JP4163157B2 - 表面改質方法および表面改質装置 - Google Patents
表面改質方法および表面改質装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4163157B2 JP4163157B2 JP2004219397A JP2004219397A JP4163157B2 JP 4163157 B2 JP4163157 B2 JP 4163157B2 JP 2004219397 A JP2004219397 A JP 2004219397A JP 2004219397 A JP2004219397 A JP 2004219397A JP 4163157 B2 JP4163157 B2 JP 4163157B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- water
- film
- roll
- flame
- surface modification
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Coating Of Shaped Articles Made Of Macromolecular Substances (AREA)
- Chemical Treatment Of Metals (AREA)
- Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)
- Printing Methods (AREA)
Description
特に、各種材種との接着に難があると言われているポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂等からなる各種オレフィン樹脂フィルム、一弗化樹脂・二弗化樹脂・三弗化樹脂等からなる各種フッ素樹脂フィルム、そしてポリエチレンテレフタレート樹脂、ポリエチレンナフタレート樹脂等からなる各種ポリエステル樹脂フィルム等々の各種有機質素材からなるフィルム原反、更には、ガラス繊維よりなるフィルム原反、そして各種カーボン繊維からなるフィルム原反、並びにアラミド繊維からなるフィルム原反等々の各種有機素材および無機素材よりなるフィルム原反における被接着面・被印刷面並びに被塗工面を活性化させ他の各種材種との接着特性、あるいは印刷特性更には塗装・塗工特性の改善を図ることを目的とする各種材種表層における表面改質方法、および各種フィルム原反の表面を活性化させるための表面改質装置に関するものである。
そのため、これら難接着性素材等の固体物質の表面特性を改質する方法として、固体物質の表面にプライマー処理を施したり、溶剤に溶かしたシランカップリング剤を表面に塗布したりする方法が一般的に行われていた。
すなわち、JISで定義されているような肉厚が極めて薄いフィルム状形態(1μm〜200μm未満)、あるいはシート状形態(200μm以上)に対して、有効に機能する表面改質技術の開示は全く示されていないのが実情である。
そして、これら劣化要因により当該薄膜系素材に対しては、表面改質技術として有効に機能し得る技術には成り得なかった。
すなわち、本発明によれば、無機質素材、有機質素材またはこれらの複合材よりなるフィルム原反を繰り出すための繰り出し手段と、当該繰り出し手段より送出された、フィルム原反を所定のスピードで巻き取るための巻き取り手段と、を備え、繰り出し手段と、巻き取り手段との両手段の間に、熱拡散手段を配設し、更に、当該熱拡散手段の近傍に、シリコン原子(Si原子)を含む表面改質剤化合物であって、かつ、沸点が10〜100℃である表面改質剤を気化させた状態で、引火性ガスと混合して燃焼ガスとし、当該燃料ガスに由来した火炎を噴射するフレーム装置を、所定の角度を以て配置し、燃料ガスに由来した火炎を、当該熱拡散手段の表層に接触するよう配設されたフィルム原反の被改質表面に向け、直接吹き付けることによって、フィルム原反における被改質表面を活性化させるとともに、熱拡散手段が、水の蒸発潜熱を利用した冷却ロールであって、フィルム原反と、冷却ロールとの間に介在する薄膜水層の存在によって、燃料ガスに由来した火炎による熱衝撃エネルギーを水の蒸発潜熱としてエネルギー変換することを特徴とする表面改質方法が提供される。
また、本発明の別の態様によれば、無機質素材、有機質素材またはこれらの複合材よりなるフィルム原反を繰り出すための繰り出し手段と、当該繰り出し手段より送出された、フィルム原反を所定のスピードで巻き取るための巻き取り手段と、を備え、繰り出し手段と、巻き取り手段との両手段の間に、熱拡散手段を配設し、更に、当該熱拡散手段の近傍に、シリコン原子(Si原子)を含む表面改質剤化合物であって、かつ、沸点が10〜100℃である表面改質剤を気化させた状態で、引火性ガスと混合して燃焼ガスとし、当該燃料ガスに由来した火炎を噴射するフレーム装置を、所定の角度を以て配置し、燃料ガスに由来した火炎を、当該熱拡散手段の表層に接触するよう配設されたフィルム原反の被改質表面に向け、直接吹き付けることによって、フィルム原反における被改質表面を活性化させるとともに、熱拡散手段が、水の蒸発潜熱を利用した冷却ロールであって、フィルム原反と、冷却ロールとの間に介在する薄膜水層の存在によって、燃料ガスに由来した火炎による熱衝撃エネルギーを水の蒸発潜熱としてエネルギー変換することを特徴とする表面改質装置が提供される。
そして、比較的に熱損傷を受け難い、例えば、100μmを超える厚膜形体のフィルム原反を対象とする表面改質装置であって、その概要は次の通りである。
その概要は、例えば、ポリエチレン製、あるいはポリプロピレン製等々の各種フィルム状体、あるいはシート状体の原反1を、所定スピードにて送出するための繰り出し手段2と、同繰り出し手段2より繰り出されたフィルム状体、あるいはシート状体の原反1を所定のスピードで巻き取るための巻き取り手段3とを備えている。
そして、繰り出し手段2と、巻き取り手段3との間に、例えばケイ酸化炎等により生じるフィルム状体、あるいはシート状体の原反1上に生じる熱衝撃エネルギーを瞬時に吸収し熱拡散を図る目的の熱拡散手段4を配置してある。
更には、当該熱拡散手段4の直上近傍若しくは直下近傍に、シリコン原子を含む表面改質剤化合物であって、それぞれ沸点が10〜100℃である表面改質剤を含む燃料ガスの火炎5aを噴射するフレーム装置5を所定の角度を以て配置してある。
そして、当該表面改質剤を含む燃料ガスに由来した火炎(フレーム)を、熱拡散手段4の表面に接触されるよう配設されたフィルム状体、あるいはシート状体の各原反の表面に向けフレーム装置5より吹き付け、無機質または有機質よりなるフィルム状体、あるいはシート状体の各原反1の被改質面を活性化させるように表面改質装置が構成されている。
本願発明の実施例においては、水冷・駆動式熱冷却ロール装置として例示されている。水冷・駆動式熱冷却ロール4aは、鋼鉄製で概略寸法は500mmφ×1500mmlでありその表面はハードクロームメッキ処理が施されている。
また、水冷・駆動式熱冷却ロールの寸法・容量は、フレーム装置より放射される表面改質剤を含む燃料ガスに由来した火炎の放射熱エネルギーを瞬間的に拡散できる容量として設計されている。
なお、かかる本願発明の実施例においては、駆動式熱冷却ロールの冷却方式を水冷式にて説明したが、同冷却方式は水冷式に限るものでなく、例えばフレオン・アンモニヤ等の各種冷媒、更には、熱容量の大きい油等の各種冷媒を用いることができる。
また、水冷・駆動式熱冷却ロール4の出口サイドにも同様に出口ガイドロール6bが配設されている。
本願発明に係るフレーム装置5は、シリコン原子を含む改質剤化合物であって、それぞれ沸点が10〜100℃である改質剤化合物5dを貯蔵するための貯蔵タンク5eと、燃料ガスを移送するための移送部5fと、燃料ガスの火炎5aを吹き付けるためのバーナー部5gとより構成されている。
以下、フレーム装置の詳細につきフレーム装置5を構成する各々の構成パーツをもとに説明する。
図2に示すように、加熱手段5hを有する改質剤化合物5dを貯蔵するための第1の貯蔵タンク5eと、圧縮空気を伴う引火性ガスを貯蔵するための第2の貯蔵タンク(図示せず)と、を備えることが好ましい。
この例では、第1の貯蔵タンク5eの下方にヒータや電熱線、あるいは熱交換機に接続した加熱板等の加熱手段5hを備えており、常温・常圧状体では液状の改質剤化合物5dを気化することが好ましい。
そして、各種フィルム状体、あるいはシート状体1の表面処理をする際には、加熱手段5hによって、第1の貯蔵タンク5e内の改質剤化合物5dを所定温度迄に加熱し、気化させた状態で、引火性ガス(空気等)と混合し、燃焼ガスとすることが好ましい。
なお、燃焼ガス中における改質剤化合物5dの含有量は極めて重要であるため、当該改質剤化合物の含有量を間接的に制御すべく、第1の貯蔵タンク5eに圧力計(または液面レベル計)5iを設けて、改質剤化合物の蒸気圧(または改質剤化合物量)をモニターすることが好ましい。
移送部5fは、通常、管構造であって、図2に示すように第1の貯蔵タンク5eから移送された改質剤化合物5dおよび第2の貯蔵タンク(図示せず)から移送された引火性ガス(空気)とを均一に混合し、燃焼ガスにするための弁や流量計あるいは燃焼ガスの圧力を制御するための圧力計5jを備えていることが好ましい。
また、改質剤化合物および引火性ガスを均一に混合した上で、流量を厳格に制御できるように、混合室5kに混合ポンプや滞留時間を長くするための邪魔板等を備えることも好ましい。
バーナー部5gは、図2に示すように、移送部5fを経て送られてきた燃焼ガスを燃やし、得られた火炎5aを、被処理物である各種フィルム状体、あるいはシート状体1に吹き付けるよう構成されており、かかるバーナー部5gの種類も特に制限されるものではなく例えば、予混合型バーナー、拡散型バーナー、部分予混合型バーナー、噴霧バーナー、蒸発バーナー等何れであっても良い。
また、バーナーの形態についても特に制限されるものではなく、例えば、図2に示すように先端部に向かって拡大し、全体として扇形の構成であっても良く、あるいは、図3に示すように、概ね長方形であって噴射口5bが横方向に多数配列されたバーナー5gであっても良い。
なお、本発明における被処理物である各種フィルム状体、あるいはシート状体1にあっては、噴射口5b多数が横方向に配列されたバーナーが好適であり、当該バーナー寸法は適宜選択可能であるが本発明に係る実施態様例に於いては300mmlを採用している。なお、当該バーナー設置個数は、各種フィルム状体、あるいはシート状体1の巾寸法に合わせて複数台設置すれば良い。
バーナー部5cの最適位置としては、図1に示すように熱拡散ロール装置4の直上に配置させれば、無機質または有機質素材からなるシート状体、あるいはフィルム状体の表面改質に与らないバーナー部5cより噴射される余分の熱エネルギーはバーナー部5cより発せられる火炎の上昇気流と共に上方に拡散されるため、表面改質を図る無機質または有機質素材からなるシート状体、あるいはフィルム状体の表面に熱的衝撃を最小限に抑えることが可能となり好都合である。
なお、バーナー部5cの最適位置として、図1に示す実施例をもとに例示したが、表面改質に与らない余分の熱エネルギーを積極的に排除する機構を設ければ、熱拡散ロール装置4の直下に配置することも可能となり、直上に配置した事例に限定されるものではない。
さらに、バーナー部5cには、バーナー部5cから噴射される火炎5aが空調設備、あるいはその他要因による風により火炎5aの揺らぎを防ぎ火炎5aが被改質面に常に定常状態にて噴射される様に、風防カバー5bを取り付けておけば更に効果的である。
1:フィルム条件:フィルム厚み・100μm、原反巾・1050mm
2:表面改質条件(フィルムスピード):30m/min
3:熱拡散条件:冷却ロール(500mmφ×1500mml)、冷却水温度・7℃
4:フレーム条件:バーナー(300mml×4個)、ケイ酸化炎組成(燃焼ガス:L PGの全体量・100mol%、沸点27℃テトラメチルシラン・0.01mol %沸点:122℃テトラメトキシシラン:0.001mol%、燃焼用空気)
5:フレーム処理結果(表面改質効果)
フレーム処理前:32dyn/cm、フレーム処理後:74dyn/cm
6、フレーム処理後における原反外観
熱損傷:火炎処理によるフレアー等の発生も無く、繰り出し時のシート状体を維持 。
1:フィルム条件:フィルム厚み・125μm、原反巾・1050mm
2:表面改質条件(フィルムスピード):30m/min
3:熱拡散条件:冷却ロール(500mmφ×1500mml)、冷却水温度・7℃
4:フレーム条件:バーナー(300mml×4個)、ケイ酸化炎組成(燃焼ガス:L PGの全体量・100mol%、沸点27℃テトラメチルシラン・0.01mol %沸点:122℃テトラメトキシシラン:0.001mol%、燃焼用空気)
5:フレーム処理結果(表面改質効果)
フレーム処理前:38dyn/cm、フレーム処理後:74dyn/cm
6:フレーム処理後における原反外観
熱損傷:火炎処理によるフレアー等の発生も無く、繰り出し時のシート状体を維持 。
1:フィルム条件:フィルム厚み・60μm、原反巾・1050mm
2:表面改質条件(フィルムスピード):30m/min
3:熱拡散条件:冷却ロール(500mmφ×1500mml)、冷却水温度・7℃
4:フレーム条件:バーナー(300mml×4個)、ケイ酸化炎組成(燃焼ガス:L PGの全体量・100mol%、沸点27℃テトラメチルシラン・0.01mol %沸点:122℃テトラメトキシシラン:0.001mol%、燃焼用空気)
5:フレーム処理結果(表面改質効果)
フレーム処理前:23dyn/cm、フレーム処理後:36dyn/cm、但し従 来不可能であったウレタン系接着剤にて接着良好。
6:フレーム処理後における原反外観
熱損傷:火炎処理によるフレアー等の発生も無く、繰り出し時のシート状体を維持 。
以下に、第2の実施形態につき、具体的に説明する。
記号4eは吸水ロール4cに対し常時水を供給するための水槽であり、6aは原反ガイド用のニップロールである。
そして、グラビア冷却ロール4bの頂面にはフレーム装置5が施されている。
また、記号4fはグラビア冷却ロールより送出された原反の余剰水を除去するために設けられているアルミニウム製のガイドロールであり、当該ガイドロールの原反搬出出口近傍にはゴム製からなるスキージー4iが配設されており、スキージー4iにて排除された水は排水装置4gに設けられている排水ドレイン4hにより排水される。
更に、ガイドロール4fの出口近傍には原反に付着している残存水を乾燥させるためのドライヤー4jが設けられている。
なお、図4に例示される第2の実施形態においては、水の蒸発潜熱を利用する冷却方式としてグラビア冷却ロールを事例に説明したが、潜熱事例の冷却ロールとして当該グラビアロールに限定されるものではない。例えば、ロール外周縁全面に亘ってフエルト等の吸水性・保水性に優れたシートが施されたロールを採用しても良く、要は最も潜熱効率の優れた熱拡散手段を採用すればよい。
繰り出し装置より繰り出された原反がグラビア冷却ロール4bの頂面に於いてフレーム装置5の火炎5aによる熱衝撃を受けても、原反とグラビア冷却ロール4b間に介在する均一な薄膜水層の存在にて火炎5aによる熱衝撃エネルギーは瞬時に潜熱としてエネルギー変換されるために、原反は熱的損傷が回避される。
1:フィルム条件:フィルム厚み・80μm、原反巾・1050mm
2:表面改質条件(フィルムスピード):40m/min
3:熱拡散条件:グラビア冷却ロール(500mmφ×1500ml)、
4:フレーム条件:バーナー(300mml×4個)、ケイ酸化炎組成(燃焼ガス:L PGの全体量・100mol%、沸点27℃テトラメチルシラン・0.01mol %沸点:122℃テトラメトキシシラン:0.001mol%、燃焼用空気)
5:フレーム処理結果(表面改質効果)
フレーム処理前:32dyn/cm、フレーム処理後:74dyn/cm
6:フレーム処理後における原反外観
熱損傷:火炎処理によるフレアー等の発生も無く、繰り出し時のシート状体を維持 。
1:フィルム条件:フィルム厚み・25μm、原反巾・1050mm
2:表面改質条件(フィルムスピード):40m/min
3:熱拡散条件:グラビア冷却ロール(500mmφ×1500mml)、
4:フレーム条件:バーナー(300mml×4個)、ケイ酸化炎組成(燃焼ガス:L PGの全体量・100mol%、沸点27℃テトラメチルシラン・0.01mol %沸点:122℃テトラメトキシシラン:0.001mol%、燃焼用空気)
5:フレーム処理結果(表面改質効果)
フレーム処理前:38dyn/cm、フレーム処理後:74dyn/cm
6:フレーム処理後における原反外観
熱損傷:火炎処理によるフレアー等の発生も無く、繰り出し時のシート状体を維持 。
1:フィルム条件:フィルム厚み・25μm、原反巾・1050mm
2:表面改質条件(フィルムスピード):40m/min
3:熱拡散条件:グラビア冷却ロール(500mmφ×1500mml)、
4:フレーム条件:バーナー(300mml×4個)、ケイ酸化炎組成(燃焼ガス:L PGの全体量・100mol%、沸点27℃テトラメチルシラン・0.01mol %沸点:122℃テトラメトキシシラン:0.001mol%、燃焼用空気)
5:フレーム処理結果(表面改質効果)
フレーム処理前:23dyn/cm、フレーム処理後:36dyn/cm、但し従 来不可能であったウレタン系接着剤にて接着良好。
6:フレーム処理後における原反外観
熱損傷:火炎処理によるフレアー等の発生も無く、繰り出し時のシート状体を維持 。
1: 各種フィルム状体、あるいはシート状体の原反
2: 繰り出し装置
3: 巻き取り装置
4: 熱拡散装置
4a:冷却ロール
4b:グラビアロール
4c:吸水ロール
4d:保水層
4e:水槽
5 :フレーム装置
5a:火炎
5b:暴風カバー
5c:バーナー部
5d:改質剤化合物
5e:貯蔵タンク
5f:移送部
5g:バーナー部
5h:加熱手段
5i:圧力計(液面レベル計)
5j:圧力計
6a:ガイド用ニップロール
6b:出口ガイドロール
7 :熱拡散ロール装置装架台
8 :火炎噴射角度調整装置
9 :バーナー位置調整(昇降)装置
Claims (6)
- 無機質素材、有機質素材またはこれらの複合材よりなるフィルム原反を繰り出すための繰り出し手段と、
当該繰り出し手段より送出された、前記フィルム原反を所定のスピードで巻き取るための巻き取り手段と、を備え、
前記繰り出し手段と、巻き取り手段との両手段の間に、熱拡散手段を配設し、
更に、当該熱拡散手段の近傍に、シリコン原子を含む表面改質剤化合物であって、かつ、沸点が10〜100℃である表面改質剤を気化させた状態で、引火性ガスと混合して燃焼ガスとし、当該燃料ガスに由来した火炎を噴射するフレーム装置を、所定の角度を以て配置し、
前記燃料ガスに由来した火炎を、当該熱拡散手段の表層に接触するよう配設された前記フィルム原反の被改質表面に向け、直接吹き付けることによって、前記フィルム原反における被改質表面を活性化させるとともに、
前記熱拡散手段が、水の蒸発潜熱を利用した冷却ロールであって、
前記フィルム原反と、前記冷却ロールとの間に介在する薄膜水層の存在によって、前記燃料ガスに由来した火炎による熱衝撃エネルギーを水の蒸発潜熱としてエネルギー変換することを特徴とする表面改質方法。 - 前記冷却ロールが、
前記冷却ロールに水を供給するための吸水ロールであって、外周に保水層が施されている吸水ロールと、
当該吸水ロールに、常時水を供給するための水槽と、
前記フィルム原反に付着している水を除去するためのガイドロールおよびスキージーと、
前記フィルム原反に付着している水を乾燥させるためのドライヤーと、
をさらに備えていることを特徴とする請求項1に記載の表面改質方法。 - 前記冷却ロールが、その表面に、フェルトからなる保水層を備えていることを特徴とする請求項1に記載の表面改質方法。
- 無機質素材、有機質素材またはこれらの複合材よりなるフィルム原反を繰り出すための繰り出し手段と、
当該繰り出し手段より送出された、前記フィルム原反を所定のスピードで巻き取るための巻き取り手段と、を備え、
前記繰り出し手段と、巻き取り手段との両手段の間に、熱拡散手段を配設し、
更に、当該熱拡散手段の近傍に、シリコン原子を含む表面改質剤化合物であって、かつ、沸点が10〜100℃である表面改質剤を気化させた状態で、引火性ガスと混合して燃焼ガスとし、当該燃料ガスに由来した火炎を噴射するフレーム装置を、所定の角度を以て配置し、
前記燃料ガスに由来した火炎を、当該熱拡散手段の表層に接触するよう配設された前記フィルム原反の被改質表面に向け、直接吹き付けることによって、前記フィルム原反における被改質表面を活性化させるとともに、
前記熱拡散手段が、水の蒸発潜熱を利用した冷却ロールであって、
前記フィルム原反と、前記冷却ロールとの間に介在する薄膜水層の存在によって、前記燃料ガスに由来した火炎による熱衝撃エネルギーを水の蒸発潜熱としてエネルギー変換することを特徴とする表面改質装置。 - 前記冷却ロールが、
前記冷却ロールに水を供給するための吸水ロールであって、外周に保水層が施されている吸水ロールと、
当該吸水ロールに、常時水を供給するための水槽と、
前記フィルム原反に付着している水を除去するためのガイドロールおよびスキージーと、
前記フィルム原反に付着している水を乾燥させるためのドライヤーと、
をさらに備えていることを特徴とする請求項4に記載の表面改質装置。 - 前記冷却ロールが、その表面に、フェルトからなる保水層を備えていることを特徴とする請求項4に記載の表面改質装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004219397A JP4163157B2 (ja) | 2004-06-30 | 2004-06-30 | 表面改質方法および表面改質装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004219397A JP4163157B2 (ja) | 2004-06-30 | 2004-06-30 | 表面改質方法および表面改質装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006016685A JP2006016685A (ja) | 2006-01-19 |
JP4163157B2 true JP4163157B2 (ja) | 2008-10-08 |
Family
ID=35791223
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004219397A Expired - Fee Related JP4163157B2 (ja) | 2004-06-30 | 2004-06-30 | 表面改質方法および表面改質装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4163157B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4761067B2 (ja) * | 2006-11-27 | 2011-08-31 | 信越化学工業株式会社 | エアーバッグ用コーティング布 |
JP2009275163A (ja) * | 2008-05-16 | 2009-11-26 | Ew Chemical Engineering Kk | プラスチックフィルムの表面改質方法及びその装置 |
JP5461250B2 (ja) * | 2010-03-15 | 2014-04-02 | ミズショー株式会社 | 固体製品の表面改質法 |
JP2012241279A (ja) * | 2011-05-24 | 2012-12-10 | Meiritsu Component Kk | 液状表面改質剤の気化装置、及び表面改質装置 |
-
2004
- 2004-06-30 JP JP2004219397A patent/JP4163157B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006016685A (ja) | 2006-01-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3557194B2 (ja) | 固体物質の表面改質方法、表面改質された固体物質および固体物質の表面改質装置 | |
KR910003777B1 (ko) | 포토레지스트를 기판상에 도포하는 방법 및 장치 | |
ES2715634T3 (es) | Método y aparato para procesamiento térmico de elementos de impresión fotosensibles | |
TWI544537B (zh) | 處理矽基板之方法及裝置 | |
JP4163157B2 (ja) | 表面改質方法および表面改質装置 | |
WO2007026751A1 (ja) | ガスバリア性積層フィルム | |
WO2013147119A1 (ja) | ガスバリア性フィルム及びその製造方法、並びにガスバリア性積層体 | |
JP2010255988A (ja) | 乾燥装置 | |
US20170136753A1 (en) | NIP Roller With An Energy Source | |
CN100372617C (zh) | 固体物质的表面改性方法及经表面改性的固体物质 | |
EP1538234A2 (en) | Method of modifying solid surface and product obtained | |
JP2006066368A (ja) | ドナー基板の製造方法 | |
CN100446176C (zh) | 基板处理装置、基板处理方法以及基板的制造方法 | |
JP6768918B2 (ja) | 気化器および素子構造体の製造装置 | |
JP2013057438A (ja) | 塗膜の乾燥装置 | |
CN103796765B (zh) | 功能膜制造方法和功能膜 | |
JP4812565B2 (ja) | ガスバリア性積層フィルム及びその製造方法 | |
EP1854834B1 (en) | Surface modification process | |
JP4058438B2 (ja) | 立体的装飾体および立体的装飾体の製造方法 | |
JP2008041340A (ja) | 機能性膜の製造方法 | |
JP2014156939A (ja) | 塗布膜製造装置 | |
KR20150007611A (ko) | 요철을 갖는 컬러시트의 제조장치 및 이를 이용한 컬러시트의 제조방법 | |
EP1699568B1 (en) | Method and device for providing a substrate with a coating layer of a polymeric material | |
JP4596903B2 (ja) | 容器成形用積層材およびその製造方法 | |
JP4097648B2 (ja) | 固体物質の表面改質方法及び表面改質された固体物質 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20061212 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061215 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20061212 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20080428 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080428 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20080519 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080521 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080619 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080717 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080723 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110801 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4163157 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S201 | Request for registration of exclusive licence |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R314201 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110801 Year of fee payment: 3 |
|
R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
S201 | Request for registration of exclusive licence |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R314201 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110801 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110801 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110801 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |