JP2004046189A5 - - Google Patents

Claims (16)

1. 複数のレンズを有する第１のレンズ群と、
   アパーチャストップと、
   １つのレンズを有する第２のレンズ群と、
   フォールドミラーと、
   １つのレンズを有する第３のレンズ群とを有している、
   ことを特徴とするリレーレンズ。
2. 前記第１のレンズ群は３つのレンズを含んでいる、請求項１記載のリレーレンズ。
3. 前記第１のレンズ群はメニスカスレンズを含んでいる、請求項１記載のリレーレンズ。
4. 前記第１のレンズ群は非球面レンズを含んでいる、請求項１記載のリレーレンズ。
5. 前記第２のレンズ群内の１つのレンズは、１つの非球面を含んでいる、請求項１記載のリレーレンズ。
6. 前記第２のレンズ群内の１つのレンズは、１つの凸面を含んでいる、請求項１記載のリレーレンズ。
7. 前記第３のレンズ群内の１つのレンズは２つの球面を含んでいる、請求項１記載のリレーレンズ。
8. 前記第２のレンズ群は第２のレンズを含んでいる、請求項１記載のリレーレンズ。
9. 前記第２のレンズ群は第３のレンズを含んでいる、請求項８記載のリレーレンズ。
10. 前記第１のレンズ群はリレーレンズの前面部分を形成し、
    前記第２のレンズ群はリレーレンズの中間部分を形成し、
    前記第３のレンズ群はリレーレンズの視野部分を形成する、請求項１記載のリレーレンズ
11. 前記レンズと前記第２のレンズはそれぞれ非球面を有している、請求項８記載のリレーレンズ。
12. 前記第２のレンズ群は、第２のレンズと第３のレンズを有している、請求項１記載のリレーレンズ。
13. 前記第２のレンズ群内の少なくとも２つのレンズは少なくとも１つの非球面を有している、請求項１２記載のリレーレンズ。
14. 前記リレーレンズは以下のデータ
    

    

    に従って構成されている、請求項１記載のリレーレンズ。
15. 光源と、レチクルと、前記光源とレチクルの間に配置されたリレーレンズとを有するリソグラフィシステムであって、
    前記リレーレンズは複数のレンズを有する第１のレンズ群と、アパーチャストップと、１つのレンズを有する第２のレンズ群と、フォールドミラーと、１つのレンズを有する第３のレンズ群とを有している、
    ことを特徴とするリソグラフィシステム。
16. 前記リレーレンズは以下のデータ
    

    

    に従って構成されている、請求項１５記載のリソグラフィシステム。