JP4157570B2 - 磁気記録再生装置 - Google Patents

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Description

本発明は、垂直記録可能な磁極層を備える磁気ヘッドと、記録媒体と、記録媒体を一定方向に回転駆動させるとともに磁気ヘッドを記録媒体の半径方向に移動可能とするように作用することができる駆動装置本体と、を備える磁気記録再生装置に関する。
近年、例えばハードディスクなどの記録媒体(以下、単に「記録媒体」という)の面記録密度の向上に伴い、例えば、ハードディスクドライブなどの磁気記録装置に搭載される薄膜磁気ヘッドの性能の向上が求められている。
このような薄膜磁気ヘッドの記録方式として、例えば、信号磁界の向きを記録媒体の面内方向(長手方向)に設定する長手記録方式や、信号磁界の向きを磁気媒体の面と直交する方向に設定する垂直記録方式が知られている。
現在のところは長手記録方式が広く利用されているものの、記録媒体の面記録密度の向上に伴う市場動向を察すれば、今後は長手記録方式に代わり、垂直記録方式が有望視されるものと想定される。垂直記録方式では、高い記録密度を確保することが可能なことに加えて、記録済みの記録媒体が熱揺らぎの影響を受けにくいという利点がある。
垂直記録方式の薄膜磁気ヘッドは、例えば、記録用の磁束を発生させる薄膜コイルと、エアベアリング面から後方に向かって延在し、薄膜コイルにおいて発生した記録用の磁束に基づいて記録媒体を磁化させるための磁界(垂直磁界)を発生させる主磁極層とを備えて構成されている。このような垂直記録方式の薄膜ヘッドでは、主磁極層において発生した垂直磁界に基づいて記録媒体のデータトラックが磁化されるため、その記録媒体に磁気情報が記録される。
垂直記録方式の薄膜磁気ヘッドとしては、上述したように、エアベアリング面に対して直交する方向に延在するように配設された主磁極層を備えた薄膜磁気ヘッドが知られている。このようなタイプの垂直記録方式の薄膜磁気ヘッドは、一般に、「単磁極型の薄膜磁気ヘッド」と呼ばれている。
この単磁極型の薄膜磁気ヘッドの具体的な構造としては、例えば、垂直磁界の強度を増加させることによりオーバーライト特性を向上させるために、主磁極層に対して補助的な磁束収容用の補助磁極層を連結させた構造が知られている(特許文献1、2、3、4等)。しかしながら、単磁極型の薄膜磁気ヘッドでは、上記したようにオーバーライト特性を向上させるという観点からみれば限界があると言われている。
そこで、最近の垂直記録方式の薄膜磁気ヘッドとしては、例えば、記録トラック幅が拡大することを抑制すること、および、磁束勾配を急峻とすることにより記録媒体の記録密度を高めるために、上述ごとくエアベアリング面に対して直交する方向に延在する主磁極層とともに、その主磁極層から放出された磁束の広がりを抑制させるライトシールド層を併せて備えた薄膜磁気ヘッドが提案されている。
このようなタイプの垂直記録方式の薄膜磁気ヘッドは、一般に、「シールド型の薄膜磁気ヘッド」と呼ばれている。ライトシールド層は、主磁極から0.2μm以下のギャップ(gap)を隔てて設けられ、エアベアリング面から後方に向かって延在することにより、そのエアベアリング面に近い側において、ギャップ層により主磁極層から隔てられているとともにエアベアリング面から遠い側においてバックギャップを通じて主磁極層に連結されている。
このようなライトシールド層を備えたシールド型の薄膜磁気ヘッドでは、主磁極層から放出された磁束の広がりが抑制されることに基づいて垂直磁界の勾配が急峻化するため、記録媒体の記録密度が向上する。
特開平02−066710号公報 特開2002−197615号公報 特開2001−250204号公報 特開平2−091806号公報 特開平11−328632号公報 特開平11−353618号公報 特開平07−287817号公報
ところで、垂直磁気記録方式の薄膜磁気ヘッドの信頼性を高めるためには、いわゆるシールドを備える薄膜磁気ヘッド(シールド型の薄膜磁気ヘッド)や補助磁極を備える薄膜磁気ヘッドを区別することなく、いずれのタイプの薄膜磁気ヘッドにおいても磁気動作特性を安定に確保する必要がある。しかしながら、従来の薄膜磁気ヘッドでは、例えば、ボイスコイルモータなどの外部磁場発生源から不要な磁場(浮遊外部磁場)が生じると、その浮遊外部磁場の影響によっては非記録時、すなわち、薄膜コイルに記録用の電流が供給されていない状態において、意図しない書き込み(上書き)が行われ、記録媒体に記録されていた情報が意図せずに消去されるおそれがあるという問題があった。さらには、昨今の各種のメディア技術の急速な発展に伴い、磁気記録再生装置のドライブの以外の外部磁場についても無視することができなくなっている。すなわち、例えば音楽プレーヤー(例えば、ipod(登録商標)等)や、携帯電話などに装着されているハードディスク(HDD)外部から外部磁場が加わる可能性が高くなっているのが現状である。
特に、垂直記録媒体においては、いわゆる記録層の下部に配置される裏打ち層が存在するために、外部磁界が加わった際、磁束がシールド層のエッジ部に集中して、この集中した磁束が裏打ち層に吸い込まれ、意図しない書き込みを行なうおそれがある。このような問題を解決するには、磁気ヘッドの構造のみならず、磁気記録再生装置であるシステム全体を考慮にいれたトータルの創意工夫が要求される。
本発明はこのような実状のものに創案されたものであって、その目的は、外部磁場が加わった際に、すでに書き込みされている信号を劣化させることがない磁気記録再生装置を提供することにある。
このような課題を解決するために、本発明は、薄膜磁気ヘッドと、記録媒体と、前記記録媒体を一定方向に回転駆動させるとともに前記薄膜磁気ヘッドを記録媒体の略半径方向に移動可能とするように作用することができる駆動装置本体と、を備える磁気記録再生装置であって、前記記録媒体は、データ情報を記録するデータトラックを有し、前記記録媒体と前記磁気ヘッドとは、前記記録媒体の少なくともいくつかのデータトラックにおける円周方向とスキュー角を発生させる配置関係にあり、その最大スキュー角がαmaxであり、
前記薄膜磁気ヘッドは、前記記録媒体に対して磁気情報を記録する記録ヘッド部と、前記記録媒体に対して記録された磁気情報を再生する再生ヘッド部と、を有し、前記記録ヘッド部は、磁束を発生させる薄膜コイルと、前記記録媒体の対向面から後方に向かって延在し、前記薄膜コイルにおいて発生した磁束に基づいて前記記録媒体をその表面と直交する方向に磁化させるための磁界を発生させる磁極層と、前記磁極層の前記媒体進行方向側に配設され、前記記録媒体対向面から後方に向かって延在することにより、前記記録媒体の対向面に近い側においてギャップ層により前記磁極層から隔てられるとともに、遠い側においてバックギャップを通じて前記磁性層に連結されたライトシールド層と、を有し、前記再生ヘッド部は、磁気抵抗効果素子と、この素子を磁気的に遮蔽するために上下に配置された上部リードシールド層および下部リードシールド層を有し、前記上部リードシールド層および前記下部リードシールド層は、記録媒体に対向する記録媒体対向面から後方に向かって延在しており、前記ライトシールド層は、前記記録媒体に対向する対向面であるエアベアリング面に実質的に存在しており、エアベアリング面における当該ライトシールド層の幅方向の全長がWwsであり、前記上部リードシールド層および前記下部リードシールド層は、前記記録媒体に対向する対向面であるエアベアリング面に実質的に存在しており、前記下部リードシールド層は、前記ライトシールド層との厚さ方向の距離において、前記上部リードシールド層から前記ライトシールド層との厚さ方向の距離よりも遠くに離れた位置関係にあり、エアベアリング面における当該下部リードシールド層の幅がWsfであり、エアベアリング面における前記上部リードシールド層の幅がWssであり、前記下部リードシールド層の幅Wsfとの関係において、Wssは、Wss≦Wsfの関係を満たすように設定されており、エアベアリング面における前記ライトシールド層の幅Wwsの両端部と、エアベアリング面における前記下部リードシールド層の幅Wsfの両端部とを結んで描かれる四角形が、2つの底角が等しい正則の台形形状をなしており、前記ライトシールド層と前記下部リードシールド層の厚さ方向の最大距離(台形の高さに相当)がXである場合において、
(i)Wws<Wsfの場合、
Wws<Wsf−2X・tanαmaxの条件を満たし、
(ii)Wws>Wsfの場合、
Wws>Wsf+2X・tanαmaxの条件を満たすように、設定されてなるように構成される。
また、本発明の磁気記録再生装置の好ましい態様として、Wss<Wsfの関係を満たすように設定される。
また、本発明は、薄膜磁気ヘッドと、記録媒体と、前記記録媒体を一定方向に回転駆動させるとともに前記薄膜磁気ヘッドを記録媒体の略半径方向に移動可能とするように作用することができる駆動装置本体と、を備える磁気記録再生装置であって、前記記録媒体は、データ情報を記録するデータトラックを有し、前記記録媒体と前記磁気ヘッドとは、前記記録媒体の少なくともいくつかのデータトラックにおける円周方向とスキュー角を発生させる配置関係にあり、その最大スキュー角がαmaxであり、前記薄膜磁気ヘッドは、前記記録媒体に対して磁気情報を記録する記録ヘッド部と、前記記録媒体に対して記録された磁気情報を再生する再生ヘッド部と、を有し、前記記録ヘッド部は、磁束を発生させる薄膜コイルと、前記記録媒体の対向面から後方に向かって延在し、前記薄膜コイルにおいて発生した磁束に基づいて前記記録媒体をその表面と直交する方向に磁化させるための磁界を発生させる磁極層と、前記磁極層の前記媒体進行方向側に配設され、前記記録媒体対向面から後方に向かって延在することにより、前記記録媒体の対向面に近い側においてギャップ層により前記磁極層から隔てられるとともに、遠い側においてバックギャップを通じて前記磁性層に連結されたライトシールド層と、を有し、前記再生ヘッド部は、磁気抵抗効果素子と、この素子を磁気的に遮蔽するために上下に配置された上部リードシールド層および下部リードシールド層を有し、前記上部リードシールド層および前記下部リードシールド層は、記録媒体に対向する記録媒体対向面から後方に向かって延在しており、前記ライトシールド層は、前記記録媒体に対向する対向面であるエアベアリング面に実質的に存在しており、エアベアリング面における当該ライトシールド層の幅方向の全長がWwsであり、前記上部リードシールド層および前記下部リードシールド層は、前記記録媒体に対向する対向面であるエアベアリング面に実質的に存在しており、前記下部リードシールド層は、前記ライトシールド層との厚さ方向の距離において、前記上部リードシールド層から前記ライトシールド層との厚さ方向の距離よりも遠くに離れた位置関係にあり、エアベアリング面における当該下部リードシールド層の幅がWsfであり、前記上部リードシールド層は、厚さ方向に非磁性層を介して2つのシールド層に分割された形態をなしており、下側から、上部第1リードシールド層および上部第2リードシールド層を有し、エアベアリング面における前記上部第1リードシールド層の幅がWss1であり、前記上部第2リードシールド層の幅がWss2であり、前記Wss1と前記Wss2と前記Wsfの中で、前記Wsfが最も大きく設定されており、エアベアリング面における前記ライトシールド層の幅Wwsの両端部と、エアベアリング面における前記下部リードシールド層の幅Wsfの両端部とを結んで描かれる四角形が、2つの底角が等しい正則の台形形状をなしており、前記ライトシールド層と前記下部リードシールド層の厚さ方向の最大距離(台形の高さに相当)がXである場合において、
(i)Wws<Wsfの場合、
Wws<Wsf−2X・tanαmaxの条件を満たし、
(ii)Wws>Wsfの場合、
Wws>Wsf+2X・tanαmaxの条件を満たすように、設定されてなるように構成される。
また、本発明は、薄膜磁気ヘッドと、記録媒体と、前記記録媒体を一定方向に回転駆動させるとともに前記薄膜磁気ヘッドを記録媒体の略半径方向に移動可能とするように作用することができる駆動装置本体と、を備える磁気記録再生装置であって、前記記録媒体は、データ情報を記録するデータトラックを有し、前記記録媒体と前記磁気ヘッドとは、前記記録媒体の少なくともいくつかのデータトラックにおける円周方向とスキュー角を発生させる配置関係にあり、その最大スキュー角がαmaxであり、前記薄膜磁気ヘッドは、前記記録媒体に対して磁気情報を記録する記録ヘッド部と、前記記録媒体に対して記録された磁気情報を再生する再生ヘッド部と、を有し、前記記録ヘッド部は、磁束を発生させる薄膜コイルと、前記記録媒体の対向面から後方に向かって延在し、前記薄膜コイルにおいて発生した磁束に基づいて前記記録媒体をその表面と直交する方向に磁化させるための磁界を発生させる磁極層と、前記磁極層の前記媒体進行方向側に配設され、前記記録媒体対向面から後方に向かって延在することにより、前記記録媒体の対向面に近い側においてギャップ層により前記磁極層から隔てられるとともに、遠い側においてバックギャップを通じて前記磁性層に連結されたライトシールド層と、を有し、前記再生ヘッド部は、磁気抵抗効果素子と、この素子を磁気的に遮蔽するために上下に配置された上部リードシールド層および下部リードシールド層を有し、前記上部リードシールド層および前記下部リードシールド層は、記録媒体に対向する記録媒体対向面から後方に向かって延在しており、前記ライトシールド層は、前記記録媒体に対向する対向面であるエアベアリング面に実質的に存在しており、エアベアリング面における当該ライトシールド層の幅方向の全長がWwsであり、前記上部リードシールド層および前記下部リードシールド層は、前記記録媒体に対向する対向面であるエアベアリング面に実質的に存在しており、前記下部リードシールド層は、前記ライトシールド層との厚さ方向の距離において、前記上部リードシールド層から前記ライトシールド層との厚さ方向の距離よりも遠くに離れた位置関係にあり、エアベアリング面における当該下部リードシールド層の幅がWsfであり、前記上部リードシールド層は、厚さ方向に非磁性層を介して2つのシールド層に分割された形態をなしており、下側から、上部第1リードシールド層および上部第2リードシールド層を有し、エアベアリング面における前記上部第1リードシールド層の幅がWss1であり、前記上部第2リードシールド層の幅がWss2であり、前記Wss1と前記Wss2と前記Wsfの中で、前記Wss1が最も大きく、かつ、エアベアリング面における前記ライトシールド層の幅Wwsの両端部と、エアベアリング面における前記上部第1リードシールド層の幅Wss1の両端部とを結んで描かれる四角形が、2つの底角が等しい正則の台形形状をなしており、前記ライトシールド層と前記上部第1リードシールド層の厚さ方向の最大距離(台形の高さに相当)がX1である場合において、
(i)Wws<Wss1の場合、
Wws<Wss1−2X1・tanαmaxの条件を満たし、
(ii)Wws>Wss1の場合、
Wws>Wss1+2X1・tanαmaxの条件を満たすように、設定されてなるように構成される。
また、本発明は、薄膜磁気ヘッドと、記録媒体と、前記記録媒体を一定方向に回転駆動させるとともに前記薄膜磁気ヘッドを記録媒体の略半径方向に移動可能とするように作用することができる駆動装置本体と、を備える磁気記録再生装置であって、前記記録媒体は、データ情報を記録するデータトラックを有し、前記記録媒体と前記磁気ヘッドとは、前記記録媒体の少なくともいくつかのデータトラックにおける円周方向とスキュー角を発生させる配置関係にあり、その最大スキュー角がαmaxであり、前記薄膜磁気ヘッドは、前記記録媒体に対して磁気情報を記録する記録ヘッド部と、前記記録媒体に対して記録された磁気情報を再生する再生ヘッド部と、を有し、前記記録ヘッド部は、磁束を発生させる薄膜コイルと、前記記録媒体の対向面から後方に向かって延在し、前記薄膜コイルにおいて発生した磁束に基づいて前記記録媒体をその表面と直交する方向に磁化させるための磁界を発生させる磁極層と、前記磁極層の前記媒体進行方向側に配設され、前記記録媒体対向面から後方に向かって延在することにより、前記記録媒体の対向面に近い側においてギャップ層により前記磁極層から隔てられるとともに、遠い側においてバックギャップを通じて前記磁性層に連結されたライトシールド層と、を有し、前記再生ヘッド部は、磁気抵抗効果素子と、この素子を磁気的に遮蔽するために上下に配置された上部リードシールド層および下部リードシールド層を有し、前記上部リードシールド層および前記下部リードシールド層は、記録媒体に対向する記録媒体対向面から後方に向かって延在しており、
前記ライトシールド層は、前記記録媒体に対向する対向面であるエアベアリング面に実質的に存在しており、エアベアリング面における当該ライトシールド層の幅方向の全長がWwsであり、前記上部リードシールド層および前記下部リードシールド層は、前記記録媒体に対向する対向面であるエアベアリング面に実質的に存在しており、前記下部リードシールド層は、前記ライトシールド層との厚さ方向の距離において、前記上部リードシールド層から前記ライトシールド層との厚さ方向の距離よりも遠くに離れた位置関係にあり、エアベアリング面における当該下部リードシールド層の幅がWsfであり、前記上部リードシールド層は、厚さ方向に非磁性層を介して2つのシールド層に分割されてた形態をなしており、下側から、上部第1リードシールド層および上部第2リードシールド層を有し、エアベアリング面における前記上部第1リードシールド層の幅がWss1であり、前記上部第2リードシールド層の幅がWss2であり、前記Wss1と前記Wss2と前記Wsfの中で、前記Wss2が最も大きく、かつ、エアベアリング面における前記ライトシールド層の幅Wwsの両端部と、エアベアリング面における前記上部第2リードシールド層の幅Wss2の両端部とを結んで描かれる四角形が、2つの底角が等しい正則の台形形状をなしており、前記ライトシールド層と前記上部第2リードシールド層の厚さ方向の最大距離(台形の高さに相当)がX2である場合において、
(i)Wws<Wss2の場合、
Wws<Wss2−2X2・tanαmaxの条件を満たし、
(ii)Wws>Wss2の場合、
Wws>Wss2+2X2・tanαmaxの条件を満たすように、設定されてなるように構成される。
また、本発明の磁気記録再生装置の好ましい態様として、前記記録媒体のデータトラックは、垂直磁気記録層を有し構成され、その下部には垂直方向の磁界をアシストするための軟磁性層が敷設されて構成される。
また、本発明の磁気記録再生装置の好ましい態様として、前記磁気ヘッドの主磁極より発せられた記録磁界は、前記垂直磁気記録層を垂直方法に通過して当該垂直磁気記録層に垂直磁気記録するように作用してなるように構成される。
また、本発明の磁気記録再生装置の好ましい態様として、前記磁極層は、媒体進行方向に移動する記録媒体に対向する記録媒体対向面から後方に向かって延在し、前記薄膜コイルにおいて発生した磁束に基づいて前記記録媒体をその表面と直交する方向に磁化させるための磁界を発生させる主磁極層と、前記記録媒体対向面よりも後退した第1の位置から後方に向かって延在する補助磁極層が積層された積層構造を有してなるように構成される。
また、本発明の磁気記録再生装置の好ましい態様として、前記ライトシールド層は、前記ギャップ層に隣接しながら前記記録媒体対向面から前記第1の位置よりも前方の第2の位置まで延在する第1の磁気遮蔽部分と、当該第1の磁気遮蔽部分に部分的に乗り上げながら前記記録媒体対向面から少なくともその前記バックギャップまで延在する第2の磁気遮蔽層部分とを、含んでなるように構成される。
本発明の磁気記録再生装置は、上記のように構成されているために、スキュー角が最大スキュー角αに至るまで、前記ライトシールド層のエッジと前記下部リードシールド層のエッジとが同じトラック上で重ならないので、外部磁場が加わった際に、すでに書き込みされている信号を劣化させることがないという極めて優れた効果が発現する。
以下、本発明を実施するための最良の形態について詳細に説明する。
本発明の磁気記録再生装置は、薄膜磁気ヘッドと、記録媒体と、記録媒体を一定方向に回転駆動させるとともに磁気ヘッドを記録媒体の略半径方向に移動可能とするように作用することができる駆動装置本体と、を有し構成されている。
まず、最初に、装置全体の構成を把握するために、磁気記録再生装置の概略構成例の説明を図4および図5に基づいて説明する。
(磁気記録再生装置の概略構成例の説明)
図4には、本発明の好適な一例である磁気記録再生装置の概略構成斜視図が示されている。図5には、図4の要部を説明するための要部を抽出した平面図が示されている。図4において、記録媒体201としてはディスク状の垂直記録媒体が用いられ、この媒体201は、スピンドルモータ202により回転駆動されるようになっている。
また、記録媒体201に対してデータの読み出しや書き込みを行なうために、媒体201の外側方向から媒体内側方向に向けて延設されている回動アーム204の先端には記録再生用の薄膜磁気ヘッド205が設けられている。
回動アーム204はロータリーアクチュエータ204aを基点としボイスコイルモータ203によって回動されるようになっており、例えば、記録再生用の薄膜磁気ヘッドにより検出されたサーボ信号に基づき磁気ヘッドを所定のトラックに位置決めできるようになっている。スピンドルモータ202やボイスコイルモータ203等の駆動系が駆動装置本体に含まれる。
記録再生用の薄膜磁気ヘッド205は、後に詳述するように、記録媒体に対して磁気情報を記録する記録ヘッド部と、記録媒体に対して記録された磁気情報を再生する再生ヘッド部と、を有している。
薄膜磁気ヘッドの記録ヘッド部(および再生ヘッド部)は、データトラックの円周方向に真っ直ぐ沿って配置された状態でトラックを逸脱することなく記録操作(および再生操作)が行われることが理想的である。しかしながら、実際には、ロータリーアクチュエータ204aを基点として回動する回動アーム204の先端に薄膜磁気ヘッド205が取り付けられているために、データトラックの円周方向に直交する面を基準とした場合に、磁気ヘッドの位置ずれを示すスキュー角αが発生する。
上述したように、例えば、特定のデータトラックの円周方向に直交する面とのなす角であるスキュー角αが0度となるように設定すると、それ以外のトラックでは必ずスキュー角αが発生する。また、例えば、ディスク状の記録媒体の最内周のデータトラックでスキュー角αを0とした場合、ディスク状の記録媒体の最外周のデータトラックで最大のスキュー角αmaxが生じることとなる。
(記録媒体の説明)
次いで、記録媒体の構成について説明する。
ディスク状の記録媒体201は、通常、記録再生のためのデータトラック群であるデータ情報記録部と、サーボ信号が記録された領域であるサーボ用情報部を備えている。データ情報記録部には、同心円状(あるいは螺旋状)に配置されたデータトラックが存在しており、サーボ用情報部には所定配置された複数のサーボトラックが存在している。
データトラックが形成されている箇所の記録媒体の構造は、例えば、基板と、この基板の上に形成された軟磁性層(いわゆる裏打ち層)と、この軟磁性層の上に形成された垂直磁気記録層を有して構成されている。
基板としては、ガラス基板、NiP被着アルミ合金基板、Si基板などが好適に用いられる。軟磁性層としては、CoZrNb合金、Fe系合金、Co系アモルファス合金、軟磁性/非磁性層の多層膜、軟磁性フェライト等が好適に用いられる。垂直磁気記録層(データトラック)としては、SiO2の酸化物系材料の中にCoPtなどの強磁性粒子をマトリックス状に含有させた媒体や、CoCr系合金、FePt合金、Co/Pd系の人工格子型多層合金などが好適に用いられる。また、軟磁性層の下には、配向層としては、例えば、軟磁性層のトラック幅方向への磁気異方性磁界を付与するためのPtMn等の反強磁性材料や、その他、配向を制御するための非磁性合金を用いることができる。
また、軟磁性層と垂直磁気記録層との間には、垂直磁気記録層の垂直磁気異方性および結晶粒径を制御するための中間層を設けることが望ましい。中間層としては、例えば、Ru、CoTi非磁性合金や、その他、同様な作用をする非磁性金属、合金、もしくは低透磁率の合金などを例示することができる。また、垂直磁気記録層の上には、通常、カーボン薄膜等の保護層が形成される。
〔薄膜磁気ヘッド全体の構成の一例の説明〕
次いで、図1〜図3を参照しつつ、薄膜磁気ヘッド全体の構成の一例を説明する。
図1には薄膜ヘッド全体の断面構成図が示されており、図1(A)はエアベアリング面に平行な断面構成図(XーZ面に沿った断面)であり、図1(B)は、エアベアリング面に垂直な断面構成図(YーZ面に沿った断面)である。図2は主要部の平面構成図(Z軸方向からみた平面構成図)であり、図3は主要部の露出面を拡大した平面構成図(Y軸方向からみた平面構成図)である。なお、図1に示される上向きの矢印Mは、薄膜磁気ヘッドに対して記録媒体(図示していない)が相対的に移動する方向(媒体進行方向)を示している。
以下の説明において、図1〜図3に示されるX軸方向の寸法を「幅」、Y軸方向の寸法を「長さ」、Z軸方向の寸法を「厚さ」とそれぞれ表記する。また、Y軸方向のうちのエアベアリング面に近い側を「前方」、その反対側(奥域側)を「後方」と表記する。
薄膜磁気ヘッドは、前述したように媒体進行方向Mに移動する例えばハードディスクなどの記録媒体に磁気的な処理を施すために、例えばハードディスクドライブなどの磁気記録装置に搭載されて使用される。
例えば、図面に例示されている薄膜磁気ヘッドは、磁気的処理として記録処理および再生処理の双方を実行可能ないわゆる複合型ヘッドであり、その構造は、図1に示されるように、例えばアルティック(Al23・TiC)などのセラミック材料より構成された基板1の上に、例えば酸化アルミニウム(Al23;以下単に「アルミナ」と称す)などの非磁性絶縁材料により構成された絶縁層2と、磁気抵抗(MR:Magneto-Resistive)効果を利用して記録された磁気情報の再生処理を行う再生ヘッド部100Aと、例えばアルミナなどの非磁性絶縁材料により構成された分離層9と、垂直記録方式の記録処理を実行するシールド型の記録ヘッド部100Bと、例えばアルミナなどの非磁性絶縁材料により構成されたオーバーコート層24とが、この順に積層された構成を有している。
再生ヘッド部100Aは、例えば、下部リードシールド層3と、シールドギャップ膜4と、上部リードシールド層30とがこの順に積層された積層構造を有している。シールドギャップ膜4には、記録媒体に対向する記録媒体対向面(エアベアリング面)70に一端面が露出するように、再生素子としての磁気抵抗効果素子(MR素子)8が埋設されている。
下部リードシールド層3および上部リードシールド層30は、いずれもMR素子を周辺から磁気的に分離するものであり、エアベアリング面70から後方に向かって延在するように形成されている。下部リードシールド層3は、例えば、ニッケル鉄合金であるパーマロイ(Ni(80wt%)Fe(20wt%))などの軟磁性材料から構成されている。その厚さは、1.0〜2.0μm程度とされる。
上部リードシールド層30は、本実施形態の場合、厚さ方向に非磁性層6を介して2つのシールド層5、7に分割されている。すなわち、シールドギャップ膜4に近い側から順に、上部第1リードシールド層5と、非磁性層6と、上部第2シールド層7が順次積層された構造を有している。
上部第1リードシールド層5は、例えばパーマロイなどの磁性材料により構成されており、その厚さは例えば1.5μm程度とされる。上部第2リードシールド層7も同様に例えばパーマロイなどの磁性材料により構成されており、その厚さは例えば1.1μm程度とされる。非磁性層6は、例えば、ルテニウム(Ru)やアルミナなどの非磁性材料により構成されており、その厚さは例えば0.2μm程度とされる。
なお、上部リードシールド層30は、本実施形態のように必ずしも積層構造を有している必要はなく、下部リードシールド層3のごとく単層構造であってもよい。
シールドギャップ膜4は、MR素子8を周辺から電気的に分離するものであり、例えばアルミナなどの非磁性材料により構成されている。
MR素子は、例えば、巨大磁気抵抗(GMR:Giant Magneto-Resistive)効果などを利用して再生処理を実行するように作用する。GMR素子の代わりに、CPP−GMR素子やTMR(トンネリング磁気抵抗効果)素子を用いてもよい。
記録ヘッド部100Bは、例えば、絶縁層11,12,13により周辺を埋設された1段目の薄膜コイル10と、非磁性層14と、絶縁層16により部分的に周囲を埋設された磁極層40と、ギャップ層17と、磁気連結用の開口部(バックギャップ50BG)を構成する絶縁層50により埋設された2段目の薄膜コイル22と、ライトシールド層60とが順次積層された積層構造を有している。
なお、図2においては、主に、記録ヘッド部100Bのうちの主要部(薄膜コイル10,22、磁極層40、ライトシールド層60)のみを抜粋して示している。
薄膜コイル10は、主に、薄膜コイル22において発生した記録用の磁束の漏洩を抑制するために漏洩抑制用の磁束を発生させるものである。この薄膜コイル10は、例えば、銅などの高導電性材料により構成されており、その厚さは例えば2.0μm程度とされる。
特に、薄膜コイル10は、例えば、図1および図2に示されるように、バックギャップ50BGを中心として巻回するスパイラル構造を有しており、薄膜コイル10では、例えば、薄膜コイル22において電流が流れる方向と逆の方向に電流が流れるように操作される。なお、図1および図2では、薄膜コイル10の巻回数(ターン数)が5ターンである場合が示されているが、これはあくまで例示であり巻回数は、適宜、変更することができる。薄膜コイル10のターン数は、薄膜コイル22のターン数と一致しているのが好ましく、例えば2〜7ターンが好適な範囲とされる。ヘリカルコイルでも良い。
絶縁層11,12,13は、薄膜コイル10を周囲から電気的に分離するように形成されている。絶縁層11は、薄膜コイル10の各巻線間を埋め込むように形成されるとともに、その薄膜コイル10の周囲を被覆するように形成されている。この絶縁層11は、例えば、加熱時に流動性を示すフォトレジストやスピンオングラス(SOG; Spin On Glass)などの非磁性材料により構成されている。厚さは例えば2.0μm程度である。
本実施の形態において、絶縁層11は、図1に示されるように薄膜コイル10の側方のみを被覆し、その上方は被覆しないように形成されている。
絶縁層12は、絶縁層11の周囲を被覆するように形成されており、この絶縁層12は、例えば、アルミナなどの非磁性材料により構成される。その厚さは、例えば2.0μm程度とされる。
絶縁層13は、薄膜コイル10とともに、絶縁層11,12をそれぞれ被覆するように配設されている。この絶縁層13は、例えば、アルミナなどの非磁性材料により構成される。その厚さは、例えば0.2μm程度とされる。
非磁性材料14は、例えば、アルミナなどの非磁性絶縁性材料やルテニウムなどの非磁性導電性材料により形成される。その厚さは、例えば1.0μm程度とされる。
磁極層40は、主として薄膜コイル22において発生した磁気記録用の磁束を収容し、その磁束を記録媒体に向けて放出することにより記録処理を行うように作用する。より具体的には、垂直記録方式の記録処理として記録用の磁束に基づいて記録媒体をその表面と直交する方向に磁化させるための磁界(垂直磁界)を発生させるものである。
このような磁極層40は、薄膜コイルのリーディング側に配設されており、エアベアリング面70から後方に向かって延在し、より具体的にはバックギャップ50BGまで延在している。この「リーディング側」とは、図1に示される媒体進行方向Mに向かって移動する記録媒体の移動状態を1つの流れと見た場合に、その流れの流入する側(媒体進行方向M側と反対側)をいい、ここでは厚さ方向(Z軸方向)における上流側をいう。これに対して、流れの流出する側(媒体進行方向M側)は「トレーリング側」と呼ばれ、ここでは厚さ方向における下流側をいう。
本発明の実施形態における磁極層40は、図1に示されるように、主磁極層15および補助磁極層19がこの順に積層されることにより互いに連結された構造を有している。すなわち、リーディング側に主磁極層15が配設され、トレーリング側に補助磁極層19が配設された積層構造(2層構造)を有している。
主磁極層15は、主要な書き込み用の磁束の放出部分として機能するものである。この主磁極層15は、リーディング側においてエアベアリング面70から後方に向かって延在し、より具体的にはバックギャップ50BGまで延在している。その厚さは、例えば0.25μm程度とされる。このような主磁極層15は、例えば、補助磁極層19を構成している磁性材料よりも高い飽和磁束密度を有する磁性材料により構成されており、具体的には鉄系合金などにより構成される。使用される鉄系合金としては、例えば、鉄(Fe)がリッチな鉄ニッケル合金(FeNi)、鉄コバルト合金(FeCo)または鉄コバルトニッケル合金(FeCoNi)などが挙げられる。
なお、上記の「連結」とは、単に物理的に接触して連結されているだけでなく、物理的に接触して連結された上で磁気的に導通可能に連結されていることを意味している。
主磁極層15は、例えば、図2に示されるように全体として羽子板型の平面形状をなして構成されている。すなわち、主磁極層15は例えば、エアベアリング面70から順に、そのエアベアリング面70から後方に向かって延在し、記録媒体の記録トラック幅を規定する一定幅W1を有する先端部15Aと、その先端部15Aの後方に連結され、幅W1よりも大きな幅W2(W2>W1)を有する後端部15Bとを含んで構成されている。この主磁極層15の幅が先端部15A(幅W1)から後端部15B(幅W2)へ拡がる位置は、薄膜ヘッドの記録性能を決定する重要な因子のうちの一つである「フレアポイントFP」である。
先端部15Aは、主に、薄膜コイル22において発生した記録用の磁束を記録媒体に向けて実質的に放出する部分であり、図2に示されるように、エアベアリング面70に露出した露出面15Mを有している。この露出面15Mは、例えば、図3に示されるようにトレーリング側に位置する上端縁(一方の端縁)E1と、リーディング側に位置する下端縁(他方の端縁)E2と、2つの側端縁E3とにより規定された平面形状を有している。具体的には、露出面15Mは、例えば、トレーリング側からリーデング側に向かって次第に幅が狭まる台形形状を有している(W1>W4)。
先端部15AのトレーリングエッジTEは、磁極層40のうちの実質的な記録箇所である。なお、露出面15Mの平面形状において、下端縁E2の延在方向と側端縁E3との間の角度θは、例えば、90°未満の範囲内において自由に設定可能である。
図2に示される後端部15Bは、補助磁極層19に収容された磁束を収容して先端部15Aへ供給する部分である。この後端部15Bの幅は、例えば後方において一定(幅W2)であり、前方において先端部15Aに近づくにつれ幅W2から幅W1に次第に狭まっている。
補助磁極層19は、主要な磁束の収容部分として機能するものである。この補助磁極層19は、例えば、エアベアリング面70よりも後退した位置P1(第1の位置)から後方に向かって延在している。より具体的には、バックギャップ50BGにおいて、主磁極層15よりも後方まで延在しており、その厚さは、例えば0.45μm程度とされる。特に、補助磁極層19は、例えば、主磁極層15を構成している磁性材料よりも低い飽和磁束密度を有する磁性材料により構成されている。好適な具体例としては、鉄コバルトニッケル合金を例示することができる。
補助磁極層19は、例えば、図2に示されるように幅W2を有する矩形の平面形状を有している。特に、補助磁極層19は、例えば、図1に示されるように絶縁層50のうちの後述する補助絶縁層20およびライトシールド層60のうちの後述するTH規定層18とともに平坦化されている。すなわち、補助磁極層19のうちのトレーリング側の端面は、補助絶縁層20のうちのトレーリング側の端面およびTH規定層18のうちのトレーリング側の端面とともに平坦面HMを構成している。
絶縁層16は、主磁極層15を周囲から電気的に分離するものである。この絶縁層16は、例えば、アルミナなどの非磁性絶縁材料により構成されており、その厚さは、例えば0.25μm程度とされる。
ギャップ層17は、磁極層40とライトシールド層60とを磁気的に分離するためのギャップを構成するように形成されている。ギャップ層17は、例えば、図1に示されるように補助磁極層19の配設領域を除いて、主磁極層15に隣接しながらエアベアリング面70から後方に向かって延在するように形成されている。特に、ギャップ層17は、例えば、アルミナなどの非磁性絶縁材料やルテニウムなどの非磁性導電性材料により構成されており、その厚さは0.03〜0.1程度に設定される。
絶縁層50は、薄膜磁気ヘッドの記録特性を決定する重要な因子のうちの一つであるスロートハイトTHを規定するとともに、薄膜コイル22を被覆することにより周囲から電気的に分離するように形成される。絶縁層50は、図1に示されるように、スロートハイトTHを実質的に規定するように形成された補助絶縁層20(第1の絶縁層部分)と、薄膜コイル22を実質的に被覆するように形成された主絶縁層21(第2の絶縁層部分)とがこの順に積層された構造をなしている。つまり、リーディング側に補助磁極層20が配設され、トレーリング側に主絶縁層21が配設された積層構造(2層構造)を有している。
補助絶縁層20は、図1に示されるように、ギャップ層17に隣接しながら、エアベアリング面70よりも後退した位置、すなわち、エアベアリング面70と位置P1との間の位置P2(第2の位置)から後方の位置P1まで延在している。そして、補助絶縁層20は、位置P1において補助磁極層19に隣接しているとともに、位置P2においてライトシールド層60(後述するTH規定層18)に隣接するように形成されている。特に、本実施の形態において、補助磁極層20は、補助磁極層19およびTH規定層18とともに平坦面HMを構成している。
上記の「位置P2」は、絶縁層50の最前端位置(エアベアリング面70に最も近い位置)に相当している。すなわち、スロートハイトTHを規定するための「スロートハイトゼロ位置TP」である。そのスロートハイトTHは、エアベアリング面70とスロートハイトゼロ位置TPとの間の距離である。この補助絶縁層20は、例えば、アルミナ等の非磁性絶縁材料により構成されている。なお、図1および図2に示される実施形態では、スロートハイトゼロ位置TPがフレアポイントFPに一致している場合が示されている。
主絶縁層21は、図1に示されるように、補助絶縁層20のうちの平坦面HMに隣接しながら、位置P1と位置P2との間の位置P3(第3の位置)から後方に向かって延在している。より具体的にはバックギャップ50BGを塞がないように延在しており、主絶縁層21は、補助磁極層20よりも後退している。この主絶縁層21は、例えば図1に示されるように補助絶縁層20のうちの平坦面HM上に薄膜コイル22の下地として配設された主絶縁層部分21Aと、薄膜コイル22およびその周辺の主絶縁層部分21Aを被覆するように配設された主絶縁層部分21Bと、を含んで構成されている。
主絶縁層部分21Aは、例えば、アルミナなどの非磁性材料により構成されており、その厚さは例えば0.2μm程度とされる。
主絶縁層部分21Bは、例えば、加熱時に流動性を示すフォトレジストやスピンオングラス(SOG)などの非磁性絶縁性材料から構成される。この主絶縁層部分21Bの端縁近傍部分は、その端縁に向けて落ち込むように丸みを帯びた斜面を構成している。
薄膜コイル22は、記録用の磁束を発生させるために形成されている。薄膜コイル22は、例えば、前述した薄膜コイル10において電流が流される方向と逆方向に電流が流れるように操作される。
ライトシールド層60は、磁極層40から放出された記録用の磁束の広がり成分を取り込むことにより、その磁束の広がりを抑制するように作用する。このライトシールド層60は、磁極層40および薄膜コイル22のトレーリング側に配設されており、エアベアリング面70から後方に向かって延在することにより、そのエアベアリング面70に近い側においてギャップ膜17により磁極層20から隔てられるとともに、遠い側においてバックギャップ50BGを通じて磁性層40に連結されている。
本実施形態におけるライトシールド層60は、互いに別体をなすTH規定層18(第1の磁気遮蔽層部分)およびヨーク層23(第2の磁気遮蔽部分)と含み、これらのTH規定層18およびヨーク層23が互いに連結された構造を有している。なお、ライトシールド層60は、図示のごとく連結構造に限定されることなく一体化物であってもよい。
TH規定層18は、磁極から直接放出される磁束のうち、余分な磁束を取り込む主要な磁束の取り込み口として機能するものである。このTH規定層18は、例えば、図1に示したようにギャップ層17に隣接しながら、エアベアリング面70から後方の位置、より具体的には位置P1よりも前方の位置P2まで延在しており、その位置P2において絶縁層50のうちの補助絶縁層20に隣接している。
TH規定層18は、例えば、パーマロイまたは鉄系合金などの高飽和磁束密度を有する磁性材料により構成されており、図2に示されるように磁極層40の幅W2よりも大きな幅W3(W3>W2)を有する矩形状の平面形状をなしている。特に、TH規定層18は、例えば、上記したように、補助磁極層19および補助絶縁層20とともに、平坦面HMを構成している。すなわち、TH規定層18のうちのトレーリング側の端面は、補助磁極層19のうちのトレーリング側の端面および補助絶縁層20のうちのトレーリング側の端面の双方のともに平坦面HMを構成している。上述したように、TH規定層18が位置P2において補助絶縁層20に隣接していることから、そのTH規定層18は、絶縁層50の最前端位置(スロートハイトゼロ位置TH)を規定することにより、実質的にスロートハイトTHを規定する役割を担っている。
ヨーク層23は、TH規定層18から取り込まれた磁束の流路として機能するように構成されている。さらには、媒体の裏打ち層から磁束が戻るリターンヨークとしても機能するように構成されている。ヨーク層23は、例えば図1に示されるように、TH規定層18に乗り上げながら、エアベアリング面70から絶縁層50上を経由して少なくともバックギャップ50BGまで延在している。すなわち、ヨーク層23は、前方においてTH規定層18に乗り上げることにより連結されているとともに、後方においてはバックギャップ50BGを通じて、磁極層40に隣接することによって連結されている。
本実施例においてヨーク層23は、例えば、バックギャップ50BGにおいて磁極層40に連結されつつ、そのバックギャップ50BGよりも後方まで延在している。このようなヨーク層23は、例えば、TH規定層18を構成している磁性材料と同様の磁性材料により構成されとともに、図2に示されるように、幅W3を有する矩形状の平面形状を有している。
上述してきたような薄膜磁気ヘッドでは、例えば、図1に示されるように、記録性能を確保するために、特定の構成要素に基づいて規定される一定の寸法を適正化することが望ましい。具体的には、エアベアリング面70に対する補助磁極19の後退距離、すなわちエアベアリング面70と位置P1との間の距離L1は、0.8〜7.1μmとすることが望ましい。また、エアベアリング面70に対する主絶縁層21の後退距離、すなわちエアベアリング面70と位置P3との間の距離L3は、TH規定層18の長さ、すなわちエアベアリング面70と位置P2との間の距離L2よりも大きくなっている(L3>L2)。この距離L3が距離L2よりも大きい構造的関係に基づき、ライトシールド層60では、ヨーク層23のうちのTH規定層18に隣接する部分の長さ(すなわち距離L3)が、TH規定層の長さ(すなわち距離L2)よりも大きくなっている。すなわち、ライトシールド層60においてTH規定層18を経由してヨーク層23へ磁束が取り込まれた際に、その磁束がライトシールド層60内を流れる磁路が段階的に拡張されている。
なお、上述してきた薄膜磁気ヘッドの全体構造は、記載された構造に限定されるものではなく、種々のモディファイが可能である。
上述してきた薄膜磁気ヘッドの好適な全体構造において、本発明が特に構造的に主張すべき発明の要部について、以下、詳細に説明する。
〔本発明の要部であるライトシールド層60の説明〕
本発明の要部は、記録媒体に対して磁気情報を記録する記録ヘッド部と、記録媒体に対して記録された磁気情報を再生する再生ヘッド部と、を有する薄膜磁気ヘッドにおいて、磁極層と連結されて記録ヘッド部の要部を構成するライトシールド層の幅と、再生ヘッド部において磁気抵抗素子を磁気的に遮蔽するために上下に配置された上部リードシールド層および下部リードシールド層の幅との関係を、最大スキュー角αmaxを考慮にいれて、外部磁場が加わった際に、すでに書き込みされている信号を劣化させることがないように設定しているところにある。端的に言えば、スキュー角が最大スキュー角αに至るまで、ライトシールド層のエッジと、上部リードシールド層および下部リードシールド層のエッジとが同じトラック上で重ならないように設定されているのである。
以下、図6〜図15に示される各実施形態ごとに分けて詳細に説明する。
図6〜図15はエアベアリング面から薄膜磁気ヘッドの要部構造を見た図面である(図1(A)と同様)。これらの図面には、発明の要部であるライトシールド層と、実質的な上部リードシールドと、下部リードシールド層と、主磁極層15と、MR素子8とが記載されている。なお、薄膜磁気ヘッドに対して記録媒体(図示していない)が相対的に移動する方向は、図面の下方から上方であり(図1(A)の矢印Mを参照)、図面に示される各層の厚さにおける下方側がリーディング側、上方側がトレーリング側に相当する。
(1)第1の実施形態(図6相当)
再生ヘッド部において磁気抵抗素子(MR素子8)を磁気的に遮蔽するための上部リードシールド層5(図1における上部第1リードシールド層5と同義)および下部リードシールド層3が上下に配置された形態である。この実施形態においては、図1(A)、(B)における非磁性層6および上部第2シールド層7は存在していない。図1における上部リードシールド層30が単に、上部第1リードシールド層5から形成されているシンプルな実施形態である。
図1や図6からもわかるように、下部リードシールド層3は、ライトシールド層60との厚さ方向の距離において、上部リードシールド層5からライトシールド層60との厚さ方向の距離よりも遠くに離れた位置関係にある。また、これらのシールド層5、7、60は、記録媒体に対向する対向面であるエアベアリング面に実質的に存在している。「エアベアリング面に実質的に存在する」とは、エアベアリング面に保護膜等が被覆形成されている場合をも考慮した表現である。
図6に示されるように、ライトシールド層60の幅をWws、下部リードシールド層3の幅をWsf、上部リードシールド層5の幅をWssとした場合、第1の実施形態では、Wws<Wsf=Wssである。
そして、図6に示されるライトシールド層60の幅Wwsの両端部60´、60´と、下部リードシールド層3の幅Wsfの両端部3´、3´とを結んで描かれる四角形が、2つの底角が等しい正則の台形形状をなしており、ライトシールド層60と下部リードシールド層3の厚さ方向の最大距離(台形の高さに相当)がXである場合、最大スキュー角αmaxとの関係において、
Wws<Wsf−2X・tanαmax
の条件を満たすように、ライトシールド層60の幅Wws、および下部リードシールド層3の幅Wsfが設定される。
このような条件を満たすことにより、スキュー角が最大スキュー角αに至るまで、ライトシールド層60の幅Wwsの両端部60´、60´と、下部リードシールド層3の幅Wsfの両端部3´、3´とが同じトラック上で重ならないので、外部磁場が加わった際に、すでに書き込みされている信号を劣化させることがないという効果が発現する。
本発明において、ライトシールド層60の幅Wwsの両端部60´、60´とは、図示のごとくライトシールド層60の厚さ方向のトレーリング側のエッジである。また、下部リードシールド層3の幅Wsfの両端部3´、3´とは、図示のごとく下部リードシールド層3の厚さ方向のリーディング側のエッジである。
このような特定のエッジに注目する理由は以下の通りである。すなわち、本発明者らが、図6に示される第1の実施形態において、磁気ヘッドの長さ方向後部からエアベアリング面方向、かつ、記録媒体方向へ向けて、外部磁界を加えた際に、各シールド層から発生する磁界分布を測定したところ、上記の特定のエッジの箇所における磁界が特に大きな値を示すことが確認できたからである。
なお、図6の場合、Wws<Wsf=Wssであるが、これらの関係は、Wws<Wss<Wsfであってもよい。また、Wws<Wsf<Wssであってもよい。
(2)第2の実施形態(図7相当)
図7に示されるように、ライトシールド層60の幅をWws、下部リードシールド層3の幅をWsf、上部リードシールド層の幅をWssとした場合、第2の実施形態では、Wws>Wsf=Wssである。
そして、図7に示されるライトシールド層60の幅Wwsの両端部60´、60´と、下部リードシールド層3の幅Wsfの両端部3´、3´とを結んで描かれる四角形が、2つの底角が等しい正則の台形形状をなしており、ライトシールド層60と下部リードシールド層3の厚さ方向の最大距離(台形の高さに相当)がXである場合、最大スキュー角αmaxとの関係において、
Wws>Wsf+2X・tanαmax
の条件を満たすように、ライトシールド層60の幅Wws、および下部リードシールド層3の幅Wsfが設定される。
このような条件を満たすことにより、スキュー角が最大スキュー角αに至るまで、ライトシールド層60の幅Wwsの両端部60´、60´と、下部リードシールド層3の幅Wsfの両端部3´、3´とが同じトラック上で重ならないので、外部磁場が加わった際に、すでに書き込みされている信号を劣化させることがないという効果が発現する。
本発明において、ライトシールド層60の幅Wwsの両端部60´、60´とは、図示のごとくライトシールド層60の厚さ方向のトレーリング側のエッジである。また、下部リードシールド層3の幅Wsfの両端部3´、3´とは、図示のごとく下部リードシールド層3の厚さ方向のリーディング側のエッジである。このような特定のエッジに注目する理由は以下の通りである。すなわち、本発明者らが、図7に示される第2の実施形態において、磁気ヘッドの長さ方向後部からエアベアリング面方向、かつ、記録媒体方向へ向けて、外部磁界を加えた際に、各シールド層から発生する磁界分布を測定したところ、上記の特定のエッジの箇所における磁界が特に大きな値を示すことが確認できたからである。
なお、図7の場合、Wws>Wsf=Wssであるが、これらの関係は、Wws>Wss>Wsfであってもよい。また、Wws>Wsf>Wssであってもよい。
(3)第3の実施形態(図8相当)
図8に示される第3の実施形態が、図6に示される第1の実施形態と異なるのは、上部リードシールド層が厚さ方向に非磁性層を介して2つのシールド層5、7に分割されたのごとく形態をとり、下側から、上部第1リードシールド層5および上部第2リードシールド7層を有している点にある。すなわち、図8に示される第3の実施形態は、図1に示される形態と同じであり、上部リードシールド層が2つのシールド層5、7を備えて構成されている。
図8に示されるように、ライトシールド層60の幅をWws、下部リードシールド層3の幅をWsf、上部第1リードシールド層5の幅をWss1、上部第2リードシールド層7の幅をWss2とした場合、第3の実施形態では、Wws<Wsf=Wss1=Wss2である。
そして、図8に示されるライトシールド層60の幅Wwsの両端部60´、60´と、下部リードシールド層3の幅Wsfの両端部3´、3´とを結んで描かれる四角形が、2つの底角が等しい正則の台形形状をなしており、ライトシールド層60と下部リードシールド層3の厚さ方向の最大距離(台形の高さに相当)がXである場合、最大スキュー角αmaxとの関係において、
Wws<Wsf−2X・tanαmax
の条件を満たすように、ライトシールド層60の幅Wws、および下部リードシールド層3の幅Wsfが設定される。
このような条件を満たすことにより、スキュー角が最大スキュー角αに至るまで、ライトシールド層60の幅Wwsの両端部60´、60´と、下部リードシールド層3の幅Wsfの両端部3´、3´とが同じトラック上で重ならないので、外部磁場が加わった際に、すでに書き込みされている信号を劣化させることがないという効果が発現する。
本発明において、ライトシールド層60の幅Wwsの両端部60´、60´とは、図示のごとくライトシールド層60の厚さ方向のトレーリング側のエッジである。また、下部リードシールド層3の幅Wsfの両端部3´、3´とは、図示のごとく下部リードシールド層3の厚さ方向のリーディング側のエッジである。このような特定のエッジに注目する理由は以下の通りである。すなわち、本発明者らが、図8に示される第3の実施形態において、磁気ヘッドの長さ方向後部からエアベアリング面方向、かつ、記録媒体方向へ向けて、外部磁界を加えた際に、各シールド層から発生する磁界分布を測定したところ、上記の特定のエッジの箇所における磁界が特に大きな値を示すことが確認できたからである。
なお、図8の場合、Wws<Wsf=Wss1=Wss2であるが、これらの関係は、Wws<Wss1=Wss2<Wsfであってもよい。また、Wws<Wss1<Wss2<Wsfや、Wws<Wss2<Wss1<Wsfであってもよい。
(4)第4の実施形態(図9相当)
図9に示されるように、ライトシールド層60の幅をWws、下部リードシールド層3の幅をWsf、上部第1リードシールド層5の幅をWss1、上部第2リードシールド層7の幅をWss2とした場合、第3の実施形態では、Wws>Wsf=Wss1=Wss2である。
そして、図9に示されるライトシールド層60の幅Wwsの両端部60´、60´と、下部リードシールド層3の幅Wsfの両端部3´、3´とを結んで描かれる四角形が、2つの底角が等しい正則の台形形状をなしており、ライトシールド層60と下部リードシールド層3の厚さ方向の最大距離(台形の高さに相当)がXである場合、最大スキュー角αmaxとの関係において、
Wws>Wsf+2X・tanαmax
の条件を満たすように、ライトシールド層60の幅Wws、および下部リードシールド層3の幅Wsfが設定される。
このような条件を満たすことにより、スキュー角が最大スキュー角αに至るまで、ライトシールド層60の幅Wwsの両端部60´、60´と、下部リードシールド層3の幅Wsfの両端部3´、3´とが同じトラック上で重ならないので、外部磁場が加わった際に、すでに書き込みされている信号を劣化させることがないという効果が発現する。
本発明において、ライトシールド層60の幅Wwsの両端部60´、60´とは、図示のごとくライトシールド層60の厚さ方向のトレーリング側のエッジである。また、下部リードシールド層3の幅Wsfの両端部3´、3´とは、図示のごとく下部リードシールド層3の厚さ方向のリーディング側のエッジである。このような特定のエッジに注目する理由は以下の通りである。すなわち、本発明者らが、図9に示される第4の実施形態において、磁気ヘッドの長さ方向後部からエアベアリング面方向、かつ、記録媒体方向へ向けて、外部磁界を加えた際に、各シールド層から発生する磁界分布を測定したところ、上記の特定のエッジの箇所における磁界が特に大きな値を示すことが確認できたからである。
なお、図9の場合、Wws>Wsf=Wss1=Wss2であるが、これらの関係は、Wws>Wsf>Wss1=Wss2であってもよい。また、Wws>Wsf>Wss1>Wss2や、Wws>Wsf>Wss2>Wss1であってもよい。
(5)第5の実施形態(図10相当)
図10に示される第5の実施形態が、図8に示される第3の実施形態と異なるのは、図10に示されるように、3つのリードシールド層3,5,7の中で、下部リードシールド層3の幅が最も大きい点にある。
すなわち、ライトシールド層60の幅をWws、下部リードシールド層3の幅をWsf、上部第1リードシールド層5の幅をWss1、上部第2リードシールド層7の幅をWss2とした場合、第5の実施形態では、Wws<Wss2<Wss1<Wsfである。
そして、図10に示されるライトシールド層60の幅Wwsの両端部60´、60´と、下部リードシールド層3の幅Wsfの両端部3´、3´とを結んで描かれる四角形が、2つの底角が等しい正則の台形形状をなしており、ライトシールド層60と下部リードシールド層3の厚さ方向の最大距離(台形の高さに相当)がXである場合、最大スキュー角αmaxとの関係において、
Wws<Wsf−2X・tanαmax
の条件を満たすように、ライトシールド層60の幅Wws、および下部リードシールド層3の幅Wsfが設定される。
このような条件を満たすことにより、スキュー角が最大スキュー角αに至るまで、ライトシールド層60の幅Wwsの両端部60´、60´と、下部リードシールド層3の幅Wsfの両端部3´、3´とが同じトラック上で重ならないので、外部磁場が加わった際に、すでに書き込みされている信号を劣化させることがないという効果が発現する。
本発明において、ライトシールド層60の幅Wwsの両端部60´、60´とは、図示のごとくライトシールド層60の厚さ方向のトレーリング側のエッジである。また、下部リードシールド層3の幅Wsfの両端部3´、3´とは、図示のごとく下部リードシールド層3の厚さ方向のリーディング側のエッジである。このような特定のエッジに注目する理由は以下の通りである。すなわち、本発明者らが、図10に示される第5の実施形態において、磁気ヘッドの長さ方向後部からエアベアリング面方向、かつ、記録媒体方向へ向けて、外部磁界を加えた際に、各シールド層から発生する磁界分布を測定したところ、上記の特定のエッジの箇所における磁界が特に大きな値を示すことが確認できたからである。
この図10に示される第5の実施形態は、最も好適な態様の範疇に入るものである。
Wss2<Wss1とすることが好ましい理由
下部リードシールド層3と上部第1リードシールド層5は、リーダーであるMR素子8のシールドであるために寸法の精度が求められる。それゆえ、下部リードシールド層3と上部第1リードシールド層5は、CPM処理を使って、平らな面を作った後に形成される。平らな面の上への形成のために、幅の大きさに特に制限はない。この一方で、上部第2リードシールド層7は、高い精度は要求されない。そのために、通常、上部第1リードシールド層5を形成した後に、CPM処理をしないでそのまま、上部第1リードシールド層5の上に絶縁層を形成し、この絶縁層の上に上部第2リードシールド層7が形成される。上部第1リードシールド層5の段差が存在するために、上部第2リードシールド層7は、上部第1リードシールド層5よりも一回り小さい形状で作ることが好ましい。
Wss1<Wsfとすることが好ましい理由
下部リードシールド層3の幅Wsfが、上部第1リードシールド層5の幅Wss1よりも広い場合(Wss1<Wsf)のほうが、この逆の場合よりも(Wss1>Wsf)、書き込み磁界の増加が抑えられることが実験的に確認されているからである。
(6)第6の実施形態(図11相当)
図11に示される第6の実施形態が、図9に示される第4の実施形態と異なるのは、図10に示されるように、3つのリードシールド層3,5,7の中で、下部リードシールド層3の幅が最も大きい点にある。
すなわち、ライトシールド層60の幅をWws、下部リードシールド層3の幅をWsf、上部第1リードシールド層5の幅をWss1、上部第2リードシールド層7の幅をWss2とした場合、第6の実施形態では、Wss2<Wss1<Wsf<Wwsである。
そして、図11に示されるライトシールド層60の幅Wwsの両端部60´、60´と、下部リードシールド層3の幅Wsfの両端部3´、3´とを結んで描かれる四角形が、2つの底角が等しい正則の台形形状をなしており、ライトシールド層60と下部リードシールド層3の厚さ方向の最大距離(台形の高さに相当)がXである場合、最大スキュー角αmaxとの関係において、
Wws>Wsf+2X・tanαmax
の条件を満たすように、ライトシールド層60の幅Wws、および下部リードシールド層3の幅Wsfが設定される。
このような条件を満たすことにより、スキュー角が最大スキュー角αに至るまで、ライトシールド層60の幅Wwsの両端部60´、60´と、下部リードシールド層3の幅Wsfの両端部3´、3´とが同じトラック上で重ならないので、外部磁場が加わった際に、すでに書き込みされている信号を劣化させることがないという効果が発現する。
本発明において、ライトシールド層60の幅Wwsの両端部60´、60´とは、図示のごとくライトシールド層60の厚さ方向のトレーリング側のエッジである。また、下部リードシールド層3の幅Wsfの両端部3´、3´とは、図示のごとく下部リードシールド層3の厚さ方向のリーディング側のエッジである。このような特定のエッジに注目する理由は以下の通りである。すなわち、本発明者らが、図11に示される第6の実施形態において、磁気ヘッドの長さ方向後部からエアベアリング面方向、かつ、記録媒体方向へ向けて、外部磁界を加えた際に、各シールド層から発生する磁界分布を測定したところ、上記の特定のエッジの箇所における磁界が特に大きな値を示すことが確認できたからである。
(7)第7の実施形態(図12相当)
図12に示される第7の実施形態が、図10に示される第5の実施形態と異なるのは、図12に示されるように、3つのリードシールド層3,5,7の中で、中央に位置する上部第1リードシールド層5の幅が最も大きい点にある。
すなわち、ライトシールド層60の幅をWws、下部リードシールド層3の幅をWsf、上部第1リードシールド層5の幅をWss1、上部第2リードシールド層7の幅をWss2とした場合、第7の実施形態では、Wws<Wss2=Wsf<Wss1である。
そして、図12に示されるライトシールド層60の幅Wwsの両端部60´、60´と、上部第1リードシールド層5の幅Wss1の両端部5´、5´とを結んで描かれる四角形が、2つの底角が等しい正則の台形形状をなしており、ライトシールド層60と上部第1リードシールド層5の厚さ方向の最大距離(台形の高さに相当)がX1である場合、最大スキュー角αmaxとの関係において、
Wws<Wss1−2X1・tanαmax
の条件を満たすように、ライトシールド層60の幅Wws、および上部第1リードシールド層5の幅Wss1が設定される。
このような条件を満たすことにより、スキュー角が最大スキュー角αに至るまで、ライトシールド層60の幅Wwsの両端部60´、60´と、上部第1リードシールド層5の幅Wss1の両端部5´、5´とが同じトラック上で重ならないので、外部磁場が加わった際に、すでに書き込みされている信号を劣化させることがないという効果が発現する。
本発明において、ライトシールド層60の幅Wwsの両端部60´、60´とは、図示のごとくライトシールド層60の厚さ方向のトレーリング側のエッジである。また、上部第1リードシールド層5の幅Wss1の両端部5´、5´とは、図示のごとく上部第1リードシールド層5の厚さ方向のリーディング側のエッジである。このような特定のエッジに注目する理由は以下の通りである。すなわち、本発明者らが、図12に示される第7の実施形態において、磁気ヘッドの長さ方向後部からエアベアリング面方向、かつ、記録媒体方向へ向けて、外部磁界を加えた際に、各シールド層から発生する磁界分布を測定したところ、上記の特定のエッジの箇所における磁界が特に大きな値を示すことが確認できたからである。
なお、図12の場合、Wws<Wss2=Wsf<Wss1であるが、これらの関係は、Wws<Wss2<Wsf<Wss1や、Wws<Wsf<Wss2<Wss1であってもよい。
(8)第8の実施形態(図13相当)
図13に示される第8の実施形態が、図11に示される第6の実施形態と異なるのは、図13に示されるように、3つのリードシールド層3,5,7の中で、中央に位置する上部第1リードシールド層5の幅が最も大きい点にある。
すなわち、ライトシールド層60の幅をWws、下部リードシールド層3の幅をWsf、上部第1リードシールド層5の幅をWss1、上部第2リードシールド層7の幅をWss2とした場合、第8の実施形態では、Wss2=Wsf<Wss1<Wwsである。
そして、図13に示されるライトシールド層60の幅Wwsの両端部60´、60´と、上部第1リードシールド層5の幅Wss1の両端部5´、5´とを結んで描かれる四角形が、2つの底角が等しい正則の台形形状をなしており、ライトシールド層60と上部第1リードシールド層5の厚さ方向の最大距離(台形の高さに相当)がX1である場合、最大スキュー角αmaxとの関係において、
Wws>Wss1+2X1・tanαmax
の条件を満たすように、ライトシールド層60の幅Wws、および上部第1リードシールド層5の幅Wss1が設定される。
このような条件を満たすことにより、スキュー角が最大スキュー角αに至るまで、ライトシールド層60の幅Wwsの両端部60´、60´と、上部第1リードシールド層5の幅Wss1の両端部5´、5´とが同じトラック上で重ならないので、外部磁場が加わった際に、すでに書き込みされている信号を劣化させることがないという効果が発現する。
本発明において、ライトシールド層60の幅Wwsの両端部60´、60´とは、図示のごとくライトシールド層60の厚さ方向のトレーリング側のエッジである。また、上部第1リードシールド層5の幅Wss1の両端部5´、5´とは、図示のごとく上部第1リードシールド層5の厚さ方向のリーディング側のエッジである。このような特定のエッジに注目する理由は以下の通りである。すなわち、本発明者らが、図13に示される第8の実施形態において、磁気ヘッドの長さ方向後部からエアベアリング面方向、かつ、記録媒体方向へ向けて、外部磁界を加えた際に、各シールド層から発生する磁界分布を測定したところ、上記の特定のエッジの箇所における磁界が特に大きな値を示すことが確認できたからである。
なお、図13の場合、Wss2=Wsf<Wss1<Wwsであるが、これらの関係は、Wss2<Wsf<Wss1<Wwsや、Wsf<Wss2<Wss1<Wwsであってもよい。
(9)第9の実施形態(図14相当)
図14に示される第9の実施形態が、図12に示される第7の実施形態と異なるのは、図14に示されるように、3つのリードシールド層3,5,7の中で、最も上部に位置する上部第2リードシールド層7の幅が最も大きい点にある。
すなわち、ライトシールド層60の幅をWws、下部リードシールド層3の幅をWsf、上部第1リードシールド層5の幅をWss1、上部第2リードシールド層7の幅をWss2とした場合、第9の実施形態では、Wws<Wss1=Wsf<Wss2である。
そして、図14に示されるライトシールド層60の幅Wwsの両端部60´、60´と、上部第2リードシールド層7の幅Wss2の両端部7´、7´とを結んで描かれる四角形が、2つの底角が等しい正則の台形形状をなしており、ライトシールド層60と上部第2リードシールド層7の厚さ方向の最大距離(台形の高さに相当)がX2である場合、最大スキュー角αmaxとの関係において、
Wws<Wss2−2X2・tanαmax
の条件を満たすように、ライトシールド層60の幅Wws、および上部第2リードシールド層7の幅Wss2が設定される。
このような条件を満たすことにより、スキュー角が最大スキュー角αに至るまで、ライトシールド層60の幅Wwsの両端部60´、60´と、上部第2リードシールド層7の幅Wss2の両端部7´、7´とが同じトラック上で重ならないので、外部磁場が加わった際に、すでに書き込みされている信号を劣化させることがないという効果が発現する。
本発明において、ライトシールド層60の幅Wwsの両端部60´、60´とは、図示のごとくライトシールド層60の厚さ方向のトレーリング側のエッジである。また、上部第2リードシールド層5の幅Wss2の両端部7´、7´とは、図示のごとく上部第2リードシールド層7の厚さ方向のリーディング側のエッジである。このような特定のエッジに注目する理由は以下の通りである。すなわち、本発明者らが、図14に示される第9の実施形態において、磁気ヘッドの長さ方向後部からエアベアリング面方向、かつ、記録媒体方向へ向けて、外部磁界を加えた際に、各シールド層から発生する磁界分布を測定したところ、上記の特定のエッジの箇所における磁界が特に大きな値を示すことが確認できたからである。
なお、図14の場合、Wws<Wss1=Wsf<Wss2であるが、これらの関係は、Wws<Wss1<Wsf<Wss2や、Wws<Wsf<Wss1<Wss2であってもよい。ただし、製法上はあまり好ましいものではない。
(10)第10の実施形態(図15相当)
図15に示される第10の実施形態が、図13に示される第8の実施形態と異なるのは、図15に示されるように、3つのリードシールド層3,5,7の中で、最も上部に位置する上部第2リードシールド層7の幅が最も大きい点にある。
すなわち、ライトシールド層60の幅をWws、下部リードシールド層3の幅をWsf、上部第1リードシールド層5の幅をWss1、上部第2リードシールド層7の幅をWss2とした場合、第7の実施形態では、Wss1=Wsf<Wss2<Wwsである。
そして、図15に示されるライトシールド層60の幅Wwsの両端部60´、60´と、上部第2リードシールド層7の幅Wss2の両端部7´、7´とを結んで描かれる四角形が、2つの底角が等しい正則の台形形状をなしており、ライトシールド層60と上部第2リードシールド層7の厚さ方向の最大距離(台形の高さに相当)がX2である場合、最大スキュー角αmaxとの関係において、
Wws>Wss2+2X2・tanαmax
の条件を満たすように、ライトシールド層60の幅Wws、および上部第2リードシールド層7の幅Wss2が設定される。
このような条件を満たすことにより、スキュー角が最大スキュー角αに至るまで、ライトシールド層60の幅Wwsの両端部60´、60´と、上部第2リードシールド層7の幅Wss2の両端部7´、7´とが同じトラック上で重ならないので、外部磁場が加わった際に、すでに書き込みされている信号を劣化させることがないという効果が発現する。
本発明において、ライトシールド層60の幅Wwsの両端部60´、60´とは、図示のごとくライトシールド層60の厚さ方向のトレーリング側のエッジである。また、上部第2リードシールド層5の幅Wss2の両端部7´、7´とは、図示のごとく上部第2リードシールド層7の厚さ方向のリーディング側のエッジである。このような特定のエッジに注目する理由は以下の通りである。すなわち、本発明者らが、図15に示される第10の実施形態において、磁気ヘッドの長さ方向後部からエアベアリング面方向、かつ、記録媒体方向へ向けて、外部磁界を加えた際に、各シールド層から発生する磁界分布を測定したところ、上記の特定のエッジの箇所における磁界が特に大きな値を示すことが確認できたからである。
なお、図15の場合、Wss1=Wsf<Wss2<Wwsであるが、これらの関係は、Wss1<Wsf<Wss2<Wwsや、Wsf<Wss1<Wss2<Wwsであってもよい。
なお、本発明においては、エアベアリング面におけるライトシールド層およびリードシールド層の各幅方向の両端部のエッジをカットする工夫や、各幅方向の両端部を部分的に厚さ方向に肉厚にする工夫をすることによって、本発明の効果をより一層高めることが可能となる。
<実験例I>
まず、最初に、有限要素法を用いて磁束がシールド層のエッジに集中する現象を把握するために、4つのシールド層の中で一つだけ幅が極端に突出して大きいシールド層を有するモデルを作製した。外部磁場はメディアに垂直に50Oe入力した。
各モデルにおいて、最も幅の大きいシールドは、他のシールドと比較して、5μmほど大きく設定した。なお、3μmを超えると、エッジ部への磁束集中が急激に多くなることが確認されている。
ちなみに、通常の磁気ヘッドにおいて、最も幅の大きいシールドが存在したとしても、他のシールドと比較して、2.5μmほど大きくなる程度とすることが一般的である(図6〜図15が該当)。
モデル1…上述した第4の実施形態(図9相当)をモディファイして、ライトシールド層60の幅を極端に大きくした(5μmほど幅を大きくした)モデルを作製した。
モデル2…上述した第5の実施形態(図10相当)をモディファイして、下部リードシールド層3の幅を極端に大きくした(5μmほど幅を大きくした)モデルを作製した。
モデル3…上述した第7の実施形態(図12相当)をモディファイして、上部第1リードシールド層5の幅を極端に大きくした(5μmほど幅を大きくした)モデルを作製した。
モデル4…上述した第9の実施形態(図14相当)をモディファイして、上部第2リードシールド層7の幅を極端に大きくした(5μmほど幅を大きくした)モデルを作製した。
このようなモデル1〜4について、磁気ヘッドの長さ方向後部からエアベアリング面方向、かつ、記録媒体方向へ向けて、外部磁界を加え、各シールド層から発生する磁界分布を計算した。磁界分布の計算要領は下記のとおりとした。
上記に説明した薄膜磁気ヘッド(図1〜図3参照)の全体構造において、ライトシールド層60およびリードシールド層3、5、7等の構成(特に、互いの関与する幅の関係)を上記のモデル1〜4(図19〜図22)のごとく設定した。
ライトシールド層の材質はCoFeNiとし、リードシールド層の材質はNi80Fe20とした。
モデル1〜4について、図16に示されるような記録媒体201(ハードディスク201)との配置関係および、下記の条件設定の基に各シールド層のエアベアリング面において、同じ磁化量で磁化されている領域の分布を求めた。すなわち、等磁化量曲線の分布を求めた。
(条件設定)
外部磁場による消磁の原因となる磁場は、WriterとReaderは勿論、記録媒体(メディア)のいわゆる裏打ち層201b(垂直磁気記録層201aの下に敷設されている軟磁性下地層201b)までの距離や裏打ち層の膜厚や飽和磁束密度Bsにも影響される。なお、図16中の図面の右方から左方に向けて流れる点線の流れ群は磁束の流れを模式的に示したものである。この図に示されるように、ライトシールド層60のエアベアリング面およびリードシールド層3,5のエアベアリング面(ABS)には磁束が集中する。符号201cは基板を示している。
記録媒体(メディア)等の条件は以下のように設定した。
・外部磁場の方向:記録媒体(メディア)に対して垂直方向
・外部磁場の強度:4000〔A/m〕
・記録媒体の裏打ち層の飽和磁束密度Bs:1.0〔T〕
・記録媒体の裏打ち層の膜厚:100〔nm〕
・ヘッドと記録媒体の裏打ち層との距離:ABSから50〔nm〕
・計算している位置:ABSから記録媒体(メディア)側へ20nmの位置
これらの条件下の基に、シュミレーションにより、ライトシールド層のエアベアリング面の両端部およびリードシールド層のエアベアリング面の両端部において、同じ磁化量で磁化されている領域の分布を求めた。
得られた等磁化量曲線の分布を特許図面として分かりやすくトレースして、図19〜図22に表示した。これらの各図について以下説明する。
モデル1における等磁化量曲線の分布のイメージが図19に示される。図19に示されるごとく、ライトシールド層60の幅Wwsの端部60´で磁界分布のピークが存在し、その値は2450 Oeであり、下部リードシールド層3の幅Wsfの端部3´で磁界分布のピークが存在し、その値は、1530 Oeであった。
モデル2における等磁化量曲線の分布のイメージが図20に示される。図20に示されるごとく、ライトシールド層60の幅Wwsの端部60´磁界分布のピークが存在し、その値は1690 Oeであり、下部リードシールド層3の幅Wsfの端部3´で磁界分布のピークが存在し、その値は、2350 Oeであった。
モデル3における等磁化量曲線の分布のイメージが図21に示される。図21に示されるごとく、ライトシールド層60の幅Wwsの端部60´で磁界分布のピークが存在し、その値は1640 Oeであり、上部第1リードシールド層5の幅Wss1の端部5´で磁界分布のピークが存在し、その値は、2300 Oeであった。
モデル4における等磁化量曲線の分布のイメージが図22に示される。図22に示されるごとく、ライトシールド層60の幅Wwsの端部60´で磁界分布のピークが存在し、その値は1820 Oeであり、上部第2リードシールド層7の幅Wss2の端部7´で磁界分布のピークが存在し、その値は、2110 Oeであった。
これらの図面から磁束がシールド層のエッジに集中していることがわかる。
また、シールドが飽和しない限りは材料のエッジでの書き込みの差は生じないので、どのような磁性材料であってもよい。基本的にシールドは大面積で構成されているので飽和することはないと考えられる。しかしながら、万が一、シールドが飽和するとシールド機能そのものの機能がなくなるので、外部磁場が大きいことが予想される場合には、飽和磁束密度Bsのより高い材料を設定して使用するようにすればよい。
<実験例II>
上記説明した薄膜磁気ヘッド(図1〜図3参照)の全体構造において、所定のライトシールド層60およびリードシールド層3、5、7を設けたサンプルを用い、さらに、記録媒体(メディア)に垂直方向に300 Oe(23870A/m)の大きな外部磁場をかけた際に、前もって書き込んだ出力(初期値100%)がTrack Eraserにより劣化し、どの程度の出力(%)を保持しているかを示すTrack Eraser率(%)、(TE率(%))を求めた。TE率(%)の値が大きいほどTrack Eraserの影響を受けておらず、良好な状態であることを示す。
なお、本願発明の概念が容易に理解できるように、図17および図18には、スキュー角を考慮することなく、本願発明の現象を実験的に示したデータ(横軸:各シールドの位置、縦軸:Track Eraser率(%))、および各シールド層の配置図が併記された図面が示される。これらの図面において、符号60は、ライトシールド層であり、符号3、5、7は、リードシールド層であり、上述してきた符号と同義の部材である。
図17に示される各シールド層の配置図では、ライトシールド層のエッジとリードシールド層のエッジとが同じトラック上で重ならないので、各シールド層のエッジ付近であってもTE率(%)、ほぼ、80%以上の値が得られていることがわかる(下向きピークA1〜A4)。
これに対して、図18に示される各シールド層の配置図では、ライトシールド層60の右端エッジとリードシールド層3の右端エッジとが同じトラック上で重なった状態を形成しており、この場所では、TE率(%)が約50%に悪化していることがわかる(下向きピークB1)。
同様な手法で、さらに、記録媒体(メディア)に垂直方向に300 Oe(23870A/m)の大きな外部磁場をかけた際に、前もって書き込んだ出力(初期値100%)がTrack Eraserにより劣化し、どの程度の出力(%)を保持しているかを示すTrack Eraser率(%)、(TE率(%))を第1〜第10の実施態様(図6〜図15)ごとに求めた。
結果を以下に示す。
第1の実施形態(図6相当)
(i)端部60´と端部3´とが同じデータトラック上で重ならない場合(本発明)
ライトシールド層60の幅Wwsの両端部60´、60´ …TE率=85%
下部リードシールド層3の幅Wsfの両端部3´、3´ …TE率=84%
(ii)端部60´と端部3´とが同じデータトラック上で重なった場合(比較例)
端部60´と端部3´との重なり箇所…TE率=55%
第2の実施形態(図7相当)
(i)端部60´と端部3´とが同じデータトラック上で重ならない場合(本発明)
ライトシールド層60の幅Wwsの両端部60´、60´ …TE率=80%
下部リードシールド層3の幅Wsfの両端部3´、3´ …TE率=84%
(ii)端部60´と端部3´とが同じデータトラック上で重なった場合(比較例)
端部60´と端部3´との重なり箇所…TE率=50%
第3の実施形態(図8相当)
(i)端部60´と端部3´とが同じデータトラック上で重ならない場合(本発明)
ライトシールド層60の幅Wwsの両端部60´、60´ …TE率=85%
下部リードシールド層3の幅Wsfの両端部3´、3´ …TE率=90%
(ii)端部60´と端部3´とが同じデータトラック上で重なった場合(比較例)
端部60´と端部3´との重なり箇所…TE率=60%
第4の実施形態(図9相当)
(i)端部60´と端部3´とが同じデータトラック上で重ならない場合(本発明)
ライトシールド層60の幅Wwsの両端部60´、60´ …TE率=80%
下部リードシールド層3の幅Wsfの両端部3´、3´ …TE率=90%
(ii)端部60´と端部3´とが同じデータトラック上で重なった場合(比較例)
端部60´と端部3´との重なり箇所…TE率=55%
第5の実施形態(図10相当)
(i)端部60´と端部3´とが同じデータトラック上で重ならない場合(本発明)
ライトシールド層60の幅Wwsの両端部60´、60´ …TE率=85%
下部リードシールド層3の幅Wsfの両端部3´、3´ …TE率=89%
(ii)端部60´と端部3´とが同じデータトラック上で重なった場合(比較例)
端部60´と端部3´との重なり箇所…TE率=60%
第6の実施形態(図11相当)
(i)端部60´と端部3´とが同じデータトラック上で重ならない場合(本発明)
ライトシールド層60の幅Wwsの両端部60´、60´ …TE率=80%
下部リードシールド層3の幅Wsfの両端部3´、3´ …TE率=89%
(ii)端部60´と端部3´とが同じデータトラック上で重なった場合(比較例)
端部60´と端部3´との重なり箇所…TE率=55%
第7の実施形態(図12相当)
(i)端部60´と端部5´とが同じデータトラック上で重ならない場合(本発明)
ライトシールド層60の幅Wwsの両端部60´、60´ …TE率=85%
上部第1リードシールド層5の幅Wss1の両端部5´、5´ …TE率=91%
(ii)端部60´と端部5´とが同じデータトラック上で重なった場合(比較例)
端部60´と端部5´との重なり箇所…TE率=60%
第8の実施形態(図13相当)
(i)端部60´と端部5´とが同じデータトラック上で重ならない場合(本発明)
ライトシールド層60の幅Wwsの両端部60´、60´ …TE率=80%
上部第1リードシールド層5の幅Wss1の両端部5´、5´ …TE率=91%
(ii)端部60´と端部5´とが同じデータトラック上で重なった場合(比較例)
端部60´と端部5´との重なり箇所…TE率=55%
第9の実施形態(図14相当)
(i)端部60´と端部7´とが同じデータトラック上で重ならない場合(本発明)
ライトシールド層60の幅Wwsの両端部60´、60´ …TE率=85%
上部第1リードシールド層7の幅Wss2の両端部7´、7´ …TE率=92%
(ii)端部60´と端部7´とが同じデータトラック上で重なった場合(比較例)
端部60´と端部7´との重なり箇所…TE率=60%
第10の実施形態(図15相当)
(i)端部60´と端部7´とが同じデータトラック上で重ならない場合(本発明)
ライトシールド層60の幅Wwsの両端部60´、60´ …TE率=80%
上部第1リードシールド層7の幅Wss2の両端部7´、7´ …TE率=92%
(ii)端部60´と端部7´とが同じデータトラック上で重なった場合(比較例)
端部60´と端部7´との重なり箇所…TE率=55%
上記の結果より本発明の効果は明らかである。すなわち、本発明においては、スキュー角が最大スキュー角αに至るまで、ライトシールド層のエッジと所定のリードシールド層のエッジとが同じトラック上で重ならないので、外部磁場が加わった際に、すでに書き込みされている信号を劣化させることがないという極めて優れた効果が発現する。
本発明の磁気記録装置は、特に、コンピュータに装備して用いられるものであり、情報記録のための装置産業に利用することができる。
図1は、本発明の一実施の形態に係る薄膜磁気ヘッドの断面構成を表す断面図である。 図2は、図1に示した薄膜磁気ヘッドのうちの主要部の平面構成を表す平面図である。 図3は、図1に示した薄膜磁気ヘッドのうちの主要部の露出面の平面構成を拡大して表す平面図である。 図4は、磁気記録再生装置の概略斜視図である。 図5は、磁気記録再生装置の要部を示す概略平面図である。 図6は、エアベアリング面から薄膜磁気ヘッドの要部構造を見た図面である(第1の実施形態)。 図7は、エアベアリング面から薄膜磁気ヘッドの要部構造を見た図面である(第2の実施形態)。 図8は、エアベアリング面から薄膜磁気ヘッドの要部構造を見た図面である(第3の実施形態)。 図9は、エアベアリング面から薄膜磁気ヘッドの要部構造を見た図面である(第4の実施形態)。 図10は、エアベアリング面から薄膜磁気ヘッドの要部構造を見た図面である(第5の実施形態)。 図11は、エアベアリング面から薄膜磁気ヘッドの要部構造を見た図面である(第6の実施形態)。 図12は、エアベアリング面から薄膜磁気ヘッドの要部構造を見た図面である(第7の実施形態)。 図13は、エアベアリング面から薄膜磁気ヘッドの要部構造を見た図面である(第8の実施形態)。 図14は、エアベアリング面から薄膜磁気ヘッドの要部構造を見た図面である(第9の実施形態)。 図15は、エアベアリング面から薄膜磁気ヘッドの要部構造を見た図面である(第10の実施形態)。 図16は、本発明の具体的実験において、記録媒体と薄膜磁気ヘッドとの配置関係と、外部磁界の付与の状況を説明するための概略断面図である。 図17は、スキュー角を考慮することなく、本願発明の現象を実験的に示したデータ(横軸:各シールドの位置、縦軸:Track Eraser率(%))、および各シールド層の配置図が併記された図面である。 図18は、スキュー角を考慮することなく、本願発明の現象を実験的に示したデータ(横軸:各シールドの位置、縦軸:Track Eraser率(%))、および各シールド層の配置図が併記された図面である。 図19は、モデル1における等磁化量曲線の分布の要部を示す図面である。 図20は、モデル2における等磁化量曲線の分布の要部を示す図面である。 図21は、モデル3における等磁化量曲線の分布の要部を示す図面である。 図22は、モデル4における等磁化量曲線の分布の要部を示す図面である。
符号の説明
1…基板
3…下部リードシールド層
5…上部第1リードシールド層
7…上部第2リードシールド層
8…磁気抵抗効果素子
17…ギャップ層
22…薄膜コイル
30…上部リードシールド層
40…磁極層
60…ライトシールド層
70…エアベアリング面
100A…再生ヘッド部
100B…記録ヘッド部

Claims (9)

  1. 薄膜磁気ヘッドと、記録媒体と、前記記録媒体を一定方向に回転駆動させるとともに前記薄膜磁気ヘッドを記録媒体の略半径方向に移動可能とするように作用することができる駆動装置本体と、を備える磁気記録再生装置であって、
    前記記録媒体は、データ情報を記録するデータトラックを有し、
    前記記録媒体と前記磁気ヘッドとは、前記記録媒体の少なくともいくつかのデータトラックにおける円周方向とスキュー角を発生させる配置関係にあり、その最大スキュー角がαmaxであり、
    前記薄膜磁気ヘッドは、前記記録媒体に対して磁気情報を記録する記録ヘッド部と、前記記録媒体に対して記録された磁気情報を再生する再生ヘッド部と、を有し、
    前記記録ヘッド部は、
    磁束を発生させる薄膜コイルと、
    前記記録媒体の対向面から後方に向かって延在し、前記薄膜コイルにおいて発生した磁束に基づいて前記記録媒体をその表面と直交する方向に磁化させるための磁界を発生させる磁極層と、
    前記磁極層の前記媒体進行方向側に配設され、前記記録媒体対向面から後方に向かって延在することにより、前記記録媒体の対向面に近い側においてギャップ層により前記磁極層から隔てられるとともに、遠い側においてバックギャップを通じて前記磁性層に連結されたライトシールド層と、を有し、
    前記再生ヘッド部は、
    磁気抵抗効果素子と、この素子を磁気的に遮蔽するために上下に配置された上部リードシールド層および下部リードシールド層を有し、
    前記上部リードシールド層および前記下部リードシールド層は、記録媒体に対向する記録媒体対向面から後方に向かって延在しており、
    前記ライトシールド層は、前記記録媒体に対向する対向面であるエアベアリング面に実質的に存在しており、エアベアリング面における当該ライトシールド層の幅方向の全長がWwsであり、
    前記上部リードシールド層および前記下部リードシールド層は、前記記録媒体に対向する対向面であるエアベアリング面に実質的に存在しており、前記下部リードシールド層は、前記ライトシールド層との厚さ方向の距離において、前記上部リードシールド層から前記ライトシールド層との厚さ方向の距離よりも遠くに離れた位置関係にあり、エアベアリング面における当該下部リードシールド層の幅がWsfであり、
    エアベアリング面における前記上部リードシールド層の幅がWssであり、前記下部リードシールド層の幅Wsfとの関係において、
    Wssは、Wss≦Wsfの関係を満たすように設定されており、
    エアベアリング面における前記ライトシールド層の幅Wwsの両端部と、エアベアリング面における前記下部リードシールド層の幅Wsfの両端部とを結んで描かれる四角形が、2つの底角が等しい正則の台形形状をなしており、前記ライトシールド層と前記下部リードシールド層の厚さ方向の最大距離(台形の高さに相当)がXである場合において、
    (i)Wws<Wsfの場合、
    Wws<Wsf−2X・tanαmaxの条件を満たし、
    (ii)Wws>Wsfの場合、
    Wws>Wsf+2X・tanαmaxの条件を満たすように、設定されてなることを特徴とする磁気記録再生装置。
  2. Wss<Wsfの関係を満たすように設定されてなる請求項1に記載の磁気記録再生装置。
  3. 薄膜磁気ヘッドと、記録媒体と、前記記録媒体を一定方向に回転駆動させるとともに前記薄膜磁気ヘッドを記録媒体の略半径方向に移動可能とするように作用することができる駆動装置本体と、を備える磁気記録再生装置であって、
    前記記録媒体は、データ情報を記録するデータトラックを有し、
    前記記録媒体と前記磁気ヘッドとは、前記記録媒体の少なくともいくつかのデータトラックにおける円周方向とスキュー角を発生させる配置関係にあり、その最大スキュー角がα max であり、
    前記薄膜磁気ヘッドは、前記記録媒体に対して磁気情報を記録する記録ヘッド部と、前記記録媒体に対して記録された磁気情報を再生する再生ヘッド部と、を有し、
    前記記録ヘッド部は、
    磁束を発生させる薄膜コイルと、
    前記記録媒体の対向面から後方に向かって延在し、前記薄膜コイルにおいて発生した磁束に基づいて前記記録媒体をその表面と直交する方向に磁化させるための磁界を発生させる磁極層と、
    前記磁極層の前記媒体進行方向側に配設され、前記記録媒体対向面から後方に向かって延在することにより、前記記録媒体の対向面に近い側においてギャップ層により前記磁極層から隔てられるとともに、遠い側においてバックギャップを通じて前記磁性層に連結されたライトシールド層と、を有し、
    前記再生ヘッド部は、
    磁気抵抗効果素子と、この素子を磁気的に遮蔽するために上下に配置された上部リードシールド層および下部リードシールド層を有し、
    前記上部リードシールド層および前記下部リードシールド層は、記録媒体に対向する記録媒体対向面から後方に向かって延在しており、
    前記ライトシールド層は、前記記録媒体に対向する対向面であるエアベアリング面に実質的に存在しており、エアベアリング面における当該ライトシールド層の幅方向の全長がWwsであり、
    前記上部リードシールド層および前記下部リードシールド層は、前記記録媒体に対向する対向面であるエアベアリング面に実質的に存在しており、前記下部リードシールド層は、前記ライトシールド層との厚さ方向の距離において、前記上部リードシールド層から前記ライトシールド層との厚さ方向の距離よりも遠くに離れた位置関係にあり、エアベアリング面における当該下部リードシールド層の幅がWsfであり、
    前記上部リードシールド層は、厚さ方向に非磁性層を介して2つのシールド層に分割された形態をなしており、下側から、上部第1リードシールド層および上部第2リードシールド層を有し、
    エアベアリング面における前記上部第1リードシールド層の幅がWss1であり、前記上部第2リードシールド層の幅がWss2であり、
    前記Wss1と前記Wss2と前記Wsfの中で、前記Wsfが最も大きく設定されており、
    エアベアリング面における前記ライトシールド層の幅Wwsの両端部と、エアベアリング面における前記下部リードシールド層の幅Wsfの両端部とを結んで描かれる四角形が、2つの底角が等しい正則の台形形状をなしており、前記ライトシールド層と前記下部リードシールド層の厚さ方向の最大距離(台形の高さに相当)がXである場合において、
    (i)Wws<Wsfの場合、
    Wws<Wsf−2X・tanα max の条件を満たし、
    (ii)Wws>Wsfの場合、
    Wws>Wsf+2X・tanα max の条件を満たすように、設定されてなることを特徴とする磁気記録再生装置。
  4. 薄膜磁気ヘッドと、記録媒体と、前記記録媒体を一定方向に回転駆動させるとともに前記薄膜磁気ヘッドを記録媒体の略半径方向に移動可能とするように作用することができる駆動装置本体と、を備える磁気記録再生装置であって、
    前記記録媒体は、データ情報を記録するデータトラックを有し、
    前記記録媒体と前記磁気ヘッドとは、前記記録媒体の少なくともいくつかのデータトラックにおける円周方向とスキュー角を発生させる配置関係にあり、その最大スキュー角がα max であり、
    前記薄膜磁気ヘッドは、前記記録媒体に対して磁気情報を記録する記録ヘッド部と、前記記録媒体に対して記録された磁気情報を再生する再生ヘッド部と、を有し、
    前記記録ヘッド部は、
    磁束を発生させる薄膜コイルと、
    前記記録媒体の対向面から後方に向かって延在し、前記薄膜コイルにおいて発生した磁束に基づいて前記記録媒体をその表面と直交する方向に磁化させるための磁界を発生させる磁極層と、
    前記磁極層の前記媒体進行方向側に配設され、前記記録媒体対向面から後方に向かって延在することにより、前記記録媒体の対向面に近い側においてギャップ層により前記磁極層から隔てられるとともに、遠い側においてバックギャップを通じて前記磁性層に連結されたライトシールド層と、を有し、
    前記再生ヘッド部は、
    磁気抵抗効果素子と、この素子を磁気的に遮蔽するために上下に配置された上部リードシールド層および下部リードシールド層を有し、
    前記上部リードシールド層および前記下部リードシールド層は、記録媒体に対向する記録媒体対向面から後方に向かって延在しており、
    前記ライトシールド層は、前記記録媒体に対向する対向面であるエアベアリング面に実質的に存在しており、エアベアリング面における当該ライトシールド層の幅方向の全長がWwsであり、
    前記上部リードシールド層および前記下部リードシールド層は、前記記録媒体に対向する対向面であるエアベアリング面に実質的に存在しており、前記下部リードシールド層は、前記ライトシールド層との厚さ方向の距離において、前記上部リードシールド層から前記ライトシールド層との厚さ方向の距離よりも遠くに離れた位置関係にあり、エアベアリング面における当該下部リードシールド層の幅がWsfであり、
    前記上部リードシールド層は、厚さ方向に非磁性層を介して2つのシールド層に分割された形態をなしており、下側から、上部第1リードシールド層および上部第2リードシールド層を有し、
    エアベアリング面における前記上部第1リードシールド層の幅がWss1であり、前記上部第2リードシールド層の幅がWss2であり、
    前記Wss1と前記Wss2と前記Wsfの中で、前記Wss1が最も大きく、かつ、
    エアベアリング面における前記ライトシールド層の幅Wwsの両端部と、エアベアリング面における前記上部第1リードシールド層の幅Wss1の両端部とを結んで描かれる四角形が、2つの底角が等しい正則の台形形状をなしており、前記ライトシールド層と前記上部第1リードシールド層の厚さ方向の最大距離(台形の高さに相当)がX1である場合において、
    (i)Wws<Wss1の場合、
    Wws<Wss1−2X1・tanα max の条件を満たし、
    (ii)Wws>Wss1の場合、
    Wws>Wss1+2X1・tanα max の条件を満たすように、設定されてなることを特徴とする磁気記録再生装置。
  5. 薄膜磁気ヘッドと、記録媒体と、前記記録媒体を一定方向に回転駆動させるとともに前記薄膜磁気ヘッドを記録媒体の略半径方向に移動可能とするように作用することができる駆動装置本体と、を備える磁気記録再生装置であって、
    前記記録媒体は、データ情報を記録するデータトラックを有し、
    前記記録媒体と前記磁気ヘッドとは、前記記録媒体の少なくともいくつかのデータトラックにおける円周方向とスキュー角を発生させる配置関係にあり、その最大スキュー角がα max であり、
    前記薄膜磁気ヘッドは、前記記録媒体に対して磁気情報を記録する記録ヘッド部と、前記記録媒体に対して記録された磁気情報を再生する再生ヘッド部と、を有し、
    前記記録ヘッド部は、
    磁束を発生させる薄膜コイルと、
    前記記録媒体の対向面から後方に向かって延在し、前記薄膜コイルにおいて発生した磁束に基づいて前記記録媒体をその表面と直交する方向に磁化させるための磁界を発生させる磁極層と、
    前記磁極層の前記媒体進行方向側に配設され、前記記録媒体対向面から後方に向かって延在することにより、前記記録媒体の対向面に近い側においてギャップ層により前記磁極層から隔てられるとともに、遠い側においてバックギャップを通じて前記磁性層に連結されたライトシールド層と、を有し、
    前記再生ヘッド部は、
    磁気抵抗効果素子と、この素子を磁気的に遮蔽するために上下に配置された上部リードシールド層および下部リードシールド層を有し、
    前記上部リードシールド層および前記下部リードシールド層は、記録媒体に対向する記録媒体対向面から後方に向かって延在しており、
    前記ライトシールド層は、前記記録媒体に対向する対向面であるエアベアリング面に実質的に存在しており、エアベアリング面における当該ライトシールド層の幅方向の全長がWwsであり、
    前記上部リードシールド層および前記下部リードシールド層は、前記記録媒体に対向する対向面であるエアベアリング面に実質的に存在しており、前記下部リードシールド層は、前記ライトシールド層との厚さ方向の距離において、前記上部リードシールド層から前記ライトシールド層との厚さ方向の距離よりも遠くに離れた位置関係にあり、エアベアリング面における当該下部リードシールド層の幅がWsfであり、
    前記上部リードシールド層は、厚さ方向に非磁性層を介して2つのシールド層に分割されてた形態をなしており、下側から、上部第1リードシールド層および上部第2リードシールド層を有し、
    エアベアリング面における前記上部第1リードシールド層の幅がWss1であり、前記上部第2リードシールド層の幅がWss2であり、
    前記Wss1と前記Wss2と前記Wsfの中で、前記Wss2が最も大きく、かつ、
    エアベアリング面における前記ライトシールド層の幅Wwsの両端部と、エアベアリング面における前記上部第2リードシールド層の幅Wss2の両端部とを結んで描かれる四角形が、2つの底角が等しい正則の台形形状をなしており、前記ライトシールド層と前記上部第2リードシールド層の厚さ方向の最大距離(台形の高さに相当)がX2である場合において、
    (i)Wws<Wss2の場合、
    Wws<Wss2−2X2・tanα max の条件を満たし、
    (ii)Wws>Wss2の場合、
    Wws>Wss2+2X2・tanα max の条件を満たすように、設定されてなることを特徴とする磁気記録再生装置。
  6. 前記記録媒体のデータトラックは、垂直磁気記録層を有し構成され、その下部には垂直方向の磁界をアシストするための軟磁性層が敷設されている請求項1ないし請求項5のいずれかに記載の磁気記録再生装置。
  7. 前記磁気ヘッドの主磁極より発せられた記録磁界は、前記垂直磁気記録層を垂直方法に通過して当該垂直磁気記録層に垂直磁気記録するように作用してなる請求項6に記載の磁気記録再生装置。
  8. 前記磁極層は、媒体進行方向に移動する記録媒体に対向する記録媒体対向面から後方に向かって延在し、前記薄膜コイルにおいて発生した磁束に基づいて前記記録媒体をその表面と直交する方向に磁化させるための磁界を発生させる主磁極層と、前記記録媒体対向面よりも後退した第1の位置から後方に向かって延在する補助磁極層が積層された積層構造を有してなる請求項1ないし請求項7のいずれかに記載の磁気記録再生装置。
  9. 前記ライトシールド層は、前記ギャップ層に隣接しながら前記記録媒体対向面から前記第1の位置よりも前方の第2の位置まで延在する第1の磁気遮蔽部分と、当該第1の磁気遮蔽部分に部分的に乗り上げながら前記記録媒体対向面から少なくともその前記バックギャップまで延在する第2の磁気遮蔽層部分とを、含んでなる請求項1ないし請求項8のいずれかに記載の磁気記録再生装置。
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