JP4137972B2 - ガス組成異常判断方法及び放電励起ガスレーザ発振器 - Google Patents
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Description
2 放電励起ユニット
3 高周波電源ユニット
4 コントローラユニット
5 マッチングユニット
6 レーザガス
7 放電管
8a,8b 放電電極
9 熱交換器
10 ターボブロワ
11 圧力センサ
12 圧力制御ユニット
13 光共振器
14a リア鏡(全反射鏡)
14b 出力鏡(部分反射鏡)
20 直流電源部
21 RF電源部
22 電流検出部
24 電源制御回路
25 圧力制御回路
26 シャッタ制御回路
27 出力比較部
28 データ記憶部
Claims (4)
- レーザ発振器の放電管内で放電励起されるレーザガスのガス組成異常判断方法において、
前記レーザ発振器の立ち上げ時、前記レーザガスが定常運転時の高い圧力より低い圧力で放電励起を開始した後、前記定常運転時の高い圧力より低い任意の圧力で、前記放電管へ供給する高周波電源ユニットの実際の出力値を検出し、
検出した前記実際の出力値と、前記レーザガスのガス組成が正常であるときに、前記実際の出力値を検出した圧力と同一圧力で検出された正常な出力値とを比較し、
前記実際の出力値と前記正常な出力値との差分が設定値以上のとき、前記レーザガスのガス組成が異常であると判断する、ガス組成異常判断方法。 - 放電管内でレーザガスを放電励起させてレーザ光を誘導放出する放電励起ユニットと、前記放電管へ電力を供給する高周波電源ユニットと、該高周波電源ユニットの出力を制御するコントローラユニットと、を備えた放電励起ガスレーザ発振器において、
前記レーザ発振器の立ち上げ時、前記レーザガスが定常運転時の高い圧力より低い圧力で放電励起を開始した後、前記定常運転時の高い圧力より低い任意の圧力で、前記放電管へ供給する高周波電源ユニットの実際の出力値を検出する出力検出部と、
検出した前記実際の出力値と、前記レーザガスのガス組成が正常であるときに、前記実際の出力値を検出した圧力と同一圧力で検出された正常な出力値とを比較する出力比較部と、
前記実際の出力値と前記正常な出力値との差分が設定値以上のとき、前記レーザガスのガス組成が異常であると判断して、前記高周波電源ユニットの出力を停止する電源制御部と、
を備えた放電励起ガスレーザ発振器。 - さらに、前記レーザガスの圧力と前記高周波電源ユニットの出力との関係を表すデータテーブルを記憶するデータ記憶部を備え、
前記正常な出力値は、前記データテーブルから取得されたマスタデータである、請求項2記載の放電励起ガスレーザ発振器。 - 前記高周波電源ユニットは、交流電源を直流電源に変換する直流電源部と、直流電源を高周波電源に変換する高周波電源部とを備え、前記高周波電源ユニットからの出力は、前記直流電源部からの出力であることを特徴とする、請求項2又は3に記載の放電励起ガスレーザ発振器。
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