JP4187124B2 - フリンジスキャンを用いた干渉計装置 - Google Patents

フリンジスキャンを用いた干渉計装置 Download PDF

Info

Publication number
JP4187124B2
JP4187124B2 JP08342799A JP8342799A JP4187124B2 JP 4187124 B2 JP4187124 B2 JP 4187124B2 JP 08342799 A JP08342799 A JP 08342799A JP 8342799 A JP8342799 A JP 8342799A JP 4187124 B2 JP4187124 B2 JP 4187124B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
fringe
light
error
interference
scan
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP08342799A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2000275007A (ja
Inventor
伸明 植木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujinon Corp
Original Assignee
Fujinon Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujinon Corp filed Critical Fujinon Corp
Priority to JP08342799A priority Critical patent/JP4187124B2/ja
Publication of JP2000275007A publication Critical patent/JP2000275007A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4187124B2 publication Critical patent/JP4187124B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、フリンジスキャンを用いた干渉計装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来より、光学部材等の被検体の表面形状を測定する手段として干渉計装置が知られている。干渉計装置は、光源からの可干渉光を2分割し、一方の光線束を被検面に入射させてその反射光を物体光とするとともに他方の光線束を基準面に入射させてその反射光を参照光とし、これら物体光および参照光の光干渉により生じる干渉縞を測定するようになっているが、この干渉縞測定を正確に行うためフリンジスキャンを用いた干渉計装置も知られている。
【0003】
このような干渉計装置においては、物体光および参照光の光干渉により生じる干渉縞を干渉縞画像形成面に形成するとともに、基準面を可干渉光の光軸方向に移動させて基準面と被検面との相対距離を変化させるフリンジスキャンを行うことにより、干渉縞画像上の所定位置における干渉縞強度を測定し、その測定結果に基づき干渉縞解析を行うようになっており、これにより被検面の凹凸判定および正確な立体形状測定を行い得るようになっている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記干渉縞測定の際に振動や空気の揺らぎが生じていたり、あるいはフリンジスキャンに用いられる圧電素子にヒステリシスがあると、それが原因となってフリンジスキャンの際の位相変化量が必要とされる変化量と異なってしまい、干渉縞の解析結果に誤差が生じてしまうという問題がある。
【0005】
そこで、この解析処理がどの程度正確に行われているかを評価し、それがどの程度信頼性のおけるものであるかをオペレータが把握できればその後の対策もたて易くなる。
【0006】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、フリンジスキャンがどの程度正確に行われているかの指標となる情報を得ることができるフリンジスキャンを用いた干渉計装置を提供することを目的とするものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明のフリンジスキャンを用いた干渉計装置は、光源からの可干渉光を2分割し、一方の光線束を被検面に入射させてその反射光を物体光とするとともに他方の光線束を基準面に入射させてその反射光を参照光とし、これら物体光および参照光の光干渉により生じる干渉縞を干渉縞画像形成面に形成するとともに、前記基準面または前記被検面を前記可干渉光の光軸方向に移動させて該基準面と前記被検面との相対距離を変化させるフリンジスキャンを行うことにより前記干渉縞の測定を行うように構成された干渉計装置において、
前記フリンジスキャンにより前記基準面または前記被検面が所定のステップ量移動する毎に干渉縞画像データを取り込んで前記被検面の各点の干渉縞強度を測定し、この測定結果を用いて前記被検面の各点の位相、平均光強度およびモジュレーション量を算出し、この算出結果から前記フリンジスキャンの各ステップにおける前記被検面の各点の干渉縞強度を逆算的に計算し、この逆算的に計算された干渉縞強度と前記測定により得られた干渉縞強度との差を算出することにより各ステップにおける位相変化誤差を求めるように構成されてなることを特徴とするものである。
【0008】
また、前記位相変化誤差が所定の閾値を超えたか否かの判定を行うとともに、この判定結果を表示するように構成されていることが好ましい。
【0009】
また、前記位相変化誤差が所定の閾値を超えたとき、前記干渉縞の測定を自動的に再度行うように構成されていることが好ましい。
【0010】
さらに、前記位相変化誤差が前記所定の閾値を超えた場合における前記判定結果の表示が、前記位相変化誤差が均質的な誤差である場合にはスキャン誤差である旨の表示を行う一方、これ以外の誤差である場合には外乱誤差である旨の表示を行うように構成されていることが好ましい。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、図面を用いて、本発明の実施の形態について説明する。
【0012】
図1は、本発明の一実施形態に係るフリンジスキャンを用いた干渉計装置10を示す全体構成図である。
図示のように、この干渉計装置10は、フィゾー型の干渉計12と、被検体2を保持する被検体保持部材14と、コンピュータ16と、モニタ18とを備えてなっている。
【0013】
この干渉計12は、その干渉計本体20により図示しない光源からの可干渉光を基準板22の基準面22aに入射させ、該基準面22aにおいて透過光線束と反射光線束とに2分割し、透過光線束を被検体2の被検面2aに入射させてその反射光を物体光とするとともに基準面22aにおける反射光を参照光とし、これら物体光および参照光の光干渉により生じる干渉縞を図示しないCCDカメラに取り込むように構成されている。
【0014】
干渉計12は、フリンジスキャン解析機能を備えている。すなわち、基準板22は、PZT駆動回路24に接続された複数のピエゾ素子(圧電素子)26を介して基準板支持部材28に支持されている。そして、所定のタイミングでピエゾ素子26に所定電圧を印加して該ピエゾ素子26を駆動することにより基準板22を光軸Ax方向に振動させるとともに、この振動により変化する干渉縞の画像データを干渉計本体20からコンピュータ16に出力するようになっている。
【0015】
コンピュータ16は、入力された干渉縞の画像データに基づいてフリンジスキャニング法により干渉縞の自動解析を行い、被検面2aの形状測定(凹凸判定および立体形状測定)を行うとともに、干渉縞あるいは立体形状の画像データをモニタ18に表示するようになっている。上記フリンジスキャニング法は、基準面22aと被検面2aとの相対距離を変化させながら所定のフリンジスキャンステップ(例えばπ/2)毎に取り込んだ干渉縞画像データから被検面2aの各点における干渉縞強度を測定し、その測定結果を用いて各点の位相計算等の干渉縞解析を行う手法である。
【0016】
ところで、上記干渉縞測定の際に振動や空気の揺らぎが生じていたり、あるいはピエゾ素子26にヒステリシスがあると、それが原因となってフリンジスキャンの際の位相変化量が必要とされる変化量と異なってしまい、干渉縞の解析結果に誤差が生じてしまう。
【0017】
そこで、本実施形態に係る干渉計装置10においては、干渉縞測定時に得られる干渉縞画像データを利用して所定の解析を行い、フリンジスキャンがどの程度正確に行われているかの指標となる量を得るとともに、その結果に応じて所定の対応措置を講じるように構成されている。
【0018】
図2は、その具体例を示すフローチャートである。
まず、干渉縞測定を開始し(S1)、フリンジスキャンにより基準面22aが所定のステップ量移動する毎に干渉縞画像データを取り込み(S2)、被検面2aの各点の干渉縞強度を測定する(S3)。そして、この測定結果を後述する解析手法を用いて解析して位相変化誤差S(x,y)を算出する(S4)。
【0019】
次に、この算出された位相変化誤差S(x,y)が所定の閾値Soを超えたか否かの判定を行う(S5)。位相変化誤差S(x,y)が所定の閾値Soを超えていなければ、誤差なしあるいは微小誤差であるとしてモニタ18に「OK」を表示し、干渉縞測定を終了する(S6)。
【0020】
一方、位相変化誤差S(x,y)が所定の閾値Soを超えている場合には、その誤差の種類を判定する。すなわち、位相変化誤差S(x,y)が、干渉縞画像の全域にわたる均質的な誤差(単純傾斜誤差または単純等量誤差)であるか否かの判定を行う(S7)。
【0021】
位相変化誤差S(x,y)が均質的な誤差である場合には、その誤差は干渉計12のフリンジスキャン構造あるいはフリンジスキャンの仕方に発生原因があるものとしてモニタ18に「スキャン誤差」の表示を行う(S8)。一方、これ以外の部分的な誤差である場合には、その誤差は振動や擾乱(空気の揺らぎ)等の外乱に発生原因があるものとしてモニタ18に「外乱誤差」の表示を行う(S9)。これらいずれの場合においても、「スキャン誤差」あるいは「外乱誤差」の表示を行った後、再度自動的に干渉縞測定を繰り返す。そして、これにより誤差のない正確な干渉縞測定データが得られるようにする。
【0022】
ただし、位相変化誤差S(x,y)が均質的な誤差でその発生原因がフリンジスキャン構造にある場合には、干渉縞測定を何回繰り返しても正確な干渉縞測定結果が得られないので、干渉縞測定を数回繰り返した後、干渉縞測定を自動的に停止させるようにしてもよい。このような場合には、干渉計12のアライメント調整を行った後に再度干渉縞測定を行うようにすればよい。
【0023】
次に、上記位相変化誤差S(x,y)を算出する解析手法について説明する。
【0024】
フリンジスキャン法において、例えば4ステップ法を用いた場合、各フリンジスキャンステップにおける干渉縞強度I1、I2、I3、I4は、以下のように表わされる。
1(x,y)=I0(x,y)(1+γ(x,y)cos(Φ(x,y)) …(1)
2(x,y)=I0(x,y)(1+γ(x,y)cos(Φ(x,y)+π/2))…(2)
3(x,y)=I0(x,y)(1+γ(x,y)cos(Φ(x,y)+π)) …(3)
4(x,y)=I0(x,y)(1+γ(x,y)cos(Φ(x,y)+3π/2)) …(4)
ここで、x,yは座標、Φ(x,y)は位相、I0(x,y)は各点での平均光強度、γ(x,y)は干渉縞のモジュレーションを各々表わす。
【0025】
以上の式より、位相Φ(x,y)を求めると、
【0026】
【数1】
Figure 0004187124
【0027】
と表わされる。
また、
【0028】
【数2】
Figure 0004187124
【0029】
となる。
【0030】
ここで、フリンジスキャンをする間隔がπ/2からずれた場合を考える。すなわち、
1´(x,y)
=I0(x,y)(1+γ(x,y)cos(Φ(x,y)) …(8)
2´(x,y)
=I0(x,y)(1+γ(x,y)cos(Φ(x,y)+π/2+δ)) …(9)
3´(x,y)
=I0(x,y)(1+γ(x,y)cos(Φ(x,y)+π+δ)) …(10)
4´(x,y)
=I0(x,y)(1+γ(x,y)cos(Φ(x,y)+3π/2+δ)) …(11)
の場合を考える。ただし、δ、δ、δは、それぞれのずれ量である。
【0031】
このとき、(5)、(6)、(7)式より、Φ´(x,y)、I0´(x,y)、γ´(x,y)がそれぞれ求まる。ただし、ずれ量のため、例えば、Φ(x,y)≠Φ´(x,y)である。
【0032】
次に、これらより新たに以下のような光強度の分布を作ることができる。
1″(x,y)
=I0´(x,y)(1+γ´(x,y)cos(Φ´(x,y)) …(12)
2″(x,y)
=I0´(x,y)(1+γ´(x,y)cos(Φ´(x,y)+π/2)) …(13)
3″(x,y)
=I0´(x,y)(1+γ´(x,y)cos(Φ´(x,y)+π)) …(14)
4″(x,y)
=I0´(x,y)(1+γ´(x,y)cos(Φ´(x,y)+3π/2)) …(15)
【0033】
これらは、ずれδ、δ、δが存在すると、I1´(x,y)≠I1″(x,y)、I2´(x,y)≠I2″(x,y)、I3´(x,y)≠I3″(x,y)、I4´(x,y)≠I4″(x,y)となる。したがって、例えば、{I1´(x,y)−I1″(x,y)}の値を調べることで、各ステップにおける位相変化誤差が分かる。すなわち、各ステップ毎にどの程度正確にフリンジスキャンが行われているのかが評価できる。
【0034】
さらに、これらの自乗和
Figure 0004187124
を全体平均としての位相変化誤差S(x,y)として算出し、このS(x,y)の量を調べることで、全体としてどの程度正確にフリンジスキャンができているのかが評価できる。
【0035】
以上詳述したように、本実施形態に係る干渉計装置10は、フリンジスキャンにより基準面22aが所定のステップ量移動する毎に干渉縞画像データを取り込んで被検面2aの各点の干渉縞強度Ii´(x,y)(ただし、i:1〜4)を測定し、その測定結果を用いて被検面2aの各点の位相Φ´(x,y)、平均光強度I0´(x,y)およびモジュレーション量γ´(x,y)を算出する一方、この算出結果からフリンジスキャンの各ステップにおける被検面2aの各点の干渉縞強度Ii″(x,y)を逆算的に算出し、この干渉縞強度Ii″(x,y)と上記測定により得られた干渉縞強度Ii´(x,y)との差{Ii´(x,y)−Ii″(x,y)}を算出することにより各ステップにおける位相変化誤差を求め、さらに、その自乗和S(x,y)を算出することにより全体平均としての位相変化誤差を求めるように構成されているので、フリンジスキャンがどの程度正確に行われているかの指標となる量を得ることができる。そして、これにより位相変化誤差S(x,y)の内容に応じて再度の干渉縞測定あるいはアライメント調整等の適切な対応措置を採ることができる。
【0036】
本実施形態においては、干渉計装置がフィゾー型の干渉計装置である場合について説明したが、マイケルソン型やマッハツェンダ型の干渉計装置である場合においても、本実施形態と同様の構成を採用することにより本実施形態と同様の作用効果を得ることができる。
【0037】
【発明の効果】
本発明に係る干渉計装置は、物体光および参照光の光干渉により生じる干渉縞を干渉縞画像形成面に形成するとともにフリンジスキャンを行うことにより干渉縞の測定を行うように構成されているが、フリンジスキャンにより基準面が所定のステップ量移動する毎に干渉縞画像データを取り込んで被検面の各点の干渉縞強度を測定し、その測定結果を用いて被検面の各点の位相、平均光強度およびモジュレーション量を算出する一方、この算出結果からフリンジスキャンの各ステップにおける被検面の各点の干渉縞強度を逆算的に計算し、この干渉縞強度と上記測定により得られた干渉縞強度との差を算出することにより各ステップにおける位相変化誤差を求めるように構成されているので、フリンジスキャンがどの程度正確に行われているかの指標となる量を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態に係るフリンジスキャンを用いた干渉計装置を示す全体構成図
【図2】図1の干渉計装置の作用を説明するためのフローチャート
【符号の説明】
2 被検体
2a 被検面
10 干渉計装置
12 干渉計
14 被検体保持部材
16 コンピュータ
18 モニタ
20 干渉計本体
22 基準板
22a 基準面
24 PZT駆動回路
26 ピエゾ素子
28 基準板支持部材
Ax 光軸

Claims (4)

  1. 光源からの可干渉光を2分割し、一方の光線束を被検面に入射させてその反射光を物体光とするとともに他方の光線束を基準面に入射させてその反射光を参照光とし、これら物体光および参照光の光干渉により生じる干渉縞を干渉縞画像形成面に形成するとともに、前記基準面または前記被検面を前記可干渉光の光軸方向に移動させて該基準面と前記被検面との相対距離を変化させるフリンジスキャンを行うことにより前記干渉縞の測定を行うように構成された干渉計装置において、
    前記フリンジスキャンにより前記基準面または前記被検面が所定のステップ量移動する毎に干渉縞画像データを取り込んで前記被検面の各点の干渉縞強度を測定し、この測定結果を用いて前記被検面の各点の位相、平均光強度およびモジュレーション量を算出し、この算出結果から前記フリンジスキャンの各ステップにおける前記被検面の各点の干渉縞強度を逆算的に計算し、この逆算的に計算された干渉縞強度と前記測定により得られた干渉縞強度との差を算出することにより各ステップにおける位相変化誤差を求めるように構成されてなることを特徴とするフリンジスキャンを用いた干渉計装置。
  2. 前記位相変化誤差が所定の閾値を超えたか否かの判定を行うとともに、この判定結果を表示するように構成されていることを特徴とする請求項1記載のフリンジスキャンを用いた干渉計装置。
  3. 前記位相変化誤差が所定の閾値を超えたとき、前記干渉縞の測定を自動的に再度行うように構成されていることを特徴とする請求項1または2記載のフリンジスキャンを用いた干渉計装置。
  4. 前記位相変化誤差が前記所定の閾値を超えた場合における前記判定結果の表示が、前記位相変化誤差が均質的な誤差である場合にはスキャン誤差である旨の表示を行う一方、これ以外の誤差である場合には外乱誤差である旨の表示を行うように構成されていることを特徴とする請求項2または3記載のフリンジスキャンを用いた干渉計装置。
JP08342799A 1999-03-26 1999-03-26 フリンジスキャンを用いた干渉計装置 Expired - Lifetime JP4187124B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP08342799A JP4187124B2 (ja) 1999-03-26 1999-03-26 フリンジスキャンを用いた干渉計装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP08342799A JP4187124B2 (ja) 1999-03-26 1999-03-26 フリンジスキャンを用いた干渉計装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2000275007A JP2000275007A (ja) 2000-10-06
JP4187124B2 true JP4187124B2 (ja) 2008-11-26

Family

ID=13802154

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP08342799A Expired - Lifetime JP4187124B2 (ja) 1999-03-26 1999-03-26 フリンジスキャンを用いた干渉計装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4187124B2 (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014228528A (ja) * 2013-05-27 2014-12-08 株式会社ミツトヨ 形状測定装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP2000275007A (ja) 2000-10-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6268923B1 (en) Optical method and system for measuring three-dimensional surface topography of an object having a surface contour
US4340306A (en) Optical system for surface topography measurement
JP3946499B2 (ja) 被観察体の姿勢検出方法およびこれを用いた装置
US6501553B1 (en) Surface profile measuring method and apparatus
JP4583619B2 (ja) 縞画像解析誤差検出方法および縞画像解析誤差補正方法
KR100245064B1 (ko) 광학적차분윤곽측정장치및방법
JP2009509150A (ja) 干渉測定装置
EP2420796B1 (en) Shape measuring method and shape measuring apparatus using white light interferometry
JP3871309B2 (ja) 位相シフト縞解析方法およびこれを用いた装置
JP4188515B2 (ja) 光学式形状測定装置
CN103983211A (zh) 基于正弦相位调制四步积分的条纹投射三维形貌测量系统
US8018601B2 (en) Method for determining vibration displacement and vibrating frequency and apparatus using the same
JP4187124B2 (ja) フリンジスキャンを用いた干渉計装置
JP4376103B2 (ja) 干渉計装置及び光干渉法
JP4049349B2 (ja) 両面形状および厚みムラ測定装置
JP4100663B2 (ja) 絶対厚み測定装置
JP4183089B2 (ja) 表面形状および/または膜厚測定方法およびその装置
JP3621994B2 (ja) 光干渉計における外乱の測定装置および高精度光干渉計測装置
JP2011089926A (ja) 信号解析装置、走査型白色干渉計装置、信号解析方法、及び信号解析プログラム
JP3998844B2 (ja) フリンジスキャンを用いた干渉計装置
JP6457846B2 (ja) 透明板の形状測定方法および形状測定装置
JP2001099624A (ja) 干渉縞測定解析方法
Chen et al. Development of innovative fringe locking strategies for vibration-resistant white light vertical scanning interferometry (VSI)
JP4156133B2 (ja) 搬送縞発生手段を具備した被検体検査装置
JP4298105B2 (ja) 干渉縞測定解析方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20060222

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20080108

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20080327

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20080904

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20080904

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110919

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110919

Year of fee payment: 3

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110919

Year of fee payment: 3

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120919

Year of fee payment: 4