29 The United States Of America As Represented By Department Of Health & Human Services Light sensor for photo-dynamic therapy having a transparent housing
US5670784A (en) * 1994-08-26 1997-09-23 Ametek Aerospace Products High temperature gas stream optical flame sensor
US5644134A (en) * 1995-07-21 1997-07-01 Edo Corporation, Barnes Engineering Division Sun sensors
US5763885A (en) * 1995-12-19 1998-06-09 Loral Infrared & Imaging Systems, Inc. Method and apparatus for thermal gradient stabilization of microbolometer focal plane arrays
JP2003130961A (ja) * 2001-07-19 2003-05-08 Siemens Ag 検出器モジュール、x線コンピュータトモグラフ用の検出器およびx線コンピュータトモグラフによる断層像の作成方法
KR100501717B1 (ko) * 2003-05-09 2005-07-18 삼성전자주식회사 Udp/tcp/ip 네트워크에서 버퍼관리를 기반으로 한음성 및 데이터 통합 전송방법
KR100513728B1 (ko) * 2003-06-26 2005-09-08 삼성전자주식회사 광전 신호 검출기
CN100414286C (zh) * 2003-08-14 2008-08-27 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 利用近红外光谱测量固体物质成份含量的装置
FR2862839B1 (fr) * 2003-11-20 2006-12-08 Sagem Doigt froid et dispositif d'observation comportant un tel doigt
IL201915A0 (en) * 2009-11-04 2010-11-30 Lior Segal Warm body presence portable detection device and method

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3942010A (en) * 1966-05-09 1976-03-02 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Joule-Thomson cryostat cooled infrared cell having a built-in thermostat sensing element
JPS5562321A (en) * 1978-11-02 1980-05-10 Hitachi Ltd Spectrophotometer
JPS55116217A (en) * 1979-03-02 1980-09-06 Hitachi Ltd Display unit
JPS59203927A (ja) * 1983-05-04 1984-11-19 Hitachi Ltd 複光束分光光度計
US4542295A (en) * 1983-09-29 1985-09-17 Mattson David R Spectrometer with selectable area detector
US4678914A (en) * 1984-04-30 1987-07-07 Environmental Tectonics Corporation Digital IR gas analyzer
US4602158A (en) * 1984-10-26 1986-07-22 Itek Corporation PbS-PbSe IR detector arrays
US4682032A (en) * 1986-01-17 1987-07-21 Itek Corporation Joule-Thomson cryostat having a chemically-deposited infrared detector and method of manufacture
US4734584A (en) * 1986-09-16 1988-03-29 Trebor Industries, Inc. Quantitative near-infrared measurement instrument for multiple measurements in both reflectance and transmission modes
GB2207501A (en) * 1987-07-31 1989-02-01 Philips Electronic Associated Radiation detector arrangements and methods using resistors with high positive temperature coefficients

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0552489A (ja) * 1991-08-20 1993-03-02 Baldwin Printing Controls Ltd ヒートパイプを用いた冷熱ローラ
JP2009121990A (ja) * 2007-11-15 2009-06-04 Shimadzu Corp 分光測定装置
WO2011112185A1 (en) * 2010-03-09 2011-09-15 Halliburton Energy Services, Inc. Optical detection apparatus with means for selecting an optical detector and/or a detector amplifier
GB2490757A (en) * 2010-03-09 2012-11-14 Halliburton Energy Serv Inc Optical detection apparatus with means for selecting an optical detector and/or a detector amplifier
US9304227B2 (en) 2010-03-09 2016-04-05 Halliburton Energy Services, Inc. Detector, preamplifier selection apparatus, systems, and methods
GB2490757B (en) * 2010-03-09 2017-08-02 Halliburton Energy Services Inc Optical detection apparatus with means for selecting an optical detector and/or a detector amplifier
US9766369B2 (en) 2010-03-09 2017-09-19 Halliburton Energy Services, Inc. Detector, preamplifier selection apparatus, systems, and methods
NO342425B1 (no) * 2010-03-09 2018-05-22 Halliburton Energy Services Inc Optisk deteksjonsanordning med middel for valg av en optisk detektor og/eller en detektorforsterker

Also Published As

Publication number Publication date
US5041727A (en) 1991-08-20
DE4005670A1 (de) 1990-08-23
DE4005670C2 (de) 1994-12-01

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