JP4206403B2 - 半導体内部配線の製造方法 - Google Patents
半導体内部配線の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4206403B2 JP4206403B2 JP2005212483A JP2005212483A JP4206403B2 JP 4206403 B2 JP4206403 B2 JP 4206403B2 JP 2005212483 A JP2005212483 A JP 2005212483A JP 2005212483 A JP2005212483 A JP 2005212483A JP 4206403 B2 JP4206403 B2 JP 4206403B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- copper
- target
- single crystal
- wiring
- manufacturing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
Description
(1)原料となる銅の鋳塊を鍛造および圧延により所定の寸法まで機械加工する。この時、鋳塊に強加工を施すことにより鋳造組織を破壊し、配向性の無い、1mm以下の微細な集合組織の圧延板とする。
(2)圧延板は、必要に応じて熱処理を施し、表面研削、外形加工、洗浄を行なった後、ターゲットとなる。この様にして加工されたターゲットにおいては、加工により組織が、1mm以下の微細な結晶の集合となっている為、結晶粒界には、加工中に発生した、酸化物、硫化物、あるいは、不純物が凝集して存在している。こうした純度の低い粗悪なターゲットを用いて成膜を行なうと、膜中に混入した酸化物や硫化物が腐食の原因となる。また、結晶粒界に電界が集中し、異常放電を起し、粒界部より粒状の銅(以下、パーティクルと呼ぶ)が放出され、成膜面に付着する。こうした付着物は薄膜配線のピンホールとなり、配線間を短絡させる原因となる。こうした理由から、従来技術においては、銅のメリットである耐EM性や耐SM性等の優れた特徴を充分に生かす事ができなかった。
図1に示す製造装置を用いて高純度銅単結晶体を得た。先ず出発原料として銀と硫黄の合計含有量が0.1ppm以下である純度99.9999wt%以上の高純度銅10kgを原料るつぼ5内に入れ、炉内真空度を4×10-4Torrとし、温度1150℃一定でるつぼ内の原料を溶解した。溶解された銅は、るつぼ底部に設けられた溶解滴下孔4から下方の単結晶鋳型6に滴下するが下部ヒーター12を1000℃までは0.5℃/分の割合で、1000℃からは15℃/分の割合で温度を下げて、4インチ口径の単結晶体10kgを得た。次いで得られた単結晶体を、X線カット面検査装置で(111)方向に切断した後鏡面研磨を行い直径6インチ、厚さ5mmのターゲットを作製した。このターゲットの不純物分析をグロー放電質量分析法により行ったところ、不純物金属成分は原料の分析値と同一であるが、ガス不純物の分析値は表に示す通りであった。
出発原料として7N高純度銅を用いたほかは、実施例1と同一の条件で4インチ口径の7N高純度銅単結晶体を得、X線カット面検査装置を用いて(111)方向に切断した後、鏡面研磨を行い直径6インチ、厚さ5mmのターゲットを作製した。このターゲットの不純物分析をグロー放電質量分析法により行ったところ、不純物金属成分は、原料の分析値と同一であるが、ガス不純物の分析値は、表4に示す通りであった。
実施例1で得た6N高純度銅単結晶体を原料として、図2に示すフローシートに従って鍛造により厚さ3cmまで加工を施して、単結晶鋳塊の組織を微細な多結晶とした。次いで、硝酸によりエッチングを行なった後、加工歪を除去する目的で、高純度アルゴン雰囲気にて約135℃、30分の焼鈍を行なった。焼鈍後の結晶粒径は、1mm以下であった。次に、クロス圧延により、板厚7mmとした。圧延板は、表面研削および外形加工により、直径6インチ、厚さ5mmの円盤となしこれを有機洗浄後、希硝酸によるエッチングを行なって、ターゲットとした。
2 真空排気装置
3 石英外筒
4 溶解滴下孔
5 原料るつぼ
6 単結晶鋳型
7 水冷フランジ
8 断熱トラップ
9 冷却水
10 上部ヒーター
11 中部ヒーター
12 下部ヒーター
Claims (5)
- 純度99.9999wt%以上の単結晶銅からなるスパッタリングターゲットを用いてRFスパッター法によりArガス雰囲気中でSi基板上に堆積させて銅配線を形成することを特徴とする半導体内部配線の製造方法。
- 前記の銅配線が(111)に配向して成膜した配線である、請求項1記載の半導体内部配線の製造方法。
- 前記ターゲットが(111)方位の単結晶銅である、請求項1または2に記載の半導体内部配線の製造方法。
- 前記ターゲットは、単結晶銅を(111)方向に切断した後、研磨加工を行ったターゲットである、請求項3に記載の半導体内部配線の製造方法。
- 前記単結晶銅は、酸素が0.05ppm以下、水素が0.2ppm以下、窒素が0.5ppm以下、炭素が0.01ppm以下である、請求項1〜4のいずれかに記載の半導体内部配線の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005212483A JP4206403B2 (ja) | 2005-07-22 | 2005-07-22 | 半導体内部配線の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005212483A JP4206403B2 (ja) | 2005-07-22 | 2005-07-22 | 半導体内部配線の製造方法 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18136196A Division JP3713332B2 (ja) | 1996-06-21 | 1996-06-21 | 単結晶銅ターゲット及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006028642A JP2006028642A (ja) | 2006-02-02 |
JP4206403B2 true JP4206403B2 (ja) | 2009-01-14 |
Family
ID=35895341
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005212483A Expired - Fee Related JP4206403B2 (ja) | 2005-07-22 | 2005-07-22 | 半導体内部配線の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4206403B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105813778A (zh) * | 2014-03-14 | 2016-07-27 | 三菱综合材料株式会社 | 铜铸块、铜线材及铜铸块的制造方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6727749B2 (ja) * | 2013-07-11 | 2020-07-22 | 三菱マテリアル株式会社 | 高純度銅スパッタリングターゲット用銅素材及び高純度銅スパッタリングターゲット |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61272371A (ja) * | 1985-05-29 | 1986-12-02 | O C C:Kk | スパツタリングタ−ゲツト |
JPS6457201A (en) * | 1987-08-28 | 1989-03-03 | Nippon Mining Co | Copper mirror for infrared laser |
JPH01246334A (ja) * | 1988-03-29 | 1989-10-02 | Nippon Mining Co Ltd | 音響及び画像信号伝送配線用銅材 |
JPH08990B2 (ja) * | 1989-01-11 | 1996-01-10 | 同和鉱業株式会社 | 超高純度銅の製造方法 |
JPH03166731A (ja) * | 1989-11-27 | 1991-07-18 | Hitachi Ltd | 銅又は銅合金の配線方法及び構造 |
JP2862727B2 (ja) * | 1992-05-12 | 1999-03-03 | 同和鉱業株式会社 | 金属薄膜形成用スパッタリング・ターゲット並びにその製造方法 |
JPH06275617A (ja) * | 1993-03-24 | 1994-09-30 | Hitachi Ltd | 耐酸化性銅薄膜とその製法、並びにそれを用いた半導体装置 |
JP3725620B2 (ja) * | 1996-06-21 | 2005-12-14 | 同和鉱業株式会社 | 高純度銅単結晶の製造方法及び製造装置 |
-
2005
- 2005-07-22 JP JP2005212483A patent/JP4206403B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105813778A (zh) * | 2014-03-14 | 2016-07-27 | 三菱综合材料株式会社 | 铜铸块、铜线材及铜铸块的制造方法 |
TWI637070B (zh) * | 2014-03-14 | 2018-10-01 | 三菱綜合材料股份有限公司 | 銅鑄塊、銅線材、以及銅鑄塊之製造方法 |
CN105813778B (zh) * | 2014-03-14 | 2019-09-13 | 三菱综合材料株式会社 | 铜铸块、铜线材及铜铸块的制造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006028642A (ja) | 2006-02-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3713332B2 (ja) | 単結晶銅ターゲット及びその製造方法 | |
TWI521072B (zh) | 電子暨電氣機器用銅合金、電子暨電氣機器用銅合金塑性加工材、電子暨電氣機器用零件以及端子 | |
KR100338796B1 (ko) | 고순도구리스퍼터링타겟및박막 | |
JP3727115B2 (ja) | スパッタリングターゲットの製造方法 | |
TWI653355B (zh) | 高純度銅濺鍍靶用銅素材及高純度銅濺鍍靶 | |
JPH1180942A (ja) | Taスパッタターゲットとその製造方法及び組立体 | |
JP6984799B1 (ja) | 純銅板、銅/セラミックス接合体、絶縁回路基板 | |
WO2010038641A1 (ja) | 高純度銅及び電解による高純度銅の製造方法 | |
CN107109633B (zh) | 铜合金溅射靶及其制造方法 | |
JP6716452B2 (ja) | 再生スパッタリングターゲットの製造方法および再生スパッタリング | |
JP2015061943A (ja) | 高純度銅マンガン合金スパッタリングターゲット | |
JP2017075382A (ja) | 無酸素銅板、無酸素銅板の製造方法およびセラミック配線基板 | |
WO2000000661A1 (fr) | Cible de vaporisation | |
JP2005330591A (ja) | スパッタリングターゲット | |
JP2000034562A (ja) | スパッタリングターゲット及び薄膜形成装置部品 | |
JP3974945B2 (ja) | チタンスパッタリングターゲット | |
JP3819487B2 (ja) | 半導体素子の製造方法 | |
JP4206403B2 (ja) | 半導体内部配線の製造方法 | |
KR20230030578A (ko) | 구리 합금, 구리 합금 소성 가공재, 전자·전기 기기용 부품, 단자, 버스 바, 리드 프레임, 방열 기판 | |
JP2015203148A (ja) | 銅合金材、セラミック配線基板及びセラミック配線基板の製造方法 | |
CN111051546B (zh) | 绝缘基板及其制造方法 | |
CN104080943B (zh) | 溅镀靶 | |
WO2022158231A1 (ja) | Ag合金膜、および、Ag合金スパッタリングターゲット | |
JP4555797B2 (ja) | 半導体素子 | |
TW201504462A (zh) | 高純度銅鈷合金濺鍍靶 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080610 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080708 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20081014 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20081020 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111024 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121024 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121024 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131024 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |