JP4159936B2 - リソグラフィシステムの照明システムで使用されるリレーレンズ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、露光中にレチクルの所定の領域をシャープに照明するシステムおよび方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
リレー対物レンズ(例えばレンズ)またはレチクルエッジマスキングアセンブリ(REMA)対物レンズ(例えばレンズ)は、中間面をレチクルの面上に結像する対物レンズである。レチクルはリソグラフィ用のマスクをサポートする。リレーレンズを用いることで、レチクル上の被照明領域はシャープに定められる。通例、レチクルマスキング装置は調整可能なエッジ(edges)とともに構成される。従来ではリレーレンズはマイクロリソグラフィ露光システム、ステッパーまたはスキャナー内で使用される。しかしリレーレンズは他の光学システム内でも使用可能である。リレーレンズの対象面内に位置する絞りエッジは、レチクル面上に正確に結像されなければならない。露光されて補正された瞳中間像(pupillary intermediate image)がしばしば望まれる。なぜなら中間像の位置でさらに絞り等を、例えばアライメントシステムの部分をマスキングするために取り付けることができるからである。
【0003】
典型的にリレーレンズシステムは非常に複雑な構造(例えば約7〜10のレンズエレメント)を有する。このような光学系は高い開口数(NA)(例えば約0. 6〜0. 7)を有している。基本的にこのようなシステムは3つの部分を有する。すなわち前面部分(この部分はNAを低減させる)と、中間部分(瞳収差および瞳形状補正)と、視野(field)部分(レチクル上の本質的な視野サイズを形成する)である。リソグラフィツール内でリレーレンズシステムに続くのは投影対物レンズである。これは通常は縮小させるように作用し、非テレセントリックな入力に対する内部の瞳面を有する。ウェハが像面内で続く。リレーレンズシステムの付加的なタスクは、レチクル上のテレセントリック性を補正することである。
【0004】
従来のシステムは上述した各前面部分、中間部分および視野部分内で複数の光学エレメントを有する。前面部分は3〜4つのレンズを有し、中間部分は2〜4つのレンズを有し、視野部分は2〜4つのレンズを有する。従来、リレーレンズシステムは各部分における複数の光学エレメントが原因で幾つかの欠点を有する。すなわち(1)157nmリソグラフィシステムに対して大量のCaF2が必要とされること。これは非常にコストがかかる。(2)ガラス吸収だけではなく、各レンズ表面上の反射率が原因で透過度が低いこと。(3)アライメントさせる必要のあるレンズが多すぎてアライメントが難しいこと。(4)必要とされる大量のCaF2に部分的に支払うべき高いコストが生じる。このような高いコストはこのシステムの購入者に回り、付加的なまたは新たなシステムを購入する値段を非常に高くしてしまう。
【0005】
より単純で、設計がより複雑でない、製造に含まれるコストひいては顧客のコストを低減させるリレーレンズが所望されている。これら全てはリレーレンズ内の光学エレメントを減らすことによって実現される。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
より単純で、設計がより複雑でない、製造に含まれるコストひいては顧客のコストを低減させるリレーレンズを提供すること。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上述の課題は、複数のレンズを有する第1のレンズ群と、アパーチャストップと、1つのレンズを有する第2のレンズ群と、フォールドミラーと、1つのレンズを有する第3のレンズ群とを有する、ことを特徴とするリレーレンズによって解決される。
【0008】
【発明の実施の形態】
リソグラフィ内で使用される場合、リレーレンズは照明システム内に設けられる。リレーレンズは、様々なアパーチャサイズを有するテレセントリックな光ビームによってレチクルでの視野を均一に照明するために使用される。リレーレンズは第1のレンズ群と、第2のレンズ群と、第3のレンズ群を有する。第2のレンズ群と第3のレンズ群のうちの少なくとも1つは単レンズを含む。従来のシステムと比較して少ない光学エレメントが使用されているので必要とされるCaF2が少ないことによって、これはコストを削減させ透過度を上昇させる。
【0009】
従来のシステムに勝る本発明の実施形態のある利点は、設計および製造の単純さと、必要とされるCaF2の量を低減させる光学材料量の減少(例えば少ない光学エレメント、従ってより少ない光学的表面)に基づく、低減された製造コストである。これは照明システムまたはリレーレンズの光学的なアウトプットに影響を与えず行われる。従来のシステムよりも(例えば約30〜50%少ない)少ない量のCaF2が使用される。従来のシステムよりも(例えば約30%高い)高い透過度が得られる。アライメントの困難さはほぼ除去される。なぜなら特定の部分でレンズが1つしか使用されないからである。このリレーレンズシステムは同じ質の像を生じさせるが、従来のシステムより高価でない。
【0010】
本発明の実施形態のさらなる他の利点は、従来のシステムより単純な構造を有していることである。なぜなら中間群および視野群が、複数のレンズエレメントの代わりに単レンズエレメントを有することができるからである。
【0011】
本発明のさらなる実施形態、特徴および利点を本発明の様々な実施形態の構造および作動と並んで、添付した図面を参照に以下で詳細に説明する。
【0012】
【実施例】
本願に組み込まれて明細書の一部を成す添付の図面は、本発明を図示しており、明細書とともに本発明の基本を説明し、関連技術の技術者が本発明を作製および使用することを可能にする。
【0013】
ここで添付した図面を参照にして本発明を説明する。図では同じ参照番号は同一または機能的に類似した素子を指す。さらに参照番号の最も左の数字は、この参照番号がはじめてあらわれた図を示している。
【0014】
図1には本発明の実施例に相応する、サブストレート116(例えばウェハ)の露光中に光102と相互作用するシステム100が示されている。光源104(例えばレーザ)は例えばエキシマレーザまたは深UVエキシマレーザである。ある実施形態ではビーム調節器108内のマルチプレクサ106は光102を受光する。ビーム調節器108は照明光学系110に光を出力する。この照明光学系によって順に光はマスクまたはレチクル112を通って、投影光学系114を介してサブストレート(例えばウェハ)116上に透過される。このシステムに対する一つの実施形態は、リソグラフィシステムまたはそれと同様のものである。他の実施形態はホログラフィシステムである。
【0015】
図2には本発明の実施形態に相応する、照明光学系110内のリレーレンズ200が示されている。リレーレンズ200は境界面202と、第1のレンズ群204(例えば前面部分)と、アパーチャストップ(例えば可変アパーチャストップ)206と、第2のレンズ群208(例えば中間部分)と、フォールドミラー(fold mirror)210と、第3のレンズ群212(例えば視野部分)と、レチクル面216を有するレチクル214とを有する。第1のレンズ群204はメニスカスレンズと、非球面を備えるレンズとを有することができる。図2に示された実施形態では、第2のレンズ群208および第3のレンズ群212のそれぞれが単レンズエレメントのみを有している。第2のレンズ群208は、1つの非球面(これは凸面でもよい)を備える単レンズを有する。第3のレンズ群212は球面を備える単レンズを有する。
【0016】
さらに図2を参照すると、第1のレンズ群204(例えばリレーレンズ200の前面部分)は3つのレンズを有する。すなわちペッツバルの和の補正に使用される、対象軸点と同軸の第1の面を有する前面の厚いメニスカスレンズと、NAの低減に使用される他の2つのレンズである。第2のレンズ群208(例えばリレーレンズ200の中間部分)は非球面を有する1つのレンズ(または以下で扱う図3〜4に示された実施形態における2〜3つのレンズ)を有する。第2のレンズ群208内のこの1つのレンズは、アパーチャストップ206の後に配置されており、以下の機能のうちの1つまたはそれ以上を実行することができる。すなわち瞳収差補正、瞳形状補正(楕円性)およびレチクルスペースにおけるテレセントリック性の補正である。第3のレンズ群212(例えばリレーレンズ200の視野部分)は1つのレンズを有することができる。第3のレンズ群212のこの1つのレンズは、以下の機能のうちの1つまたはそれ以上を実行することができる。すなわちレチクル面での本質的な視野サイズの形成および、このレンズが非球面を有しているのならばテレセントリック性の補正である。
【0017】
再び図2を参照すると運転中に光ビームは境界面202によって受光され、第1のレンズ群204によって拡大されてかつ視準される。拡大されて視準されたビームのサイズはアパーチャストップ206によってコントロールされる。拡大されて視準されたビームの、レチクル214上のフォーカスポジションは第2のレンズ群208、第3のレンズ群212によって、または第2のレンズ群208および第3のレンズ群212の両方によってコントロールされる。
【0018】
リレーレンズ200をよりコンパクトにかつ経済的な方法で製造するために、フォールディングミラー210を使用することができる。ある実施形態ではこれはオプショナルである。リレーレンズ200は、境界面202をレチクル面216上に所定の倍率で結像する。境界面202からのテレセントリックビームは、レチクル214上のテレセントリックビームに変換される。リレーレンズ200は、レチクル面の照明の均一性および瞳形状の非楕円性を提供する。
【0019】
一つの実施例では、リレーレンズ200は以下のデータに従って構成される。
【0020】
【表3】
【0021】
システム100の特徴に応じて、本発明の選択的な実施形態で第2のレンズ群208’または208’’および第3のレンズ群212のうちの1つだけが、レンズを1つだけ有してもよい。しかし有利には第2のレンズ群208も第3のレンズ群212もそれぞれレンズを1つだけ有する。設計書が第2のレンズ群208または第3のレンズ群212どちらかが1つより多いレンズを有することを指図する場合、有利には第3のレンズ群212がレンズを1つだけ持ち続ける。図3および図4には、択一的な2つの可能な構成が例として示されている。
【0022】
図3では第2のレンズ群208’が2つのレンズを有する。これらのレンズは少なくとも1つの非球面を各レンズ上に有している。
【0023】
図4では第2のレンズ群208’’が3つのレンズを有する。第2のレンズ群208’’内の3つのレンズのうちの少なくとも2つは、少なくとも1つの非球面を有する。
【0024】
システム100の所望の特徴によって指図されたこのような択一的な実施形態においても、リレーレンズ200は従来のシステムに比べて少数の光学エレメントを持ち続ける。これによってコストダウンが維持される。他の所望の特徴に基づいたさらなる他の構成が可能であり、それら全ては本発明の範囲内で考えられることを理解されたい。
【0025】
本発明の様々な実施形態を上で示したが、これらの実施形態は例として示しただけであって、これに制限されないことを理解されたい。上述した実施形態の形態および詳細における様々な変化が、本発明の概念及び範囲を逸脱せずに行われるであろうことは関連技術の当業者に理解されるであろう。従って本発明の幅および範囲は、上述のいかなる実施形態にも制限されるものではなく、特許請求の範囲およびそれらと等価なものに従ってのみ規定されるべきである。
【0026】
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態に従ったリソグラフィシステムの例をあらわす概略図である。
【図2】図1のリソグラフィシステム内のリレーレンズシステムまたはREMA対物レンズシステムの例をあらわす概略図である。
【図3】図1のリソグラフィシステム内のリレーレンズシステムまたはREMA対物レンズシステムの例をあらわす概略図である。
【図4】図1のリソグラフィシステム内のリレーレンズシステムまたはREMA対物レンズシステムの例をあらわす概略図である。
【符号の説明】
102 光
104 レーザ
106 マルチプレクサ
108 ビーム調節器
110 照明光学系
112 レチクル
114 投影光学系
116 ウェハ
200 リレーレンズ
202 境界面
204 第1のレンズ群
206 アパーチャストップ
208 第2のレンズ群
210 フォールドミラー
212 第3のレンズ群
214 レチクル
216 レチクル面
Claims (1)
- リソグラフィシステムの境界面とレチクル面との間に配置されたリレーレンズシステムであって、
3つのレンズを有し、受光した放射ビームのNAを低減させる第1のレンズ群と、
少なくとも1つのレンズを有し、前記第1のレンズ群からの放射ビームを受光し、瞳面における放射ビームの特性を制御する第2レンズ群と、
単レンズからなり、前記第2のレンズ群からの放射ビームを受光し、前記レチクル面における放射ビームの視野特性を制御する第3のレンズ群と、
前記第1のレンズ群と前記第2のレンズ群との間に配置されたアパーチャストップと、
前記第2のレンズ群と前記第3のレンズ群との間に配置されたフォールドミラーと、
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