JP4202445B2 - 半導体製造装置用クリーニング装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体製造装置用クリーニング装置に関し、特に、真空処理装置のメンテナンスを行う際その周囲の空気を浄化するのに適した半導体製造装置用クリーニング装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体デバイスの製造において、集積回路(IC)等の製造不良の約2/3は塵(ダストパーティクル)による汚染である。集積回路が大規模化するに伴い、ウェハを取り扱う環境も、塵がより少ない清浄な環境が要求されるようになってきた。このことは室内の空気環境に限らず、ウェハ洗浄用の水や薬品あるいは製造用ガスについても同じである。さらに半導体製造装置のメンテナンスを行う場合においてその周囲の空気についても塵による汚染がないことが要求される。
【0003】
従来の半導体製造装置用クリーニング装置の構成例を図5と図6を参照して説明する。図7は側面図、図8は平面図である。
【0004】
図示された半導体製造装置は、オートローダ(ウェハ移送装置)111の部分と真空処理装置112の部分から構成される。オートローダ111は、仕切りパネル113内に形成されたクリーン空間114内に設置されている。115は仕切り壁で、仕切り壁115の左側が工場側クリーンルーム116、右側がメンテナンスルーム117となっている。オートローダ111が設置される仕切りパネル113は仕切り壁115に接続される。また仕切りパネル113の右側に真空処理装置112が設置されている。
【0005】
上記オートローダ111は、真空処理装置112に対して未処理ウェハを投入し、または真空処理装置112から処理済みウェハを回収するウェハ移送装置である。オートローダ111は、多数のウェハ118を収納するカセット119と、ウェハ118をカセット119から真空処理装置112に投入しまたは真空処理装置112からカセット119へ回収するロボット機構部120とから構成される。
【0006】
上記真空処理装置112は、2つのロードロック121と中央に位置するウェハ搬送室122と複数の処理室131〜136とから構成される。真空処理装置112は、全体が真空に保持されている。ウェハ搬送室122にはウェハの搬送を行うロボット搬送機構137が内蔵される。このロボット搬送機構は発塵が極めて少ない搬送機構である。真空処理装置112は極めて高いクリーン度に維持されている。また複数の処理室131〜136は、例えば、プリエッチング処理室、スパッタ処理室、加熱処理室等から構成される。さらに2つのロードロック121は、各々、オートローダ121から真空処理装置112内に未処理ウェハを投入する機能と、真空処理装置112から処理済みウェハをオートローダ121に回収するための機能を兼ね備えている。
【0007】
上記半導体製造装置では以下のクリーニング装置が設けられる。オートローダ111が設置されるクリーン空間114の上部には、クリーン空間のクリーン度(清浄化度)を高めるため、クリーニングユニット140が設けられている。このクリーニングユニット140はファン141とフィルタ142から構成される。またオートローダ111は、上記のごとく仕切パネル113により、その外側を囲われている。オートローダ111が設置されるクリーン空間114は、メンテナンスルーム117側の低いクリーン度の空気が流れ込んで、そのクリーン度を劣化させないように、上記仕切りパネル113によって密閉されている。
【0008】
上記半導体製造装置で、オートローダ111に置かれたカセット119内の未処理ウェハは、ロボット機構部120によって真空処置装置112に付設されたロードロック121へ搬出される。ウェハは、真空処理装置112の処理室131〜136で処理された後、ロードロック121へ戻される。処理済みウェハはロードロック121から逆の順序でカセット119へ戻される。通常、ウェハは、真空処理装置112内を真空中で搬送されて一巡して回収されるので、メンテナンスルーム117の雰囲気に触れることなくクリーン状態に保たれる。
【0009】
上記構成を有する従来の半導体製造装置では、クリーン度の高い雰囲気で、ウェハの搬送および処理が行われている。また上記半導体製造装置とは別の半導体製造装置との間で、ウェハが収容されたカセット119を運搬する場合にも、クリーン度の高いクリーンルーム構造が利用される。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
半導体の製造では、一般的に、クリーン度がクラス1〜10のクリーンな雰囲気で行われることが必要である。ここで「クラス」という単位は、(1ft)3 (1ftは約30cm)の立方体空間中に存在する直径0.5μm以上の大きさの塵の個数を表すものである。例えば「クラス10」は、そのような塵粒子が、上記立方体の空間中に約10個存在する程度のクリーン度を意味する。
【0011】
一方、上記真空処理装置112はメンテナンスルーム117側に設置されている。このメンテナンスルーム117は、真空処理装置112の点検やメンテナンス作業を行う空間であり、通常、工場側の設備費や運転費を低減するため、クラス100〜1000のクリーン度になっている。このクリーン度は、クリーンルーム116に比較し、その10倍から100倍程度、低くなっている。
【0012】
そのため、従来の半導体製造装置でメンテナンス作業を行う場合、DやEに示すごとく、ロードロック121や処理室131〜136の蓋121a,133aを開いて作業を行う際、メンテナンスルーム117のクリーン度の低い雰囲気に真空処理装置112の内部を晒すことになる。その結果、真空処理装置112の内部の構造物に、パーティクルが付着し、またメンテナンス作業時に発生したパーティクルが真空処理装置112の内部で浮遊し、残留することになる。このような状態がメンテナンス作業の際に発生すると、メンテナンス後にロードロックや処理室の蓋を閉じて真空にしても、メンテナンス時に内部に付着したパーティクルや浮遊状態のパーティクルはあまり低下せず、ウェハを搬入するとパーティクルがウェハに付着する。それによって、パーティクルが付着した部分の半導体デバイスチップが不良となり、ウェハから得られる良品の半導体デバイスチップの数量が低下する。
【0013】
本発明の目的は、上記問題を解決することにあり、真空処理装置のメンテナンス作業時において塵の少ないクリーンな雰囲気を作り、ウェハから得られる半導体デバイスの歩留まりを高めることができる半導体製造装置用クリーニング装置を提供することにある。
【0014】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る半導体製造装置用クリーニング装置は、上記目的を達成するため、次のように構成される。
【0015】
第1のクリーニング装置(請求項1に対応)は、 ロードロックとウエハ搬送室とウェハを処理する処理室とからなる真空処理装置と、ウェハを真空処理装置に投入しまたは真空処理装置から回収するウェハ移送機構(オートローダ)と、このウェハ移送機構が設置されかつクリーン度がクラス1〜10のクリーンな雰囲気のクリーン空間を備える半導体製造装置において、ウェハ移送機構は仕切りパネル内に形成されたクリーン空間内に設置され、このクリーン空間内に当該クリーン空間のクリーン度を高めるための第1クリーニングユニットを設け、真空処理装置を備えかつクラス100〜1000のクリーン度になっているメンテナンスルーム側に第2クリーニングユニットを設け、メンテナンスルーム内で第2クリーニングユニットを、ロードロックの上方位置または処理室の上方位置で移動可能にする移動機構を設けるように構成される。
【0016】
上記クリーニング装置では、メンテナンス作業が行われる領域において、第1クリーニングユニットに加えて、局所的にダウンフローが得られるように、メンテナンスルーム側に第2クリーニングユニットを設けるものである。
【0017】
第2のクリーニング装置(請求項2に対応)は、ロードロックとウエハ搬送室とウェハを処理する処理室とからなる真空処理装置と、ウェハを真空処理装置に投入しまたは真空処理装置から回収するウェハ移送機構と、このウェハ移送機構が設置されかつクリーン度がクラス1〜10のクリーンな雰囲気のクリーン空間を備える半導体製造装置において、ウェハ移送機構は仕切りパネル内に形成されたクリーン空間内に設置され、このクリーン空間内にクリーン空間のクリーン度を高めるための第1クリーニングユニットを設け、真空処理装置を備えかつクラス100〜1000のクリーン度になっているメンテナンスルーム側に第2クリーニングユニットを設け、この第2クリーニングユニットの本体を真空処理装置の上方の中央位置に固定し、第2クリーニングユニットの内部に送風用ファンとフィルタを備え、第2クリーニングユニットの下部に送風管を設け、この送風管はその基端が回転移動機構に回転自在になるように取り付けられているように構成される。この構成によれば、第2クリーニングユニットによってメンテナンスルーム内で局所的にクリーン度を高めることができる。
【0018】
第3のクリーニング装置(請求項3に対応)は、上記第1の構成において、上記第2クリーニングユニットを送風用ファンとパーティクル除去用フィルタを備える。
【0019】
第4のクリーニング装置(請求項4に対応)は、上記のいずれかの構成において、好ましくは、第2クリーニングユニットにパーティクルカウンタを設ける。
第5のクリーニング装置(請求項5に対応)は、上記の第2の構成において、送風管は、回転移動機構によってその基端を中心に回転させることにより、その吹出し口をロードロックから処理室まで移動することを特徴とする。
【0020】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の好適な実施形態を添付図面に基づいて説明する。
【0021】
図1と図2を参照して本発明の第1実施形態を説明する。図1は側面図、図2は平面図である。
【0022】
図1と図2において、仕切り壁11の左側に工場側クリーンルーム12が形成され、仕切り壁11の右側にメンテナンスルーム13が形成されている。クリーンルーム12ではダウンフロー14が作られ、高いクリーン度に維持されている。半導体製造装置はメンテナンスルーム13側に設けられる。半導体製造装置はオートローダ(ウェハ移送装置)15と真空処理装置16を備える。オートローダ15は、仕切りパネル17内に形成されたクリーン空間18内に設置される。仕切りパネル17は仕切り壁11に接続され、この仕切りパネル17の右側に真空処理装置16が設置される。
【0023】
上記オートローダ15は、真空処理装置16に対して未処理ウェハを投入し、または真空処理装置16から処理済みウェハを回収するウェハ移送装置である。オートローダ15は、多数のウェハ19を収納するカセット20と、ウェハ19をカセット20から真空処理装置16に投入しまたは真空処理装置16からカセット20へ回収するロボット機構部21から構成される。カセット20とロボット機構部21は2組設けられている。
【0024】
真空処理装置16は、2つのロードロック22と、中央に位置するウェハ搬送室23と、複数の処理室31〜36とから構成される。真空処理装置16は、全体が真空に保持されている。ウェハ搬送室23にはウェハの搬送を行うロボット搬送機構24が内蔵される。ロボット搬送機構24では発塵は極めて少ない。真空処理装置16の内部は極めて高いクリーン度に維持されている。また複数の処理室31〜36は、例えばプリエッチング処理室、スパッタ処理室、加熱処理室等から構成される。さらにロードロック22は、オートローダ15から真空処理装置16内に未処理ウェハを投入する機能と、真空処理装置16から処理済みウェハをオートローダ15に回収する機能を兼ね備えている。
【0025】
半導体製造装置では、さらに、オートローダ15が設置されるクリーン空間18の上部にクリーン空間のクリーン度(清浄化度)を高めるため、クリーニングユニット(以下「第1クリーニングユニット」という)41が設けられている。この第1クリーニングユニット41は、ファン42とフィルタ42から構成される。44はファン42によって作られるダウンフローである。オートローダ15を囲む仕切パネル17は、メンテナンスルーム13側の低いクリーン度の空気が流れ込んでそのクリーン度を劣化させないように、クリーン空間18を密閉している。
【0026】
半導体製造装置において、オートローダ15に置かれたカセット20内の未処理ウェハは、ロボット機構部21によって真空処置装置16に付設されたロードロック22へ搬出される。ウェハ19は、真空処理装置16の処理室31〜36で処理された後、ロードロック22へ戻される。処理済みウェハは、ロードロック22から逆の順序でカセット20へ戻される。
【0027】
さらにメンテナンスルーム13では、真空処理装置16の上方に、メンテナンス用クリーニングユニット(以下「第2クリーニングユニット」という)51が設けられる。第2クリーニングユニット51は、オートローダ15の上部に位置する第1クリーニングユニット41に関連づけて支持されている。第2クリーニングユニット51は送風用ファン52とパーティクル除去用フィルタ53から構成される。第2クリーニングユニット51が動作すると、メンテナンスルーム13内にダウンフロー54が生成される。第2クリーニングユニット51は、移動機構によってメンテナンスルーム13内にて矢印Aのごとく移動可能になっている。移動機構としては、図3に示すような例えば台車付きリフタ71が使用される。リフタ71は下部71aに車輪を備えて移動自在である。またその上部71bに第2クリーニングユニット51が設けられる。第2クリーニングユニット51の下面から下方へダウンフロー54が生じている。この台車付きリフタ71を真空処理装置16の周りに移動させることによって、第2クリーニングユニット51を、ロードロック22の上方位置または処理装置31〜36の上方位置に移動させることができる。図1に示された例では、第2クリーニングユニット51はロードロック22の上方位置にセットされている。第2クリーニングユニット51で作られるダウンフロー54によって、メンテナンスルーム13内の所定箇所を局所的にクリーニングすることができる。
【0028】
また第2クリーニングユニット51の下方位置にはパーティクルカウンタ55が配置されている。パーティクルカウンタ55は第2クリーニングユニット51の下部に固定され、第2クリーニングユニット51と共に移動する。
【0029】
上記の第2クリニーングユニット51はメンテナンス作業を行う際に作動させる。例えばロードロック22の蓋22aを開くときには、第2クリーニングユニット51は図示された位置にあって、蓋22aを開く前にファン52を動作させ、クリーン度がクラス1〜10のダウンフロー54を生成する。当該クリーン度はパーティクルカウンタ55で測定されることにより、確認される。その後、ロードロック22の蓋22aを開く。ロードロック22の周辺は、ダウンフロー54により高いクリーン度が確保されているため、ロードロック22の内部に周囲のパーティクルが侵入することがなく、またメンテナンス作業を行って舞い上がったパーティクルも、ダウンフロー54により直ちに掃気されるため、浮遊することがない。このように、ロードロック22の内部に対してメンテナンス作業を行うときには、ロードロック22の周辺のクリーン度を局所的に高めることができる。
【0030】
また処理室31〜36の蓋31a〜36aのうちのいずれか(例えば蓋33a,36a)を開いてメンテナンス作業を行うときには、移動機構によって第2クリーニングユニット51をメンテナンス作業を行うべき処理室の上方の位置へ移動させ、メンテナンス作業を行う前にその周辺のクリーン度を局所的に高めるようにする。その結果、処理室31〜36のメンテナンス時も、前述のロードロック22の場合と同様の効果を得ることができる。この場合に、図2または図3に示すように、複数の処理室はウェハ搬送室23の周囲に配置されているので、移動機構は、各処理室の上方位置に来るように第2クリーニングユニットを移動させる。
【0031】
次に図4〜図6を参照して本発明の第2実施形態を説明する。図4は側面図、図5は平面図、図6は移動機構部分の外観斜視図である。図4と図5において、図1と図2で説明した要素と実質的に同一の要素には同一の符号を付し、説明を省略する。
【0032】
この実施形態による第2クリーニングユニット61の本体部分は固定して設置され、真空処理装置16の上方のほぼ中央位置に配置されている。好ましくは、ウェハ搬送室23の中心部に対応する上方位置に配置される。図6に示されるように、第2クリーニングユニット61は例えば3本の支柱66で支持されて配置される。第2クリーニングユニット61は内部に送風用ファン62とフィルタ63を備えている。第2クリーニングユニット61の下部には送風管64を備えている。送風管64は、その基端がフィルタ63の下側に回転自在に取り付けられ、さらに水平方向に延設され、その先端の吹出し口64aが下方に向けて配置されている。水平方向に延設された送風管64は、回転移動機構67により、基端を中心に回転させることにより、矢印Bのごとくその吹出し口64aをロードロック22から処理室31〜36まで移動させることができる。その他の構成は、第1実施形態の構成と同じである。上記の構成によって、第2クリーニングユニット61から吹出された風は、矢印65のごとく送風管64で案内され、その先端の吹出し口64aからクリーン度がクラス1〜10のダウンフローを発生させることができる。
【0033】
上記の第2クリーニングユニット61はメンテナンス作業を行うときに動作させる。まず、メンテナンス作業を行う位置に、予め、送風管64を回転移動機構67により回転させて吹出し口64aを移動させておく。その後、ファン62を動作させてダウンフロー65を生成し、その後ロードロック22や処理室31〜36の蓋を開く。これによりメンテナンス作業を行う箇所の周辺のクリーン度を局所的に高めることができる。
【0034】
第2の実施形態によれば、重量のあるクリーンニングユニット全体を移動させる必要がなく、構造が簡単になり、移動が容易で、安価に製造ができる等の利点がある。
【0035】
【発明の効果】
以上の説明で明らかなように、本発明によれば、真空処理装置を備えるメンテナンスルーム側にクリーニングユニットを設けたため、クリーン度が比較的低いメンテナンスルームに設置された半導体製造装置でも、メンテナンス時に局所的にクリーン度を高くでき、半導体デバイスの微細化に寄与することができる。またメンテナンスルーム全体を高いクリーン度に維持する必要がないため、メンテナンスルームの設備コストおよび運転コストが少なくすることができる。さらにクリーニングユニット自体またはそのダウンフローの吹出し口を、所定範囲内で自在に移動できるようにしたため、メンテナンスを行うとする箇所を選択し、そのクリーン度を局所的に高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態の側面図である。
【図2】本発明の第1実施形態の平面図である。
【図3】第1実施形態の移動機構部分の外観斜視図である。
【図4】本発明の第2実施形態の側面図である。
【図5】本発明の第2実施形態の平面図である。
【図6】第2実施形態の移動機構部分の外観斜視図である。
【図7】従来の半導体製造装置の側面図である。
【図8】従来の半導体製造装置の平面図である。
【符号の説明】
11 仕切り壁
12 工場側クリーンルーム
13 メンテナンスルーム
15 オートローダ
16 真空処理装置
17 仕切りパネル
18 クリーン空間
20 カセット
21 ロボット機構部
41 クリーニングユニット
51 メンテナンス用クリーニングユニット
61 メンテナンス用クリーニングユニット
64 送風管
Claims (5)
- ロードロックとウエハ搬送室とウェハを処理する処理室とからなる真空処理装置と、前記ウェハを前記真空処理装置に投入しまたは前記真空処理装置から回収するウェハ移送機構と、このウェハ移送機構が設置されかつクリーン度がクラス1〜10のクリーンな雰囲気のクリーン空間を備える半導体製造装置において、
前記ウェハ移送機構は仕切りパネル内に形成されたクリーン空間内に設置され、このクリーン空間内に前記クリーン空間のクリーン度を高めるための第1クリーニングユニットを設け、
前記真空処理装置を備えかつクラス100〜1000のクリーン度になっているメンテナンスルーム側に第2クリーニングユニットを設け、前記メンテナンスルーム内で前記第2クリーニングユニットを、ロードロックの上方位置または処理室の上方位置で移動可能にする移動機構を設けた、
ことを特徴とする半導体製造装置用クリーニング装置。 - ロードロックとウエハ搬送室とウェハを処理する処理室とからなる真空処理装置と、前記ウェハを前記真空処理装置に投入しまたは前記真空処理装置から回収するウェハ移送機構と、このウェハ移送機構が設置されかつクリーン度がクラス1〜10のクリーンな雰囲気のクリーン空間を備える半導体製造装置において、
前記ウェハ移送機構は仕切りパネル内に形成されたクリーン空間内に設置され、このクリーン空間内に前記クリーン空間のクリーン度を高めるための第1クリーニングユニットを設け、
前記真空処理装置を備えかつクラス100〜1000のクリーン度になっているメンテナンスルーム側に第2クリーニングユニットを設け、
この第2クリーニングユニットの本体を前記真空処理装置の上方の中央位置に固定し、前記第2クリーニングユニットの内部に送風用ファンとフィルタを備え、前記第2クリーニングユニットの下部に送風管を設け、この送風管はその基端が回転移動機構に回転自在になるように取り付けられている、
ことを特徴とする半導体製造装置用クリーニング装置。 - 前記第2クリーニングユニットは送風用ファンとパーティクル除去用フィルタを備えることを特徴とする請求項1記載の半導体装置用クリーニング装置。
- 前記第2クリーニングユニットにパーティクルカウンタを設けたことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の半導体装置用クリーニング装置。
- 前記送風管は、前記回転移動機構によってその基端を中心に回転させることにより、その吹出し口を前記ロードロックから前記処理室まで移動することを特徴とする請求項2記載の半導体装置用クリーニング装置。
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