JP4155764B2 - 顕微鏡装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は被測定物の6面を測定可能な顕微鏡装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、顕微鏡装置は試料置き台と該試料置き台に対して垂直な光軸を有する光学系を有し、被測定物を測定する場合、前記試料置き台に前記被測定物を設置し、前記光学系を介して前記被測定物を上方から観察測定していた。
【0003】
前記被測定物が微少な部品等、例えば半導体チップ、光学素子等である場合、一面のみならず、他の5面についても観察、測定を必要とする場合がある。
【0004】
従来の顕微鏡装置で被測定物の複数面について測定する場合は、1面を観察測定する度に、被測定物の向きを変え前記試料置き台に設置し、測定を繰返し行っていた。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
従来の顕微鏡装置では、被測定物の各面を測定する度に該被測定物の向きを変えて試料置き台に設置しなければならないので、作業が極めて煩雑になり、測定に要する時間も長くなる。又、再設置することで、試料置き台に対する試料の位置、角度が変るので、面毎に測定された結果の関連性が不明瞭となり、複数の面について測定した結果の関連付けが困難であり、全体として正確な測定データが得られ難いという問題があった。
【0006】
本発明は斯かる実情に鑑み、被測定物の6面について該被測定物を再設置することなく、観察測定が可能であり、又各面について得られた測定データの関連付けが可能である顕微鏡装置を提供するものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明は、観測測定光学系に対向して被測定物が設置される試料載置板が設けられ、前記被測定物の像を前記観測測定光学系の光軸と平行に反射する反射鏡を矩形形状の4辺に位置する様に前記試料載置板に取付け、前記観測測定光学系、前記試料載置板の一方を移動可能とし、前記反射鏡を介して前記観測測定光学系により前記被測定物の観察を可能とした顕微鏡装置に係り、又前記試料載置板が透明であり、該試料載置板の下面に設けられた下面反射鏡と、該下面反射鏡に対向する反射鏡を有し、前記観測測定光学系は前記反射鏡、下面反射鏡を介して前記被測定物の底面を観察可能とした顕微鏡装置に係るものである。
【0008】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態を説明する。
【0009】
図中、1は内部にレンズ群が設けられた観測測定光学系を示し、該観測測定光学系1は自動焦点機構2、及び所要の撮像素子、例えばCCD等の撮像素子3を具備している。
【0010】
前記観測測定光学系1に対向してテーブル4が設けられ、該テーブル4は水平2方向、例えば直交するX方向、Y方向に移動可能であり、該テーブル4をX方向、Y方向に移動させる為のX軸モータ5、Y軸モータ6が設けられている。該X軸モータ5、Y軸モータ6はX軸駆動部7、Y軸駆動部8により駆動され、該X軸駆動部7、該Y軸駆動部8は演算制御部9によって制御される。
【0011】
前記X軸モータ5、Y軸モータ6にはエンコーダ等の位置検出器11,12が設けられ、該位置検出器11,12の検出信号は前記X軸駆動部7、Y軸駆動部8にフィードバックされると共に前記演算制御部9に入力される。
【0012】
前記観測測定光学系1を通して得られる画像は、前記撮像素子3により撮像され、電気信号として画像処理部13に入力される。該画像処理部13はフレームメモリ14に前記撮像素子3で得られる画像を記憶させ、又前記フレームメモリ14より画像データを随時取込むことができる様になっている。前記画像処理部13は前記フレームメモリ14で記憶された画像について各画素の出力、及び該出力に関連付けた画素の位置情報を前記演算制御部9に入力する様になっている。
【0013】
該演算制御部9には演算結果を記憶する記憶部15、演算結果を表示する表示部16が接続されている。又、前記記憶部15には顕微鏡装置の測定作動に必要なシーケンスプログラム、或は測定を行うのに必要な設定値等が格納記録されている。
【0014】
前記テーブル4には試料置き台17が取付けられる。
【0015】
該試料置き台17は図2に示される様に、上面が開放され、4側板18,19,21,22と試料載置板23がそれぞれ正確に直交する様、透明な板材で形成された升状をしており、平面形状は好ましくは正方形となっている。尚、図2中では分り易くする為、前記試料載置板23を下方にずらして示している。
【0016】
該試料載置板23には前記側板18,21と平行な溝24、及び前記側板19,22と平行な溝25が刻設され、前記溝24と溝25の交点Oは前記試料置き台17の図形中心と合致している。尚、前記溝24、溝25は単に線を刻印するだけでもよい。
【0017】
前記側板18の外面には該側板18と平行で45゜の角度を成す反射面を有する反射鏡26を取付け、前記側板19,21,22についても同様に反射鏡27,28,29を取付ける。前記試料載置板23の下面に前記溝25と平行で前記試料載置板23と45゜の角度を成す反射面を有する反射鏡31を取付ける。又、該反射鏡31の反射面の中心は前記溝24と溝25の交点Oに対応している。前記反射鏡31に対向する様に反射鏡32が前記テーブル4に設けられる。
【0018】
前記反射鏡26,27,28,29は前記試料載置板23上で矩形形状の4辺に位置する様に配置され、前記交点Oと前記反射鏡26,27,28,29,32の反射面の中心との水平距離は、前記試料置き台17の形状、製作寸法から既知の値となっている。又、前記反射鏡26,27,28,29,32の反射光軸は、前記試料載置板23と垂直、即ち前記観測測定光学系1の光軸と平行となっている。
【0019】
以下、作動について説明する。
【0020】
先ず、前記観測測定光学系1の光軸が前記交点Oを通過する状態でのテーブル4の位置を0点、例えばX軸、Y軸の交点と設定する。即ち、前記位置検出器11,12の検出位置を0セットする。
【0021】
前記テーブル4を被測定物33を設置し易い位置迄移動させ、該被測定物33を前記試料置き台17の交点Oの位置に設置する。前記テーブル4を0点に移動させ、測定を開始する。前記記憶部15に格納されていたシーケンスプログラムが起動する。
【0022】
前記撮像素子3により前記被測定物33を撮像し、画像を前記フレームメモリ14に記録する。前記テーブル4が0点位置で撮像された前記被測定物33の画像は平面画像となる。
【0023】
シーケンスプログラムに従って、前記テーブル4が図1、図2中右方向に移動される。前記テーブル4の移動は前記演算制御部9からの駆動指令が前記X軸駆動部7に入力されることで行われる。又、駆動指令と共に前記テーブル4の移動量についても前記X軸駆動部7に指令される。上記した様に、前記テーブル4の移動量は既知の値であり、予め前記記憶部15に設定入力されている。
【0024】
前記X軸駆動部7は指令された移動量と前記位置検出器11からフィードバックされる前記テーブル4の移動量が合致する迄、該テーブル4を移動させる。該テーブル4が移動された位置では、前記観測測定光学系1の光軸が前記反射鏡27の反射面の中央、即ちx1位置を通過する。
【0025】
前記観測測定光学系1は前記反射鏡27の反射面を介して前記被測定物33の像を前記撮像素子3に投影する。前記反射鏡27を介して撮像することで、0点位置で撮像する場合と光路長が異なるが、前記自動焦点機構2によって焦点合せが成される。前記x1位置で撮像された被測定物33の画像は左側面画像となる。
【0026】
前記x1位置での撮像が完了すると、同様な作動で前記テーブル4が図中左に移動され、前記観測測定光学系1の光軸が前記反射鏡29の反射面の中央、即ちx2位置を通過する様前記テーブル4の位置が設定される。前記自動焦点機構2によって焦点合せが成され、前記x2位置で撮像された被測定物33の画像は右側面画像となる。右側面画像が前記撮像素子3、画像処理部13を介して前記フレームメモリ14に記録される。
【0027】
更に、所定量前記テーブル4が移動され、前記観測測定光学系1の光軸の位置が前記反射鏡32の反射面の中央、即ちx3位置を通過する様に、前記テーブル4の位置が設定される。前記自動焦点機構2によって焦点合せが成され、前記被測定物33の画像が前記反射鏡31,32で反射され、前記観測測定光学系1に入射する。前記x3位置で撮像された被測定物33の画像は底面画像となる。該底面画像が前記フレームメモリ14に記録される。
【0028】
同様にして、前記Y軸モータ6が駆動され、前記観測測定光学系1の光軸が前記反射鏡26,28の反射面の中央、即ちy1位置、y2位置となる様に前記テーブル4の位置が設定され、y1位置、y2位置での前記被測定物33の画像が撮像される。y1位置では背面画像、y2位置では正面画像となる。
【0029】
前記フレームメモリ14に記録された各面の画像は、前記画像処理部13を介して前記演算制御部9に取込まれ、前記表示部16に表示される。又、各画像の各画素毎の信号が位置信号と共に前記記憶部15に記録される。
【0030】
尚、上記説明はシーケンスプログラムに従って、画像を自動的に撮像する場合を説明したが、手動により前記テーブル4を移動させ、測定者が前記観測測定光学系1により直接前記被測定物33を観察、測定できることは言う迄もない。
【0031】
尚、該被測定物33が正確に交点Oに設置されていない場合も、撮像された平面画内での被測定物33の位置により交点Oに対するずれ量も演算により算出でき、画像処理で前記被測定物33を交点Oに修正することができる。
【0032】
次に、前記被測定物33の特定点について測定する場合、画像上で特定点を指定することで、各画素の出力と各画素の位置情報が関連付けされて前記記憶部15に記録されているので、特定点の位置データが直ちに算出される。又、各撮像画面間の位置関係も前記試料置き台17の形状が既知であること、前記x1,x2,x3、前記y1,y2の位置関係が既知であること等から容易に演算でき、特定点の3次元座標での位置を容易に特定できる。
【0033】
而して、前記被測定物33の傾きについても、各画像間の比較により測定できる。又、前記反射鏡26,27,28,29の取付け位置を前記交点Oに関して正確に設定することで、画像に傾き、位置ずれがあった場合も、画像処理により撮像した画像の傾き、位置を修正することもできる。
【0034】
又、前記被測定物33に対する撮像位置、撮像方向が特定されているので、前記フレームメモリ14に記録されている画像から、前記被測定物33の立体画像を合成することもできる。
【0035】
而して、該被測定物33の6面画像を取得できるだけでなく、画像処理により、前記被測定物33に関する種々のデータを取得することができる。
【0036】
又、画像処理から該被測定物33の位置を修正できることから、該被測定物33を前記交点Oに正確に設置しなくても、大体の位置に設置すればよい。更に、前記観測測定光学系1で投影される被測定物33の画像が撮像素子3の中心となる様に前記テーブル4を移動し、この場合の該テーブル4の移動量を前記位置検出器11,12により検出し、移動量を基に前記被測定物33の設置位置を演算により補正する様にすれば、該被測定物33を前記試料載置板23の任意の位置に設置可能となり、前記溝24、溝25を省略することもできる。
【0037】
図4は本実施の形態の応用例を示している。
【0038】
該応用例では、前記反射鏡32を省略し、前記反射鏡29を移動可能に設け、前記被測定物33の底面を測定する場合は、前記反射鏡29をx2、又はx3の位置に移動する様にしたものである。
【0039】
尚、上記実施の形態では前記テーブル4を移動させたが、前記観測測定光学系1を移動する様にしてもよい。更に、上記実施の形態では前記反射鏡26,27,28,29を前記側板18,19,21,22を介して前記試料載置板23に取付けたが、図3に示す様な反射鏡を前記試料載置板23に直接取付けてもよい。
【0040】
【発明の効果】
以上述べた如く本発明によれば、観測測定光学系に対向して被測定物が設置される試料載置板が設けられ、前記被測定物の像を前記観測測定光学系の光軸と平行に反射する反射鏡を矩形形状の4辺に位置する様に前記試料載置板に取付け、前記観測測定光学系、前記試料載置板の一方を移動可能とし、前記反射鏡を介して前記観測測定光学系により前記被測定物の観察を可能としたので、該被測定物を設置し直すことなく、少なくとも5面について観察が可能であり、又4組の反射鏡の位置が固定され、位置関係も既知であるので、画像処理により被測定物の測定が可能となり、又反射鏡の設置状態に誤差があっても画像処理により修正が可能であり、作業性が著しく向上する等の優れた効果を発揮する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態を示す概略構成図である。
【図2】同前本発明の実施の形態に於ける試料置き台の斜視図である。
【図3】本発明の実施の形態に於ける光路概略図である。
【図4】本発明の実施の形態の応用例に於ける光路概略図である。
【符号の説明】
1 観測測定光学系
2 自動焦点機構
3 撮像素子
4 テーブル
17 試料置き台
23 試料載置板
26 反射鏡
27 反射鏡
28 反射鏡
29 反射鏡
31 反射鏡
32 反射鏡
33 被測定物
Claims (4)
- 撮像素子を有する観測測定光学系に対向して被測定物が設置される試料載置板が設けられ、前記被測定物の像を前記観測測定光学系の光軸と平行に反射する反射鏡を矩形形状の4辺に位置する様に前記試料載置板に取付け、前記観測測定光学系、前記試料載置板の一方を駆動部により前記矩形形状の直交する2辺と平行な2方向に移動可能とすると共に前記観測測定光学系の光軸と前記反射鏡による前記被測定物の像の反射方向とを合致可能とし、前記反射鏡を介して前記観測測定光学系により前記被測定物の観察及び撮像を可能とした顕微鏡装置であって、前記駆動部により移動した位置を検出する位置検出器と、前記撮像素子により撮像された画像と前記位置検出器により検出した位置とを関連付けて記憶する記憶部とを具備することを特徴とする顕微鏡装置。
- 前記試料載置板が透明であり、該試料載置板の下面に設けられた下面反射鏡と、該下面反射鏡に対向する反射鏡を有し、該2つの反射鏡により前記被測定物の像を前記観測測定光学系の光軸と平行に反射し、前記観測測定光学系は前記反射鏡、下面反射鏡を介して前記被測定物の底面を観察及び撮像可能とした請求項1の顕微鏡装置。
- 前記撮像素子で撮像した画像間の比較により前記被測定物の傾きを測定する請求項1又は、請求項2の顕微鏡装置。
- 前記画像間の位置ずれ、傾きを画像処理により修正する請求項1又は、請求項2の顕微鏡装置。
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