JP3847178B2 - 光ファイバの気密封止構造とこれを用いた光ファイバアレイ - Google Patents
光ファイバの気密封止構造とこれを用いた光ファイバアレイ Download PDFInfo
- Publication number
- JP3847178B2 JP3847178B2 JP2002020781A JP2002020781A JP3847178B2 JP 3847178 B2 JP3847178 B2 JP 3847178B2 JP 2002020781 A JP2002020781 A JP 2002020781A JP 2002020781 A JP2002020781 A JP 2002020781A JP 3847178 B2 JP3847178 B2 JP 3847178B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical fiber
- hermetic sealing
- sealing member
- coating
- hermetic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Light Guides In General And Applications Therefor (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、光伝送モジュールに用いるLDアレイやPDアレイ等から構成される光モジュール等に結合される、光ファイバの気密封止構造及びこれを用いた光ファイバアレイに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
光伝送モジュールに用いるLDアレイやPDアレイ等から構成される光モジュール等では、光モジュール等に組み込まれている受光もしくは発光素子の駆動安定性の点から、外界から密封されることが望ましいとされている。光モジュールに結合される光ファイバ、光ファイバアレイ等には、前記理由より、気密封止構造が求められている。
【0003】
図3に従来の光ファイバの気密封止構造を示す。図3に示すように従来の光ファイバの気密封止構造は、光ファイバ4の被覆部4aが一部除去された部分全てにメタライズ部4bが形成され、前記光ファイバ被覆部4aとメタライズ部4bを内包することができる貫通孔5aが設けられている金属製の気密接続部材5を用いて気密封止している。前記貫通孔5aに光ファイバ4を挿入し、はんだやろう材からなる気密封止材料6を気密接続部材5内に注入し外部より加熱を行って溶融させ、光ファイバのメタライズ部4bと気密接続部5を固定することで気密封止を実現している(特開2001−305380号公報参照)。
【0004】
このような従来の光ファイバの気密封止構造は、例えば図4に示すような気密封止してなる光ファイバアレイに使用される。図4に示すように従来の気密封止してなる光ファイバアレイは、高精度なV溝加工が施されたV溝基板7、V溝上に整列された前記気密接続部材5を有する光ファイバ9、光ファイバ9が浮き上がらないよう光ファイバ9を押さえる押さえ板8、V溝基板7、光ファイバ9、押さえ板8の固定を行いかつV溝基板7と押さえ板8の間に充填される接着剤10からなる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図3に示すような従来の光ファイバの気密封止構造の場合、気密接続部材5内に光ファイバ被覆部4 aが挿入されているため、気密封止のため外部より加熱を行なう工程の際に、はんだやろう材からなる気密封止材料6だけではなく、光ファイバ被覆部4 aも溶融してしまう。光ファイバ被覆部4 aが溶融した場合、被覆部からガスが発生し光モジュール等に組み込まれている受光もしくは発光素子の駆動安定性に悪影響を与えてしまう。また被覆が溶融したときに気密接続部材5内に応力が生じて、その応力によって光ファイバ4が破損しやすくなるという欠点を有している。
【0006】
また、従来の光ファイバの気密封止構造では気密封止材料6としてはんだを使用するのが一般的であるが、はんだを使用する場合は光ファイバの被覆を除去した部分全域にわたってメタライズ加工を施す必要があり、このメタライズ加工のためコストが高くなるという欠点を有していた。
【0007】
本発明は、上述の欠点に鑑み案出されたものであり、その目的は光ファイバの被覆を溶融させないようにするとともに、光ファイバのメタライズ加工の費用を抑えた光ファイバの気密封止構造及びそれを用いた気密光ファイバアレイを提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記従来の問題点に鑑みて、本発明は、光ファイバの被覆の中間部を一部除去し、この被覆除去部を気密封止部材の貫通孔内で気密封止材料にて固定してなり、前記貫通孔の光ファイバが突出する両端部は断面積が中央付近の断面積よりも大きく、且つ、前記両端部の径は前記光ファイバ被覆部の径より大きく形成されており、前記気密封止部材及び気密封止材料と光ファイバの被覆部との間に隙間を有していることを特徴とするものである。
または、光ファイバの被覆の中間部を一部除去し、この被覆除去部を気密封止部材の貫通孔内で気密封止材料にて固定してなり、前記貫通孔の光ファイバが突出する両端部は断面積が中央付近の断面積よりも大きく、且つ、前記両端部の径は前記光ファイバ被覆部の径より大きく形成されており、前記気密封止部材及び気密封止材料と光ファイバの被覆部とが非接触であることを特徴とするものである。
また、上記発明において、前記光ファイバの被覆部は、上記気密封止部材の貫通孔の外側に配置されていることを特徴とする。
【0009】
また、前記気密封止部材の貫通孔は、中央付近の断面積が最も小さく、前記両側に向かって断面積が大きくなる形状であることを特徴とするものである。
【0010】
また、前記光ファイバの被覆部は、上記気密封止部材の貫通孔の外側に配置されていることを特徴とするものである。
【0011】
さらに、前記気密封止材料が気密封止部材の中央部のみに存在し、両端部は別の材料で充填されていることを特徴とするものである。
【0012】
さらに、前記気密封止材料が低融点ガラスであることを特徴とするものである。
【0013】
本発明の光ファイバの気密封止構造によれば、1以上の光ファイバの被覆の中間部を一部除去した部分に気密封止部材を有する光ファイバにおいて、光ファイバの被覆部が気密封止部材の外側にあることから、光ファイバの被覆が気密封止のため外部より加熱を行う工程の際に被覆が溶融するのを防ぐことができ、また被覆の溶融時に発生するガスによって、光モジュール等に組み込まれている受光もしくは発光素子の駆動安定性に悪影響を与えることを抑えることができ、またさらに、被覆が溶融したときに生じる気密接続部内の応力のよって光ファイバを破損しやすくなるということを防止することができる。
【0014】
また、本発明の光ファイバの気密封止構造によれば、気密封止部材中央に気密封止材料の注入口を設けたことから、気密封止作業を行う際、中央部付近のみに気密封止材料を注入すればよいため、気密封止材料の使用量を少なくすることができ、また光ファイバがメタライズ加工されている場合にはメタライズ加工部分を小さくすることができるため、安価な光ファイバの気密封止構造を提供することができる。さらに光ファイバの被覆に加わる熱を減ずることができ、光ファイバの被覆が溶融するのを防ぐこともできるため、安定した光ファイバの気密封止構造を得ることができる。
【0015】
さらに、本発明の光ファイバの気密封止構造によれば、前記気密封止部材において、気密封止部材内部の中央部付近の断面積が一番小さくなっており、両端側に向かって断面積が大きくなる形状を有したことから、光ファイバの被覆に加わる熱を減ずることができ、光ファイバの被覆が溶融するのを防ぐこともできるため、安定した光ファイバの気密封止構造を得ることができる。
【0016】
また、本発明の光ファイバの気密封止構造によれば、前記気密封止部材において、気密封止材料が気密封止部材中央部のみに存在し、気密封止部材両端はその他の材料で充填されていることから、気密封止材料の使用量を少なくすることができ、安価な光ファイバの気密封止構造を提供することができる。
【0017】
さらに、本発明の光ファイバの気密封止構造によれば、前記気密封止部材の気密封止材料が、低融点ガラスであることから、光ファイバに高価なメタライズ加工をする必要がなくなるため、安価な光ファイバの気密封止構造を提供することができる。
【0018】
【発明の実施の形態】
次いで、本発明の実施の形態を図面に基いて説明する。
【0019】
本発明の光ファイバの気密封止構造は、図1に示すように、1以上の光ファイバ1の被覆1aの中間部を一部除去した部分の一部にメタライズ部1bが形成され、前記光ファイバ被覆部1aが除去された部分とメタライズ部1bを内包することができる貫通孔2aおよび中央部に気密封止材料3の注入口2bが設けられている金属製の気密接続部材2で気密封止してなる。前記メタライズ部1bは光ファイバ被覆部1aを除去した部分の一部のみに施されていること、光ファイバ被覆部1aが気密封止部材2の貫通孔2aの外部に存在し、貫通孔2aの内部に光ファイバ被覆部1aが存在しないことが重要である。
【0020】
前記気密封止部材2の貫通孔2aの形状は、気密封止材料3の注入口2bが設けられている中央部付近の断面積が最も小さく、両端側に向かって断面積が大きくなっていることが好ましい。中央部付近の貫通孔2aの断面積は、0.5mm2〜500mm2程度であれば、より好ましい。断面積が0.5mm2より小さい場合は、光ファイバ1を気密封止部材2に挿入するのが困難であるし、500mm2より大きい場合は、光ファイバ1と中央部付近の内壁との間のクリアランスが大きくなり過ぎてしまい、光ファイバ1を気密封止部材2に気密封止固定することが難しくなり、さらに気密封止固定のために使用する気密封止材料3の使用量が多くなってしまうためである。
【0021】
さらに気密封止材料3は気密封止部材2の注入口2bが設けられている中央部付近にのみ存在し、気密封止部材2の両端はエポキシやシリコンなどその他の材料(不図示)で充填されていることが好ましい。これは気密封止材料3を注入して気密封止部材2と光ファイバ1を固定する際の熱を断面積が大きくなっている形状によって両端側で放熱させ、光ファイバ被覆1aに出来るだけ熱を伝えないようにするためである。気密封止材料3が気密封止部材2の注入口2bが設けられている中央部付近にのみ存在すれば、より一層前述の効果が期待できる。
【0022】
また気密封止材料3が気密封止部材2の注入口2bが設けられている中央部付近にのみ存在する場合、高価な気密封止材料3の使用量を減らすことができるとともに、光ファイバ1にメタライズ加工を施す長さを短くすることができるため、加工コストを低減させることができる。
【0023】
気密封止部材2が中央部付近にのみ存在する場合の存在範囲としては、気密封止部材2の中央から両端側へ向かってそれぞれ、片側の長さが0.2mm〜20mmの範囲であることが好ましい。0.2mmより小さい場合は気密封止するには不十分であり、20mmより長い場合は気密封止部材3の使用量が多くなり、コストを低減させる効果が十分に得られない。
【0024】
前記気密封止部材2の形状は図1に示されるようなテーパ形状であってもよいし、図2(a)、(b)に示すようなR形状や矩形の段付き形状であっても同様の効果が得られる。
【0025】
前記メタライズ部1bの長さは、1〜30mm程度であることが好ましい。メタライズ部1bの長さが1mmより短い場合は、気密封止材料3を注入して気密封止部材2と固定を行う際の強度が不足したり、十分な気密封止効果が得られないことが考えられる。またメタライズ部1bの長さが30mmより長い場合は、前述の光ファイバにメタライズ加工を施す長さを短くして加工コストを低減させる効果が十分に得られない。
【0026】
前記気密封止材料3の材料としては、はんだや銀ろうなどのろう材、低融点ガラスなどが好ましい。特に気密封止材料として低融点ガラスを用いた場合、光ファイバに施すメタライズ加工が不要となるため、加工コストを大幅に低減させることができる。
【0027】
また気密封止部材2の両端に充填する材料としては、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂、シリコン等を用いることが好ましい。これらの材料は、はんだや銀ろうなどのろう材、低融点ガラスなどの気密封止材料よりも安価であるため、気密封止部材全体に気密封止材料を充填する場合よりも、材料費を低減させることができる。
【0028】
前記光ファイバ被覆部1aは気密封止部材2よりも1mm以上離れていることが好ましい。1mmより気密封止部材2に近い場合は、気密封止を行う際の熱によって被覆が溶融する恐れがあるためである。
【0029】
なお気密封止部材2の材料としては、ステンレス鋼、鉄ニッケル合金、アルミニウム、コバール材等の金属材等から形成することが好ましい。特に、光パッケージに組み込んで固定する際に用いるYAGレーザ溶接の可能な材料を用いるのが好ましい。
【0030】
なお、本発明の光ファイバの気密封止構造は上述の実施形態に限定されるものではなく、種々の変更は可能であり、シングルモ−ド光ファイバ、マルチモード光ファイバ、偏波保存光ファイバ、およびこれらの多芯光ファイバ共に適用することができる。また、複数の光ファイバを用いて、上記構造で気密封止することによって光ファイバアレイとすることができる。
【0031】
【実施例】
図1に示すような光ファイバの気密封止構造を製作した。
【0032】
まず4芯の多芯シングルモード光ファイバの被覆中間部を12mm除去した。次いで、ステンレス鋼材料を切削加工して外径5mm、長さ8mmの外形を有し、両端部から中央部へ向かって3mmから1mmの径へと徐々に小さくなるテーパと中央部に1mmの長さの平坦部を有する内部形状、中央部に1mm×1mmの正方形の注入口を有する円筒形の気密封止部材品を作製した。
【0033】
前述のように得られた光ファイバを、前記気密封止部材に挿入した。この際、光ファイバの被覆部が気密封止部材内部に存在しないよう確認を行った。しかる後、気密封止部材品の注入口より事前に加熱を行い溶融させた低融点ガラスを注入し、光ファイバと気密封止部材を中央部で固定した。
【0034】
低融点ガラスが十分冷却した後、気密封止部材の両端にエポキシを充填させ、光ファイバの気密封止構造試料を10本得た。
【0035】
また比較例として図3に示すような光ファイバの気密封止構造を得るため、まず上述と同様に4芯の多芯シングルモード光ファイバの被覆中間部を6mm除去した。次いでステンレス鋼材料を切削加工して外径5mm、長さ8mm、内径1mmで中央部に1mm×1mmの正方形の注入口を有する円筒形の気密封止部材を得た。
【0036】
前述のように得られた光ファイバを、前記気密封止部材に挿入した。この際、光ファイバの被覆部が気密封止部材の内部に挿入されていることの確認を行った。しかる後、気密封止部材の注入口より事前に加熱を行い溶融させた低融点ガラスを気密封止部材内部全体に充填するよう注入し、光ファイバの気密封止構造試料を10本得た。
【0037】
そしてそれぞれの光ファイバの気密封止構造のヘリウムリーク試験、40倍の双眼検査による光ファイバの被覆部の外観検査を行った。
【0038】
その結果を表1に示す。
【0039】
【表1】
【0040】
表1から明らかなように、本発明の光ファイバの気密封止構造は光ファイバ被覆部が溶融することなく、1×10-9Pa・m3/sec以下の気密度が得られることがわかった。
【0041】
これに対し、光ファイバ被覆部が気密封止部材内部に存在する従来の光ファイバの気密封止構造では、1×10-9Pa・m3/sec以下の気密度が得られるものの、試料全ての被覆が溶融することがわかった。
【0042】
【発明の効果】
本発明の光ファイバの気密封止構造によれば、光ファイバの被覆の中間部を一部除去し、この被覆除去部を気密封止部材の貫通孔内で気密固定し、上記光ファイバの被覆部が上記気密封止部材の外側にあることから、光ファイバの被覆が気密封止のため外部より加熱を行う工程の際に被覆が溶融するのを防ぐことができ、また被覆の溶融時に発生するガスによって、光モジュール等に組み込まれている受光もしくは発光素子の駆動安定性に悪影響を与えることを抑えることができ、またさらに、被覆が溶融したときに生じる気密接続部内の応力のよって光ファイバを破損しやすくなるということを防止することができる。
【0043】
また、本発明の光ファイバの気密封止構造によれば、気密封止部材中央に気密封止材料の注入口を設けたことから、気密封止作業を行う際、中央部付近のみに気密封止材料を注入すればよいため、気密封止材料の使用量を少なくすることができ、また光ファイバがメタライズ加工されている場合にはメタライズ加工部分を小さくすることができるため、安価な光ファイバの気密封止構造を提供することができる。さらに光ファイバの被覆に加わる熱を減ずることができ、光ファイバの被覆が溶融するのを防ぐこともできるため、安定した光ファイバの気密封止構造を得ることができる。
【0044】
さらに、本発明の光ファイバの気密封止構造によれば、前記気密封止部材の貫通孔は中央部付近の断面積が最も小さく、両端側に向かって断面積が大きくなる形状としたことから、光ファイバの被覆に加わる熱を減ずることができ、光ファイバの被覆が溶融するのを防ぐこともできるため、安定した光ファイバの気密封止構造を得ることができる。
【0045】
またさらに、本発明の光ファイバの気密封止構造によれば、前記気密封止部材において、気密封止材料が気密封止部材中央部のみに存在し、気密封止部材両端はその他の材料で充填されていることから、気密封止材料の使用量を少なくすることができ、安価な光ファイバの気密封止構造を提供することができる。
【0046】
またさらに、本発明の光ファイバの気密封止構造によれば、前記気密封止部材の気密封止材料が低融点ガラスであることから、光ファイバに高価なメタライズ加工をする必要がなくなるため、安価な光ファイバの気密封止構造を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の光ファイバの気密封止構造の一実施形態を示す断面図である。
【図2】(a)(b)は本発明の光ファイバの気密封止構造の気密封止部材の他の形状を示す断面図である。
【図3】従来の光ファイバの気密封止構造を示す断面図である。
【図4】従来の気密封止用光ファイバアレイを示す斜視図である。
【符号の説明】
1:光ファイバ
1a:光ファイバ被覆部
1b:メタライズ部
2:気密封止部材
2a:貫通孔
2b:注入口
3:気密封止材料
3a:貫通孔
4:光ファイバ
4a:光ファイバ被覆部
4b:メタライズ部
5:気密封止部材
5a:貫通孔
6:気密封止材料
7:V溝基板
8:押さえ板
9:光ファイバ
10:接着剤
11:気密封止部材
Claims (8)
- 光ファイバの被覆の中間部を一部除去し、この被覆除去部を気密封止部材の貫通孔内で気密封止材料にて固定してなり、前記貫通孔の光ファイバが突出する両端部は断面積が中央付近の断面積よりも大きく、且つ、前記両端部の径は前記光ファイバ被覆部の径より大きく形成されており、前記気密封止部材及び気密封止材料と光ファイバの被覆部との間に隙間を有していることを特徴とする光ファイバの気密封止構造。
- 光ファイバの被覆の中間部を一部除去し、この被覆除去部を気密封止部材の貫通孔内で気密封止材料にて固定してなり、前記貫通孔の光ファイバが突出する両端部は断面積が中央付近の断面積よりも大きく、且つ、前記両端部の径は前記光ファイバ被覆部の径より大きく形成されており、前記気密封止部材及び気密封止材料と光ファイバの被覆部とが非接触であることを特徴とする光ファイバの気密封止構造。
- 前記気密封止部材の貫通孔は、中央付近の断面積が最も小さく、前記両側に向かって断面積が大きくなる形状であることを特徴とする請求項1または2に記載の光ファイバの気密封止構造。
- 前記光ファイバの被覆部は、上記気密封止部材の貫通孔の外側に配置されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の光ファイバの気密封止構造。
- 前記気密封止部材の貫通孔中央部に気密封止材料の注入口を設けたことを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の光ファイバの気密封止構造。
- 前記気密封止材料が気密封止部材の中央部のみに存在し、両側部は別の材料で充填されていることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の光ファイバの気密封止構造。
- 前記気密封止材料が低融点ガラスであることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の光ファイバ気密封止構造。
- 請求項1〜7のいずれかに記載の光ファイバの気密封止構造を使用して複数の光ファイバを気密封止してなる光ファイバアレイ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002020781A JP3847178B2 (ja) | 2002-01-29 | 2002-01-29 | 光ファイバの気密封止構造とこれを用いた光ファイバアレイ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002020781A JP3847178B2 (ja) | 2002-01-29 | 2002-01-29 | 光ファイバの気密封止構造とこれを用いた光ファイバアレイ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003222734A JP2003222734A (ja) | 2003-08-08 |
JP3847178B2 true JP3847178B2 (ja) | 2006-11-15 |
Family
ID=27744184
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002020781A Expired - Fee Related JP3847178B2 (ja) | 2002-01-29 | 2002-01-29 | 光ファイバの気密封止構造とこれを用いた光ファイバアレイ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3847178B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4715374B2 (ja) * | 2005-08-03 | 2011-07-06 | 住友電気工業株式会社 | 光接続部品および光接続部品の接続方法 |
-
2002
- 2002-01-29 JP JP2002020781A patent/JP3847178B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2003222734A (ja) | 2003-08-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2614018B2 (ja) | 光ファイバ導入部の気密封止構造と気密封止方法 | |
US4708429A (en) | Optical fiber assembly and optically coupled device package including same | |
EP2799919A1 (en) | Mounting and fixing structure for optical fibre of photoelectron device | |
US5664043A (en) | Hermetic optical fibre feed-through | |
US6643446B2 (en) | Hermetic fiber ferrule and feedthrough | |
JPS6123379A (ja) | 光電子装置 | |
US20030190135A1 (en) | Hermetic waveguide seals and method of making them | |
JP3847178B2 (ja) | 光ファイバの気密封止構造とこれを用いた光ファイバアレイ | |
US6474879B1 (en) | Post assembly metallization of a device to form hermetic seal | |
US20030044126A1 (en) | Optical module and method of manufacturing the optical module | |
JPH0792335A (ja) | 光ファイバの気密封止部構造 | |
US6901203B1 (en) | Fiber optic feed-through tube and method for making the same | |
JP3320537B2 (ja) | 光素子収納封止筐体構造物 | |
US20020179683A1 (en) | Hermetic optical fiber seal | |
JP2800760B2 (ja) | 光半導体モジュール | |
JP3311437B2 (ja) | 光ファイバアレイ端子 | |
US7083334B2 (en) | Hermetically sealed optical fiber ferrule assembly supporting multiple optical fibers | |
JPS63228112A (ja) | 半導体レ−ザ・光フアイバ結合モジユ−ル | |
JP2005165200A (ja) | 光デバイスとその製造方法 | |
JP2007333912A (ja) | 光モジュール | |
KR20040019686A (ko) | 광섬유의 기밀 패키징용 페룰 | |
JP2013231895A (ja) | 光モジュール | |
JP2003107281A (ja) | 光ファイバ固定具 | |
JP2513192Y2 (ja) | 光結合器 | |
JPH01306804A (ja) | 光結合器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040716 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060110 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060124 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060324 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060808 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060822 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060324 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090901 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100901 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110901 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120901 Year of fee payment: 6 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |