JP4194294B2 - 直角移載装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば液晶用ガラス基板の製造等に使用される基板移載装置に関し、特に、直角に交差する2つの基板搬送ラインの交差部に、基板の方向転換のために配置される直角移載装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
液晶用ガラス基板の製造では、マスキング−エッチング−剥離を一組とする一連の処理が繰り返し実施される。エッチング、剥離等の各処理法の一つとして搬送式があり、効率等の点から多用されている。搬送式の基板処理では、基板を水平方向へ順番に搬送しながら、各基板に薬液処理、水洗処理等を順に施す。この処理方法の欠点の一つは、処理ラインが長くなることである。この欠点を解消するために、処理ラインは平面視でL字形或いはU字形に設計されるのが通例である。
【0003】
L字形或いはU字形の基板処理ラインでは、2つの搬送ラインが直角に交差する交差部が生じ、この交差部で基板の搬送方向を90度転換する必要がある。この交差部での方向転換に使用されるのが直角移載装置である。従来の方向転換用の直角移載装置を図4及び図5に示す。
【0004】
方向転換用の直角移載装置は、直角に交差する基板搬送ライン1,2の交差部に設置される。上流側に位置する基板搬送ライン1は、所定間隔で配列された多数の搬送ローラ1a・・・により構成されている。下流側に位置する基板搬送ライン2も、所定間隔で配列された多数の搬送ローラ2a・・・により構成されている。ラインの高さは、上流側の基板搬送ライン1より下流側の基板搬送ライン2が低く設定されている。
【0005】
直角移載装置は、基板搬送ライン1,2の交差部に配置された昇降式の移載テーブル3及び基板搬送機構4とを備えている。基板搬送機構4は、下流側に位置する下段の搬送ローラ2a・・に連続する複数の下ローラ4a・・により構成されている。移載テーブル3は、複数の下ローラ4a・・との干渉を避けるために下ローラ4a・・の下側に設けられた昇降ベース3aと、隣接する下ローラ4a,4aの間に位置して昇降ベース3aに取り付けられた複数の支持板3b・・・と、各支持板3bに取り付けられた、下ローラ4aに直角な複数の支持ローラ3c・・と、両端の支持板3b,3bに取り付けられた2つの対応する支持ローラ3c,3cに組み合わされた押さえローラ3dと、移載テーブル3の一端側に設けられた駆動部3eとを備えている。
【0006】
駆動部3eは、基板搬送機構4の一方の側に固定的に設置されており、移載テーブル3が上昇位置に停止した状態で、回転軸方向に進退駆動されることにより、片端の支持板3bに取り付けられた支持ローラ3cと結合・分離される。そして、結合状態でこの支持ローラ3cを駆動し、分離状態で移載テーブル3の昇降を許容する。駆動される支持ローラ3cは、動力伝達軸を兼ねる押さえローラ3dを介して反対側の対応する支持ロール3cと連結され、同期駆動される。
【0007】
基板を受け入れるとき、直角移載装置では、移載テーブル3が上昇位置に停止している。この状態で、移載テーブル3に装備された多数個の支持ローラ3c・・・は、基板搬送ライン1に連続するラインを構成する。駆動部3eは、片端の支持板3bに取り付けられた特定の支持ローラ3cと結合し、これを駆動する。これにより、基板は、基板搬送ライン1から移載テーブル3上に搬送される。移載テーブル3上では、基板は同期駆動される押さえローラ3dにより上方から自重で押さえられた状態で定位置まで前進する。
【0008】
移載テーブル3上の定位置に基板が受け入れられると、駆動部3eとの結合を絶つために、移載テーブル3が僅かに上昇し、駆動部3eが退避後、移載テーブル3が下降する。支持ローラ3c・・・による基板支持面が、基板搬送機構4の下ローラ4a・・による基板支持面より下方に位置するまで、移載テーブル30が下降することにより、基板は移載テーブル3上から基板搬送機構40の下ローラ4a・・上に移載され、下ローラ4a・・の駆動により下流側の基板搬送ライン2へ搬出される。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
このような従来の直角移載装置によると、基板搬送ライン1,2の直角交差部で基板の方向転換が行われる。しかし、基板搬送機構4の下ローラ4a・・との干渉を回避するために、昇降式の移載テーブル3は、剛性の高い枠体構造とすることができず、下ローラ4aの下方に配置された昇降ベース3aから上方へ長く延びた支持板3bの上端部に支持ローラ3c・・を片支持した構造を強いられる。この構造のため、移載テーブル3の厚みが大きくなり、これが大型化するだけでなく、支持ローラ3cの支持強度が低くなり、基板に対する位置決め精度が低下することにより、基板の脱線が生じ、これによる基板割れが問題になる。
【0010】
また、移載テーブル3を上昇位置から下降させるにあたり、駆動部3eとの連結を断つために、移載テーブル3を基板と共に僅かに上昇させる。このとき、基板は上に押さえローラ3dが載った状態で押し上げられるため、このときのストレスによる割れの危険もある。
【0011】
なお、両端の支持ローラ3c,3cに押さえローラ3dを組み合わせるのは基板のスリップを防止するためであり、押さえローラ3dを動力伝達軸にして対応する両端の支持ローラ3c,3cを同期駆動するのは、移載テーブル30上での基板の搬送方向が曲がるのを防止するためである。片端の支持ローラ3cを駆動するだけでは、基板は移載テーブル3上で旋回、斜行、蛇行等を生じる。
【0012】
本発明の目的は、方向転換のための移載操作において基板が割れるおそれのない直角移載装置を提供することにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の直角移載装置は、直角に交差し高さが異なる2つの基板搬送ラインの交差部に配置され、上昇位置で上段の搬送ラインに連続する搬送ラインを形成し、下降位置で基板支持レベルが下段の搬送ラインにおける基板支持レベルより下になる昇降式で枠構造の移載テーブルと、該移載テーブルと共に前記交差部に設けられ、下段の搬送ラインに連続する搬送ラインを形成すると共に前記移載テーブルの昇降により当該テーブルとの間で基板の授受が行われる複数の下ローラを有し、複数の下ローラが、枠構造の移載テーブルの下降を阻害しないようにライン両側に分離して配置されて基板の両エッジ部を支持すると共に、ライン外側へ延びる駆動用の軸体により片支持されて両側の下ローラ間から軸体が排除された基板搬送機構とを具備しており、前記基板搬送機構は更に、基板の中間部を支持するために前記移載テーブルと干渉しないように配置され、下ローラと同方向に回転するフリーローラからなる複数の補助ローラを有するものである。
【0014】
本発明の直角移載装置においては、下段の搬送ラインに連続する搬送ラインを形成し、移載テーブルとの間で基板を授受する基板搬送機構の下ローラが、移載テーブルの下降を阻害しないようにライン両側に分離して配置されて基板の両エッジ部を支持すると共に、ライン外側へ延びる駆動用の軸体により片支持されて両側の下ローラ間から軸体が排除されていることにより、移載テーブルが薄型化されると共に、強固な枠構造とされ、移載テーブルに設置される搬送ローラの支持強度が向上する。このため、移載テーブル上での基板の脱線が防止され、この脱線による基板割れが防止される。
【0015】
前記移載テーブルは、枠式の昇降フレームと、該昇降フレームの両側の側板間に掛け渡され、上段の搬送ラインにおける搬送ローラと同方向に配列された複数の搬送ローラとを有するものが、ローラ支持強度が高く、好ましい。
【0016】
ここにおける移載テーブルは、特定の搬送ローラと組み合わされるように昇降フレームの上方に固定的に設けられ、昇降フレームが上昇位置に停止した状態で前記特定の搬送ローラに上方から係合して該ローラを駆動する駆動式の押さえローラを有するものが、好ましい。これによると、移載テーブルの昇降のみによって搬送ローラが押さえローラと組み合わされ、駆動機構との係合に際して昇降フレームの押し上げを必要としない。このため、昇降フレームの押し上げに伴う基板割れも防止される。
【0017】
前記押さえローラは、上段の搬送ラインにおける搬送ローラを駆動する駆動源により駆動される構成が、駆動機構簡略化の点から好ましい。
【0018】
基板搬送機構における下ローラの駆動に関しては、一方の側の下ローラが、下段の基板搬送ラインにおける搬送ローラの駆動源により駆動されるように、当該下ローラにおける駆動用の軸体が該駆動源と連結され、他方の側の下ローラが前記搬送ローラを動力伝達軸として駆動されるように、当該下ローラにおける駆動用の軸体が前記搬送ローラと連結される構成が、駆動機構簡略化の点から好ましい。
【0019】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。図1は本発明の一実施形態を示す直角移載装置の平面図、図2は同直角移載装置の側面図、図3は同直角移載装置の正面図である。
【0020】
本実施形態の直角移載装置は、液晶用ガラス基板の製造プロセスにおけるエッチング、剥離等の各種薬液処理ラインの直角コーナー部に設置され、より具体的には、被処理材であるガラス基板(以下単に基板10という)の搬送ライン20,30が直角に交差する部分に設置される。
【0021】
上流側に位置する基板搬送ライン20は、所定間隔で配列された多数の搬送ローラ21,22により構成されている。搬送ローラ21は駆動ローラである。この駆動ローラは水平な支持軸21aと、基板10の両エッジ部を支持するために支持軸21aに取り付けられた両側一対の円板状の鍔付き支持部21b,21bと、鍔付き支持部21b,21bの間に位置して支持軸21aに取り付けられた複数の円板状の中間支持部21c・・・とを有しており、搬送ライン20の片側に平行に配置された駆動軸23によって支持軸21aが駆動されることにより同期回転する。一方、搬送ローラ22は非駆動の支持ローラであり、回転自在に支持された水平な支持軸22aに複数の円板状支持部22bを取り付けた構造になっている。
【0022】
駆動式の搬送ローラ21は、基板10を上下から挟むピンチローラを構成するために、所定個数に1個の割合で押さえローラと組み合わされる。
【0023】
下流側に位置する基板搬送ライン30は、上流側の基板搬送ライン20に対して直角に配置されており、所定間隔で配列された多数の搬送ローラ31などにより構成されている。駆動ローラである搬送ローラ31は、水平な支持軸31aと、基板10の両エッジ部を支持するために支持軸31aに取り付けられた両側一対の円板状の鍔付き支持部31b,31bと、鍔付き支持部31b,31bの間に位置して支持軸31aに取り付けられた複数の円板状の中間支持部31c・・・とを有しており、搬送ライン30の片側に平行に配置された駆動軸33によって支持軸31aが駆動されることにより同期回転する。
【0024】
下流側の基板搬送ライン30の高さは、上流側の基板搬送ライン20の高さより低く設定されている。
【0025】
直角移載装置は、基板搬送ライン20,30の直角交差部に配置された昇降式の移載テーブル40及び水平方向の基板搬送機構50を備えている。移載テーブル40は、上流側の搬送ライン20の下流側に、これに連続する搬送ラインを構成するものであり、角枠形式のフレーム41と、フレーム41の両側の側板間に掛け渡された搬送ローラ42,43と、搬送ローラ43に組み合わされる押さえローラ44と、フレーム41を支持してこれを昇降させる1組のシリンダー式昇降機構45,45とを具備している。
【0026】
搬送ローラ42は非駆動の基板支持ローラであり、上流側の搬送ライン20を構成する搬送ローラ21,22の下流側に複数本が所定の間隔で配置されている。各搬送ローラ42は、フレーム41の両側の側板及び中間板に回転自在に支持された水平な支持軸42aと、該支持軸42aに取り付けられた複数の円板状支持部42bとを有している。
【0027】
一方、搬送ローラ43は駆動ローラである。この駆動ローラはフレーム41の中間部に配置されており、前述した駆動式の搬送ローラ21と同様、水平な支持軸と、基板10の両エッジ部を支持するために支持軸に取り付けられた両側一対の円板状の鍔付き支持部と、両側の鍔付き支持部の間に位置して支持軸に取り付けられた複数の円板状の中間支持部とを有しており、後述する押さえローラ44と組み合わされてピンチロールを構成する。
【0028】
押さえローラ44は、搬送ローラ43の上方に平行に且つ固定的に設置されている。この押さえローラ44は、搬送ローラ43と同様に、水平な支持軸44aと、基板10の両側のエッジ部を支持するために支持軸44aに取り付けられた両側一対の円板状の鍔付き支持部44b,44bと、両側の鍔付き支持部44b,44bの間に位置して支持軸44aに取り付けられた複数の円板状の中間支持部44c・・・とを有しており、搬送ライン20の片側に平行に配置された搬送ローラ駆動用の駆動軸23を利用して支持軸41aが駆動されることにより回転する。押さえローラ44の回転方向は、押さえローラ44が上ローラであるため、下ローラである搬送ローラ21とは逆方向になる。
【0029】
押さえローラ44は又、その下に組み合わされる搬送ローラ43の動力伝達軸を兼ねており、フレーム41が定位置に上昇した状態で、下方の搬送ローラ43と歯車を介して係合することにより、搬送ローラ43を逆方向に回転駆動する。
【0030】
昇降機構45,45は、フレーム41を2点支持し、シリンダー方式又はボールネジ方式による駆動によりフレーム41を昇降させる。具体的には、上昇位置で搬送ローラ43,44による基板支持レベルが上流側の搬送ローラ21,22による基板支持レベルと同じとなり、下降位置で後述する基板搬送機構50による基板支持レベルより下側となるように、フレーム41を水平姿勢のまま昇降させる。また、フレーム41を搬送ライン20における基板搬送方向或いは搬送ライン30における基板搬送方向で傾斜させることができる。
【0031】
基板搬送機構50は、搬送ライン30の上流側に連続するラインを形成するものであり、そのライン形成のために、ラインの両側に分離配置された下ローラ51・・・及び52・・・を有している。下ローラ51・・・及び52・・・による基板支持レベルは、下流側の搬送ライン30を構成する搬送ローラ31による基板支持レベルと同じである。搬送ライン30を上流側へ延長する下ローラを両側に分離配置し、中間部から軸体を排除したことにより、前述した移載テーブル40のフレーム41は、両側の下ローラ51・・・と52・・・との間を昇降し得る。
【0032】
一方の側(搬送ライン20からみて先端側)に配置された下ローラ51・・・は、駆動側ローラであり、搬送ローラ31と同方向に所定間隔で配列されている。各下ローラ51は、搬送ローラ31を駆動する駆動軸33により駆動される水平な支持軸51aと、支持軸51aの先端部に片支持された円板状の鍔付き支持部51bとを有している。鍔付き支持部51bは、搬送ライン20から進入した基板10の先端側の縁部を支持し、搬送ライン30へ退出する基板10の一方の側縁部を支持する。
【0033】
他方の側(搬送ライン20からみて基板進行方向後方)に配置された下ローラ52・・・は、被駆動ローラであり、搬送ローラ31と同方向に所定間隔で配列されている。各下ローラ52は、回転自在に支持された水平な支持軸52aと、支持軸52aの先端部に片支持された円板状の鍔付き支持部52bとを有している。鍔付き支持部52bは、搬送ライン20から進入した基板10の後端側の縁部を支持し、搬送ライン30へ退出する基板10の他方の側縁部を支持する。そして、搬送ライン30における搬送ローラ31、ここでは最も上流側の(基板支持機構50に近い)搬送ローラ31を動力伝達軸として利用することにより、下ローラ52・・・と下ローラ51・・・が同期して搬送ローラ31と同方向に同期駆動される。
【0034】
この同期駆動のために、搬送ローラ31の支持軸31aと、下ローラ52・・・の各支持軸52aとは、歯車31c,歯車53・・・及び歯車52cを介して相互に連結されている。
【0035】
なお、基板搬送機構50は、下ローラ51・・・と下ローラ52・・・との間で基板10を補助的に支持するために、この間に移載テーブル40と干渉しないように配置された複数の補助ローラ54・・・を有している。補助ローラ54・・・は下ローラ51・・・及び52・・・と同方向に回転するフリーローラである。
【0036】
次に、本実施形態に係る直角移載装置の機能について説明する。
【0037】
搬送ライン20から直角移載装置へ基板10が搬送されるとき、直角移載装置では、移載テーブル40のフレーム41は上昇位置に停止している。これにより、搬送ローラ42,43は、搬送ライン20の下流側に連続するラインを形成する。また、搬送ローラ43は上の押さえローラ44と噛み合い、ピンチローラとして同期回転する。この状態で、基板10は搬送ライン20から移載テーブル40上へ搬送され、移載テーブル40上を定位置まで移動し停止する。押さえローラ44は自重で基板10に載るよう昇降自在に支持されている。
【0038】
移載テーブル40上の定位置へ基板10が載ると、移載テーブル40のフレーム41が下降位置まで下方へ移動する。これにより、移載テーブル40における基板支持レベルは、基板搬送機構50における基板支持レベルより下がる。結果、基板10は移載テーブル40上から基板搬送機構50に移載される。具体的には、基板搬送機構50の下ローラ51・・・と下ローラ52・・・とにより両側のエッジ部が支持される。また、複数の補助ローラ54・・・により中間部が支持される。そして、下ローラ51・・・及びローラ52・・・の駆動により、基板搬送機構50から搬送ライン30へ基板10が排出される。
【0039】
かくして、基板10は直角移載装置で搬送方向を90度転換し、搬送ライン20から搬送ライン30へスムーズに移動する。
【0040】
このうような直角移載装置によると、搬送ライン20,30の交差部に搬送ライン30に連続するラインを形成する下ローラが51・・,52・・としてラインの両側に分離して配置され、基板10の両側のエッジ部を支持する円板状の鍔付き支持部51b,52bの間から軸体が排除される。このため、昇降式の移載テーブル40と下ローラの干渉がなくなり、フレーム41が薄い枠体構造になる。このため、フレーム41に支持される搬送ローラ42,43が両側の側板間に掛け渡される通常の軸付きローラとなり、その支持強度が上がることにより、位置ずれによる基板10の脱線及びこれによる割れが防止される。
【0041】
また、移載テーブル40のフレーム41が上昇するだけで、搬送ローラ43が上方の押さえローラ44と連結され、またフレーム41が下降するだけでローラ44との連結が解除される。このため、連結を解除するためにフレーム41を基板10と共に上昇させる操作が不要になる。このため、連結解除時における基板10の割れも防止される。
【0042】
押さえローラ44は、移載テーブル40のフレーム41上に固定的に設けられ、搬送ライン20における搬送ローラ21を駆動する駆動軸23を利用して駆動されると共に、移載テーブル40における搬送ローラ43の駆動軸を兼ねる。このため、搬送ローラ43と押さえローラ44からなるピンチローラの駆動機構が簡素となる。また、そのピンチローラにより、フレーム41上での基板10の斜行、蛇行等が防止される。
【0043】
基板搬送機構50においては両側の下ローラ51・・と下ローラ52・・が分離配置しているにもかかわらず、同期的に強制駆動され、基板10の斜行、蛇行等が防止される。また、この駆動に搬送ライン30における搬送ローラ31の駆動軸33が駆動側の下ローラ51・・の駆動源として利用され、搬送ローラ31が被駆動側の下ローラ52・・に対する動力伝達軸として利用される。このため、基板搬送機構50における下ローラが両側に分離配置されているにもかかわらず、駆動機構が簡素である。
【0044】
【発明の効果】
以上に説明したとおり、本発明の直角移載装置は、下段の搬送ラインに連続する搬送ラインを形成し、移載テーブルとの間で基板を授受する基板搬送機構の下ローラを、移載テーブルの下降を阻害しないようにライン両側に分離して配置したことにより、移載テーブルを薄型化できると共に、強固な枠構造とでき、移載テーブルに設置される搬送ローラの支持強度を高めることができる。これにより、移載テーブル上での基板の脱線を防止でき、この脱線による基板割れを防止できる。
【0045】
また、移載テーブルにおいて、特定の搬送ローラと組み合わされるように昇降フレームの上方に駆動式の押さえローラを設け、昇降フレームが上昇位置に停止した状態で押さえローラに下方の搬送ローラを係合させて搬送ローラを駆動する構成を採用することにより、昇降フレームの押し上げに伴う基板割れも防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態を示す直角移載装置の平面図である。
【図2】同直角移載装置の側面図である。
【図3】同直角移載装置の正面図である。
【図4】従来の直角移載装置の平面図である。
【図5】図4中のA─A線矢示図である。
【符号の説明】
10 基板
20 上段の搬送ライン
21,22 搬送ローラ
23 駆動軸
30 下段の搬送ライン
31 搬送ローラ
33 駆動軸
40 移載テーブル
41 昇降フレーム
42,43 搬送ローラ
44 押さえローラ
45 昇降機構
50 基板搬送機構
51,52 下ローラ
53 歯車
Claims (5)
- 直角に交差し高さが異なる2つの基板搬送ラインの交差部に配置され、上昇位置で上段の搬送ラインに連続する搬送ラインを形成し、下降位置で基板支持レベルが下段の搬送ラインにおける基板支持レベルより下になる昇降式で枠構造の移載テーブルと、
該移載テーブルと共に前記交差部に設けられ、下段の搬送ラインに連続する搬送ラインを形成すると共に前記移載テーブルの昇降により当該テーブルとの間で基板の授受が行われる複数の下ローラを有し、複数の下ローラが、枠構造の移載テーブルの下降を阻害しないようにライン両側に分離して配置されて基板の両エッジ部を支持すると共に、ライン外側へ延びる駆動用の軸体により片支持されて両側の下ローラ間から軸体が排除された基板搬送機構とを具備しており、
前記基板搬送機構は更に、基板の中間部を支持するために前記移載テーブルと干渉しないように配置され、下ローラと同方向に回転するフリーローラからなる複数の補助ローラを有することを特徴とする直角移載装置。 - 前記移載テーブルは、枠式の昇降フレームと、該昇降フレームの両側の側板間に掛け渡され、上段の搬送ラインにおける搬送ローラと同方向に配列された複数の搬送ローラとを有する請求項1に記載の直角移載装置。
- 前記移載テーブルは、特定の搬送ローラと組み合わされるように昇降フレームの上方に固定的に設けられ、昇降フレームが上昇位置に停止した状態で前記特定の搬送ローラに上方から係合して該ローラを駆動する駆動式の押さえローラを有する請求項2に記載の直角移載装置。
- 前記押さえローラは、上段の搬送ラインにおける搬送ローラを駆動する駆動源により駆動される請求項3に記載の直角移載装置。
- 前記基板搬送機構における一方の側の下ローラが、下段の基板搬送ラインにおける搬送ローラの駆動源により駆動されるように、当該下ローラにおける駆動用の軸体が該駆動源と連結され、且つ、他方の側の下ローラが前記搬送ローラを動力伝達軸として駆動されるように、当該下ローラにおける駆動用の軸体が前記搬送ローラと連結された請求項1に記載の直角移載装置。
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