JP4124405B2 - 光モジュール - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明は、光通信システムにおいて使用する光モジュールに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
図11は、従来の光モジュールの概要構成を示す図である。また、図12は、図11に示した光モジュールの等価回路を示す回路図である。図11および図12において、この光モジュール6は、プリアンプICであるプリアンプ1、フォトダイオード素子2、レンズ3、光ファイバ4、伝送線路基板5、金細線7、金パターン8、フォトダイオード素子2の出力電極9、プリアンプ1の入力電極10、プリアンプ1の出力電極11を備える。
【0003】
また、図12において、金細線7は寄生インダクタンス7aを有し、プリアンプ1の出力電極11は寄生キャパシタンス11aを有する。プリアンプ1は、トランスインピーダンスアンプ101、帰還抵抗102、差動アンプ103、出力段のエミッタフォロア104、整合抵抗105を有する。
【0004】
ここで、フォトダイオード素子2の出力電極9とプリアンプ1の入力電極10との間、およびプリアンプ1の出力電極11と伝送線路基板5の金パターン8との間は、それぞれ金細線7によって電気的に接続されている。また、伝送線路基板5の金パターン8は、高周波信号が損失なく伝搬するように、適切な特性インピーダンスに設定されている。さらに、レンズ3は、光ファイバ4から入射された入射光12がフォトダイオード素子2に効率よく入射するように配設されている。
【0005】
つぎに、この光モジュール6の動作について説明する。この光モジュール6は、光通信システムの受信側で用いられる光モジュールであり、受信した入力光信号を効率よく電気信号に変換する機能を有するものである。光ファイバ4から入射された入力光信号は、レンズ3を介して効率よくフォトダイオード素子2に結合される。
【0006】
フォトダイオード素子2によって、入力光信号は電流信号に変換され、この電流信号はプリアンプ1内のトランスインピーダンスアンプ101によって、電圧信号に変換されるとともに、増幅される。この電圧信号は、後段の差動アンプ103によって、単相信号から差動信号に変換されるとともに、さらに増幅され、プリアンプ1の最終段であるエミッタフォロア104から差動の電気信号として出力される。この電気信号は、伝送線路基板5を介して、光モジュール6外部に出力される。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
上述した従来の光モジュールでは、高周波信号が損失なく出力され、伝搬するように、整合抵抗105の抵抗値を調整して、光モジュール6外部の負荷のインピーダンスと等しくなるようにしている。
【0008】
しかしながら、プリアンプ1の出力電極11の寄生キャパシタンス11aや、プリアンプ1と伝送線路基板5とを電気的に接続する金細線7の寄生インダクタンス7aの値によっては、高周波的にインピーダンスの不整合が生じ、高周波信号の伝搬損失が大きくなるという問題があった。すなわち、光モジュール6の出力部における高周波反射減衰量が劣化するために、光モジュール6の負荷との間で多重反射が生じ、高周波特性が劣化するという問題があった。
【0009】
この発明は上記に鑑みてなされたもので、光モジュール6出力部の高周波反射減衰量を大きくし、高周波特性に優れた光モジュールを得ることを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、この発明にかかる光モジュールは、光電変換用のフォトダイオード素子と、入力された光信号を前記フォトダイオード素子に結合させる結合光学系と、前記フォトダイオード素子によって光電変換された電気信号を増幅するプリアンプと、この電気信号を出力する伝送線路基板とを備えた光モジュールにおいて、前記プリアンプと前記伝送線路基板との間に設けられたインピーダンス整合回路を備え、前記インピーダンス整合回路は、グランドに対してキャパシタンス成分を有するとともに、直列にインダクタンス成分を有する回路であり、前記インピーダンス整合回路のインダクタンス成分は、前記伝送線路基板に配設された第1の金属パターンによって形成され、該第1の金属パターンは、前記伝送線路基板に配設され、前記インピーダンス整合回路のキャパシタンス成分として機能する第2の金属パターンと、前記伝送線路基板に配設され、該伝送線路基板上の伝送線路として機能する第3の金属パターンとを接続してなることを特徴とする。
【0011】
この発明によれば、プリアンプと伝送線路基板との間に、インピーダンス整合回路を設け、このインピーダンス整合回路のキャパシタンス値およびインダクタンス値を適切な値に設定することによって、高周波におけるS22特性を改善することができ、光モジュール出力部の高周波反射減衰量を大きくすることができるとともに、インピーダンス整合回路のインダクタンス成分として機能する第1の金属パターンと、インピーダンス整合回路のキャパシタンス成分として機能する第2の金属パターンと、伝送線路基板上の伝送線路として機能する第3の金属パターンとの伝送路基板上での接続が可能となる。
【0012】
つぎの発明にかかる光モジュールは、前記第1の金属パターンは、前記第2の金属パターンよりもパターン長が長く、かつ、パターン幅が細く形成され、さらに、前記第3の金属パターンよりもパターン幅が細く形成されていることを特徴とする。
【0013】
この発明によれば、第1の金属パターンを、第2の金属パターンよりもパターン長を長く、かつ、パターン幅を細く形成し、さらに、第3の金属パターンよりもパターン幅を細く形成することで、インダクタンス成分と、キャパシタンス成分との調整を容易としている。
【0016】
つぎの発明にかかる光モジュールは、上記の発明において、前記インピーダンス整合回路のキャパシタンス成分は、平行平板型のマイクロチップコンデンサによって形成されることを特徴とする。
【0017】
この発明によれば、前記インピーダンス整合回路のキャパシタンス成分を、平行平板型のマイクロチップコンデンサによって具体的に形成するようにしている。
【0018】
つぎの発明にかかる光モジュールは、上記の発明において、前記マイクロチップコンデンサは、容量調整が可能なマイクロチップコンデンサであることを特徴とする。
【0019】
この発明によれば、前記マイクロチップコンデンサを、容量調整が可能なマイクロチップコンデンサとし、最適なキャパシタンス成分に設定できるようにしている。
【0022】
つぎの発明にかかる光モジュールは、前記第2の金属パターンは、容量調整が可能なパターンであることを特徴とする。
【0023】
この発明によれば、第2の金属パターンは、容量調整が可能なパターンとし、たとえば金属パターン自体の大きさを変化させ、あるいは隣接させた金属パターンを並列接続させることによって、容量調整を行うようにしている。
【0030】
【発明の実施の形態】
以下に添付図面を参照して、この発明にかかる光モジュールの好適な実施の形態を詳細に説明する。
【0031】
実施の形態1.
図1は、この発明の実施の形態1である光モジュールの概要構成を示す図である。また、図2は、図1に示した光モジュールの等価回路を示す回路図である。図1および図2において、この光モジュール6は、プリアンプICであるプリアンプ1、フォトダイオード素子2、レンズ3、光ファイバ4、伝送線路基板5、金細線7、金パターン8、フォトダイオード素子2の出力電極9、プリアンプ1の入力電極10、プリアンプ1の出力電極11、キャパシタンス成分およびインダクタンス成分を有する整合回路13を備える。
【0032】
ここで、図2に示すように、各金細線7は寄生インダクタンス7aを有し、プリアンプ1の出力電極9は寄生キャパシタンス11aを有する。さらに、プリアンプ1は、トランスインピーダンスアンプ101、帰還抵抗102、差動アンプ103、出力段のエミッタフォロア104、整合抵抗105を有する。整合回路13は、インダクタンス成分131aおよびキャパシタンス成分132aを有する。なお、整合回路13のキャパシタンス成分132aはシャント接続され、インダクタンス成分131aは直列接続されている。
【0033】
フォトダイオード素子2の出力電極9とプリアンプ1の入力電極10との間、プリアンプ1の出力電極11と整合回路13との間、および整合回路13と伝送線路基板5の金パターン8との間は、それぞれ金細線7によって電気的に接続されている。伝送線路基板5の金パターン8は、高周波信号が損失なく伝搬すべく、適切な特性インピーダンスに設定されている。また、レンズ3は、光ファイバ4から入射された入射光12がフォトダイオード素子2に効率よく入射するように配設されている。
【0034】
ここで、この光モジュール6の動作について説明する。この光モジュール6は、光通信システムの受信側において用いられる光モジュールであり、受信した光信号を効率よく電気信号に変換する機能を有する。光ファイバ4から入射された入力光信号は、レンズ3を介して効率よくフォトダイオード素子2に結合される。フォトダイオード素子2は、この入力光信号を電流信号に変換し、この電流信号はプリアンプ1内のトランスインピーダンスアンプ101によって、電圧信号に変換されるとともに増幅される。
【0035】
この電圧信号は、後段の差動アンプ103によって、単相信号から差動信号に変換されるとともに、さらに増幅され、プリアンプ1の最終段であるエミッタフォロア104から差動の電気信号として出力される。この電気信号は、整合回路13によってインピーダンス整合された後に、伝送線路基板5を介して、光モジュール6の外部に出力される。
【0036】
ここで、この光モジュール6では、高周波信号が損失なく出力され、伝搬するように、整合抵抗105の抵抗値を調整して、光モジュール6外部の負荷のインピーダンスと直流的に等しくなるようにしており、直流的には、光モジュール6は負荷に対して整合がとれている。
【0037】
一方、整合抵抗105の後段には、プリアンプ1の出力電極11の寄生キャパシタンス11aや、プリアンプ1と伝送線路基板5とを電気的に接続するための金細線7の寄生インダクタンス7aが存在するために、高周波的に不整合が生じることとなるが、寄生キャパシタンス11aおよび寄生インダクタンス7aを考慮し、整合回路13のインダクタンス値およびキャパシタンス値を最適化することによって、高周波におけるインピーダンスの不整合を抑制でき、高周波信号の伝搬損失が抑えることが可能となる。すなわち、光モジュール6の出力部における高周波反射減衰量を大きくすることができる。
【0038】
ここで、整合回路13におけるインダクタンス値およびキャパシタンス値の最適化について、図3を参照して説明する。図3は、図1および図2に示した光モジュール6の出力部の回路構成を変化させた場合の高周波反射減衰特性、すなわちS22特性をスミスチャートで示した概念図である。
【0039】
まず、図3(a)は、整合抵抗105の後段に何も接続されていない場合におけるS22特性の概念図を示しており、プリアンプ1の出力電極11の寄生キャパシタンス11aを追加した場合、スミスチャートの等コンダクタンス線上を時計回りに移動するため、図3(b)に示すS22特性となる。さらに、金細線7の寄生インダクタンス7aをも追加した場合、等レジスタンス線上を時計回りに移動するため、図3(c)に示すS22特性となり、寄生インダクタンス7aが大きいほど、高周波におけるS22特性が劣化することになる。
【0040】
さらに、整合回路13を追加した場合を考える。まず、キャパシタンス成分132aのみ追加した場合、等コンダクタンス線上を時計回りに移動するため、図3(d)に示すS22特性となり、最適点でも高周波特性の改善効果は小さいことがわかる。さらに、インダクタンス成分131aを追加すると、等レジスタンス線上を時計回りに移動するために、図3(e)に示すS22特性となり、高周波特性を大きく改善できることがわかる。
【0041】
したがって、整合回路13のキャパシタンス値およびインダクタンス値を適切な値とすることによって、図3(c)〜図3(e)に示すように、高周波におけるS22特性を改善できる。これによって、光モジュール6出力部の高周波反射減衰量を大きくすることができ、高周波特性に優れた光モジュールを得ることができる。
【0042】
実施の形態2.
つぎに、この発明の実施の形態2について説明する。図4は、この発明の実施の形態2である光モジュールの概要構成を示す図である。また、図5は、図4に示した光モジュールの等価回路を示す回路図である。図4および図5において、整合回路13のキャパシタンス成分を、金細線7で接続可能なマイクロチップコンデンサ14で構成し、プリアンプ1の出力電極11とマイクロチップコンデンサ14との間、およびマイクロチップコンデンサ14と伝送線路基板5の金パターン8との間は、それぞれ金細線7によって電気的に接続されている。その他の構成は、実施の形態1と同じであり、同一構成部分には同一符号を付している。
【0043】
ここで、マイクロチップコンデンサ14とは、平行平板型のコンデンサであり、マイクロチップコンデンサ14の下面を半田等によってグランド面に実装し、上面を金細線で接続することによって、シャント接続のキャパシタンスを容易に実現できるものである。なお、このマイクロチップコンデンサ14の容量調整は可能である。また、マイクロチップコンデンサ14と伝送線路基板5の金パターン8とを接続する金細線7によって、整合回路13のインダクタンス成分を実現できるため、整合回路13と伝送線路基板5とを接続する金細線を別途用意する必要もなくなる。
【0044】
たとえば、実施の形態1では、整合回路13と伝送線路基板5とを接続するための金細線を別途用意する必要があり、この金細線のインダクタンス成分によって、整合回路13を挿入したにもかかわらず、再度インピーダンスの不整合によって、高周波特性が劣化する可能性があったが、この実施の形態2では、整合回路13のインダクタンス成分と、整合回路13と伝送線路基板5とを接続するための金細線とを、一本の金細線7で兼用できるため、光モジュール6の電気信号出力端において良好な高周波特性を得ることができる。
【0045】
また、光モジュール6の組立時に、この金細線7の長さを変化させることで、整合回路13のインダクタンス値を調整することが可能であり、プリアンプ1やフォトダイオード素子2の特性のバラツキや、組立時の金細線長のバラツキに応じて、柔軟に対応できるようになる。これによって、歩留まりを向上させることができる。
【0046】
すなわち、この実施の形態2では、簡単な構成によって、光モジュール6出力部の高周波反射減衰量を大きくすることができ、高周波特性に優れ、かつ高歩留まりの光モジュールを得ることができる。
【0047】
実施の形態3.
つぎに、この発明の実施の形態3について説明する。図6は、この発明の実施の形態3である光モジュールの概要構成を示す図である。図6において、この実施の形態3では、整合回路13のキャパシタンス成分を、伝送線路基板5上の金パターン81によって形成し、プリアンプ1の出力電極11と金パターン81との間、および金パターン81と金パターン8とは、一本の金細線7によって電気的に接続されている。その他の構成は、実施の形態1と同じであり、同一構成部分には同一符号を付している。
【0048】
ここで、伝送線路基板5上の金パターン81は、実施の形態2に示したマイクロチップコンデンサ14と同様に、平行平板のキャパシタンスとして機能し、金パターン81の大きさを変えることによって、キャパシタンス値を変化させることができる。伝送線路基板5と同一の基板上に、整合回路13のキャパシタンス成分を形成しているため、光モジュール6を構成する部品数の削減が可能であるとともに、組立工程数も削減可能であるため、簡単な構成によって、光モジュール6出力部の高周波反射減衰量を大きくすることができ、高周波特性に優れ、かつ高歩留まりで安価な光モジュールを得ることができる。
【0049】
実施の形態4.
つぎに、この発明の実施の形態4について説明する。図7は、この発明の実施の形態4である光モジュールの概要構成を示す図である。図7において、この実施の形態4では、整合回路13のインダクタンス成分を、伝送線路基板5上の金パターン82によって形成し、この金パターン82は、整合回路13のキャパシタンス成分として機能する金パターン81と、伝送線路として機能する金パターン8とを各々接続している。その他の構成は、実施の形態3と同じであり、同一構成部分には同一符号を付している。
【0050】
ここで、伝送線路基板5上の金パターン82は、パターン幅を細くし、パターン長を長くすると、金細線と同様にインダクタンスとして機能する。伝送線路基板5と同一の基板上に、整合回路13のインダクタンス成分を形成しているため、接続用の金細線が不要となり、組立工程数が削減可能であるため、簡単な構成によって、光モジュール6出力部の高周波反射減衰量を大きくすることができ、高周波特性に優れ、かつ安価な光モジュールを得ることができる。
【0051】
実施の形態5.
つぎに、この発明の実施の形態5について説明する。図8は、この実施の形態5である光モジュールの概要構成を示す図である。図8において、この実施の形態5では、整合回路13のキャパシタンス成分およびインダクタンス成分を、伝送線路基板5上の金パターン81および金パターン82によって形成し、整合回路13のキャパシタンス成分として機能する金パターン81、整合回路13のインダクタンス成分として機能する金パターン82、および伝送線路として機能する金パターン8は、各々接続されている。さらに、金パターン81の近傍には、いずれの金パターン8,81,82に接続されていない金パターン83が配設されている。
【0052】
ここで、整合回路13のキャパシタンス成分として機能する金パターン81と、その近傍に配設されている金パターン83とを、たとえば金細線70で接続した場合、整合回路13のキャパシタンス値が変化することになり、簡単な調整によって、プリアンプ1やフォトダイオード素子2の特性のバラツキ、あるいは組立時の金細線長のバラツキに応じて、柔軟に対応できるようになる。これは歩留まりの向上につながる。なお、キャパシタンス値の調整の手順としては、あらかじめ金パターン81と金パターン83とを、金細線70で接続しておき、調整時に金細線を切断するようにしてもよい。
【0053】
この実施の形態5では、簡単な構成によって、光モジュール6出力部の高周波反射減衰量を大きくすることができ、高周波特性に優れ、かつ高歩留まりで安価な光モジュールを得ることができる。
【0054】
実施の形態6.
つぎに、この発明の実施の形態6について説明する。図9は、この発明の実施の形態6である光モジュールの概要構成を示す図である。図9において、この実施の形態6では、整合回路13のキャパシタンス成分およびインダクタンス成分を、伝送線路基板5上の金パターン81および金パターン82によって形成し、整合回路13のキャパシタンス成分として機能する金パターン81、整合回路13のインダクタンス成分として機能する金パターン82、および伝送線路として機能する金パターン8は、各々接続されている。さらに、金パターン81と金パターン82は、所望のキャパシタンス値およびインダクタンス値が得られるパターンの大きさよりも若干大きめに形成されている。
【0055】
ここで、整合回路13のキャパシタンス成分として機能する金パターン81と、整合回路13のインダクタンス成分として機能する金パターン82とが、所望のキャパシタンス値およびインダクタンス値が得られるパターンの大きさよりも若干大きめに形成されているため、パターンをトリミングすることによって、キャパシタンス値は小さく、インダクタンス値は大きくなる方向に調整することが可能となる。したがって、簡単な調整によって、プリアンプ1やフォトダイオード素子2の特性のバラツキ、あるいは組立時の金細線長のバラツキに応じて、柔軟に対応できるようになる。これは歩留まりの向上につながる。
【0056】
この実施の形態6では、簡単な構成によって、光モジュール6出力部の高周波反射減衰量を大きくすることができ、高周波特性に優れ、かつ高歩留まりで安価な光モジュールを得ることができる。
【0057】
実施の形態7.
つぎに、この発明の実施の形態7について説明する。図10は、この発明の実施の形態7である光モジュールの概要構成を示す図である。図10において、この実施の形態7では、プリアンプ1の出力電極11と、整合回路13とを接続する金細線71,72が、互いに近接して配設されている。
【0058】
金細線71,72同士が近接して配設されている場合、各金細線71,72に電流を流すと相互インダクタンスが生じることが一般に知られている。また、これらの金細線71,72に、それぞれ逆方向の電流が流れる場合には、唯一の金細線が存在するときに生じる自己インダクタンスから相互インダクタンスを差し引いた値が、等価的にそれぞれの金細線に生じるインダクタンス値となる。この実施の形態7においては、プリアンプ1の2つの出力電極11から差動の電気信号が出力されるため、すなわち、それぞれ各金細線71,72に逆方向の電流が出力されるため、金細線71,72同士が近接しているほど相互インダクタンスが大きくなり、それぞれの金細線71,72に生じる等価的なインダクタンス値は小さくなり、高周波特性の劣化を抑制できる。従って、整合回路13のキャパシタンス値およびインダクタンス値を小さくでき、もしくは整合回路13を不要にすることができる。
【0059】
この実施の形態7では、簡単な構成によって、光モジュール6出力部の高周波反射減衰量を大きくすることができ、高周波特性に優れ、かつ安価な光モジュールを得ることができる。
【0060】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明によれば、プリアンプと伝送線路基板との間に、インピーダンス整合回路を設け、このインピーダンス整合回路のキャパシタンス値およびインダクタンス値を適切な値に設定することによって、高周波におけるS22特性を改善することができ、光モジュール出力部の高周波反射減衰量を大きくすることができるので、高周波特性に優れた光モジュールを実現することができるという効果を奏する。また、この発明によれば、インピーダンス整合回路のインダクタンス成分として機能する第1の金属パターンと、インピーダンス整合回路のキャパシタンス成分として機能する第2の金属パターンと、伝送線路基板上の伝送線路として機能する第3の金属パターンとの伝送路基板上での接続が可能となるので、簡易な構成によって、高周波特性に優れた光モジュールを実現することができるという効果を奏する。
【0061】
つぎの発明によれば、第1の金属パターンを、第2の金属パターンよりもパターン長を長く、かつ、パターン幅を細く形成し、さらに、第3の金属パターンよりもパターン幅を細く形成するようにしているので、インダクタンス成分と、キャパシタンス成分との調整が容易になるという効果を奏する。
【0063】
つぎの発明によれば、前記インピーダンス整合回路のキャパシタンス成分を、平行平板型のマイクロチップコンデンサによって具体的に形成するようにしているので、簡易な構成によって、高周波特性に優れ、高い歩留まりをもった光モジュールを実現できるという効果を奏する。
【0064】
つぎの発明によれば、前記マイクロチップコンデンサを、容量調整が可能なマイクロチップコンデンサとし、最適なキャパシタンス成分に設定できるようにしているので、簡易な構成によって最適なキャパシタンス成分を確実に設定でき、高周波特性に優れた光モジュールを実現することができるという効果を奏する。
【0066】
つぎの発明によれば、第2の金属パターンは、容量調整が可能なパターンとし、たとえば金属パターン自体の大きさを変化させ、あるいは隣接させた金属パターンを並列接続させることによって、容量調整を行うようにしているので、最適な容量調整を簡易かつ迅速に行うことができ、高周波特性に優れた光モジュールを実現することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の実施の形態1である光モジュールの概要構成を示す図である。
【図2】 図1に示した光モジュールの等価回路を示す回路図である。
【図3】 図1および図2に示した光モジュール出力部の回路構成を変化させた場合の高周波反射減衰特性であるS22特性をスミスチャートで示した概念図である。
【図4】 この発明の実施の形態2である光モジュールの概要構成を示す図である。
【図5】 図4に示した光モジュールの等価回路を示す回路図である。
【図6】 この発明の実施の形態3である光モジュールの概要構成を示す図である。
【図7】 この発明の実施の形態4である光モジュールの概要構成を示す図である。
【図8】 この発明の実施の形態5である光モジュールの概要構成を示す図である。
【図9】 この発明の実施の形態6である光モジュールの概要構成を示す図である。
【図10】 この発明の実施の形態7である光モジュールの概要構成を示す図である。
【図11】 従来のモジュールの概要構成を示す図である。
【図12】 図11に示した光モジュールの等価回路を示す回路図である。
【符号の説明】
1 プリアンプ、2 フォトダイオード素子、3 レンズ、4 光ファイバ、5 伝送線路基板、6 光モジュール、7,70,71,72 金細線、7a 寄生インダクタンス、8,81,82,83 金パターン、9,11 出力電極、10 入力電極、11a 寄生キャパシタンス、12 入射光、13 整合回路、14 マイクロチップコンデンサ、101 トランスインピーダンスアンプ、102 帰還抵抗、103 差動アンプ、104 エミッタフォロア、105整合抵抗、131a インダクタンス成分、132a キャパシタンス成分。

Claims (5)

  1. 光電変換用のフォトダイオード素子と、入力された光信号を前記フォトダイオード素子に結合させる結合光学系と、前記フォトダイオード素子によって光電変換された電気信号を増幅するプリアンプと、この電気信号を出力する伝送線路基板とを備えた光モジュールにおいて、
    前記プリアンプと前記伝送線路基板との間に設けられたインピーダンス整合回路を備え、
    前記インピーダンス整合回路は、グランドに対してキャパシタンス成分を有するとともに、直列にインダクタンス成分を有する回路であり、
    前記インピーダンス整合回路のインダクタンス成分は、前記伝送線路基板に配設された第1の金属パターンによって形成され、該第1の金属パターンは、前記伝送線路基板に配設され、前記インピーダンス整合回路のキャパシタンス成分として機能する第2の金属パターンと、前記伝送線路基板に配設され、該伝送線路基板上の伝送線路として機能する第3の金属パターンとを接続してなることを特徴とする光モジュール。
  2. 前記第1の金属パターンは、前記第2の金属パターンよりもパターン長が長く、かつ、パターン幅が細く、かつ、前記第3の金属パターンよりもパターン幅が細く形成されていることを特徴とする請求項1に記載の光モジュール。
  3. 前記インピーダンス整合回路のキャパシタンス成分は、平行平板型のマイクロチップコンデンサによって形成されることを特徴とする請求項1または2に記載の光モジュール。
  4. 前記マイクロチップコンデンサは、容量調整が可能なマイクロチップコンデンサであることを特徴とする請求項に記載の光モジュール。
  5. 前記第2の金属パターンは、容量調整が可能なパターンであることを特徴とする請求項1または2に記載の光モジュール。
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