JP4166490B2 - 位置検出装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、工作機械、産業機械などにおいて、直線移動及び回転移動などによって変化した位置を検出する位置検出装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
工作機械、産業機械などにおいて、直線移動などによる位置の変化を検出する位置検出装置としては、特開昭50−99564号公報、特開昭63−177019号公報、特開平1−152314号公報などに開示された位置検出装置が挙げられる。
【0003】
図17に示すように、当該位置検出装置120は、1トラックのアブソリュートトラック121と、a個のアブソリュートトラック用検出部1231,1232,・・・123aを有するABSヘッド124とを備える。なお、以下では、アブソリュートトラックをABSトラックと称し、アブソリュートトラック用検出部をABS検出部と称する。また、ABS検出部1231,1232,・・・123aをABS検出部1231〜123aと称する。
【0004】
ABSトラック121は、「0」で表される微小領域と「1」で表される微小領域とがa次の巡回符号に従った配列で並べられたパターンである。「1」で表される微小領域と「0」で表される微小領域とは物理的性質が異なる。例えば、位置検出装置120が磁気式でABSヘッド124の位置を検出するときには、「1」で表される微小領域が着磁され、「0」で表される微小領域が未着磁とされる。
【0005】
ABSヘッド124は、図中矢印Yで示すABSトラック121の長手方向に移動可能とされている。各ABS検出部1231〜123aは、ABSトラック121に対向する位置に設けられている。また、ABS検出部1231〜123aは、微小領域のピッチをλとしたときに、それぞれ間隔がλとなるように設けられる。
【0006】
以上説明した位置検出装置120では、ABSトラック121がa次の巡回符号に従った配列で並べられたパターンであるため、備えられているABSトラックが1トラックであるにも拘わらず、ABSトラック121に対するABSヘッド124の位置が変化するに従って、ABSヘッド124によって検出されるABS値が全て異なる値に変化する。したがって、位置検出装置120は、ABSヘッド124が検出するABS値により、ABSトラック121に対するABSヘッド124の位置を検出することができる。
【0007】
位置検出装置120は、備えられているABSトラックが1トラックであるため、図中矢印Zで示すABSトラック121の幅方向の大きさを小さくすることができる。すなわち、位置検出装置120は、小型化を図ることが容易になる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、ABSトラックが1トラックである位置検出装置120では、ABSヘッド124の位置が変化するときに、ABS検出部1231〜123aのうち2つ以上のABSヘッドにおいて、出力する信号の切り替えが生じる。すなわち、ABS検出部1231〜123aのうち2つ以上のABSヘッドにおいて、「0」信号から「1」信号への切り替え、或いは「1」信号から「0」信号への切り替えが生じる。
【0009】
しかしながら、各ABS検出部1231〜123aにおける磁界を感知する特性や信号を出力する特性などを、全く同一とすることは困難である。また、ABSトラック121を作製するときに、図中λで示す微小領域のピッチを各微小領域において全く同一とすることも困難である。
【0010】
したがって、ABSヘッド124は、ABS検出部1231〜123aが微小領域の境界付近にあるときには、各ABS検出部1231〜123a毎に出力する信号のタイミングが異なってしまうために、ABSトラック121から符号を正しく検出することが困難となる。
【0011】
また、ABS検出部1231〜123aが微小領域の境界付近にあるときには、感知する磁界は隣接する微小領域の影響を受ける。したがって、着磁している微小領域と未着磁の微小領域とが隣接しているときには、各微小領域の境界付近に、安定して「1」信号又は「0」信号を出力することが困難となる領域が生じる。
【0012】
すなわち、位置検出装置120では、各ABS検出部1231〜123aが微小領域の境界付近にあるときには、ABSトラック121に対するABSヘッド124の位置を正しく検出することが困難となる。
【0013】
ABSトラックに対するABSヘッドの位置を誤差なく検出できる位置検出装置としては、以下に説明する装置が挙げられている。
【0014】
まず、特開平2−21216号公報、特許第2679207号、特開平1−152314号公報などに開示されている位置検出装置が挙げられる。当該位置検出装置は、各ABS検出部が微小領域の境界付近にあるときには各ABS検出部から出力される信号を検出せずに、各ABS検出部が微小領域の中心付近(以下、安定領域と称する。)にあるときに、各ABS検出部から出力される信号を検出する。
【0015】
図18に示すように、当該位置検出装置140では、一定波長の交番磁気で構成されたパターンを有するインクリメンタルトラック142が、ABSトラック121に対して併設されている。また、位置検出装置140は、ABSヘッド124の他に、2つのインクリメンタルトラック用検出部1431,1432を有するインクリメンタルトラック用ヘッド144を備えている。
【0016】
当該位置検出装置140は、インクリメンタルトラック用検出部146から出力される信号に基づいて、各ABS検出部1231〜123aが安定領域にあることを判断し、各ABS検出部1231〜123aから出力される信号を検出する。
【0017】
しかしながら、以上説明した位置検出装置140では、ABS用検出部1231〜123aがそれぞれ安定領域にないときには、ABSトラック121に対するABSヘッド124の位置が検出できない。
【0018】
したがって、例えば位置検出装置140の電源を立ち上げた瞬間におけるABSトラック121に対するABSヘッド124の位置を検出するときには、電源を立ち上げた瞬間にABS検出部1231〜123aが安定領域にある必要が生じる。ABS検出部1231〜123aが安定領域にないときには、ABSトラック用検出部124が移動することによって各ABS検出部1231〜123aが安定領域に移動するまで、ABSトラック121に対するABSトラック用検出部121の位置を検出することができない。すなわち、位置検出装置140は、電源を立ち上げた瞬間におけるABSトラック121に対するABSヘッド124の位置を検出することが困難となる。
【0019】
つぎに、特許第2571393号、特許第2571394号、特許第3063044号、特許第3103266号で開示された位置検出装置が挙げられる。当該位置検出装置は、2つのABS検出部を1組としてa組のABS検出部を備え、2つのABS検出部のうち安定領域にある方のABS検出部から出力される信号を採用することによって、aビットの符号を検出する。
【0020】
しかしながら、以上説明した位置検出装置に備えられたABSヘッドは、aビットの符号を検出するために2a個のABS検出部を備えることとなる。すなわち、当該位置検出装置では、ABSヘッドが検出する符号のビット数に対して、備えるABS検出部の数が多くなってしまう。当該位置検出装置は、備えるABS検出部の数が多くなってしまうために、ABSヘッドが大型化する虞や、配線が増加することなどによって回路が複雑化する虞がある。したがって、当該位置検出装置は小型化が困難なものとなる。また、当該位置検出装置は、製造が複雑になり、コストを低減することが困難となる。
【0021】
さらに、特開平2−284025号公報には、略等間隔に配置されたa+α(但し、αは1以上の整数。)個のABS検出部を備えたABSヘッドにより、aビットの符号を検出する位置検出装置が開示されている。
【0022】
当該位置検出装置は、ABSヘッドをABSトラックに対して移動させるときに、最大で1個のABS検出部が隣接する微小領域との境界付近に位置するように各ABS検出部を配置し、出力が不安定であるABS検出部も含めてABSヘッドによって検出される符号を想定し、測定有効長内に1つの符号が1度発生するように、αを決定している。
【0023】
しかしながら、特開平2−284025号公報によれば、当該位置検出装置は、例えばa=8のときにα=7とする必要がある。すなわち、当該位置検出装置に備えられたABS検出部の数は、2a個と比較して1個しか減っていないこととなる。したがって、当該位置検出装置では、ABSヘッドの大型化や回路の複雑化などを抑えることは困難となる。
【0024】
また、当該位置検出装置においてa=8のときにα<7としたときには、測定有効長内に1つの符号が2回発生してしまう。したがって、α<7としたときには、当該位置検出装置はABSトラックの使用範囲が一部のみとなり、測定有効長が減るために位置を検出できる範囲が狭くなる。
【0025】
本発明は以上のような従来の実情を鑑みて提案されたものであり、アブソリュートトラックが1つであるときにも、n+m(但し、nは3以上の整数であり、mは1以上の整数である。)個のアブソリュートトラック用検出部を備えたアブソリュートトラック用ヘッドによってnビットの符号を正確に検出することが可能であるとともに、アブソリュートトラック用検出部の位置に拘わらずにアブソリュートトラックに対するアブソリュートトラック用ヘッドの位置を検出することが可能である位置検出装置を提供することを目的とする。
【0026】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る位置検出装置は、信号選択物理的性質が異なる2つの微小領域をそれぞれ数字の「0」又は「1」の2つの符号で表すときに、「0」で表される微小領域と「1」で表される微小領域とが、n(但し、nは3以上の整数。)ビットの符号を与える配列で一列に並べられたアブソリュートトラックと、上記アブソリュートトラックと対向して一列に配置された(n+m)個(但し、mは1以上の整数。)のアブソリュートトラック用検出部を備え、上記アブソリュートトラックに対して移動可能とされており、上記アブソリュートトラックの物理的性質を検出するアブソリュートトラック用ヘッドと、上記微小領域における上記各アブソリュートトラック用検出部の位置を検出する微小領域内位置検出手段と、上記微小領域内位置検出手段によって検出された結果に基づいて、上記各アブソリュートトラック用検出部が出力した(n+m)個の信号のうちn個を選択する信号選択手段と、上記信号選択手段により選択されたアブソリュートトラック用検出部が出力した信号に基づいて、nビットの符号を決定する符号決定手段とを備え、上記アブソリュートトラック用検出部のうち1個目に備えられたアブソリュートトラック用検出部と(n+m)個目に備えられたアブソリュートトラック用検出部との間隔λ1を、(n−1)λ+2δ<λ1(但し、λ>0且つδ>0であり、λは各アブソリュートトラック用検出部が出力する信号の最小分解能長であり、不安定領域におけるδはアブソリュートトラック用ヘッドの移動方向の長さである。)を満たす条件とするとともに、上記各アブソリュートトラック用検出部間の間隔λ2を、2δ<λ2<λ−2δを満たす条件とすることを特徴とする。
【0027】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を適用した位置検出装置について図1乃至図16を参照しながら詳細に説明する。
【0028】
図1に示すように、本発明を適用したリニアエンコーダ1は、アブソリュートトラック(以下、ABSトラックと称する。)2と、インクリメンタルトラック(以下、INCトラックと称する。)3と、アブソリュートトラック用ヘッド(以下、ABSヘッドと称する。)4と、インクリメンタルトラック用ヘッド(以下、INCヘッドと称する。)5と、絶対位置検出部6とを備える。
【0029】
ABSトラック2は、「0」で表される微小領域と「1」で表される微小領域とが、n(但し、nは3以上の整数。)次の巡回符号に従った配列で並べられた磁気パターンである。また、1つの微小領域は1ビットを示す。本実施の形態では、巡回符号として、4次の原始多項式によって生成された最大周期系列を使用している。すなわち、ABSトラック2は、ABSトラック2から4ビットの符号を1ビットずつ移動させながら順次読みとると、同一の4ビットの符号が測定有効長内に2度発生しない磁気パターンとされている。
【0030】
ABSトラック2においては、「0」で表される微小領域が未着磁部とされており、「1」で表される微小領域が着磁部とされている。本実施の形態では、「1」で表される微小領域は、図1中に示すように、隣接した微小領域との一方の境界線から他方の境界線にかけてN→S、S→Nとなるように磁化されている。
【0031】
また、隣接する微小領域との境界付近には、図2に示すように、隣接する微小領域の影響を受ける領域Sが生じる。以下では、隣接する微小領域の影響を受ける領域Sを不安定領域Sと称し、隣接する微小領域の影響を受けない領域Tを安定領域Tと称する。また、矢印Aで示すABSトラック2の長手方向の不安定領域Sの長さをδとする。なお、本実施の形態では、δ=λ/20とする。
【0032】
なお、本実施の形態におけるABSトラック2は、先に本願出願人等が出願した特開平9−264760号公報に開示された方法によって作製されている。すなわち、ABSトラック2では、着磁部が連続して存在しているときには、当該着磁部を形成する微小領域の内1つを除いた微小領域のピッチがλとされ、残りの1つのピッチが3/4λとされる。また、ABSトラック2では、着磁部が単独で存在するときには、当該着磁部のピッチは3/4λとされる。
【0033】
INCトラック3は、波長2λの交番磁気で構成された磁気パターンであり、ABSトラック2に併設される。
【0034】
ABSヘッド4は、ABSトラック2からnビットの符号を検出する。本実施の形態では、ABSヘッド4は、4ビットの符号を検出する。ABSヘッド4は、ABSトラック2の長手方向に移動可能に設けられている。ABSヘッド4は、(n+m)(但し、mは1以上の整数。)個のアブソリュートトラック用検出部101,102,・・・10n+m−1,10m+nを備える。なお、以下では、アブソリュートトラック用検出部をABS検出部と称し、ABS検出部101,102,・・・10n+m−1,10n+mをABS検出部101〜10n+mと総称する。なお、ABSヘッド4については、詳細を後述する。
【0035】
INCヘッド5は、図中矢印Bで示すINCトラック3の長手方向に移動可能に設けられている。また、INCヘッド5は、ABSヘッド4の移動と共に移動する。INCヘッド5は、図3に示すように、4つのインクリメンタルトラック用検出部111,112,113,114と、1つの差動出力用検出部12とを備える。なお、以下では、インクリメンタルトラック用ヘッドをINCヘッドと称し、INC検出部111,112,113,114をINC検出部111〜114と総称する。
【0036】
各INC検出部111〜114は、INCトラック3からの磁界を感知して、信号を出力する。各INC検出部111〜114は、それぞれ1つのMR素子を備える。また、各INC検出部111〜114は、INCトラック3の長手方向に一列に、4つ隣接して配置される。さらに、各INC検出部111〜114間の間隔は、λ/2とされている。リニアエンコーダ1では、INC検出部111及びINC検出部113の差動出力と、INC検出部112及びINC検出部114の差動出力とに基づいて、絶対位置検出部6が演算を行うことにより、ABS検出部101が、ABSトラック2の微小領域におけるどの位置で信号を感知したかを判断する。
【0037】
差動出力用検出部12は、2つのMR素子が直列に接続され、且つ間隔がλとなるように配置された構成とされている。また、差動出力用検出部12は、図4に示す出力検出回路14を備えている。出力検出回路14は、抵抗15と、オペアンプ16とを備える。差動出力用検出部12は、抵抗15と直列に接続される。出力検出回路14は、差動出力用検出部12と当該抵抗15との中点電位を出力する。差動出力用検出部12と各ABS検出部101〜10n+mとの差動出力をとることで、各ABS検出部101〜10n+mの出力は、ノイズなどに強く且つ周囲の温度変化に対しても変動が少ないものとなる。
【0038】
絶対位置検出部6は、ABSヘッド4及びINCヘッド5からの出力に基づいて、ABSトラック2に対するABS検出部5の位置を示す絶対位置信号を得る。絶対位置検出部6は、図5に示すように、第1の差動出力部20と、内挿部21と、選択信号作成部22と、第2の差動出力部23と、信号選択部24と、ROM25と、演算部26とを備える。絶対位置検出部6については、詳細を後述する。
【0039】
以下では、ABSヘッド4について詳細に説明する。
【0040】
ABSヘッド4では、(n+m)個のABS検出部101〜10n+mがABSトラックの長手方向に一列に配置される。各ABS検出部101〜10n+mは、ABSトラック2からの磁界を感知する。各ABS検出部101〜108は、「1」で表される微小領域と対向したときには理論値「1」を示す信号(以下、「1」信号と称する。)を出力し、「0」で表される微小領域と対向したときには理論値「0」を示す信号(以下、「0」信号と称する。)を出力する。但し、各ABS検出部101〜108は、「1」で表される微小領域と「0」で表される微小領域との境界付近の不安定領域Sでは、隣接する微小領域が検出する磁界の大きさに影響するために出力が安定しにくくなり、明確な「1」信号及び「0」信号を出力することが困難となる。各ABS検出部101〜108は、ABSトラック2からの磁界を感知することで、各ビットの符号を検出する。
【0041】
mは小さい方が好ましく、1又は2とすることが特に好ましい。mが大きくなると、ABSヘッド4は、検出する符号のビット数に対して備えるABS検出部の数が多くなる。ABS検出部の数が多くなると、ABSヘッド4は、大型化したり回路が複雑化する虞がある。ABSヘッド4が大型化すると、リニアエンコーダ1の小型化が困難になる。また、回路が複雑化すると、リニアエンコーダ1は、コストの低減が困難になる。
【0042】
以下では、ABS検出部101の構成について説明する。なお、各ABS検出部101〜10n+mは同一の構成とされているため、ABS検出部102〜10n+mの構成に関しては、ABS検出部101の説明を援用する。
【0043】
ABS検出部101は、直列に接続されるとともに、λ/4の間隔で配置された2つのMR素子101a,101bを備える。MR素子101aは、ABSトラックの磁界を感知し、図6中(a)に示す波形で抵抗値が変化する。また、MR素子101bは、ABSトラックの磁界を感知し、図6中(b)に示す波形で抵抗値が変化する。ABS検出部101の抵抗変化は、MR素子101aの抵抗の変化と、MR素子101aの抵抗の変化とが加算されたものとなり、図6中(c)に示す波形で抵抗値が変化する。
【0044】
また、ABS検出部101は、差動出力用検出部12と同様に、図4に示す出力検出回路14を備えている。ABS検出部101は、抵抗15と直列に接続される。そして、ABS検出部101と当該抵抗15との中点電位が、ABS検出部101から出力される信号となる。
【0045】
本発明を適用したリニアエンコーダ1では、図7に示すように、各ABS検出部101〜10n+mを、1個目に備えたABS検出部101と(n+m)個目に備えたABS検出部10n+mとの間隔λ1が以下の式1の条件を満たし、且つ各ABS検出部101〜10n+m間の間隔λ2が以下の式2の条件を満たす位置関係で配置する。
【0046】
(n−1)λ+2δ<λ1・・・式1
2δ<λ2<λ−2δ・・・式2
但し、λ>0且つδ>0であり、λは各アブソリュートトラック用検出部が出力する信号の最小分解能長を示し、δは不安定領域におけるアブソリュートトラック用検出部の移動方向の長さを示す。
【0047】
式1及び式2の条件を満たす位置関係で各ABS検出部101〜10n+mを配設することにより、(n+m)個のABS検出部101〜10n+mのうち少なくともn個のABS検出部が隣接する微小領域の安定領域Tに存在することとなる。リニアエンコーダ1では、ABS検出部101〜10n+mのうち、異なるn個の安定領域Tに存在するn個ABS検出部を選択し、選択されたABS検出部から出力される信号に基づいてnビットの符号を判断する。
【0048】
λ1が{(n−1)λ+2δ}以下となると、ABS検出部101がb(但し、bは1以上の整数。)ビット目を検出しているときに、ABS検出部10n+mが(b+n−2)ビット目を検出していることとなる。すなわち、ABSヘッド4は、最大で(n−1)ビットの符号しか検出できないこととなり、nビットの符号を検出することが不可能となる。例えば、n=4且つm=1のときには、3λ+2δ以下となり、図8に示すように、ABS検出部101が0ビット目の不安定領域Sに存在するときに、ABS検出部105が3ビット目の不安定領域Sに存在していることとなる。すなわち、ABS検出部3は3ビットの符号しか検出できないこととなり、4ビットの符号を検出することが不可能となる。なお、図8では、ABS検出部102,103,104の図示を省略している。
【0049】
また、λ2が2δ以下であるときには、1つの安定領域Tに2つ以上のABS検出部が存在してしまう場合が生じ、ABS検出部101〜10n+mのうち少なくともn個が、異なるn個の安定領域Tに存在しない場合が生じることがある。例えば、図9に示すように、n=4且つm=1としたときにABS検出部101とABS検出部102との間隔が2δ以下であるときには、ABS検出部101とABS検出部102とが同一の不安定領域Sに存在する場合が生じ、4ビットの符号を検出できない場合が生じてしまう。なお、図9では、ABSヘッド103,104,105の図示を省略している。
【0050】
さらに、λ2が(λ−2δ)以上であるときには、2つの隣接するABS検出部が1つの微小領域の両端に生じる2つの不安定領域Sに存在し、当該2つの不安定領域S間の安定領域Tに存在するABS検出部がなくなるために、ABS検出部3はn個の連続した微小領域を検出することができなくなる。すなわち、図10に示すように、n=4且つm=1としたときにABS検出部101とABS検出部102との間隔が(λ−2δ)以上であるときには、ABS検出部101が存在する不安定領域SとABS検出部102が存在する不安定領域Sとの間に検出されない安定領域Tが生じてしまい、ABSヘッド4は4ビットの符号を検出することができなくなる。なお、図10では、ABSヘッド103,104,105の図示を省略している。
【0051】
なお、λ2は略同一とすることが好ましい。λ2を略同一とすることで、不安定領域Sに存在するABS検出部が一定の間隔で順次変化する。したがって、例えば後述するINC値などに基づいて、一定の間隔で選択するABSヘッドを変えることが可能となる。すなわち、λ2を略同一とすることによって、ABS検出部の選択を簡易に行うことが可能となり、例えば、選択信号作成部25などの回路構成を簡略化することなどが可能となる。
【0052】
本実施の形態におけるABSヘッド4は、図11に示すように、5つのABS検出部101〜105がそれぞれ4λ/5の間隔で一列に配置されており、5つのABS検出部101〜105のうち4つのABS検出部によって、4ビットの符号を検出する。各ABS検出部101〜105が示す抵抗変化は、図6に示す通りとなる。すなわち、ABS検出部101は図6中(c)に示す波形で抵抗値が変化し、ABS検出部102は図6中(d)に示す波形で抵抗値が変化し、ABS検出部103は図6中(e)に示す波形で抵抗値が変化し、ABS検出部104から図6中(f)に示す波形で抵抗値が変化し、ABS検出部105から図6中(g)に示す波形で抵抗値が変化する。
【0053】
なお、ABS検出部101とABS検出部105との間隔は(3λ+λ/5)であり、(3λ+λ/10)より大とされている。また、各ABS検出部101〜105間の間隔λ2は、4λ/5であるから、λ/10より大きく9λ/10より小さい。すなわち、各ABS検出部101〜105は、式1及び式2の関係に基づいて配置されている。
【0054】
以下では、当該ABSヘッド4の移動に応じた各ABS検出部101〜105の移動、及びABSヘッド4の移動に応じて選択されるABS検出部の変化について説明する。なお、以下では、微小領域におけるABS検出部101の位置をθで示し、ABS検出部101が移動によって微小領域の境界に対してδ手前の位置となったとき、すなわち、λ/20手前の位置となったときをθ=0とする。
【0055】
図12(A)に示すように、0<θ≦λ/5のときには、ABS検出部101が不安定領域Sにあり、ABS検出部102,103,104,105が安定領域にある。したがって、0<θ≦λ/5のときには、ABS検出部102,103,104,105が選択されることによって、符号「1101」が得られる。
【0056】
また、図12(B)に示すように、λ/5<θ≦2λ/5のときには、ABS検出部102が不安定領域Sにあり、ABS検出部101,103,104,105が安定領域にある。したがって、λ/5<θ≦2λ/5のときには、ABS検出部101,103,104,105が選択されることによって、符号「1101」が得られる。
【0057】
さらに、図12(C)に示すように、2λ/5<θ≦3λ/5のときには、ABS検出部103が不安定領域Sにあり、ABS検出部101,102,104,105が安定領域Tにある。したがって、2λ/5<θ≦3λ/5のときには、ABS検出部101,102,104,105が選択されることによって、符号「1101」が得られる。
【0058】
さらにまた、図12(D)に示すように、3λ/5<θ≦4λ/5のときには、ABS検出部104が不安定領域Sにあり、ABS検出部101,102,103,105が安定領域Tにある。したがって、3λ/5<θ≦4λ/5のときには、ABS検出部101,102,103,105が選択されることによって、符号「1101」が得られる。
【0059】
さらにまた、図12(E)に示すように、4λ/5<θ≦λ(0)のときには、ABS検出部105が不安定領域Sにあり、ABS検出部101,102,103,104が安定領域Tにある。したがって、3λ/5<θ≦λのときには、ABS検出部101,102,103,104が選択されることによって、符号「1101」が得られる。
【0060】
以下では、絶対位置検出部6に備えられた各要素について詳細に説明する。
【0061】
第1の差動出力部20は、INC検出部111及びINC検出部113間の差動出力、並びにINC検出部112及びINC検出部113間の差動出力をとる。INC検出部111及びINC検出部113間の差動出力とINC検出部112及びINC検出部113間の差動出力とは、位相が90°ずれている。
【0062】
内挿部21は、INC検出部111及びINC検出部113間の差動出力と、INC検出部112及びINC検出部114間の差動出力とに基づいて、INC値を検出する。INC値は、微小領域内におけるABS検出部101の絶対位置を示す値である。図13に示すように、微小領域はABSトラック2の長手方向にw(但し、wは自然数。)等分され、w等分された各領域には、一方の境界側から順にそれぞれ0,1,2,・・・,w−1のINC値が付与される。なお、INC値は、例えば、特許第2571394号に記載された方法などにより決定される。
【0063】
選択信号作成部22は、INC値に基づいて選択するABS検出部を判断し、判断した結果から選択信号を作成して信号選択部24へ供給する。本実施の形態では、INC値よりθの値を決定し、0≦θ<λ/5であるときにはABS検出部102,103,104,105を選択し、λ/5≦θ<2λ/5であるときにはABS検出部101,103,104,105を選択し、2λ/5≦θ<3λ/5であるときにはABS検出部101,102,104,105を選択し、3λ/5≦θ<4λ/5であるときにはABS検出部101,102,103,105を選択し、4λ/5≦θ<λ(0)であるときにはABS検出部101,102,103,104を選択する。
【0064】
第2の差動出力部23は、各ABS検出部101〜105と差動出力用検出部12との差動出力をそれぞれとり、信号選択部24へ供給する。
【0065】
信号選択部24は、選択信号に基づいて、第2の差動出力部23から供給された信号を選択する。選択された信号は、nビットの符号としてROM25へ供給される。本発明では、信号選択部24は、4ビットの符号をROM25へ供給する。
【0066】
ROM25は、信号選択部24から供給されたnビットの符号とABSトラック2に対するABS検出部5の位置を区間で表す区間絶対位置信号との関係を示すデータを記憶している。ROM25は、記憶されているデータに従って、nビットの符号を区間絶対位置信号に変換する。
【0067】
演算部26は、INC値と区間絶対位置信号とを加算して出力する。INC値と区間絶対位置信号とを加算することにより、ABSトラック2に対するABSヘッド4の位置を、区間絶対位置信号の1/wの精度で示した絶対位置信号が得られる。
【0068】
以上説明したリニアエンコーダ1の動作は、以下に説明する通りとなる。
【0069】
先ず、第1の差動出力部20が、INC検出部111及びINC検出部113間の差動出力を検出するとともに、INC検出部112及びINC検出部114間の差動出力を検出する。
【0070】
次に、内挿部21が、INC検出部111及びINC検出部113間の差動出力と、INC検出部112及びINC検出部114間の差動出力とに基づいて、INC値を検出する。INC値は、選択信号作成部22と演算回路26とに供給される。
【0071】
そして、選択信号作成部22が、INC値に基づいて、各ABS検出部101〜105から出力された信号のうちどのABS検出部から出力された信号を選択するかを示す選択信号を作成する。選択信号は、信号選択部24へ供給される。
【0072】
一方、第2の差動出力部23は、各ABS検出部101〜105と差動出力用検出部12との差動出力をそれぞれとり、信号選択部24へ供給する。
【0073】
そして、信号選択部24では、選択信号作成部22から供給された選択信号に基づいて、第2の差動出力部23から供給された5個の信号から4個の信号を選択し、選択した信号を4ビットの符号としてROM25へ供給する。
【0074】
次に、ROM25が、信号選択部24から供給された4ビットの符号を、区間絶対位置信号に変換する。
【0075】
そして、演算部26が、INC値と区間絶対位置とを加算し、絶対位置信号を出力する。
【0076】
ところで、リニアエンコーダにおいて高精度化及び高分解能化を図る方法の1つに、微小領域のピッチを狭くする方法が挙げられる。微小領域のピッチが狭くなるとλの値が小さくなる。しかしながら、λの値が小さくなってもδは変化しない。すなわち、ピッチが狭くなると、微小領域において不安定領域Sが占める割合が大きくなり、微小領域のピッチが半分となったときには、δ=λ/10となる。
【0077】
δ=λ/10となったABSトラックに対して、ABSヘッド4を配置すると、図14(A)に示すように、5つのABS検出部101〜105のうち隣接する2つが1つの微小領域の両端に形成された2つの不安定領域Sに存在し、当該2つの不安定領域の間に存在する安定領域TにはABS検出部が存在しないこととなる。すなわち、ABSヘッド4は、δ=λ/10であるABSトラックから4ビットの符号を検出することが不可能となる。
【0078】
以上説明した場合には、各ABS検出部101〜105を、式1及び式2とともに以下に示す式3を満たす関係で配置することによって、各ABS検出部101〜105の配置を簡易に決定できる。
【0079】
sλ−2δ≦λ3≦sλ+2δ・・・式3
但し、sは自然数であり、各ABS検出部101〜105のうち2つのABS検出部がそれぞれ異なる不安定領域S内に存在するときに、当該異なる不安定領域Sの間に存在する安定領域Tの数を示す。
【0080】
以下では、δ=λ/10のABSトラックから4ビットの符号を検出することが可能なABS検出部について説明する。
【0081】
図15に示すように、ABSヘッド40は、6つのABS検出部411,412,413,414,415,416(以下、ABS検出部411〜416と総称する。)を備える。各ABS検出部411〜416としては、各ABS検出部101〜105と同じものを使用することができる。ABSヘッド40によれば、δ=λ/10のABSトラックからの磁界を検出して、各ABS検出部411〜416から出力された信号うち4つのABS検出部から出力された信号を選択し、選択された信号を4ビットの符号とすることが可能となる。
【0082】
各ABS検出部411〜416は、以下に説明する位置関係で配置される。
【0083】
先ず、ABS検出部411〜416のうち隣接しない2つのABS検出部の位置を、式3に基づいて決定する。ABSヘッド40では、1番目に備えられたABS検出部411と5番目に備えられたABS検出部415とを3λの間隔で配置している。
【0084】
次に、位置が決定された2つのABS検出部の間に備えられたs個のABS検出部の位置を、式2に基づいて決定する。ABSヘッド40では、ABS検出部412、ABS検出部413、ABS検出部414を、それぞれ隣接するABS検出部との間隔が3λ/4となる位置に配置している。
【0085】
そして、位置が決定していないABS検出部の位置を、式1及び式2の関係に基づいて決定する。ABSヘッド40では、ABS検出部416を、ABS検出部416との間隔がλ/2となる位置に配置している。
【0086】
各ABS検出部411〜416の配置を以上説明した配置とすることにより、図14(B)に示すように、隣接する2つのABS検出部が1つの微小領域の両端に形成された2つの不安定領域Sに存在することがなくなり、各ABS検出部411〜416のうち少なくとも4つの検出部が、隣接した4つの微小領域の安定領域Tに存在することとなる。
【0087】
また、ABSヘッド40では、1番目に備えられたABS検出部411と5番目に備えられたABS検出部415との間隔を式3に基づいて決定した後に、各ABS検出部411〜416の位置関係を決定しているが、他の隣接しない2つのABS検出部間の間隔を式3に基づいて決定した後に、各ABS検出部411〜416の位置関係を決定しても良い。
【0088】
例えば、1番目に備えられたABS検出部411と3番目に備えられたABS検出部413との間隔を式3に従って決定したときには、ABSヘッド40における各ABS検出部411〜416の位置関係は、図16に示す通りとなる。先ず、ABS検出部411とABS検出部413との間隔がλとされる。次に、ABS検出部412が、隣接するABS検出部との間隔がλ/2となる位置に配置される。そして、ABS検出部414、ABS検出部415、ABS検出部416が、それぞれ隣接するABS検出部との間隔が3λ/4となる位置に配置される。
【0089】
なお、n個のABS検出部を選択するための選択信号は、INC値に基づいて作成されなくても良い。例えば、所定位置に付けたインデックスやマークを検出し、検出した結果に基づいて作成されても良い。
【0090】
なお、本実施の形態では、本発明をリニアエンコーダに適用した場合について説明したが、本発明はリニアエンコーダ以外の位置検出装置に対しても適応することが可能であり、例えば、ロータリエンコーダに対して適応することも可能である。
【0091】
なお、本実施の形態では、本発明を磁気式の位置検出装置に適用した場合について説明したが、本発明は磁気式以外の位置検出装置に対しても適用することが可能であり、例えば、光学式や静電容量式の位置検出装置に対して適用することも可能である。
【0092】
【発明の効果】
本発明に係る位置検出装置は、アブソリュートトラックが1つであるときにも、(n+m)個のアブソリュートトラック用検出部を備えたアブソリュートトラック用ヘッドによって、アブソリュートトラックからnビットの信号を正確に検出することができる。したがって、本発明に係る位置検出装置は、例えばmを1及び2などに決定することによって、回路構成が単純で、小型化及びコストの低減が容易なものとなる。
【0093】
また、本発明に係る位置検出装置は、アブソリュートトラック用検出部が微小領域の境界付近にあるときにも、アブソリュートトラックに対するアブソリュートトラック用ヘッドの位置を検出することができる。したがって、本発明に係る位置検出装置は、アブソリュートトラック用検出部の位置に拘わらず、アブソリュートトラックに対するアブソリュートトラック用ヘッドの位置を検出することが可能となる。また、本発明に係る位置検出装置は、アブソリュートトラックの測定有効長全体に亘って、nビットの符号を検出することが可能となる。さらに、本発明に係る位置検出装置は、高い分解能で、アブソリュートトラックに対するアブソリュートトラック用検出部の位置を検出することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を適用したリニアエンコーダを示す模式図である。
【図2】不安定領域及び安定領域を説明するための模式図である。
【図3】INCヘッドにおける各INC検出部及び差動出力用検出部の配置を示した模式図である。
【図4】差動出力用検出部の出力検出回路を示す回路図である。
【図5】各ABS検出部の出力検出回路を示す回路図である。
【図6】各ABS検出部から出力される信号を示す波形図である。
【図7】(n+m)個のABS検出部の配置を示す模式図である。
【図8】λ1が(n−1)λ+2δ以下であるときのABS検出部の位置関係を説明する模式図である。
【図9】λ2が2δ以下であるときの隣接する2つのABS検出部の位置関係を説明する模式図である。
【図10】λ2が2δ以上であるときの隣接する2つのABS検出部の位置関係を説明する模式図である。
【図11】本実施の形態における各ABS検出部の配置を示した模式図である。
【図12】ABSヘッドの移動と各ABS検出部の位置との関係を示した模式図である。
【図13】INC値を説明するための模式図である。
【図14】微小領域のピッチの長さの変化に応じて不安定領域が占める割合が変化することを示す模式図である。
【図15】式3に基づいて決定した各ABS検出部の位置関係を示す模式図である。
【図16】式3に基づいて決定した各ABS検出部の位置関係を示す他の模式図である。
【図17】1トラックのアブソリュートトラックを有する従来の位置検出装置の模式図である。
【図18】1トラックのアブソリュートトラックを有し、且つインクリメンタルトラックが併設された従来の位置検出装置の模式図である。
【符号の説明】
1 リニアエンコーダ、2 ABSトラック、3 INCトラック、4 ABSヘッド、5 INCヘッド、6 絶対位置検出回路、101〜10n+m ABS検出部、111〜114 INC検出部、12 差動出力用検出部、15 検出回路、16 抵抗、17 検出回路、18 抵抗 、20 第1の差動出力部、21 INC値検出部、22 選択信号作成部、23 第2の差動出力部、24 信号選択部、25 ROM、26 演算部、40 ABSヘッド、411〜416 ABS検出部
Claims (4)
- 物理的性質が異なる2つの微小領域をそれぞれ数字の「0」又は「1」の2つの符号で表すときに、「0」で表される微小領域と「1」で表される微小領域とが、n(但し、nは3以上の整数。)ビットの符号を与える配列で一列に並べられたアブソリュートトラックと、
上記アブソリュートトラックと対向して一列に配置された(n+m)個(但し、mは1以上の整数。)のアブソリュートトラック用検出部を備え、上記アブソリュートトラックに対して移動可能とされており、上記アブソリュートトラックの物理的性質を検出するアブソリュートトラック用ヘッドと、
上記微小領域における上記各アブソリュートトラック用検出部の位置を検出する微小領域内位置検出手段と、
上記微小領域内位置検出手段によって検出された結果に基づいて、上記各アブソリュートトラック用検出部が出力した(n+m)個の信号のうちn個を選択する信号選択手段と、
上記信号選択手段により選択されたアブソリュートトラック用検出部が出力した信号に基づいて、nビットの符号を決定する符号決定手段とを備え、
上記アブソリュートトラック用検出部のうち1個目に備えられたアブソリュートトラック用検出部と(n+m)個目に備えられたアブソリュートトラック用検出部との間隔λ1を、(n−1)λ+2δ<λ1(但し、λ>0且つδ>0であり、λは各アブソリュートトラック用検出部が出力する信号の最小分解能長であり、δは不安定領域におけるアブソリュートトラック用ヘッドの移動方向の長さである。)を満たす条件とするとともに、
上記各アブソリュートトラック用検出部間の間隔λ2を、2δ<λ2<λ−2δを満たす条件とすること
を特徴とする位置検出装置。 - 上記各アブソリュートトラック用検出部間の間隔λ2を、略同一とすること
を特徴とする請求項1記載の位置検出装置。 - 上記アブソリュートトラック用検出部の配列は、上記各アブソリュートトラック用検出部のうち隣接しない2つのアブソリュートトラック用検出部間の間隔λ3を(sλ−2δ)以上(sλ+2δ)以下とし(但し、sは自然数であり、上記各アブソリュートトラック用検出部のうち2つのアブソリュートトラック用検出部がそれぞれ異なる不安定領域内に存在するときに、当該異なる不安定領域の間に存在する安定領域の数を示す。)、λ3の間隔で配置された2つのアブソリュートトラック用検出部の間に、s個のアブソリュートトラック用検出部が並べられた配置とされていること
を特徴とする請求項1記載の位置検出装置。 - 上記(n+m)個アブソリュートトラック用検出部の配置は、最大でm個のアブソリュートトラック用検出部が異なる不安定領域に存在する配置とされていること
を特徴とする請求項1記載の位置検出装置。
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