JP3960462B2 - 基板処理装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、高圧な処理流体を用いる高圧処理部を備え、複数の基板処理を行う基板処理装置に関し、より特定的には、半導体基板、液晶表示装置用ガラス基板の如きFPD(FlatPanel Display)用基板、フォトマスク用ガラス基板および光ディスク用基板など(以下、単に「基板」と称する)に高圧な処理流体を供給することによって当該基板の高圧処理、例えば基板に付着した汚染物質の除去処理等を行う高圧処理部を備え、複数の基板処理を行う基板処理装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、半導体ウェハの一連の処理は、複数の処理部を有するシステム内で行なっている。そのような複数の処理部を有する基板処理装置として、特開2001−7065号公報が開示されている。なお、図8は、当該基板処理装置の全体構成を示す簡素化した平面図である。以下、図8を参照して、当該基板処理装置の説明をする。図中の方向は、図8に示すX、Y、Z方向を用いて説明する。
【0003】
図8において、当該基板処理装置は、カセット101、インデクサロボット102、搬送機構104、エッチング処理部106、洗浄・乾燥処理部107および隔壁108を備えている。カセット101は、被処理体としてウェハWを複数枚収納することができ、ここでは、4つのカセット101a〜dがY方向に直線上に配列されている。また、インデクサロボット102は、カセット101の配列方向に沿って往復直線移動をするようになっており、任意のカセット101にアクセス可能なハンド103aおよび103bが設けられている。
【0004】
そして、搬送機構104は、回転可能であり、インデクサロボット102と位置PaでウェハWを受け渡し、エッチング処理部106および洗浄・乾燥処理部107との間でウェハWを搬入・搬出するウェハ搬入・搬出アーム105aおよび105bが設けられている。なお、当該基板処理装置100には、エッチング処理部106および洗浄・乾燥処理部107がそれぞれ2ヵ所備えられている。
【0005】
エッチング処理部106は、ウェハWの表面にフッ酸等をベーパー状にしてウェハWの表面に供給し、ウェハWの表面のエッチング処理を行うものである。また、洗浄・乾燥処理部107は、ウェハWを回転させながらウェハWに純水を供給して、ウェハWの表面を洗浄すると共に、ウェハWを高速に回転させることによりウェハWを乾燥させる処理を行うものである。なお、エッチング処理部106に洗浄・乾燥処理部107と搬送機構104との間には、それぞれの雰囲気が混合することを防止するために隔壁108が設けられている。
【0006】
このように、カセット101からインデクサロボット102および搬送機構104を介して供給されたウェハWは、エッチング処理部106および洗浄・乾燥処理部107による処理によって、ウェハWに対してエッチング処理、洗浄処理、乾燥処理の一連の処理が行われ、清浄なウェハWが基板処理装置100から搬出される。
【0007】
一方、昨今、電子部品等が形成された基板の洗浄における脱フロン化の流れに伴い、超臨界二酸化炭素のような低粘度の高圧状態の処理流体を剥離液またはリンス液として使用することが注目されている。
【0008】
また、近年の半導体デバイスの縮小化(シュリンク)によって、更にデバイスの設計ルール(テクノロジーノード)がより微細化しており、その勢いは更に加速されている。この様な半導体デバイスにおいては、構造上非常に微細な溝(トレンチ)や穴(ホール)の洗浄が必要である。前者はキャパシタ(コンデンサーの容量部分)や横配線(平面的な配線)、後者は縦配線(三次元的な配線、横配線と横配線との接続、トランジスタのゲート電極への接続)等である。
【0009】
この様な微細な構造は、その幅の深さの比、いわゆるアスペクト比(縦横比)が非常に大きくなってきており、幅が狭く深い溝や径が小さく深い穴を形成している。この幅や径がサブミクロンになっていて、そのアスペクト比も10を超えるようなものが出現している。この様な微細構造をドライエッチング等で半導体基板上に製造した後には、上部の平坦部分のみならず、溝や穴の側壁やその底にレジスト残骸や、ドライエッチングで変質したレジスト、底の金属とレジストの化合物、酸化した金属等の汚染が残っている。
【0010】
これらの汚染は、従来、溶液系の薬液によって洗浄していた。しかし、この様な微細な構造では、薬液の侵入および純水による置換がスムーズにいかなくなり、洗浄不良が生じるようになってきている。また、エッチングされた絶縁物が配線による電気信号の遅延を防止するために、低誘電率の材料(いわゆるLow−k材)を使用しなくてはならなくなり、薬液によってその特性である低誘電率が悪化するという問題が発生している。その他、配線用の金属が露出している場合は、金属を溶解する薬液が使用できない等の制限も生じている。
【0011】
このような、半導体デバイスの微細構造の洗浄に、その特性から超臨界流体が注目されている。超臨界流体では、溶液系の薬液のように低誘電率の絶縁物に浸透しても残留しないため、その特性を変化させることが無い。従って、半導体デバイスの微細構造の洗浄に非常に適していると言え、多いに注目されている。
【0012】
超臨界流体とは、臨界圧力Pc以上かつ臨界温度Tc以上で得られる物質の状態をいう。この超臨界流体は、液体と気体の中間的性質を有するため、精密な洗浄に適しているといえる。すなわち、超臨界流体は、液体に近い密度を持ち溶解性が高いため、有機成分の洗浄に有効であり、気体のように拡散性が優れるため、短時間に均一な洗浄が可能であり、気体のように粘度が低いため、微細な部分の洗浄に適しているのである。
【0013】
この超臨界流体に変化させる物質には、二酸化炭素、水、亜酸化窒素、アンモニア、エタノール等が用いられる。主に二酸化炭素は、臨界圧力Pcが7.4MPa、臨界温度Tcが約31℃であり、比較的簡単に超臨界状態が得られること、及び無毒であることから、多く用いられている。
【0014】
すなわち、超臨界流体は高圧処理部を構成し用いることで、様々な洗浄・乾燥工程等に利用することが可能である。よって、従来の処理部と組み合わせて基板処理装置を構成することが考えられる。
【0015】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特開2001−7065号公報で開示された基板処理装置を用いて、超臨界流体を用いた高圧処理部を組み合わせた場合、次のような問題があった。すなわち、従来の基板処理装置では、夫々の処理部を、それぞれ別の平面上の位置に設けなければならなかったが、高圧処理部は高圧チャンバを構成する上でチャンバ自体が大きくなり、基板処理装置の設置面積が一層、大きくならざる得なかった。
【0016】
また、それぞれの処理部の間の搬送時間が長いため、当該装置の処理能力が悪化していた。特に、高圧処理部ではチャンバ内で高圧状態を設定するのに操作時間が長いことが要因となり、基板処理装置全体のスループットを悪化させることが想定されていた。そのため、基板処理装置のスループットの向上を計るために、処理部の間の搬送時間を改善する余地があった。さらに、平面上に高圧処理部を含んで複数の処理部が配置されるため、高圧処理部への他の処理部からの雰囲気の影響を防止することが困難であった。
【0017】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、本発明の目的は、高圧処理部を含む処理部の間の搬送時間が短く省スペースの基板処理装置、及びスループットの向上を図った基板処理装置を提供することである。
【0018】
【課題を解決するための手段および発明の効果】
上記目的を達成するために、本発明は、以下に述べるような特徴を有している。
第1の発明は、基板に湿式処理と高圧流体を用いた高圧処理とを行う基板処理装置であって、
基板に湿式処理を行う湿式処理部と、
湿式処理部の直上に配置され、かつ基板に高圧処理を行う高圧処理部と、
湿式処理部から高圧処理部へ基板を移送する移送部とを備え、
湿式処理部は、その内部で湿式処理を行う第1のチャンバ部を含み、
高圧処理部は、その内部で高圧処理を行う第2のチャンバ部を含み、
移送部は、第1のチャンバ部と第2のチャンバ部との間に配置され、その上部に湿式処理後の基板を固定することにより基板を第2のチャンバの内部に導き、かつ高圧処理時には第2のチャンバ部と接合することにより高圧処理中の高圧流体の圧力を第2のチャンバの内部に保持する可動チャンバ部を含み、
可動チャンバ部は、その上部に固定された基板を回転させるモータ部を含み、
湿式処理の際、移送部が基板と可動チャンバ部とを第1のチャンバ部の内部に搬送して、モータ部が基板を回転させ、
高圧処理の際、移送部が湿式処理後の基板を湿式処理部から高圧処理部へ搬送して、モータ部が基板を回転させる。
【0019】
第1の発明によれば、従来の湿式処理と高圧処理とを組合わせた一連の処理工程を行うことができ、湿式処理部と高圧処理部とを上下に配置することにより、基板処理装置の省スペース化が実現できる。また、上部に高圧処理部を配置することで、湿式処理部からの雰囲気の影響を防止できる。また、可動チャンバで基板が第2のチャンバ部の内部に移送され、第2のチャンバ部が形成されるので、基板の処理部間の移送が短時間で達成される。また、湿式処理部から高圧流体処理部への基板移送は、移送部における可動チャンバの上昇動作で行われるため、搬送距離および時間が短縮され、基板処理装置の処理能力を向上できる。
【0024】
第2の発明は、第1の発明に従属する発明であって、移送部へ基板を搬入および移送部から基板を搬出する基板搬送機構とをさらに備え、基板搬送機構を中心に、湿式処理部と高圧処理部と移送部とが放射状に複数組配置されることを特徴とする。
【0025】
第3の発明は、第1の発明に従属する発明であって、移送部に基板を搬入および移送部から基板を搬出し、かつ往復直線移動する基板搬送機構とをさらに備え、基板搬送機構の往復直線移動の方向と平行に、湿式処理部と高圧処理部と移送部とが直線上に複数組配置されることを特徴とする。
【0026】
第2および第3の発明によれば、複数の湿式・高圧処理部に対して1つの基板搬送機構を備え構成されているため、処理効率の高いコンパクトな基板処理装置が提供される。
【0027】
【発明の実施の形態】
(第1の実施形態)
以下では、この発明の実施の形態を、添付図面を参照して詳細に説明する。
図1は本発明の第1の実施形態に係る基板処理装置における全体構成を示す簡素化した平面図である。以下、図1を参照して、当該基板処理装置の説明をする。なお、方向は、図1に示すX、Y、Z方向を用いて説明する。
【0028】
図1において、当該基板処理装置1は、カセット2、インデクサロボット3、搬送機構5、洗浄・乾燥処理部7、隔壁8および制御部9を備えている。カセット2は、被処理体としてウェハWを複数枚収納することができ、ここでは、4つのカセット2a〜dがY方向の直線上に配列されている。また、インデクサロボット3は、カセット2の配列方向に沿って往復直線移動するようになっており、任意のカセット2にアクセス可能なハンド4aおよび4bが設けられている。なお、ハンド4aは、洗浄・乾燥処理前のウェハWをカセット2から取り出すために用いられ、ハンド4bは、洗浄・乾燥処理が終了した清浄なウェハWをカセット2に収納するために用いられる。
【0029】
搬送機構5は、点mを回転中心として回転運動とZ方向への伸縮運動とが可能であり、インデクサロボット3と位置PaでウェハWを受け渡し、洗浄・乾燥処理部7との間でウェハWの搬入・搬出を行うアーム6aおよび6bが設けられている。なお、アーム6aは、洗浄・乾燥処理前のウェハWをインデクサロボット3から位置Paで受け取り、洗浄・乾燥処理部7に搬入するために用いられ、アーム6bは、洗浄・乾燥処理が終了した清浄なウェハWを洗浄・乾燥処理部7から搬出し、インデクサロボット3に位置Paで受け渡すために用いられる。この搬送機構5が、本発明の基板搬送機構に相当する。
【0030】
洗浄・乾燥処理部7は、ウェハWに対してウェット処理と超臨界流体(Super Critical Fluid:以下、SCFとする)処理とを組み合わせた処理を行う処理部であり、Z方向の上下段にそれぞれ分割されている(詳細は、後述する)。当該基板処理装置1には、この洗浄・乾燥処理部7a〜dとして4ヵ所設けられている。
【0031】
なお、洗浄・乾燥処理部7a〜dと搬送機構5との間には、それぞれの雰囲気が混合することを防止するために隔壁8が設けられている。この隔壁8は、搬送機構5を介してウェハWが洗浄・乾燥処理部7から搬出あるいは洗浄・乾燥処理部7に搬入されるときに開閉するシャッタ(図示しない)を備えている。
【0032】
次に、基板処理装置1の動作について説明する、なお、図2は、当該基板処理装置1の動作を示すフローチャートである。以下、図2を参照して、当該基板処理装置1の動作について説明する。
【0033】
基板処理装置1の動作は、それぞれの構成部の動作の連携を容易にするために、制御部9で自動的に制御されている。図2において、まず、インデクサロボット3はハンド4aを用いてカセット2にアクセスし、カセット2からウェハWを取り出す(ステップS101)。
【0034】
次に、インデクサロボット3は、ハンド4aでウェハWを保持しながら、ウェハWを位置Paまで移動させる(ステップS102)。そして、搬送機構5は、搬送機構5の回転および伸縮運動とアーム6aの回転運動を用いて、位置PaにあるウェハWをアーム6aを用いて搬送する(ステップS103)。搬送機構5は、アーム6aを用いて、処理を行っていない洗浄・乾燥処理部7へウェハWを搬送し、洗浄・乾燥処理部7にウェハWを搬入する(ステップS104)。
【0035】
ウェハWが搬入された洗浄・乾燥処理部7は、ウェハWに対して洗浄・乾燥処理を行い(ステップS105)、洗浄・乾燥処理終了後、ウェハWがアーム6bによって搬出される(ステップS106)。搬送機構5は、アーム6bを用いてウェハWを位置Paに移動させ(ステップS107)、インデクサロボット3のハンド4bにウェハWを受け渡す。インデクサロボット3は、搬送機構5から受け渡されたウェハWを、ハンド4bを用いてカセット2に収納する(ステップS108)。
【0036】
次に、前述した洗浄・乾燥処理部7の構造について説明する。図3は、当該基板処理装置に係る洗浄・乾燥処理部7の構成を示す簡素化した側断面図である。なお、図3(a)は洗浄・乾燥処理部7でウェハWがウェット処理される状態を示し、図3(b)は洗浄・乾燥処理部7でウェハWがSCF処理される状態を示している。また、それぞれの図は、説明を簡単にするために、ウェハWの搬送に関連する構成を示し、他の構成については省略して示している。以下、図3を参照して、洗浄・乾燥処理部7の構造について説明する。
【0037】
図3(a)において、洗浄・乾燥処理部7は、ウェット処理チャンバ10とSCF処理チャンバ20とエレベータ30とを備えている。ウェット処理チャンバ10には、チャンバ11、可動カバー12、モータ部13、ウェハ保持部14、テフロンベローズ15およびカバー16が設けられている。SCF処理チャンバ20には、チャンバ21、カバーロック22およびOリング23が設けられている。
【0038】
まず、ウェット処理チャンバ10について説明する。可動カバー12は、エレベータ30の支柱部に固定されており、エレベータ30によって図示Z方向に可動するようになっている。この可動カバー12には、その内部にウェハ保持部14を回転させるモータ部13が固定されている。また、可動カバー12の下部とチャンバ11の内部との間に、Z方向に伸縮可能なテフロンベローズ15が取り付けられている。このテフロンベローズ15は、可動カバー12の下部とチャンバ11の内部との間をシールし、ウェット処理チャンバ10の内部の薬液や雰囲気がエレベータ30に洩れないように用いられている。また、カバー16は、開閉可能であり、ウェット処理中にチャンバ11の上部を塞ぐように配置され、エレベータ30が上昇時には開くように動作する。
【0039】
なお、ウェット処理チャンバ10には、既に公知の図示しない薬液供給部、薬液排出部、ダウンフロー吸気部、およびダウンフロー排気部等が備えられている。薬液供給部からウェット処理チャンバ10に供給する薬液を変更することにより、ウェット処理チャンバ10では、フッ酸(HF)エッチング処理等の薬液洗浄、レジスト剥離処理、純水リンス処理、イソプロピルアルコール(IPA)リンス処理および乾燥処理等のウェット処理が可能である。また、ウェット処理チャンバ10から外部へのチャンバ内部雰囲気の拡散を防ぐために、チャンバ11の上部から清浄なエアーをダウンフロー吸気部から流動させ、ダウンフロー排気部から流動された上記エアーを排気している。
【0040】
次に、SCF処理チャンバ20について説明する。図3(b)において、チャンバ21は、側壁下部が可動カバー12の上面外周部と同じ形状で形成されており、前述したように可動カバー12がエレベータ30の上昇動作によりZ方向に移動したとき、可動カバー12とチャンバ21の上記側壁下部とがOリング23を介して接合するように配置されている。また、可動カバー12は、チャンバ21と接合後、カバーロック22でZ方向にSCF処理チャンバ20内部の圧力上昇によって動かないようにロックされる。このようにして、SCF処理チャンバ20の内部には、SCFの流動に必要な圧力が保持される。なお、テフロンベローズ15は、可動カバー12の上昇時も、その伸縮性によって可動カバー12の下部とチャンバ11の内部との間をシールした状態と保持している。
【0041】
なお、SCF処理チャンバ20には、図示しないSCF供給部およびSCF排出部等が備えられている。SCF供給部からSCF処理チャンバ20に供給する超臨界状態の流体やその超臨界流体に混合される助剤を変更することにより、SCF処理チャンバ20では、レジスト剥離処理、SCFリンス処理およびSCF乾燥処理等のSCF処理が可能である。また、SCF処理チャンバ20の外部全体には、下部に配置されているウェット処理チャンバ10からの雰囲気がSCF処理チャンバ20へ影響することを低減するために、上部から下部に向かって、ダウンフローが常に流されている。
【0042】
以上の構成で、ウェット処理チャンバ10が本発明の湿式処理部に、チャンバ11が第1のチャンバ部に相当する。また、SCF処理チャンバ11が本発明の高圧処理部に、チャンバ21が第2のチャンバ部に相当する。そして、 SCF処理チャンバ11に供給される超臨界状態の流体が本発明の高圧流体に相当する。また、可動カバー12、エレベータ30が本発明の可動チャンバ部に相当し、さらに本発明の移送部を構成する。
【0043】
次に、洗浄・乾燥処理部7の動作について説明する。図4は、当該基板処理装置1における洗浄・乾燥処理部7の動作を示すフローチャートである。以下、図4を参照して、洗浄・乾燥処理部7の動作を説明する。
【0044】
洗浄・乾燥処理部7の動作は、それぞれの構成部の動作の連携を容易にするために、制御部9で自動的に制御されている。図4において、まず搬送機構5から洗浄・乾燥処理部7にウェハWが位置Pbで搬入され(ステップS201)、ウェハWがウェハ保持部14に固定される。その後、エレベータ30が下降し、ウェット処理チャンバ10の内部の予め設定されたウェット処理位置でエレベータ30が停止する(ステップS202)。
【0045】
次に、カバー16がチャンバ11の上部開口部を閉じ、ウェット処理チャンバ10が閉鎖される(ステップS203)。そして、ウェット処理チャンバ10の内部で、予め設定されたウェット処理がウェハWに対して施される(ステップS204)。なお、必要に応じて、ウェハWに対しての洗浄能力を上げるために、モータ部13によってウェハ保持部14を回転させることによりウェハWを回転させたり、ウェハWに対して乾燥処理を行うために、モータ部13によってウェハ保持部14を高速回転させることによりウェハWを高速回転させたりしてもよい。
【0046】
ステップS204でウェット処理が終了した後、カバー16がチャンバ11の上部から移動し、ウェット処理チャンバ10の上部が開放される(ステップS205)。その後、エレベータ30が上昇することにより、可動カバー12がチャンバ21とOリング23を介して接合し、SCF処理位置で停止する(ステップS206)。すなわち、ウェハWがウェット処理チャンバ10からSCF処理チャンバ20へ移送されることとなる。
【0047】
次に、カバーロック22によってZ方向にSCF処理チャンバ20内部の圧力上昇によって動かないように、チャンバ21と可動カバー12との接合がロックされる(ステップS207)。そして、所定の超臨界流体が供給されSCF処理チャンバ20の内部で、予め設定されたSCF処理がウェハWに対して施される(ステップS208)。なお、必要に応じて、ウェハWに対しての処理能力を上げるために、モータ部13によってウェハ保持部14を回転させることによりウェハWを回転させてもかまわない。
【0048】
ステップS208でSCF処理が終了した後、カバーロック22のロックが解除され(ステップS209)、エレベータ30が下降し位置Pbで停止する(ステップS210)。その後、位置Pbで洗浄・乾燥処理が終了したウェハWが搬送機構5によって搬出される(ステップS211)。
【0049】
このように、第1の実施形態に係る基板処理装置では、湿式処理と高圧処理とを組み合わせた複数の基板処理を行うことができ、ウェット処理チャンバ10とSCF処理チャンバ20とを上下に配置することにより基板処理装置1の同一ポジションに配置できるため、基板処理装置1の省スペース化が実現できる。また、ウェット処理チャンバ10からSCF処理チャンバ20への基板の移送は、エレベータ30の上昇動作で行われるため、搬送距離および時間が短縮され、基板処理装置の処理能力を向上できる。さらに、ウェット処理チャンバ10からSCF処理チャンバ20への搬送時間が処理性能に影響を与える処理に対しては、さらに処理効果が期待できる。
【0050】
また、4つの洗浄・乾燥処理部7に対して1つの搬送機構5を備えているため、ウェハ処理枚数に対する搬送機構設置数の割合が減少し、コンパクトな基板処理装置が提供できる。さらに、4つのSCF処理チャンバ20は、ウェット処理チャンバ10の上部に配置されているため、ダウンフローを4つのSCF処理チャンバ20の外部に流動させることにより、容易にウェット処理チャンバ10の雰囲気混入を防止することができる。
【0051】
(第2の実施形態)
本発明の第2の実施形態に係る基板処理装置について説明する。なお、当該基板処理装置は、第1の実施形態に対して洗浄・乾燥処理部7の構造が相違する。したがって、当該基板処理装置における全体構成および基板処理装置全体の動作は、前述した第1の実施形態に係る基板処理装置と同様であるので、詳細な説明を省略する。
【0052】
当該基板処理装置における洗浄・乾燥処理部7の構造について説明する。図5は、当該基板処理装置に係る洗浄・乾燥処理部7の構成を示す簡素化した側断面図である。なお、図5(a)は洗浄・乾燥処理部7でウェハWがウェット処理される状態を示し、図5(b)は洗浄・乾燥処理部7でウェハWがSCF処理される状態を示している。また、それぞれの図は、説明を簡単にするために、ウェハWの搬送に関連する構成を示し、他の構成については省略して示している。以下、図5を参照して、洗浄・乾燥処理部7の構造について説明する。
【0053】
図5(a)において、洗浄・乾燥処理部7は、ウェット処理チャンバ40とSCF処理チャンバ50とエレベータ60aおよび60bとを備えている。ウェット処理チャンバ40には、チャンバ41、モータ部42、ウェハ保持部43、テフロンベローズ44およびカバー45が設けられている。SCF処理チャンバ50には、チャンバ51、可動カバー52、ウェハ保持部53、カバーロック54およびOリング55が設けられている。
【0054】
まず、ウェット処理チャンバ40について説明する。モータ部42は、エレベータ60aの支柱部に固定されており、ウェハ保持部14を回転させる。また、モータ部42は、エレベータ60aによって図示Z方向に可動するようになっている。そして、モータ部42の下部とチャンバ41の内部との間に、Z方向に伸縮可能なテフロンベローズ44が取り付けられている。このテフロンベローズ44は、モータ部42の下部とチャンバ41の内部との間をシールし、ウェット処理チャンバ40の内部の薬液や雰囲気がエレベータ60aに洩れないように用いられている。
【0055】
また、カバー45は、開閉可能であり、ウェット処理中にチャンバ41の上部を塞ぐように配置され、エレベータ60aが上昇時には開くように動作する。なお、テフロンベローズ44は、エレベータ60aの上昇時も、その伸縮性によってモータ部42の下部とチャンバ41の内部との間をシールした状態を保持している。
【0056】
なお、ウェット処理チャンバ40には、既に公知の図示しない薬液供給部、薬液排出部、ダウンフロー吸気部、およびダウンフロー排気部等が備えられている。薬液供給部からウェット処理チャンバ40に供給する薬液を変更することにより、ウェット処理チャンバ40では、フッ酸(HF)エッチング処理等の薬液洗浄、レジスト剥離処理、純水リンス処理、イソプロピルアルコール(IPA)リンス処理および乾燥処理等のウェット処理が可能である。また、ウェット処理チャンバ40から外部へのチャンバ内部雰囲気の拡散を防ぐために、チャンバ41の上部から清浄なエアーをダウンフロー吸気部から流動させ、ダウンフロー排気部から流動された上記エアーを排気している。
【0057】
次に、SCF処理チャンバ50について説明する。図5(b)において、チャンバ51は、側壁下部が可動カバー52の上面外周部と同じ形状で形成されており、可動カバー52がエレベータ60bの上昇動作によりZ方向に移動したとき、可動カバー52とチャンバ51の上記側壁下部とがOリング55を介して接合するように配置されている。
【0058】
また、可動カバー52は、チャンバ51と接合後、カバーロック54でZ方向にSCF処理チャンバ50内部の圧力上昇によって動かないようにロックされる。このようにして、SCF処理チャンバ50の内部には、SCFの流動に必要な圧力が保持される。
【0059】
なお、SCF処理チャンバ50には、図示しないSCF供給部およびSCF排出部等が備えられている。SCF供給部からSCF処理チャンバ50に供給する超臨界流体やその超臨界流体に混合される助剤を変更することにより、SCF処理チャンバ50では、レジスト剥離処理、SCFリンス処理およびSCF乾燥処理等のSCF処理が可能である。また、SCF処理チャンバ50の外部全体には、下部に配置されているウェット処理チャンバ40からの雰囲気がSCF処理チャンバ50へ影響することを低減するために、上部から下部に向かって、ダウンフローが常に流されている。
【0060】
以上の構成で、可動カバー52、エレベータ60bが本発明の可動チャンバ部に相当し、さらに搬送機構5が本発明の移送部の基板搬送部に相当し、ウェハ保持部43からウェハ保持部53へのウェハWの移送、即ち、第1のチャンバ部から可動チャンバ部への基板の搬送を兼用する。
【0061】
次に、洗浄・乾燥処理部7の動作について説明する。図6は、当該基板処理装置1における洗浄・乾燥処理部7の動作を示すフローチャートである。以下、図6を参照して、洗浄・乾燥処理部7の動作を説明する。
【0062】
洗浄・乾燥処理部7の動作は、それぞれの構成部の動作の連携を容易にするために、制御部9で自動的に制御されている。図6において、まず搬送機構5から洗浄・乾燥処理部7にウェハWが位置Pbで搬入され(ステップS301)、ウェハWがウェハ保持部43に固定される。その後、ウェット処理側のエレベータ60aが下降し、ウェット処理チャンバ40の内部の予め設定されたウェット処理位置でウェット処理側のエレベータ60aが停止する(ステップS302)。
【0063】
次に、カバー45がチャンバ41の上部開口部を閉じ、ウェット処理チャンバ40が閉鎖される(ステップS303)。そして、ウェット処理チャンバ40の内部で、予め設定されたウェット処理がウェハWに対して施される(ステップS304)。なお、必要に応じて、ウェハWに対しての洗浄能力を上げるために、モータ部42によってウェハ保持部43を回転させることによりウェハWを回転させたり、ウェハWに対して乾燥処理を行うために、モータ部42によってウェハ保持部43を高速回転させることによりウェハWを高速回転させたりしてもよい。
【0064】
ステップS304でウェット処理が終了した後、カバー45がチャンバ41の上部から移動し、ウェット処理チャンバ40の上部が開放される(ステップS305)。その後、ウェット処理側のエレベータ60aが上昇し、位置Pbで停止する(ステップS306)。
【0065】
次に、搬送機構5は、位置PbにあるウェハWを取り出し、位置Pcに搬送した後、ウェハ保持部53にウェハWを固定する(ステップS307)。そして、SCF処理側エレベータ60bが上昇することにより、可動カバー52がチャンバ51とOリング55を介して接合し、SCF処理位置で停止する(ステップS308)。
【0066】
次に、カバーロック54によってZ方向にSCF処理チャンバ50内部の圧力上昇によって動かないように、チャンバ51と可動カバー52との接合がロックされる(ステップS309)。そして、SCF処理チャンバ50の内部で、予め設定されたSCF処理がウェハWに対して施される(ステップS310)。
【0067】
ステップS310でSCF処理が終了した後、カバーロック54のロックが解除され(ステップS311)、SCF処理側エレベータ60bが下降し位置Pcで停止する(ステップS312)。その後、位置Pcで洗浄・乾燥処理が終了したウェハWが搬送機構5によって搬出される(ステップS313)。
【0068】
このように、第2の実施形態に係る基板処理装置では、湿式処理と高圧処理とを組み合わせた一連の複数の処理を行うことができ、ウェット処理チャンバ40とSCF処理チャンバ50とを上下に配置することにより基板処理装置1の同一ポジションに配置できるため、基板処理装置1の省スペース化を実現できる。また、当該基板処理装置では、ウェット処理チャンバ40からSCF処理チャンバ50へ直接移動する構成部はなく、被洗浄体であるウェハWのみが搬送され、ウェット処理による残留液体、雰囲気等をSCF処理チャンバ50に特に持ち込まれないため、さらに処理効果の高いSCF処理を行うことができる。
【0069】
さらにこの構成ではSCF処理中に次のウェハをウェット処理可能であり、スループットを向上できる。また、4つの洗浄・乾燥処理部7に対して1つの搬送機構5を備えているため、ウェハ処理枚数に対する搬送機構設置数の割合が減少し、結果的にコンパクトな基板処理装置が提供できる。さらに、4つのSCF処理チャンバ50は、ウェット処理チャンバ40の上部に配置されているため、ダウンフローを4つのSCF処理チャンバ50の外部に流動させることにより、容易にウェット処理チャンバ40の雰囲気混入を防止することができる。
【0070】
(第3の実施形態)
前述した第1および第2の実施形態に係る基板処理装置では、搬送機構5を中心として洗浄・乾燥処理部7が放射状に配置されているが、洗浄・乾燥処理部7は、放射状に配置しなくてもかまわない。ここでは、第3の実施形態として、洗浄・乾燥処理部7を直線上に配列した基板処理装置について説明する。なお、図7は、洗浄・乾燥処理部7を直線上に配列した基板処理装置1における全体構成を示す簡素化した平面図である。以下、図7を参照して、当該基板処理装置の説明をする。なお、方向は、図7にX、Y、Z方向を用いて説明する。
【0071】
図7において、当該基板処理装置1は、洗浄・乾燥処理部7をX方向に直線上に配列されている。また、搬送機構5は、さらに。洗浄・乾燥処理部7の配列方向に沿って往復直線移動し、搬送機構5のレイアウトに合わせてインデクサロボット3とのウェハWの受け渡し位置Paと隔壁8の位置が変更されている。それら以外は、第1の実施形態における構成と同様であるので、同一の構成部には同一の参照符号と付加して、詳細な説明を省略する。
【0072】
次に、当該基板処理装置1の動作について説明する。当該基板処理装置1の動作についても、搬送機構5によるウェハWの搬送時に、搬送機構5の直線往復移動が付加される。それ以外は、第1の実施形態における動作と同様であるので、詳細な説明を省略する。
【0073】
当該基板処理装置1に用いられる洗浄・乾燥処理部7は、前述の第1あるいは第2の実施形態で用いられた洗浄・乾燥処理部7が用いられる。したがって、当該基板処理装置に用いられる洗浄・乾燥処理部7も、第1あるいは第2の実施形態と同様であるので、詳細な説明を省略する。
【0074】
このように、第3の実施形態に係る基板処理装置では、洗浄・乾燥処理部7を直線上に配列したレイアウトを実現できる。したがって、設置場所の環境に合わせた基板処理装置の形状を選択することができる。また、当該基板処理装置の他の効果は、第1あるいは第2の実施形態に係る洗浄・乾燥処理部7を配置することにより、それぞれの効果を得ることができることは、言うまでもない。
【0075】
なお、本発明は、上述した実施例および変形例に限定されるものではなく、以下のように他の形態でも実施することができる。
【0076】
(1)当該基板処理装置では、ウェハWを枚葉処理する方法を説明したが、ウェハWを同時に複数枚処理してもかまわない。ウェハ保持部43および53に、既に公知のウェハWを複数枚固定することが可能な基板ボートを設置し、上記基板ボートに複数枚のウェハWを搬入すれば、ウェット処理およびSCF処理は同時にウェハWを複数枚処理することができる。
【0077】
(2)また、SCF処理チャンバ50に供給される超臨界流体は、二酸化炭素、亜酸化窒素、アルコール、エタノール、水等の超臨界流体の状態へ変化できる物質が用いられる。
【0078】
(3)また、上記実施例において処理流体はのSCF処理チャンバに供給される所定の高圧状態とは1MPa以上であればよく、好ましくは、高密度、高溶解性、低粘度、高拡散性の性質が認められる流体である。よって亜臨界流体や高圧ガスを用いて実施できることは言うまでもない。
【0079】
亜臨界流体とは、一般的に臨界点手前の領域にある高圧状態の液体を言う。この領域の流体は、超臨界流体とは、区別される場合があるが、密度等の物理的性質は連続的に変化するため、物理的な境界は存在しなく、亜臨界流体として使用される場合もある。亜臨界あるいは広義には臨界点近傍の超臨界領域に存在するものは高密度液化ガスとも称する。また、高圧ガスとしてアンモニアによる高圧ガスを用いてもよい。
【0080】
さらに、SCF処理チャンバで洗浄処理を行なう場合は、5MPa以上に昇圧される処理流体を供給すれば好適に実施できる。そして、5〜30MPaで行うことが好ましく、より好ましくは7.1〜20MPa下でこれらの処理を行うことである。
【0081】
その他、特許請求の範囲に記載された技術的事項の範囲で種々の設計変更を施すことが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施形態に係る基板処理装置における全体構成を示す簡素化した平面図である。
【図2】本発明の第1の実施形態に係る基板処理装置の動作を示すフローチャートである。
【図3】本発明の第1の実施形態に係る基板処理装置に係る洗浄・乾燥処理部の構成を示す簡素化した側断面図である。
【図4】本発明の第1の実施形態に係る基板処理装置における洗浄・乾燥処理部の動作を示すフローチャートである。
【図5】本発明の第2の実施形態に係る基板処理装置に係る洗浄・乾燥処理部の構成を示す簡素化した側断面図である。
【図6】本発明の第2の実施形態に係る基板処理装置における洗浄・乾燥処理部の動作を示すフローチャートである。
【図7】本発明の第3の実施形態に係る基板処理装置における全体構成を示す簡素化した平面図である。
【図8】従来の基板処理装置の全体構成を示す簡素化した平面図である。
【符号の説明】
1…基板処理装置
2…カセット
3…インデクサロボット
4…ハンド
5…搬送機構
6…アーム
7…洗浄・乾燥処理部
8…隔壁
9…制御部
10、40…ウェット処理チャンバ
11、21、41、51…チャンバ
12、52…可動カバー
13、42…モータ部
14、43、53…ウェハ保持部
15、44…テフロンベローズ
16、45…カバー
20、50…SCF処理チャンバ
22、54…カバーロック
23、55…Oリング
30、60…エレベータ
W…ウェハ
Claims (3)
- 基板に湿式処理と高圧流体を用いた高圧処理とを行う基板処理装置であって、
基板に湿式処理を行う湿式処理部と、
前記湿式処理部の直上に配置され、かつ基板に高圧処理を行う高圧処理部と、
前記湿式処理部から前記高圧処理部へ基板を移送する移送部とを備え、
前記湿式処理部は、その内部で前記湿式処理を行う第1のチャンバ部を含み、
前記高圧処理部は、その内部で前記高圧処理を行う第2のチャンバ部を含み、
前記移送部は、前記第1のチャンバ部と第2のチャンバ部との間に配置され、その上部に前記湿式処理後の基板を固定することにより基板を前記第2のチャンバの内部に導き、かつ前記高圧処理時には前記第2のチャンバ部と接合することにより前記高圧処理中の高圧流体の圧力を前記第2のチャンバの内部に保持する可動チャンバ部を含み、
前記可動チャンバ部は、その上部に固定された基板を回転させるモータ部を含み、
前記湿式処理の際、前記移送部が基板と前記可動チャンバ部とを前記第1のチャンバ部の内部に搬送して、前記モータ部が基板を回転させ、
前記高圧処理の際、前記移送部が前記湿式処理後の基板を前記湿式処理部から前記高圧処理部へ搬送して、前記モータ部が基板を回転させる、基板処理装置。 - 前記移送部へ基板を搬入および前記移送部から基板を搬出する基板搬送機構とをさらに備え、前記基板搬送機構を中心に、前記湿式処理部と前記高圧処理部と前記移送部とが放射状に複数組配置されることを特徴とする、請求項1に記載の基板処理装置。
- 前記移送部に基板を搬入および前記移送部から基板を搬出し、かつ往復直線移動する基板搬送機構とをさらに備え、前記基板搬送機構の前記往復直線移動の方向と平行に、前記湿式処理部と前記高圧処理部と前記移送部とが直線上に複数組配置されることを特徴とする、請求項1に記載の基板処理装置。
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