JP4202826B2 - 有機膜の化学的機械的研磨方法および半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、化学的機械的研磨スラリーを用いた研磨方法および半導体装置の製造方法に係り、特に、レジスト膜等の有機膜の化学的機械的研磨方法および半導体装置の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体装置の製造プロセスにおいては、所望の構造を形成するためにフォトレジスト膜が犠牲膜として用いられる。例えば、半導体基板にトレンチ、あるいは絶縁膜にホールを形成した後、フォトレジストを塗布して犠牲膜を形成する。犠牲膜をリセスあるいは剥離することによって、所望の構造が得られる。こうした方法は、例えば、トレンチキャパシタを有する半導体記憶装置の製造において、ストレージノード電極とセルトランジスタ拡散層とを電気的に接続する埋め込みストラップを形成するために用いられる。また、Cuデュアルダマシン構造(Cu DD構造)の形成プロセスにおいて、ヴィアホール先形成(Via first DD)プロセスにも有用である。
【0003】
いずれの場合も、フォトレジスト膜の膜厚は、ウエハー全体にわたって均一であることが要求される。しかしながら、パターン密度が高いトレンチあるいはホールにレジストが埋め込まれる場合には、密パターン上のレジスト体積が減少する。このため、密パターン上のレジスト膜厚と、疎なパターン上あるいはフィールド上のレジスト膜厚との間には、数100nmオーダーのバラツキが生じてしまう。
【0004】
レジストの膜厚バラツキは、その後に施されるリセスにおいてさらに拡大されて、デバイス形状を悪化させる。さらに、焦点深度の低下や歩留まり悪化を引き起こす。
【0005】
こうしたレジスト膜厚のバラツキに起因した問題を解消すべく、レジスト塗布後に化学的機械的研磨法によりフォトレジストを平坦化する方法が提案されている(例えば、特許文献1参照)。しかしながら、フォトレジスト膜に対するCMPには、これまでに次のような問題があった。
【0006】
従来のレジストCMPでは、レジスト研磨時間が長く、研磨時間の安定性が低い。この問題は、特に3μm程度の厚膜レジストをCMPする際に顕在化し、具体的には、研磨時間は200乃至270秒と長く安定性も乏しい。
【0007】
また、ディッシングの抑制が困難で、しかもウエハー面内の均一性が乏しい。ディッシングの面内均一性が低い場合には、その後のリセス深さのバラツキを招いて、ウエハー面内で均一に所望の形状を得ることが困難となる。例えば、埋め込みストラップを形成する際には、リセス深さのバラツキはカラー酸化膜のバラツキに直結し、結果として埋め込みストラップの抵抗バラツキを招く。
【0008】
高温でベークして硬度が高められたレジスト膜を研磨するに当たっては、実用的なプロセスマージンと生産性とを確保するために、シリカやアルミナのような無機粒子が研磨粒子として用いられる。この場合、トレンチ内に無機粒子が残留しやすく、表面状態を悪化させるとともに、残留粒子がCMP後のリセス工程時のマスクになってしまうという問題がある。
【0009】
なお、研磨粒子として樹脂粒子を用いる方法が提案されている(例えば、特許文献2参照)。これにおいては、研磨対象は、純Al、AlSiCu合金、AlCu合金等のAlを主成分とする合金から成る膜、シリコン酸化膜、シリコン窒化膜、アモルファスシリコン膜、多結晶シリコン膜、および単結晶シリコン膜等である。したがって、金属膜やシリコン膜といった無機膜を研磨するのに最適となるように、スラリーが調製される。
【0010】
【特許文献1】
特開2001−77064号公報
【0011】
【特許文献2】
特許第3172008号
【0012】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、ディッシングを抑制して良好な表面を維持しつつ、短時間で安定してレジスト膜等の有機膜を化学的機械的に研磨する方法を提供することを目的とする。
【0014】
さらに本発明は、平坦性および均一性が高いレジスト埋め込み構造を短時間で安定に形成することが可能な、半導体装置の製造方法を提供することを目的とする。
【0015】
【課題を解決するための手段】
本発明の一態様にかかる有機膜の化学的機械的研磨方法は、半導体基板上に堆積され、100℃以上200℃以下の温度でベークされた疎水性の有機レジスト膜を化学的機械的に研磨する方法であって、
ターンテーブル上に貼付された100乃至600MPaの圧縮弾性率を有する研磨布上に、前記疎水性の有機レジスト膜を有する半導体基板を前記研磨布に対して0.17乃至1.06m/secの相対速度で回転させつつ、200乃至600gf/cm 2 の圧力で当接させる工程、および
前記研磨布上に、アニオン系、カチオン系、両性系、および非イオン系官能基から選択される官能基を有するとともに、一次粒子径が0.05μm以上5μm以下の樹脂粒子を0.01wt%以上30wt%以下の濃度で含有し、pHが2以上8以下である有機膜用化学的機械的研磨スラリーを供給して、前記疎水性の有機レジスト膜を研磨する工程を具備することを特徴とする。
【0017】
本発明の一態様にかかる半導体装置の製造方法は、下地としての半導体基板または半導体基板上に堆積された絶縁膜に凹部を形成する工程、
前記凹部が形成された下地の全面にレジスト膜を形成する工程、
前記レジスト膜を前述の方法により化学的機械的に研磨して、前記凹部内に選択的に前記レジスト膜を埋め込む工程、および、
前記凹部内に埋め込まれたレジスト膜を所定の深さまでリセスする工程を具備することを特徴とする。
【0018】
本発明の他の態様にかかる半導体装置の製造方法は、半導体基板上に堆積された絶縁膜にホールを形成する工程、
前記絶縁膜の全面に第1のレジスト膜を形成する工程、
前記第1のレジスト膜を前述の方法により化学的機械的に研磨して、前記ホール内に前記第1のレジスト膜を選択的に埋め込む工程、
前記化学的機械的研磨後の前記第1のレジスト膜上に第2のレジスト膜を形成する工程、
前記第2のレジスト膜上に中間層を形成する工程、
前記中間層の上に第3のレジスト膜を形成する工程、および
前記第3のレジスト膜をパターン露光する工程を具備することを特徴とする。
【0019】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。
【0020】
本発明の実施形態にかかる有機膜用化学的機械的研磨スラリーに含有される樹脂粒子としては、PMMA(ポリメチルメタクリレート)等のメタクリル樹脂、PST(ポリスチレン)樹脂、ユリア樹脂、メラミン樹脂、ポリアセタール樹脂、およびポリカーボネイト樹脂からなる群から選択される粒子を用いることができる。特に、CMPに適した硬度・弾性を有することから、PMMAあるいはPST樹脂が好ましい。
【0021】
樹脂粒子の一次粒子径が0.05μm未満の場合には、有機膜が埋め込まれる凹部、すなわち半導体基板に設けられたトレンチあるいは絶縁膜に設けられたホール内に粒子が侵入しやすくなって、ディッシングが拡大する傾向にある。一方、5μmを越えると粒子の分散性を制御するのが困難になり、スラリーが沈降しやすくなる。したがって、本発明の実施形態においては、樹脂粒子の一次粒子径は0.05μm以上5μm以下に制限される。なお、樹脂粒子の一次粒子径は、好ましくは0.1μm以上3.0μm以下である。
【0022】
こうした樹脂粒子の表面には、アニオン系、カチオン系、両性系、および非イオン系官能基から選択される少なくとも1種の官能基が導入される。アニオン系官能基としては、例えば、カルボン酸型、スルホン酸型、硫酸エステル型、リン酸エステル型等が挙げられ、カチオン系官能基としては、例えば、アミン塩型、第4級アンモニウム塩型等が挙げられる。両性系官能基としては、例えば、アルカノールアミド型、カルボキシベタイン型、およびグリシン型等が挙げられ、非イオン系官能基としては、例えば、エーテル型、エステル型等が挙げられる。粒子の製造が容易であることから、カルボキシル基が特に好ましい。
【0023】
樹脂粒子を安定して分散させるためには、ζ電位の絶対値が所定値以上であることが好ましい。具体的には、ζ電位の絶対値は20mV程度以上であることが望まれる。官能基の割合を0.05mol/L程度以上とすることによって、これを達成することができる。場合によっては、2種以上の官能基が同時に存在していてもよい。官能基が樹脂粒子の表面に存在することによって、界面活性剤を添加することなく、樹脂粒子同士の電気的反発力により分散性を高めることができる。
【0024】
例えば、官能基としてカルボキシル基(COOH)を表面に有する樹脂粒子の場合、カルボキシル基はスラリー中でCOOH→COO- + H+と解離して、樹脂粒子の表面がマイナスに帯電する。このため、電気的反発力により粒子同士の凝集を防ぎ、分散性を高めて寿命を長くすることが可能である。
【0025】
カルボキシル基(COOH)を表面に有するPMMA粒子は、例えば、次のような手法により合成することができる。まず、メチルメタクリレート、メタクリル酸、ジビニルベンゼン、ラウリル硫酸アンモニウムおよび過硫酸アンモニウムを、十分な量のイオン交換水とともにフラスコ中に収容する。これを、窒素ガス雰囲気下、攪拌しつつ70〜80℃に昇温して、6〜8時間重合させる。こうして、表面にカルボキシル基を有するとともに一次粒子径0.15〜0.25μm程度のPMMA粒子が得られる。反応温度や時間、その他の製造条件を変更することによって、0.05〜5μmの範囲内で樹脂粒子の一次粒子径を制御することができる。
【0026】
上述したような官能基を表面に有する樹脂粒子を水中に分散させることによって、本発明の実施形態にかかる有機膜用化学的機械的研磨スラリーが得られる。水としては、イオン交換水、純水等を用いることができる。樹脂粒子は、スラリー中0.01〜30wt%程度の濃度となるよう分散させることが好ましい。0.01wt%未満の場合には、十分に高い速度で有機膜を研磨することが困難となる。一方、30wt%を越えると、有機膜が埋め込まれるSiN、SiO2等といった絶縁膜との選択比が取れなくなるおそれがある。
【0027】
スラリー中には、酸化剤、有機酸あるいは界面活性剤といった添加剤を、通常用いられている量で必要に応じて配合してもよい。
【0028】
ただし、本発明の実施形態にかかるスラリーは、pHが2以上8以下に規定される。pHが2未満の場合には、COOH等の官能基が解離しづらく分散性が悪化する。一方、pHが8を越えると、レジスト膜等の有機膜への化学的ダメージが大きくなってディッシングが増大する。
【0029】
pH調整剤を適宜配合することによって、上述した範囲のpHに調整することができる。pH調整剤としては、例えば、硝酸、リン酸、塩酸、硫酸、クエン酸等を用いることができる。
【0030】
本発明の実施形態にかかる有機膜用化学的機械的研磨スラリーは、所定の粒径の樹脂粒子を含有しているので、有機膜の化学的機械的研磨に好適に用いることができる。特に、樹脂粒子の表面には官能基が存在していることから、界面活性剤を別途添加することなく粒子同士の電気的反発力によって分散性を高めることができる。樹脂粒子の分散性の確保は、研磨特性上、さらには保存安定性の観点から非常に重要な要因である。粒子が良好に分散されていない場合には、粗大粒子が形成されてスクラッチの原因となるおそれがある。あるいは、スラリーがハードケーキ化して、保存安定性が悪化してしまう。樹脂粒子の表面に官能基が存在しているので、本発明の実施形態にかかるスラリーでは、こうした不都合が生じることはない。
【0031】
しかも、本発明の実施形態にかかるスラリーのpHは所定の範囲内に規定されているので、研磨対象である有機膜に何等化学的ダメージを与えることなく、樹脂粒子表面の官能基を十分に解離させることができる。
【0032】
本発明の実施形態にかかるスラリーを用いた有機膜の研磨は、例えば次のように行なうことができる。図1に示すように、研磨布31が貼付されたターンテーブル30を10〜50rpmで回転させつつ、半導体基板32を保持したトップリング33を200〜600gf/cm2の研磨荷重で当接させる。トップリング33の回転数は5〜60rpmとすることができる。ただし、研磨布31の回転速度に対する半導体基板32の相対速度は、0.17乃至1.06m/secの範囲内となるように、ターンテーブル30およびトップリング33の回転数を決定することが好ましく、これについては後述する。研磨布31上には、スラリー供給ノズル35から100〜300cc/minの流量でスラリー37を供給する。なお、図1には、水供給ノズル34およびドレッサー36も併せて示してある。
【0033】
研磨布31としては、100ないし600MPaの範囲内の圧縮弾性率を有する硬質研磨パッドが用いられる。圧縮弾性率が100MPa未満の場合には、研磨対象のレジスト膜よりも硬度が小さいことから、機械的に除去することができない。一方、600MPaを越えると、研磨後の有機膜の表面にスクラッチを生じやすくなる。したがって、例えば、圧縮弾性率が290MPa程度のIC1000(ロデール・ニッタ社製)を用いることが好ましい。IC1000は、圧縮弾性率が6MPa以下のSuba400(ロデール・ニッタ社製)に支持されていてもよい。しかしながら、Suba400あるいはPolitexのような圧縮弾性率が6MPa以下の軟質パッドを単独で用いた場合には、本発明の実施形態にかかるスラリーを用いて120secの研磨を行なったところでレジスト膜を除去することはできない。
【0034】
本発明の実施形態にかかるスラリーは、こうした条件で研磨に用いることによって効果を充分に発揮し、ディッシング等の表面形状の劣化を何等引き起こすことなく、短時間で安定してレジスト膜等の有機膜を研磨することができる。
【0035】
本発明の実施形態にかかる有機膜用化学的機械的研磨スラリーを、次のような手法により調製した。
【0036】
(スラリー1)
まず、スチレン92重量部、メタクリル酸4重量部、ヒドロキシエチルアクリレート4重量部、ラウリル硫酸アンモニウム0.1重量部、過硫酸アンモニウム0.5重量部、およびイオン交換水400重量部を、容量2リットルのフラスコに収容した。窒素ガス雰囲気下で攪拌しながら70℃に昇温し、6時間重合させた。これによって、カルボキシル基を有し、一次粒子径0.2μmのPST粒子が得られた。
【0037】
このPST粒子を1wt%の濃度で純水に分散させ、硝酸を添加してpHを3に調整してスラリー1を得た。
【0038】
(スラリー2)
まず、メチルメタクリレ−ト94重量部、メタクリル酸1重量部、ヒドロキシメチルメタクリレート5重量部、ラウリル硫酸アンモニウム0.03重量部、過硫酸アンモニウム0.6重量部、およびイオン交換水400重量部を、容量2リットルのフラスコに収容した。窒素ガス雰囲気下で攪拌しながら70℃に昇温し、6時間重合させた。これによって、カルボキシル基を有し、一次粒子径0.3μmのPMMA粒子が得られた。
【0039】
このPMMA粒子を1wt%の濃度で純水に分散させ、リン酸を添加してpHを3に調整してスラリー2を得た。
【0040】
いずれのスラリーも、表面に官能基を有する一次粒子径0.05〜5μmの樹脂粒子を含有し、しかも、pHは2〜8の間に調整されている。このため、研磨後の表面には何等形状の劣化を引き起こすことなく、レジスト膜等の有機膜を短時間で研磨することが可能である。
【0041】
(実施形態1)
本実施形態においては、ストレージノード電極とセルトランジスタ拡散層とを電気的に接続する埋め込みストラップを形成するプロセスについて説明する。
【0042】
図2乃至4は、埋め込みストラップの形成方法を表わす。
【0043】
まず、図2(a)に示すように、Pad酸化膜12およびPad窒化膜13が順次堆積された半導体基板11に対し、フォトリソグラフィ法およびドライエッチング法によりトレンチ14を形成する。トレンチ周面の下部には、n型の不純物を拡散させることによって埋め込みプレート電極15を形成する。
【0044】
こうして形成された埋め込みプレート電極15の内周にキャパシタ誘電膜16を堆積し、さらに、このキャパシタ誘電膜上にストレージノード電極となるAs−dopedポリシリコン膜(以下、ストレージノードと称す)17を堆積する。このストレージノード17によってトレンチ14内が埋め込まれる。次に、ストレージノード17を所望の深さまでエッチバックし、H3PO4等の溶液を用いてトレンチ14側壁のキャパシタ誘電膜16をエッチングにより除去して、図2(b)に示す構造を得る。その後、半導体基板上に熱酸化膜(図示せず)を形成する。
【0045】
さらに、図2(c)に示すように、ストレージノード17が埋め込まれていないトレンチ14の上部内壁にカラー酸化膜18を堆積する。このカラー酸化膜18は、埋め込みプレート電極15とセルトランジスタの拡散層(図示せず)とを電気的に絶縁する機能を有する。その後、後述するポリシリコン膜とストレージノード17とのコンタクトをとるために、ドライエッチング法を用いて、ストレージノード上のカラー酸化膜18を除去する。
【0046】
次いで、図3(d)に示すように全面にレジスト膜19を形成した後、レジスト膜にCMPを施し、図3(e)に示すように平坦化してPad窒化膜13の表面を露出する。レジスト膜19の研磨には、本発明の実施形態にかかる方法が適用される。
【0047】
具体的には、研磨布としてIC1000(ロデール・ニッタ社製)を用い、本発明の実施形態にかかるスラリーにより以下のように行なった。図1に示したように、研磨布31が貼付されたターンテーブル30を30rpmで回転させつつ、半導体基板32を保持したトップリング33を500gf/cm2の研磨荷重で当接させた。トップリング33の回転数は32rpmとし、研磨布31上には、スラリー供給ノズル35から150cc/minの流量でスラリー37を供給した。スラリーとしては、前述のスラリー1を用いた。基板に設けられたトレンチ径は0.14μmであるので、本実施形態においては、スラリー中に含有される樹脂粒子の一次粒子径は、トレンチ径の140%程度となる。
【0048】
さらに、図3(f)に示すように、セルトランジスタ拡散層(図示せず)とのコンタクトをとるために必要な深さまで、CDE(Chemical Dry Etching)法によりレジスト膜19がリセスされる。
【0049】
ウエットエッチング法により、図4(g)に示すようにカラー酸化膜18の一部を除去して、トレンチ14内に半導体基板11の一部を露出する。カラー酸化膜18の表面は、図示するようにレジスト膜19の表面よりも下方に存在し、埋め込みストラップの開口部20が形成される。
【0050】
図4(h)に示すようにレジスト膜19を除去した後、図4(i)に示すように、セルトランジスタの拡散層(図示せず)とストレージノード17とのコンタクトをとるためのポリシリコン膜21を堆積する。このポリシリコン膜21により埋め込みストラップの開口部20が埋め込まれる。これにより、埋め込みストラップが形成される。
【0051】
本実施形態では、レジスト膜19を予め平坦化した後、リセスが行なわれるので、均一な深さでレジスト膜をリセスすることができる。したがって、エッチバック後のカラー酸化膜18の膜厚にバラツキを生じさせることはない。
【0052】
カラー酸化膜の膜厚バラツキは、埋め込みストラップにおける抵抗値バラツキを招き、歩留まり低下の原因となる。このため、バラツキは30nm以下に抑制することが必要とされる。
【0053】
従来は、レジスト膜を平坦化することなくリセスして、カラー酸化膜のエッチバックが行なわれていた。レジストがトレンチに埋め込まれることにより、セル部アレイ端においてレジスト塗布膜厚に変化を生じて、レジスト塗布膜厚は、フィールド部、セル部アレイ端、セル部中央の順に薄くなる。例えば、開口径0.14μm、深さ1.2μmのトレンチにレジストを埋め込んだ場合、フィールド部とセル部中央とにおけるレジストの膜厚には、120nm程度の差が生じる。その結果、レジストリセス深さがばらつくため、カラー酸化膜エッチバック後の膜厚にバラツキが生じる。具体的には、カラー酸化膜の膜厚には、130nm程度のバラツキが生じて、プロセスの破綻を招いていた。
【0054】
本発明の実施形態においては、リセス前のレジスト膜19をCMPにより平坦化して均一な膜厚とするため、カラー酸化膜18の膜厚のバラつきを30nm以下に低減することが可能となった。
【0055】
ここで、本発明の実施形態に係るレジストCMPについて詳細に説明する。
【0056】
レジストCMPの研磨は、CuあるいはWといったメタルCMPとは異なるメカニズムで進行する。メタルCMPは、通常、研磨対象である金属膜の表面に脆弱な保護膜を形成し、これを無機粒子からなる研磨粒子で除去することによって行なわれる。これに対して、レジストCMPは、研磨パッドあるいは研磨粒子の機械的研磨力によりレジスト膜を剥ぎ取ることによって、主としてレジスト膜の除去が進行する。このような機械的要素が極めて強いCMPにおいては、ウエハーと研磨パッドとの間の摩擦を高く維持することが、高い研磨速度を得るために極めて重要である。
【0057】
通常のCMP、例えばSiO2−CMPでは、パッド表面および被研磨面はいずれも親水性である。このため、研磨中におけるこれらの間の摩擦係数は、研磨パッドの回転数あるいはウエハーの相対速度に関わらず、いわゆるStribeck線図の境界潤滑領域にある。なお、ウエハーの回転速度ωと研磨パッドの回転速度Ωとが等しい場合には、ウエハーの相対速度vは、テーブル中心からウエハー中心までの距離Rと研磨パッド回転速度Ωとの積で与えられる(v=RΩ)。したがって、通常のPrestonの式により、研磨パッドの回転速度が増加すると研磨速度も上昇する傾向にある。
【0058】
図5に示したStribeck線図を参照して、これについて説明する。図5のグラフにおいて、横軸は負荷特性を表わし、縦軸は摩擦係数(任意単位)を表わす。
【0059】
例えばSiO2の場合には、研磨パッドの回転数が10rpmから100rpmの広い範囲内で境界潤滑領域となる。研磨パッド中心とウエハー中心との距離Rを170mmとして計算すると、前述の回転数の場合、ウエハーの相対速度は、それぞれ0.17m/sおよび1.57m/sとなる。
【0060】
これに対して、疎水性材料であるレジスト膜を研磨するレジストCMPの場合は、状況が大きく異なり、ウエハーの相対速度が低いほど研磨速度は大きくなる。これは、研磨後のパッド表面が疎水化するためであると考えられる。レジスト研磨後のパッド表面には、フレーク状のレジスト削りカスが多量に発生する。この削りカスは、研磨を重ねる毎にパッド表面に蓄積されて、パッド表面を疎水性にする。その結果、パッド表面およびウエハー表面はいずれも疎水性となるため、ある程度の相対速度以上になると摩擦係数が急激に低下する。この状態は、図5に示したStribeck線図の液体潤滑領域であり、ウエハーとパッドとの間の接触がほとんどゼロの状態になる。この場合、レジスト膜の研磨速度は非常に小さくなる。
【0061】
レジストCMPに当たって、200mmウエハーを用いて研磨パッド中心とウエハー中心との距離Rを170mmとし、研磨パッドの回転数Ωを変化させて、摩擦の状態に及ぼす相対速度の影響を調べた。その結果、10rpm乃至60rpmでは境界潤滑領域であり、70rpmを越えると液体潤滑領域となった。境界潤滑領域内でレジストCMPを達成するには、ウエハーの相対速度vは、0.17m/sec乃至1.06m/secの範囲とする必要がある。
【0062】
図6は、CMP時間とレジスト除去面積率との関係を表わすグラフである。レジスト除去面積率とは、レジスト膜が全面に存在するCMP前の状態を0%とし、CMP完了後のレジスト残りのない状態を100%として定義する。ここでは、膜厚3μmのレジスト膜について調べた。図6のグラフには、ウエハーの相対速度が異なる3種類の結果を示してある。曲線a、bおよびcは、それぞれウエハーの相対速度が0.53m/s、1.24m/sおよび1.57m/sの場合の結果である。なお、これらの相対速度の際の研磨パッドの回転数は、それぞれ30rpm、70rpmおよび100rpmである。上述したように70rmp以上、すなわち、1.24m/s以上の相対速度でレジストCMPを行なうと、Stribeck線図の液体潤滑領域に入り、摩擦係数が小さくなる。このため、曲線bに示されるようにCMPを完了するためには270sec以上の長時間を要し、研磨速度は極めて低い。
【0063】
これに対して、30rpm、すなわち0.53m/sの相対速度では、境界潤滑の領域に入るために摩擦は高く維持される。曲線aに示されるように、わずか20sec程度で研磨が完了する。
【0064】
なお、曲線cに示されるように、液体潤滑領域となる1.57m/sの場合には、270秒の研磨を行なったところで、レジスト除去面積率は15%程度にとどまっている。
【0065】
図7のグラフには、45秒間の研磨を行なった際の相対速度とレジスト除去面積率との関係を示す。相対速度が0.17m/sec乃至1.06m/secの範囲内であれば、45秒間の研磨によって80%以上のレジスト除去面積率を達成することができる。
【0066】
さらに、図8のグラフには、CMP時間とテーブルトルク電流との関係を示す。曲線dは相対速度0.53m/s(回転数30rpm)の場合の結果であり、曲線eは相対速度1.24m/s(回転数70rpm)の場合の結果である。曲線dに示されるように、相対速度が0.53m/sの場合には、わずか25秒程度で18Aを越えるテーブルトルク電流を得ることができる。このテーブルトルク電流と、ウエハーと研磨パッドとの間の摩擦には正の相関関係があり、この場合の研磨時間の安定性は高く、20枚程度のウエハーを研磨しても、研磨時間は60秒程度に一定していた。
【0067】
これに対して、相対速度が1.24m/sの場合には、曲線eに示されるように、180秒の研磨を行なったところで、テーブルトルク電流は15A程度にとどまっている。この場合には、研磨に長時間を要するのに加えて、研磨時間の安定性が低かった。20枚程度のウエハーを研磨した場合、研磨時間は200秒から270秒の間で変化した。
【0068】
なお、十分な研磨速度を確保するために、CMP中の荷重は、200乃至600gf/cm2の範囲内とすることが好ましい。200gf/cm2未満の場合には、Stribeck線図の液体潤滑領域に入りやすく、摩擦を維持することが困難となる。一方、600gf/cm2を越えると、スラリーが被研磨面に供給され難くなり、研磨速度が低下するとともにスクラッチが増加するおそれがある。
【0069】
本発明の実施形態にかかるスラリーにおける樹脂粒子の粒径は、レジストが埋め込まれるトレンチの開口径に応じて決定することが望まれる。以下に、これについて詳細に説明する。
【0070】
図9には、トレンチ部における研磨粒子の状態を示す。トレンチの開口径dtは2μmとする。
【0071】
例えば、スラリーとして一次粒子径0.035μmのシリカ粒子を1wt%含有するスラリーを用いた場合には、シリカ粒子サイズはトレンチ径より著しく小さい。このため、図9(a)に示されるように、シリカ粒子23はトレンチ内に侵入して、ディッシングを進行させる。一方、ある程度の大きさの樹脂粒子24を用いた場合には、図9(b)に示されるように、トレンチ内に侵入しにくくなるためディッシングが進行しない。
【0072】
図9に示したそれぞれの場合について、ウエハー位置とディッシング量との関係を、図10のグラフに示す。図10中、曲線fおよび曲線gは、それぞれ図9(b)および図9(a)の場合である。曲線gに示されるように、粒径の小さなシリカ粒子が用いられる場合には、レジストディッシングは50nmを越え、かつ面内均一性も悪い。また、ディッシング形状が歪になってリセス後の形状を悪化させる。しかも、トレンチ内に侵入したシリカ粒子は、容易に除去することができず残留しやすい。この場合、レジストリセス時のマスクとなって、リセス深さのバラツキの原因となる。
【0073】
一方、粒径の大きな樹脂粒子の場合には、曲線fに示されるように、ディッシングは25nm程度に抑制される。万一トレンチ内に残留しても、樹脂粒子はレジストと同様の有機材料であるために、リセス(CDE)により除去可能である。したがって、粒子残留によるリスクは極めて小さい。さらに、SiN膜に対する研磨力が小さく、シリカ粒子に比べてSiN研磨速度を1/10に抑制できるという利点もある。
【0074】
図11には、粒子サイズ/トレンチサイズ比と、ディッシング量との関係を示す。40nm程度のディッシングは、実質的に影響を及ぼさないので許容される。したがって、粒子サイズ/トレンチサイズ比は、70%以上とすることが好ましい。粒子サイズ/トレンチサイズ比が200%を越えると、ディッシング量は15%程度と一定のレベルにとどまる。また、すでに説明したような理由から、樹脂粒子の一次粒子径は5μm以下に制限される。これらを考慮して、粒子サイズ/トレンチサイズ比の上限を決定することが望まれる。
【0075】
図12には、樹脂粒子のサイズとディッシング量との関係を示す。ここでのサイズは一次粒子径であり、0.05μm以上の場合には、ディッシング量を40nm以下に抑えることができる。
【0076】
以上述べたように、本発明の実施形態にかかる方法により、短時間で、ディッシングおよびそのバラツキの小さいレジスト埋め込み構造を形成することが可能である。したがって、埋め込みストラップの形成に適用した場合には、抵抗バラツキを著しく低減することができる。
【0078】
(実施形態2)
本実施形態においては、Cuデュアルダマシン(DD)配線の形成プロセス、特に、ヴィアホール先形成プロセスにおける配線パターンの形成について説明する。
【0079】
図13および図14は、ヴィアホール先形成DDプロセスにおける多層レジスト法を用いた配線パターンの形成方法を表わす工程断面図である。
【0080】
まず、図13(a)に示すように、ストッパー膜41、第1の絶縁膜42および第2の絶縁膜43を、CVD法あるいはスピン塗布法などにより半導体基板40の上に順次形成する。半導体基板40には、素子および下層配線(図示せず)が形成されている。第1の絶縁膜42および第2の絶縁膜43には、RIE法によりホール44を形成し、その上に第1のレジスト膜45を堆積する。第1のレジスト膜45は、エッチングマスクおよび反射防止膜の役割を果たす。
【0081】
第1のレジスト膜45上には、SOGまたはSiO2などからなる中間層46、および第2のレジスト膜47を順次形成し、図13(b)に示すように第2のレジスト膜47をリソグラフィーによりパターン化する。
【0082】
次に、ハロゲンガスなどを用いて、図13(c)に示すように中間層46をドライエッチングにより加工した後、酸素ガスなどを用いて、図14(d)に示すように第1のレジスト膜45をエッチングする。この際、中間層46上の第2のレジスト膜47も同時にエッチング除去される。
【0083】
続いて、図14(e)に示すように配線溝48のエッチングを行なう。このとき、中間層46も同時に除去される。その後、ホール内に埋め込まれた第1のレジスト膜45を、第2の絶縁膜43上の第1のレジスト膜45とともに剥離して、図14(f)に示すようにヴィアホール49を形成する。
【0084】
ヴィアホール49内のストッパー膜41を除去した後、TaNなどからなるバリアメタル膜(図示せず)を介してCu膜をメッキ法あるいはスパッタ法などにより成膜する。さらに、CMPを行なうことによりフィールド上のCuを除去して、図14(g)に示すCu配線50を有するCuデュアルダマシン(DD)配線が形成される。
【0085】
こうした従来の手法では、第1のレジスト膜45を形成する際、ヴィア密度の高いパターン(以下、密ヴィアと称する)にレジストが吸収されて、第1のレジスト膜45の膜厚にはバラツキが生じていた。具体的には、密ヴィアの上のレジスト膜厚と、フィールド部上あるいはヴィア密度の低いパターン(以下、疎ヴィアと称する)上のレジスト膜厚との間には、100nm程度のバラツキが生じていた。この膜厚差は、その上に形成される中間層46や第2のレジスト膜47によっても緩和されず、むしろ30nm程度拡大する傾向にある。
【0086】
その結果、レジストパターニング時における疎ヴィア部と密ヴィア部とのベストフォーカスが一致せず、0.1μm程度シフトする。図15には、レジスト膜厚のフォーカス依存性を示す。図15(a)および(b)は、それぞれ疎ヴィア部(0.14μm/15μm)および密ヴィア部(0.14μm/0.14μm)におけるレジスト膜厚のフォーカス依存性である。これらのグラフには3種類の露光量についての結果を示してあり、曲線は、上から順に45mJ/cm2、41mJ/cm2、37mJ/cm2の露光量に対応する。露光量によらず、疎ヴィア部および密ヴィア部のベストフォーカスには、0.1μm程度のずれがある。これは、レジスト膜厚差に相当する量である。なお、ヴィアホールがない場合(リファレンスプロセス)には、レジスト膜厚にバラツキが生じないため、図16(a)(疎ヴィア部)および図16(b)(密ヴィア部)に示されるように、ベストフォーカスのパターン依存はない。
【0087】
ED Tree解析を行なって、得られたマージンカーブを図17に示す。図17(a)および(b)は、それぞれリファレンスプロセスおよび従来例についての結果である。さらに、後述する本発明の実施形態についての結果を、図17(c)として示してある。露光余裕度5%での焦点深度を比較すると、従来例の場合には、図17(b)に示されるように0.3μmであるのに対し、リファレンスプロセスでは、図17(a)に示されるように焦点深度は0.4μmである。従来例では、露光余裕度5%での焦点深度が0.1μmロスされることになり、プロセスマージンを縮小してしまう。
【0088】
本発明の実施形態においては、第1のレジスト膜45を形成後にレジストCMPを行なって、第1のレジスト膜45の膜厚が均一になるよう平坦化する。その後、第2のレジスト膜、中間層および第3のレジスト膜を順次形成することにより膜厚差を緩和して、ヴィア密度に依存した焦点深度のロスを低減する。
【0089】
図18に本発明の実施形態にかかる半導体装置の製造方法の一部を表わす工程断面図を示す。
【0090】
まず、図18(a)に示すように、素子および下層配線(図示せず)が形成された半導体基板40上にSiCからなるストッパー膜41を50nmの膜厚で形成した。さらに、膜厚400nmの第1の絶縁膜42(ブラックダイアモンド、アプライドマテリアル社製)、および膜厚100nmの第2の絶縁膜43(SiO2)を順次堆積し、これらの絶縁膜に開口径140nmのヴィアホール44を形成した。全面に膜厚0.3μmで第1のレジスト膜45を堆積し、第2の絶縁膜43上の第1のレジスト膜45を除去して、ホール44内に選択的に残置した。
【0091】
第2の絶縁膜43上の第1のレジスト膜45の除去は、本発明の実施形態にかかるスラリーを用いたCMPにより行なった。具体的には、研磨布としてIC1000(ロデール・ニッタ社製)を用い、図1に示したように、研磨布31が貼付されたターンテーブル30を30rpmで回転させつつ、半導体基板32を保持したトップリング33を500gf/cm2の研磨荷重で当接させた。トップリング33の回転数は33rpmとし、研磨布31上には、スラリー供給ノズル35から150cc/minの流量でスラリー37を供給した。ウエハーの相対速度は、0.53m/s程度となる。スラリーとしては、前述のスラリー1を用いた。本実施形態においては、スラリー中に含有される樹脂粒子の一次粒子径は、ホールの開口径の140%程度である。
【0092】
60秒間の研磨を行なった結果、開口径0.14μmのホール44におけるレジストディッシングは10nm以下であり、第2の絶縁膜43のロスもほぼゼロに抑制することができた。
【0093】
次に、図18(b)に示すように、上述したような手法により、第2のレジスト膜51、中間層52、および第3のレジスト膜53を順次堆積して、第3のレジスト膜53をパターニングする。
【0094】
第1のレジスト膜45がCMPにより平坦化されているので、パターニング後の密ヴィア部と疎ヴィア部との間におけるレジスト膜厚差は、ほぼゼロに改善される。疎ヴィア部および密ヴィア部についてのレジスト膜の露光量依存性を、それぞれ図19(a)および(b)に示す。ベストフォーカスは、実質的にヴィア密度に存在しないことが、これらに示されている。露光度余裕5%での焦点深度は、図17(c)に示したように0.4μmとなり、これはレファレンスプロセスと同レベルである。このように、レジストCMPを行なって膜厚を均一にすることによって、リソグラフィーのフォーカスマージンを拡大することが可能となった。
【0095】
なお、通常3層レジストプロセスにおいては、第1のレジスト膜のエッチング耐性を高めるために、300℃以上の高温ベーク処理が施される。高温ベーク処理によって、レジスト膜の硬度が樹脂粒子の硬度よりも大きくなり、しかも脆くなるため、樹脂粒子では良好に研磨することができず剥がれが生じる場合がある。高温ベークされたレジスト膜よりも硬いアルミナ粒子を研磨粒子として用いれば、こうしたレジスト膜も除去することができるものの、アルミナのような無機粒子を含有するスラリーを用いると、ある程度のディッシングや粒子残留リスクを覚悟せざるを得ない。
【0096】
そこで、第1のレジスト膜を100℃〜200℃、例えば150℃程度の低温でベークした後、本発明の実施形態にかかるスラリーでCMPを行なうことが好ましい。100℃未満の場合には、レジストの密着性が低下してCMP時にはがれを抑制するのが困難となる。一方、200℃を越えると、樹脂粒子よりもレジスト膜が硬化して、除去できなくなるおそれがある。低温でベークされているので、第1のレジスト膜は、本発明の実施形態にかかるスラリーを用いて除去することができる。その後、第2のレジスト膜を形成し、300〜350℃程度の高温ベークを行なうことによって、エッチング耐性が高められる。300℃未満の場合には、ドライエッチングにおける選択比を確保するのが困難となる。一方、350℃を越えると、酸素が抜けてしまい、レジストアッシングができなくなるおそれがある。
【0097】
樹脂粒子を含有する本発明の実施形態にかかるスラリーを用いて研磨することができるので、研磨後の表面におけるディッシングは低減され、しかも粒子が残留するおそれもない。
【0098】
(実施形態3)
本実施形態においては、レジストリセス法を用いたCuデュアルダマシン(DD)配線の形成方法について説明する。
【0099】
図20を参照して、従来の方法を説明する。
【0100】
まず、図20(a)に示すように、図示しない素子などが形成された半導体基板60上に絶縁膜61を形成し、下層Cu配線62を埋め込み形成する。この上に、ストッパー膜63および層間絶縁膜64を順次堆積し、層間絶縁膜にヴィアホール65をリソグラフィーおよびドライエッチング(RIE)により形成する。さらに、全面に第1のレジスト膜66を形成する。
【0101】
次に、図20(b)に示すように、第1のレジスト膜66をCDE法によりエッチバックすることにより、所定の深さまでリセスする。
【0102】
続いて、図20(c)に示すように、反射防止膜67および第2のレジスト膜68を順次堆積し、第2のレジスト膜68に配線溝69をパターニングする。さらに、RIEにより反射防止膜67および絶縁膜64のエッチングを行なって配線溝69を形成する。
【0103】
その後、ヴィアホール65内に埋め込まれた第1のレジスト膜66を除去し、実施形態2で説明したようにメタルの成膜およびCMPによってCu DD構造が形成される。
【0104】
従来技術の手法では、次のような問題があった。ヴィアホール65が設けられた層間絶縁膜64上に第1のレジスト膜66を形成する際、レジストがホール65で消費される。このため、図20(a)に示されるように、密ヴィア部72におけるレジスト膜厚は、疎ヴィア部71あるいはフィールド上に比べて100nm程度薄くなってしまう。
【0105】
その後のリセス工程において、レジストの膜厚バラツキはさらに拡大し、図20(b)に示すように密ヴィア部72のレジスト膜厚が最も薄くなる。
【0106】
配線溝69を加工する際には、密ヴィア部72のレジスト膜66が耐え切れず、図20(c)に示されるように下層配線にエッチングダメージ70を与える。また、ヴィアホール65内に埋め込まれたレジスト膜厚66のバラツキに起因して、反射防止膜67の膜厚にもバラツキが生じる。密ヴィア部72の反射防止膜67の膜厚が薄くなって、反射防止膜のエッチング時には、密ヴィア部72がオーバーエッチングとなる。その結果、密ヴィア部72の配線溝69が疎ヴィア部71より深くなり、メタル成膜・CMP後の配線抵抗バラツキとなって顕在化する。
【0107】
本発明の実施形態においては、第1のレジスト膜66を形成後にレジストCMPを行なって、第1のレジスト膜66の膜厚が均一となるように平坦性を確保した後、リセスを行なう。
【0108】
図21乃至図22に本発明の実施形態にかかる半導体装置の製造方法の一部を表わす工程断面図を示す。
【0109】
まず、図21(a)に示すように、図示しない素子などが形成された半導体基板60上にSiO2を400nmの厚さで堆積して絶縁膜61を形成し、常法により下層Cu配線62を埋め込んだ。さらに、SiCからなるストッパー膜63(膜厚:50nm)、およびSiO2からなる層間絶縁膜64(膜厚:1μm)を順次堆積した。層間絶縁膜64に開口径140nmのヴィアホール65を形成した後、全面に第1のレジスト膜66を堆積した。その後、層間絶縁膜64上の第1のレジスト膜66を除去して、ヴィアホール内に選択的に残置した。
【0110】
層間絶縁膜64上の第1のレジスト膜66の除去は、本発明の実施形態にかかるスラリーを用いたCMPにより行なった。具体的には、研磨布としてIC1000/Suba400(ロデール・ニッタ社製)を用い、図1に示したように、研磨布31が貼付されたターンテーブル30を30rpmで回転させつつ、半導体基板32を保持したトップリング33を500gf/cm2の研磨荷重で当接させた。トップリング33の回転数は33rpmとし、研磨布31上には、スラリー供給ノズル35から150cc/minの流量でスラリー37を供給した。ウエハーの相対速度は、0.53m/s程度である。スラリーとしては、前述のスラリー2を用いた。本実施形態においては、スラリー中に含有される樹脂粒子の一次粒子径は、ヴィアホールの開口径の210%程度である。
【0111】
60秒間の研磨を行なった結果、第1のレジスト膜66のディッシングは10nm以下であり、層間絶縁膜64のロスもほぼゼロに抑制することができた。次に、ヴィアホール65内の第1のレジスト膜66をエッチバックすることにより所定の深さまでリセスした。リセス後における第1のレジスト膜66の膜厚は、図21(b)に示すように実質的に均一であり、そのバラツキは20nm以下に抑制された。
【0112】
リセス後の第1のレジスト膜66の膜厚が実質的に均一であるので、反射防止膜67も、図21(c)に示すように均一な膜厚で形成することができる。さらに、第2のレジスト膜68を形成し、第2のレジスト膜68、反射防止膜67および層間絶縁膜64に配線溝69をパターニングする。
【0113】
続いて、図22(d)に示すように、第1のレジスト膜66、反射防止膜67および第2のレジスト膜68を除去した。ヴィアホール内のストッパー膜63を除去した後、TaNなどからなるバリアメタル膜(図示せず)を介して配線溝69およびヴィアホールホールにCuを埋め込んだ。さらに、CMPを行なうことによって、図22(e)に示すようにCu DD配線73が形成される。
【0114】
リセスに先立って第1のレジスト膜をCMPにより平坦化しているので、下層配線へのエッチングダメージあるいは配線溝の深さバラツキを著しく低減して、Cu DD配線を形成することが可能となった。
【0115】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明の一態様によれば、ディッシングを抑制して良好な表面を維持しつつ、短時間で安定してレジスト膜等の有機膜を化学的機械的に研磨する方法が提供される。本発明の他の態様によれば、ディッシングを抑制して良好な表面を維持しつつ、短時間で安定してレジスト膜等の有機膜を研磨する方法が提供される。本発明のさらに他の態様によれば、平坦性および均一性が高いレジスト埋め込み構造を短時間で安定に形成することが可能な、半導体装置の製造方法が提供される。
【0116】
本発明を用いることにより、リソグラフィーにおけるプロセスマージンを拡大するとともに、歩留まりの高い半導体製造プロセスを構築することが可能となり、その工業的価値は絶大である。
【図面の簡単な説明】
【図1】 CMPの状態を示す概略図。
【図2】 本発明の一実施形態にかかる半導体装置の製造方法を示す工程断面図。
【図3】 図2に続く工程を示す断面図。
【図4】 図3に続く工程を示す断面図。
【図5】 Stribeck線図を示すグラフ図。
【図6】 CMP時間とレジスト除去面積率との関係を示すグラフ図。
【図7】 相対速度とレジスト除去面積率との関係を示すグラフ図。
【図8】 CMP時間とテーブルトルク電流との関係を示すグラフ図。
【図9】 トレンチ部における研磨粒子の状態を示す模式図。
【図10】 ウエハー位置とディッシング量との関係を示すグラフ図。
【図11】 粒子サイズ/トレンチサイズ比とディッシング量との関係を示すグラフ図。
【図12】 研磨粒子サイズとディッシング量との関係を示すグラフ図。
【図13】 多層レジスト法を用いた配線パターンの形成方法を表わす工程断面図。
【図14】 図13に引き続く工程を表わす断面図。
【図15】 レジスト膜厚のフォーカス依存性を示すグラフ図。
【図16】 レジスト膜厚のフォーカス依存性を示すグラフ図。
【図17】 マージンカーブを示すグラフ図。
【図18】 本発明の他の実施形態にかかる半導体装置の製造方法の一部を表わす工程断面図。
【図19】 レジスト膜厚のフォーカス依存性を示すグラフ図。
【図20】 レジストリセスによるCuデュアルダマシンの形成プロセスを示す工程断面図。
【図21】 本発明のさらに他の実施形態にかかる半導体装置の製造方法の一部を表わす工程断面図。
【図22】 図21に続く工程を示す断面図。
【符号の説明】
11…半導体基板,12…Pad酸化膜,13…Pad窒化膜,14…トレンチ,15…プレート電極,16…キャパシタ誘電膜,17…ストレージノード,18…カラー酸化膜,19…レジスト膜,20…埋め込みストラップの開口部,21…ポリシリコン,23…シリカ粒子,24…樹脂粒子,30…ターンテーブル,31…研磨布,32…半導体基板,33…トップリング,34…水供給ノズル,35…スラリー供給ノズル,36…ドレッサー,37…スラリー,40…半導体基板,41…ストッパー膜,42…第1の絶縁膜,43…第2の絶縁膜,44…ホール,45…第1のレジスト膜,46…中間層,47…第2のレジスト膜,48…配線溝,49…ヴィアホール,50…Cu配線,51…第2のレジスト膜,52…中間層,53…第3のレジスト膜,60…半導体基板,61…絶縁膜,62…Cu配線,63…ストッパー膜,64…層間絶縁膜,65…ヴィアホール,66…第1のレジスト膜,67…反射防止膜,68…第2のレジスト膜,69…配線溝,70…下層配線へのダメージ,71…疎ヴィア部,72…密ヴィア部,73…Cu配線。
Claims (9)
- 半導体基板上に堆積され、100℃以上200℃以下の温度でベークされた疎水性の有機レジスト膜を化学的機械的に研磨する方法であって、
ターンテーブル上に貼付された100乃至600MPaの圧縮弾性率を有する研磨布上に、前記疎水性の有機レジスト膜を有する半導体基板を前記研磨布に対して0.17乃至1.06m/secの相対速度で回転させつつ、200乃至600gf/cm 2 の圧力で当接させる工程、および
前記研磨布上に、アニオン系、カチオン系、両性系、および非イオン系官能基から選択される官能基を有するとともに、一次粒子径が0.05μm以上5μm以下の樹脂粒子を0.01wt%以上30wt%以下の濃度で含有し、pHが2以上8以下である有機膜用化学的機械的研磨スラリーを供給して、前記疎水性の有機レジスト膜を研磨する工程を具備することを特徴とする有機膜の化学的機械的研磨方法。 - 前記疎水性の有機レジスト膜は、凹部を有する下地上に形成され、前記有機膜用化学的機械的研磨スラリーにおける前記樹脂粒子の一次粒子径は、前記凹部の開口径の70%以上であることを特徴とする請求項1に記載の有機膜の化学的機械的研磨方法。
- 前記スラリー中に含有される前記樹脂粒子は、メタクリル樹脂、ポリスチレン樹脂、ユリア樹脂、メラミン樹脂、ポリアセタール樹脂、およびポリカーボネイト樹脂からなる群から選択される少なくとも1種であることを特徴とする請求項1または2に記載の有機膜の化学的機械的研磨方法。
- 前記スラリー中に含有される前記官能基は、カルボン酸型、スルホン酸型、硫酸エステル型、リン酸エステル型、アミン塩型、第4級アンモニウム塩型、エーテル型、エステル型、アルカノールアミド型、カルボキシベタイン型、およびグリシン型官能基からなる群から選択される少なくとも1種であることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載の有機膜の化学的機械的研磨方法。
- 下地としての半導体基板または半導体基板上に堆積された絶縁膜に凹部を形成する工程、
前記凹部が形成された下地の全面にレジスト膜を形成する工程、
前記レジスト膜を請求項1ないし4のいずれか1項に記載の方法により化学的機械的に研磨して、前記凹部内に選択的に前記レジスト膜を埋め込む工程、および、
前記凹部内に埋め込まれたレジスト膜を所定の深さまでリセスする工程
を具備することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記凹部は下地としての半導体基板に設けられたトレンチであり、
前記トレンチを形成した後、前記レジスト膜を形成する前に、前記トレンチの内周にキャパシタ誘電膜を形成する工程と、前記キャパシタ誘電膜上にストレージノード電極を形成する工程と、前記ストレージノード電極および前記キャパシタ誘電膜をエッチバックする工程と、前記トレンチ内の上部内壁にカラー酸化膜を形成する工程とを具備し
前記レジスト膜をリセスした後に、前記カラー酸化膜をエッチバックする工程を具備することを特徴とする請求項5に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記凹部は、下地としての層間絶縁膜に形成されたホールであり、前記レジスト膜は下層レジスト膜であり、
前記下層レジスト膜をリセス後、前記層間絶縁膜上に反射防止膜および上層レジスト膜を順次形成する工程と、前記下層レジスト膜に達するように前記層間絶縁膜、前記反射防止膜および前記上層レジスト膜に配線溝を形成する工程と、前記下層レジスト膜、前記反 射防止膜および前記上層レジスト膜を除去する工程と、前記ホールおよび前記配線溝に導電性材料を埋め込む工程とを具備することを特徴とする請求項5に記載の半導体装置の製造方法。 - 半導体基板上に堆積された絶縁膜にホールを形成する工程、
前記絶縁膜の全面に第1のレジスト膜を形成する工程、
前記第1のレジスト膜を請求項1ないし4のいずれか1項に記載の方法により化学的機械的に研磨して、前記ホール内に前記第1のレジスト膜を選択的に埋め込む工程、
前記化学的機械的研磨後の前記第1のレジスト膜上に第2のレジスト膜を形成する工程、
前記第2のレジスト膜上に中間層を形成する工程、
前記中間層の上に第3のレジスト膜を形成する工程、および
前記第3のレジスト膜をパターン露光する工程
を具備することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記第2のレジスト膜を形成した後、300℃以上350℃以下の温度でベークする工程をさらに具備することを特徴とする請求項8に記載の半導体装置の製造方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003157154A JP4202826B2 (ja) | 2003-06-02 | 2003-06-02 | 有機膜の化学的機械的研磨方法および半導体装置の製造方法 |
TW093114973A TWI241626B (en) | 2003-06-02 | 2004-05-26 | Chemical mechanical polishing method of organic film and method of manufacturing semiconductor device |
US10/855,529 US7452819B2 (en) | 2003-06-02 | 2004-05-28 | Chemical mechanical polishing method of organic film and method of manufacturing semiconductor device |
CNB2004100461803A CN100346451C (zh) | 2003-06-02 | 2004-06-02 | 有机膜的化学机械抛光及制造半导体器件的方法 |
US12/289,326 US8685857B2 (en) | 2003-06-02 | 2008-10-24 | Chemical mechanical polishing method of organic film and method of manufacturing semiconductor device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003157154A JP4202826B2 (ja) | 2003-06-02 | 2003-06-02 | 有機膜の化学的機械的研磨方法および半導体装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004363191A JP2004363191A (ja) | 2004-12-24 |
JP4202826B2 true JP4202826B2 (ja) | 2008-12-24 |
Family
ID=34051015
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003157154A Expired - Fee Related JP4202826B2 (ja) | 2003-06-02 | 2003-06-02 | 有機膜の化学的機械的研磨方法および半導体装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4202826B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN102477260A (zh) * | 2010-11-26 | 2012-05-30 | 安集微电子(上海)有限公司 | 一种化学机械抛光液 |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4768335B2 (ja) | 2005-06-30 | 2011-09-07 | 株式会社東芝 | 有機膜の化学的機械的研磨方法、半導体装置の製造方法、およびプログラム |
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KR100793916B1 (ko) | 2006-04-05 | 2008-01-15 | 삼성전기주식회사 | 인쇄회로기판 내장형 커패시터의 제조방법 |
KR100832993B1 (ko) | 2006-04-14 | 2008-05-27 | 주식회사 엘지화학 | Cmp 슬러리용 보조제 |
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KR102640734B1 (ko) | 2015-12-24 | 2024-02-27 | 솔브레인 주식회사 | 유기막 연마용 슬러리 조성물 및 이를 이용한 반도체 기판 연마 방법 |
CN208514306U (zh) * | 2018-03-20 | 2019-02-19 | 长鑫存储技术有限公司 | 改善上电极板在化学机械研磨工艺中刮伤的设备 |
CN109454547A (zh) * | 2018-12-27 | 2019-03-12 | 杭州众硅电子科技有限公司 | 一种用于cmp抛光垫寿命在线检测的系统和方法 |
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JP2004363191A (ja) | 2004-12-24 |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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A521 | Written amendment |
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|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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