JP4139291B2 - 欠陥検査方法及び装置 - Google Patents
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Description
B,B1,B2…矩形領域
N…ノイズ部
Claims (12)
- 入力画像を重なり合う領域に分割するステップと、
領域内を所定の輝度閾値で二値化するステップと、
前記領域内において前記二値化された画素のうち所定の値の画素数を算出するステップと、
前記画素数が所定の画素数閾値を超えた場合前記領域を欠陥あり領域として欠陥領域画像を得るステップと、
所定の輝度閾値で前記入力画像を二値化して二値化画像を得るステップと、
該二値化画像と前記欠陥領域画像との論理積をとるステップと
を含む欠陥検査方法。 - 前記領域の形状は矩形である請求項1に記載の欠陥検査方法。
- 前記入力画像を重なり合う領域に分割するステップは、前記領域の大きさ及び重なり量を複数セット有し、各セットで前記入力画像を重なり合う領域に分割する請求項1又は請求項2に記載の欠陥検査方法。
- 前記輝度閾値及び前記画素数閾値は、複数の閾値が組合わされた複数のセットからなり、各セットを用いて得られた欠陥あり領域の組合わせにより前記欠陥領域画像を得る請求項1〜3のいずれか1項に記載の欠陥検査方法。
- 前記複数の閾値の組合わせは、前記輝度閾値が大きい場合は前記画素数閾値を小さく、前記輝度閾値が小さい場合は前記画素数閾値を大きくする組合わせを有する請求項4に記載の欠陥検査方法。
- 前記入力画像は輝度が正規化された画像である請求項1〜5のいずれか1項に記載の欠陥検査方法。
- 検査対象の画像を入力する画像入力部と、
入力画像を重なり合う領域に分割し、領域内を所定の輝度閾値で二値化し、前記領域内において前記二値化された画素のうち所定の値の画素数を算出し、前記画素数が所定の画素数閾値を超えた場合前記領域を欠陥領域として、欠陥領域画像を生成する領域二値化部と、
所定の輝度閾値で前記入力画像を二値化して二値化画像を得る通常二値化部と、
前記欠陥領域画像と前記通常二値化部から欠陥検査二値化画像を得る演算部と、
前記欠陥検査二値化画像を表示する画像表示部と、
を備える欠陥検査装置。 - 前記領域の形状は矩形である請求項7に記載の欠陥検査装置。
- 前記領域二値化部において、前記領域の大きさ及び重なり量を複数セット有し、各セットで前記入力画像を重なり合う領域に分割する請求項7又は請求項8に記載の欠陥検査装置。
- 前記領域二値化部において、前記輝度閾値及び前記画素数閾値は、複数の閾値が組合わされた複数のセットからなり、各セットを用いて得られた欠陥あり領域の組合わせにより前記欠陥領域画像を生成する請求項7〜9のいずれか1項に記載の欠陥検査装置。
- 前記複数の閾値の組合わせは、前記輝度閾値が大きい場合は前記画素数閾値を小さく、前記輝度閾値が小さい場合は前記画素数閾値を大きくする組合わせを有する請求項10に記載の欠陥検査装置。
- 前記入力画像は輝度が正規化された画像である請求項7〜11のいずれか1項に記載の欠陥検査装置。
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