JP4194809B2 - マイクロレンズアレイの成形装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、ガラス素子を加熱し、圧縮して複数のレンズ素子を成形するマイクロレンズアレイの成形装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
光ファイバ通信に主として用いられるマイクロレンズアレイは、レンズ素子の直径が250μm、レンズ素子間の間隔も250μmのものが一般的に用いられ、これらは圧縮成形によって作成されている。このような、マイクロレンズアレイの成形については、図6及び図7に示すような方法と装置とが知られている(特開2001−48554号)。これは、上金型100と下金型101とを対向配置し、下金型101に中心ネスト102(凹部)を形成し、この中心ネスト102の左右にはマイクロレンズキャビティ103を複数形成し、中心ネスト102にガラス素子200をセットし、上下金型100,101を閉じてガラス素子200を加熱し、圧縮するものである。ガラス素子200が圧縮されると、図7に示すようにキャビティ103へ流れ込み、中心ネスト102とキャビティ103にレンズ素子が成形される。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
上述した従来例では、上下金型100,101を加熱した後に、上下金型100,101を閉じてガラス素子200を加圧するが、加圧されたガラス素子200は外側へ向かって放射状に流れ、キャビティ103へ流れ込むときにキャビティ103内の空気が排出され、レンズ素子が転写される。中心ネスト102とその近くのキャビティ103における転写性は良いが、中心ネスト102から遠ざかるに従って転写性が悪くなり、最外側のキャビティ103ではレンズの転写が最も悪くなってしまっていた。
【0004】
そこで、この発明は、マイクロレンズアレイの複数のレンズ素子の全ての転写性を向上させ、特に端に位置するレンズ素子の転写性を向上させたマイクロレンズアレイの成形装置を提供することを目的とするものである。
【0005】
この発明は、このような目的を達成するため、マイクロレンズアレイの外周部を規制した状態でプレス成形するようにしたものである。レンズ単体としては、特開2000−1322号公報にあるように、外周部を規制してプレス成形するものがすでに知られている。しかし、これは1つのレンズを成形する時のものであって、中心部の転写性、外周部の転写性全てを合わせて1つのレンズの光学的性能が決定されている。すなわち、外周部の転写性のみでこの1つのレンズの光学的性能が決定されているわけではない。言い換えれば、レンズ使用状況にもよるが、多少外周部の転写性が悪くてもレンズ全体として光学的性能が出ていれば問題はなく、現にこの公報に記載されている外周部を規制する目的も外周部の転写性を上げる為ではなく、芯取り工程を無くすためである。
これに対してこの発明は、1つ1つの光学的性能を有する複数のレンズを有するマイクロレンズアレイを成形する時に、中心部に配置されたレンズと外周部に配置されたレンズとが同じ光学的性能を有しなければならないという条件をクリアする目的で外周部を規制するようにしたものである。すなわち、この発明はただ単にレンズ単体の外周部を規制して成形するものとは相違するということを追記する。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上述の目的を達成するため、この発明は、第1及び第2の対向して配置されるコア間でガラス素子を加熱し圧縮してマイクロレンズアレイを成形する装置において、第1及び第2のコアの少なくとも一方の圧縮成形面に複数の凸状又は凹状のレンズ素子を転写して成形するための凹部又は凸部を形成し、孔が形成された中板を第1及び第2のコアの間に設け、第1及び第2のコアの少なくとも一方の圧縮成形面が形成された先端部分が他のコア部分に比べて縮径され、この縮径された先端部分が中板の孔内で昇降可能に配置してあり、この中板の孔内にガラス素子をセットして前記両コアの圧縮成形面を相対的に近接させる方向に移動させて、前記両コアの圧縮成形面と中板の孔の内周面とでガラス素子の全外周面を圧縮成形するものである。
【0007】
【発明の実施の形態】
以下に、この発明の好適な実施例を図面を参照にして説明する。
【0008】
図1では、第1及び第2の対向して配置されるコア1,2間で、加熱されたガラス素子3を圧縮してマイクロレンズアレイを成形する装置の断面を示している。この実施例において、少なくとも一方のコア、この実施例では第1コア1の圧縮成形面10に複数の凸状のレンズ素子を成形するための凹部10Aが形成されている。これら第1及び第2のコア1,2の各圧縮成形面10,11間にガラス素子3をセットするとき、第2コアの平坦に形成された圧縮成形面11に中心に孔4Aが形成された中板4を配置する。この中板4の孔4A内において若干の隙間が生ずるようにガラス素子3を孔4A内にセットする。また、第1コア1の先端部分1Aが中板4の孔4Aに嵌り込んで昇降するようになっている。
【0009】
図1に示すような状態で、第1コア1を中板4の孔4A内を下降させて第1及び第2コア1,2によりガラス素子3を圧縮する。圧縮する前にガラス素子3並びに第1及び第2コア1,2、中板4を加熱状態にしておく。また、ガラス素子3を加熱し圧縮する状態において、このキャビティ内は真空状態とする。図2に示すように第1コア1を下降させて第2コア2と協働してガラス素子3を圧縮すると、ガラス素子3は径方向に伸びようとするが、このとき中板4の孔4Aの内周面によりそれ以上外方へ延伸するのが阻止される。すなわち、第1及び第2のコア1,2の圧縮成形面10,11間でガラス素子3を圧縮するとともに、ガラス素子3の圧縮方向に直交する方向へのガラス素子3の逃げを阻止する、すなわち外径を規制する規制手段が中板4とその孔4Aである。
【0010】
ここで用いられるガラス素子3の融点は320℃前後のものを用い、所謂低融点ガラス素子3を用いた。そして、第1コア1を形成する材料としてはステンレス、第2コア2を形成する材料としては超硬材料、中板4を形成する材料も超硬材料とした。ガラス素子3の融点を320℃前後のものとしたとき、加熱温度は380℃とし、加圧力は最大限70kgf/cm2程度とした。
【0011】
上述のような方法並びに装置により成形されたマイクロレンズアレイ30は、図3に示すようなものである。このマイクロレンズアレイ30のレンズ素子31は、横一列に5つ並んでいる。本実施例では5つで説明するが、この数に限定されるものではない。また横一列ではなく、放射状、同心円状、もしくは複数列に配置しても良い。1つのレンズ素子31の直径は250μmであり、隣り合うレンズ素子31間の間隔も250μmである。さらに全体の円形の直径は3.8mmである。
【0012】
図4は中板4を示しその孔4Aの直径Rは3.8mmである。したがって、成形品の直径も3.8mmとなる。
【0013】
図3に示すマイクロレンズアレイ30は円形のものであるが、図4に示す中板4の孔4Aを矩形状に形成し、マイクロレンズアレイ30を矩形状のものとすることもできる。さらに、上述した実施例では、マイクロレンズアレイ30の一面側にのみレンズ素子31を複数形成したが、両面にレンズ素子31を形成するようにすることもできる。また、レンズ素子31を凸状に形成したが、凹状のレンズ素子31を形成することもできる。さらにまた、加熱し、圧縮する工程において、ガラス素子3の個所は真空状態としたが、必ずしも真空下で圧縮成形しなくても成形することはできる。また、第2コア2の圧縮成形面11上に置かれ、かつ中板4の孔4A内にセットされるガラス素子3の大きさは、その径方向において孔4Aよりも若干小さいものを用い、径方向に延伸できるようにしてある。例えば、ガラス素子3の直径は3.60mm〜3.75mm以下とし、孔4Aを3.8mmとしたとき、中心から遠く離れたレンズ素子も確実に転写が可能であった。
【0014】
ガラス素子3の外径を規制する手段、すなわち孔4Aを有する中板4と、第1及び第2のコア1,2の各圧縮成形面10,11間とにおいてレンズ素子31を圧縮成形したのち、窒素ガスを第1及び第2コア1,2及び中板4の周囲に充填し、成形品を冷却させ、その後第1コア1を上昇させ成形品を取出す。
【0015】
図5は、第1コア1の先端部分1Aを示し、この先端部分1Aの周面にはメッキ層1Bが形成してあり、このメッキ層1Bを削るなどの手段により凹部10Aを形成してある。この凹部10Aが転写面となり、ここに凸状のレンズ素子31が成形される。
【0016】
上述したように、従来技術においても、単一のレンズを成形するときには、その単体レンズの外径を規制する方法は知られているが、この発明のように、個々のレンズ素子31の大きさが極めて小さいため(直径270μm)、部分部分の僅かな転写不良が生ずると、レンズ素子31としての機能が損われるものである。これら径の小さなレンズ素子31の複数個を全てについて転写性を向上させるための手段として、外径規制を行うものである。
【0017】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明によれば、第1及び第2の対向して配置されるコア間でガラス素子を加熱し圧縮してマイクロレンズアレイを成形する装置において、第1及び第2のコアの少なくとも一方の圧縮成形面に複数の凸状又は凹状のレンズ素子を転写して成形するための凹部又は凸部を形成し、孔が形成された中板を第1及び第2のコアの間に設け、第1及び第2のコアの少なくとも一方の圧縮成形面が形成された先端部分が他のコア部分に比べて縮径され、この縮径された先端部分が中板の孔内で昇降可能に配置してあり、この中板の孔内にガラス素子をセットして前記両コアの圧縮成形面を相対的に近接させる方向に移動させて、前記両コアの圧縮成形面と中板の孔の内周面とでガラス素子の全外周面を圧縮成形するので、中心部分のレンズ素子のみが転写性が良く、中心から遠ざかるにしたがって転写性が悪くなるという従来の不都合が解消され、複数のレンズ素子の列を形成するときに列端のレンズ素子も転写性が良く、レンズ性能も向上する。特に、中板によりガラス素子の外径規制がなされるため、中心から遠ざかった個所においてもレンズ素子成形個所へのガラス素子のキャビティ内への充填不良がなくなる。また、装置そのものも簡易なものであり、設備費用も安価なものとなる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の装置の要部を示す断面図。
【図2】 図1の状態から第1コアを加工させガラス素子を圧縮した状態の断面図。
【図3】 成形品の平面図。
【図4】 中板の平面図。
【図5】 第1コアの先端部分の拡大断面図。
【図6】 従来例を示す断面図。
【図7】 従来例における圧縮時の断面図。
【符号の説明】
1 第1コア
1A 先端部分
2 第2コア
3 ガラス素子
4 中板
4A 孔
10,11 圧縮成形面
10A 凹部(凸部)
30 マイクロレンズアレイ
31 レンズ素子
Claims (2)
- 第1及び第2の対向して配置されるコア間でガラス素子を加熱し圧縮してマイクロレンズアレイを成形する装置において、
第1及び第2のコアの少なくとも一方の圧縮成形面に複数の凸状又は凹状のレンズ素子を転写して成形するための凹部又は凸部を形成し、
孔が形成された中板を第1及び第2のコアの間に設け、
第1及び第2のコアの少なくとも一方の圧縮成形面が形成された先端部分が他のコア部分に比べて縮径され、この縮径された先端部分が中板の孔内で昇降可能に配置してあり、
この中板の孔内にガラス素子をセットして前記両コアの圧縮成形面を相対的に近接させる方向に移動させて、前記両コアの圧縮成形面と中板の孔の内周面とでガラス素子の全外周面を圧縮成形することを特徴とするマイクロレンズアレイの成形装置。 - ガラス素子の圧縮成形時に真空状態とすることを特徴とする請求項1に記載のマイクロレンズアレイの成形装置。
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