JP4167378B2 - 光素子モジュール - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、光通信用半導体レーザモジュールやフォトダイオードモジュール等の光素子モジュールに関わり、パッケージ内に導入固定される光ファイバの固定構造に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来の光素子モジュールのパッケージ内での光ファイバ固定構造例を図5〜6(米国特許第5619609号公報参照)及び図7により説明する。
【0003】
図5は、光素子1が半導体レーザの場合のモジュール要部縦断面図である。光素子1を収納する金属又はセラミック等から成るパッケージ2に挿通管3が銀ろう等の接合手段により取り付けられている。光ファイバ4の先端には、光ファイバ4を保持するフェルール5がはんだ等の手段により固定され、パッケージ2外部より挿通管3の挿通孔6を通ってパッケージ2の内部へ導入されている。フェルール5は、光素子1の光軸に光ファイバ4が一致するよう調芯した後、フェルールホルダ7と共にステム8上に固定されている。一般に光ファイバの調芯が必要な半導体レーザモジュールでは、光ファイバ4を直接はんだ付け固定した場合、光結合点より10μm以上のズレが生じてしまい、光ファイバ出力が大きく劣化してしまう上、修正も不可能であるため、はんだによる固定手段は使用されず、また、半導体レーザの寿命に影響する有機ガスが発生する接着剤もパッケージ5内で使用できないため、光ファイバ4はフェルール5を介し、YAGレーザにより溶接固定されている。
【0004】
ステム8は光素子1の動作温度を制御するため、熱電子冷却素子9上に搭載されている。挿通孔6及び光ファイバ4には、金メッキ等によりメタライズが施されており、挿通管3のはんだ流込口10よりはんだを供給する事で、気密封止固定されている。光ファイバ4は、フェルール5と挿通孔6の気密封止部との間で光軸に対しほぼ水平で直線上に固定されている。
【0005】
図6は、図5におけるフェルール固定構造を拡大して示した斜視図である。光ファイバ4を光軸に一致させるようフェルール5をフェルールホルダ7と共に調芯後、フェルールホルダ7をステム8上に、フェルール5をフェルールホルダ7にそれぞれレーザ溶接により固定している。フェルールホルダ7は、ブロック状の金属を切削し、フランジ部11やU溝部12を形成している。フランジ部11がYAGレーザによりステム8上に貫通溶接、フェルール5がU溝部12にすみ肉溶接されている。
【0006】
一方、図7は、パッケージ内で光ファイバを湾曲させた状態で固定した従来例の要部縦断面図である。光ファイバ4は、先端側の第1のフェルール5とパッケージ2の挿通管3側の第2のフェルール13により保持されており、第2のフェルール13と光ファイバ4は、はんだ等の手段により気密封止が成されている。第1のフェルール5をフェルールホルダ7と共にステム8上にYAGレーザ固定した後、第2のフェルール13を挿通管3のパッケージ2外部よりパッケージ2内部へ押し込み、第1のフェルール5と第2のフェルール13間の光ファイバ4を湾曲させ、弧18を描いた状態のまま保持し、第2のフェルール13が挿通管3にはんだ封止固定されている。第2のフェルール13は、パッケージ2内部で光ファイバ4を湾曲させる際の掴みしろとして必要とされている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記図5、図6に示す従来の光素子モジュールでは、パッケージ2内で光ファイバ4が光軸に対し、ほぼ水平で直線上に固定されているため、周囲温度の変化によりパッケージ2が膨張収縮した際、フェルール5固定部を軸にパッケージ2内の光ファイバ4が引っ張り、圧縮などの応力を受け、光ファイバ4先端が振れることにより、光ファイバ出力の変動や劣化を引き起こしてしまうという第1の課題があった。さらにフェルールホルダ7と挿通管3の間で発生する引っ張り、圧縮などの繰り返し応力により、挿通管3内部のはんだと光ファイバ4間で剥離が生じ、気密不良を引き起こすという問題もあり、特に挿通管3と光ファイバ4との隙間が大きいため、容易かつ確実に気密封止できないという第2の課題があった。
【0008】
また、前記図7に示す従来の光素子モジュールでは、パッケージ2内で光ファイバ4を湾曲させることにより、上記第1の課題を解決できるものの、光ファイバ4を湾曲させるための掴みしろとして第2のフェルール13が必要であり、光ファイバ4と第2のフェルール13間、第2のフェルール13とパッケージの挿通管3との間で2重に気密封止を達成しなければならないため、作業が非効率的である上、非合理性による歩留まりの低下が懸念されることから、容易かつ確実に気密封止できないという第2の課題は解決できなかった。
【0009】
本発明の目的は、上記従来技術の問題点を解消することにあり、動作環境温度の変化により発生するパッケージの膨張収縮時においても安定した光ファイバ出力が得られる上、容易かつ確実な気密封止構造として気密封止工数を削減し、作業を効率化した光素子モジュールを提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明は、ステムと、該ステム上に固定された光素子と、先端部が前記光素子と光結合される光ファイバと、該光ファイバの先端部に接合され、前記光ファイバを保持するフェルールと、該フェルールと接合し、前記ステム上に固定されたフェルールホルダと、前記光素子を収納するとともに、前記光ファイバを挿通するための挿通管を有するパッケージと、を備え、前記挿通管と前記光ファイバとを気密封止してなる。そして、前記パッケージ内において、前記光ファイバを湾曲させた状態で固定してなり、前記フェルールホルダがフランジ部を有し、該フランジ部はフェルール中心軸に向かって中心側が浮いた状態で前記ステムと接合されることを特徴とする。
【0011】
即ち、光ファイバの先端部と気密封止部に段差を設けることによって、自然に光ファイバを湾曲させ、これによって動作環境温度の変化によるパッケージの膨張収縮時に、パッケージ内の光ファイバ先端固定部にかかる光ファイバの引っ張り、圧縮応力が緩和され、光ファイバ出力の変動や劣化を抑制し、第1の課題を解決できるようにしたものである。
【0012】
更に本発明は、挿通管の気密封止部のほぼ中心に光ファイバ挿通孔を有するリング状部材を挿入し、そのリング状部材を介して光ファイバと挿通管とをはんだ等で気密封止したことによって、より容易かつ確実な気密封止構造としたことを特徴とする。
【0013】
また、光ファイバの先端部を保持するフェルールを塑性変形可能なフェルールホルダに固定することによって、固定後の光軸調整を可能とし、これによって光ファイバの湾曲を最適形状としたことを特徴とする。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図によって説明する。
【0015】
図1は、本発明の光素子モジュールの要部縦断面図である。パッケージ2には光ファイバ4を挿通するための挿通管3が、銀ろう材等の接合手段により固定されている。一般に光通信用に使用され、気密封止を必要とする光素子モジュール用のパッケージ2は、セラミック材またはコバール材により形成されている。パッケージ2と挿通管3の接合部が環境温度変化等による膨張収縮によりクラック等の劣化を引き起こさぬよう、挿通管3の材質はパッケージ2と同一とするか、または同等の熱膨張係数を有する材質が選択される。
【0016】
パッケージ2内には、光素子1として例えば半導体レーザ等が収納固定されている。光ファイバ4の先端には、光ファイバ4を保持するためのフェルール5がAu/Snはんだ等の接合手段により接合されており、光ファイバ4と共に挿通管3の挿通孔6を通ってパッケージ2内に導かれ、ステム8上に固定された光素子1と光ファイバ4が光結合する位置に調芯後、フェルールホルダ7を介してステム8上にYAGレーザ溶接により固定されている。
【0017】
ステム8は、光素子1を温度制御するための熱電子冷却素子9上に搭載固定されている。
【0018】
挿通孔6は、フェルール5を挿通するのに十分な径から成る第1の径14と、第1の径14より大きい径から成る第2の径15を有している。第2の径15には、外径が第2の径15より僅かに小さく第1の径14より大きい径から成り、光ファイバ4径より僅かに大きい光ファイバ挿通孔16を外径のほぼ中心に有し、この光ファイバ挿通孔16に光ファイバ4が挿通されて、挿通管3と同程度の熱膨張係数をもった材料から成るリング状部材17が、挿入されている。
【0019】
パッケージ2に固定されている挿通管3は、光ファイバ4が導出されるリング状部材17の中心軸が、光素子1の光軸よりもパッケージ2の下方に位置するよう配置されている。高周波誘導加熱等の手段により、挿通管3、リング状部材17、及び光ファイバ4を共にはんだ封止固定する。このとき、光ファイバ4の先端部とリング状部材17の中心の気密封止部との段差により、光ファイバ4は、パッケージ2内で自然に上下方向に湾曲することになる。これによって、動作環境温度の変化によるパッケージ2の膨張収縮時に、パッケージ2内の光ファイバ4先端固定部にかかる光ファイバ4の引っ張り、圧縮応力が緩和され、光ファイバ出力の変動や劣化を抑制し、かつ容易で確実な気密封止が成される。
【0020】
図2は、本発明の光素子モジュールの光ファイバ先端固定部の拡大斜視図である。フェルールホルダ7は、薄い板材を曲げ加工によりクリップ状としたものであり、先にステム8上に貫通溶接されるフランジ部11は、ステム8平面に対し、水平ではなく、フェルール5中心軸に向かって僅かに浮かせることによって、フェルールホルダ7を塑性変形可能としてある。フェルール5は、光ファイバ4先端と対抗する側がチャックされており、YAGレーザは、パッケージ2の上方より照射されるため、フェルールホルダ7を先にステム8上に固定した後、フェルール5をフェルールホルダ7に溶接する事で、YAGレーザの衝撃により光軸に対し、パッケージ2下方にフェルール5及び光ファイバ4先端が沈み、光結合がずれることになる。その後、光素子1の光軸と光ファイバ4を再度光結合させるため、フェルール5の光ファイバ4先端と対抗する側にパッケージ2上部より荷重をかけることで、フェルールホルダ7のフランジ部11を塑性変形させる。これにより、光軸を再度一致させることができる上、光ファイバ4の湾曲形状が、パッケージ2の挿通孔6の光ファイバ固定部を軸にして最適化できる。
【0021】
即ち、フェルール5の後方を下方に変位させることで、光ファイバ4は、フェルール5の後端から一度上方に湾曲した弧18を描き、その後、下方に湾曲して気密封止部に至ることとなる。このような形状とすることにより、動作環境温度の変化によるパッケージ2の膨張収縮時に、パッケージ2内の光ファイバ4先端固定部にかかる光ファイバ4の引っ張り、圧縮応力が緩和され、光ファイバ出力の変動や劣化を抑制できる。
【0022】
【実施例】
以下、光素子が半導体レーザである本発明の実施例の構造を図1及び図2を以て説明する。
【0023】
図1において、光ファイバ4を挿通するためのコバール材から成る挿通管3を同じくコバール材から成るパッケージ2に銀ろう材により、固定した。パッケージ2内には、半導体レーザ1の温度制御をするための熱電子冷却素子9をはんだにより固定し、熱電子冷却素子9上には、コバール材から成るステム8、ステム8上には半導体レーザから成る光素子1を同じくはんだにより搭載固定した。光ファイバ4の先端には、光ファイバ4を保持するための外径寸法1mmを有するフェルール5がAu/Snはんだにより予め接合されており、光ファイバ4と共に挿通管3の挿通孔6を通ってパッケージ2内に導き、半導体レーザ1の発光と光ファイバ4が光結合する位置に調芯した後、フェルールホルダ7をステム8上にYAGレーザにより溶接し、フェルール5をフェルールホルダ7に溶接した。
【0024】
挿通孔6は、外径1mmのフェルール5を挿通するのに十分な1.4mmの径から成る第1の径14と、更に大きい1.8mmの径から成る第2の径15を有している。第2の径15には、外径が第2の径15より僅かに小さい1.76mmから成り、光ファイバ4径より僅かに大きい0.16mmの光ファイバ挿通孔16を中心に有し、挿通管3と同じ材料のコバール材から成る厚さ0.7mmのリング状部材17を挿入した。挿通管3、リング状部材17、及び光ファイバ4の一部には、金メッキ等のメタライズが施されており、1回のはんだ付け工程により、気密封止固定した。
【0025】
パッケージ2に固定されている挿通管3は、光ファイバ4が導出され、気密封止されるリング状部材17の中心軸が、半導体レーザ1の光軸よりも約0.4mm下方に配置されており、このため、光ファイバ4は、パッケージ2内で上下方向に自然に湾曲している。なおパッケージ2が膨張収縮する事により光ファイバ4に発生する引っ張り、圧縮応力を光ファイバ4が湾曲していない状態に比し、2/3以下に低減するためには、半導体レーザ1の光軸と挿通管3の中心軸との段差を0.3mm以上とし、かつ湾曲による折損が生じないよう1mm以下とする事が望ましい。
【0026】
また、図2におけるフェルールホルダ7は、厚さ0.15mm、長さ4mm、幅2mmのコバール材をクリップ状に曲げ加工したものであり、貫通溶接されるフランジ部11は、ステム8平面に対し、水平ではなく、フェルール5中心軸に向かって僅かに浮いた形状となっている。フェルール5をフェルールホルダ7にYAGレーザ溶接する際、フェルール5は、光ファイバ4先端と対抗する側をチャックし、パッケージ2上方より照射されるYAGレーザの衝撃により、半導体レーザ1の光軸に対し、光ファイバ4先端がパッケージ2の下方に沈んだ状態となっている。
【0027】
半導体レーザ1の光軸と光ファイバ4を再度結合させるため、フェルール5の光ファイバ4先端と対抗する側にパッケージ2上部より0.1kgf程度の荷重をかけることで、フェルールホルダ7のフランジ部11には約45kgf/mm2の荷重が加わることになり塑性変形させる。これにより、再度光結合させることができる上、光ファイバ4の湾曲は、パッケージ2の挿通孔6の光ファイバ4固定部を軸にして光軸に対し100〜200μm程度パッケージ2上部方向へ浮上した弧18を描くことができ、動作環境温度変化の際に発生するパッケージ2の膨張収縮時に、光ファイバ4にかかる引っ張り、圧縮応力が緩和され、光ファイバ出力変動を抑制する事ができる。
【0028】
光通信用に使用される光素子モジュールの動作環境温度範囲は、−40〜+85℃とされており、本発明の実施例のようなパッケージでは、光軸方向に光ファイバが約2μm変動する事になる。この変動を許容し、光軸ズレを発生させないために弧18の上方の変動量は、100μm以上であることが望ましい。
【0029】
図3は、本発明の光素子モジュールの動作環境温度変化に対する光ファイバ出力の変動量を測定した結果のヒストグラムである。光ファイバ出力変動量は、熱電子冷却素子9により半導体レーザ1温度を25℃一定に保ち、パッケージ2温度も25℃時の光ファイバ出力を基準とし、パッケージ2温度を低温側−40℃、高温側85℃にした際の光ファイバ出力との差で表される。本ヒストグラムでは、低温側または高温側のどちらか一方の光ファイバ出力変動量が大きい方の絶対値を示した。一般に光通信用に使用される半導体レーザモジュールの光ファイバ出力変動量規格は、±10%以下とされている。サンプル数 24個の本発明の実施例では、平均値2.1%、最大でも7%以下となっており、規格を全数満足しており、動作環境温度変化時においても安定した光ファイバ出力が得られていることが分かる。
【0030】
図4は、本発明の光素子モジュールの機械的衝撃試験前後の光ファイバ出力変動量を示したグラフである。試験条件は、マイクロエレクトロニクスの試験方法としてMIL−STD−883C、方法2002.3で規定されている衝撃パルス1500g、パルス持続時間0.5ms、6軸×5回とした。サンプル数10個における本実施例では、光ファイバ出力変動量の平均値が4.1%、最大値でも7.6%であり、規格の10%以下を達成している。フェルール5自身の重量が非常に小さく、上記条件下では、フェルールホルダ7のフランジ部11にかかる最大荷重は10kgf以下であるため、前記塑性変形後も機械的衝撃に耐え得ることが分かる。
【0031】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、光ファイバがパッケージ内において湾曲した状態で固定される。そして、フェルールホルダがフランジ部を有し、このフランジ部がフェルール中心軸に向かって中心側が浮いた状態でステムと接合される。そのため、フランジ部を塑性変形させやすくなるので、光軸を一致させることができ、パッケージの挿通孔の光ファイバ固定部を軸にしての光ファイバの湾曲形状の最適化が容易となる。
【0032】
更に本発明は、挿通管の気密封止部のほぼ中心に光ファイバ挿通孔を有するリング状部材を挿入し、そのリング状部材を介して光ファイバと挿通管とをはんだ等で気密封止したことによって、より容易かつ確実な気密封止を可能とした。
また、光ファイバの先端部を保持するフェルールを塑性変形可能なフェルールホルダに固定することによって、固定後の光軸調整を可能とし、これによって光ファイバの湾曲を最適形状とし、動作環境温度変化時の光ファイバ出力劣化の防止を確実にした。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の光素子モジュールを示す要部縦断面図である。
【図2】本発明の光素子モジュールにおけるフェルール固定部を示す拡大斜視図である。
【図3】本発明の光素子モジュールにおける動作環境温度変化時の光ファイバ出力変動量の測定結果を示すヒストグラムである。
【図4】本発明の光素子モジュールにおける機械的衝撃試験前後の光ファイバ出力変動量の測定結果を示すグラフである。
【図5】従来の光素子モジュールを示す要部縦断面図である。
【図6】従来の光素子モジュールにおけるフェルール固定部を示す拡大斜視図である。
【図7】従来の光素子モジュールを示す要部縦断面図である。
【符号の説明】
1:光素子
2:パッケージ
3:挿通管
4:光ファイバ
5:フェルール
6:挿通孔
7:フェルールホルダ
8:ステム
9:熱電子冷却素子
10:はんだ流し込み口
11:フランジ部
12:U溝部
13:第2のフェルール
14:第1の径
15:第2の径
16:光ファイバ挿通孔
17:リング状部材
18:弧
Claims (2)
- ステムと、
該ステム上に固定された光素子と、
先端部が前記光素子と光結合される光ファイバと、
該光ファイバの先端部に接合され、前記光ファイバを保持するフェルールと、
該フェルールと接合し、前記ステム上に固定されたフェルールホルダと、
前記光素子を収納するとともに、前記光ファイバを挿通するための挿通管を有するパッケージと、を備え、前記挿通管と前記光ファイバとを気密封止してなる光素子モジュールであって、
前記パッケージ内において、前記光ファイバを湾曲させた状態で固定してなり、
前記フェルールホルダがフランジ部を有し、該フランジ部はフェルール中心軸に向かって中心側が浮いた状態で前記ステムと接合されることを特徴とする光素子モジュール。 - 前記挿通管の内側面における前記光素子側の端部がテーパ形状であることを特徴とする請求項1記載の光素子モジュール。
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