JP4179198B2 - 基板の液処理装置及び液処理方法 - Google Patents
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Description
3 送りローラユニット 4押えローラユニット
10 基板搬入部 11 液処理部
12 基板搬出部 20 処理槽
21 基板導入口 22 基板導出口
23,24 シャッタ 25 液回収容器
26 排出管 27 液貯留タンク
29 供給管 30 ポンプ
32 一時貯留部 32a 流入口部
33 整流板 40 傾動軸
50 エンドポイントディテクタ
Claims (11)
- 基板を搬送する間に、所定の処理液を貯留した処理槽を通過させることによって、この基板に対して液処理を行なう装置において、
前記処理槽内にはその搬入側から搬出側に向けて前記基板を搬送する搬送手段が装着されており、
さらに前記処理槽内には整流板が装着されており、
前記搬送手段は前記基板を傾斜状態にして搬送するものであり、また前記整流板はこの基板の傾斜方向と同じ方向に向けて傾けられ、かつこれら基板及び整流板は処理液の液面下に位置しており、
前記処理槽には、前記基板及び整流板の傾斜方向の上方側から下方側に向けて処理液が整流状態で流れるように供給する処理液供給部を設ける
構成としたことを特徴とする基板の液処理装置。 - 前記処理槽の前後に、少なくとも前記基板の搬送方向における長さ分以上の長さを有する基板搬入部及び基板搬出部を設け、この基板搬入部の始端位置から前記基板搬出部の終端位置までの長さを有する液回収容器を設置して、この液回収容器に回収された処理液を液貯留タンクに回収し、この液貯留タンクには、さらに液供給管を接続して設け、この液供給管にポンプを設けて、前記液回収容器で回収された処理液をポンピングして前記処理液供給部に供給するように循環使用する構成としたことを特徴とする請求項1記載の基板の液処理装置。
- 前記処理液供給部は前記処理槽に付設され、前記液供給管が接続された一時貯留部と、この一時貯留部から前記基板の幅方向のほぼ全長に及ぶように流出させる流入口部とからなり、この流入口部は前記基板と整流板との間からこれら基板及び整流板の傾斜方向と同じ方向に向けて傾斜させる構成としたことを特徴とする請求項2記載の基板の液処理装置。
- 前記搬送手段は前記基板を前記処理液供給部から供給される処理液の流れ方向に搬送する構成としたことを特徴とする請求項1記載の基板の液処理装置。
- 前記搬送手段は前記基板を前記処理液供給部から供給される処理液の流れと概略直交する方向に搬送する構成としたことを特徴とする請求項1記載の基板の液処理装置。
- 前記整流板はその傾斜角を調整可能に設けられていることを特徴とする請求項1記載の基板の液処理装置。
- 前記整流板には前記基板の処理度合いを検出する検出手段を装着する構成としたことを特徴とする請求項1記載の基板の液処理装置。
- 前記基板の液処理は、この基板のエッチングを行なうものであり、前記検出手段はそのエンドポイントディテクタであることを特徴とする請求項7記載の基板の液処理装置。
- 基板を搬送する間に、所定の処理液を溜めた処理槽を通過させることによって、この基板に対して液処理を行なう方法において、
前記処理槽内に整流板を傾けた状態で配設して、この整流板の傾き方向の上部側から下部側に向けて処理液を流すようになし、
前記基板は、前記整流板の傾斜方向と同じ方向に傾斜させるようにして前記処理槽内を通過させることによって、この基板と整流板との間に処理液が層流状態で流れるようにした
ことを特徴とする基板の液処理方法。 - 基板を搬送する間に、エッチング液を溜めた処理槽を通過させる間に、この基板に対してエッチング処理を行なう方法において、
前記処理槽内に整流板を傾けた状態で配設して、この整流板の傾き方向の上部側から下部側に向けてエッチング液を流すようになし、
前記基板は、前記処理槽内で、前記整流板の傾斜方向と同じ方向に傾斜させて搬送することによって、この基板と整流板との間に処理液が層流状態で流れる間に、前記基板をエッチングするようになし、
この基板のエッチング状態を前記整流板に設けたエンドポイントディテクタにより検出して、この検出信号に基づいて前記基板の前記処理槽内での搬送速度を調整する
ことを特徴とする基板の液処理方法。 - 請求項9または請求項10のいずれか1項に記載の基板の液処理方法を用いて基板を製造することを特徴とする基板の製造方法。
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JP2012246513A (ja) * | 2011-05-25 | 2012-12-13 | Kaneka Corp | ステント研磨装置 |
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