JP4119820B2 - プラズマcvd装置および光電変換装置の製造方法 - Google Patents
プラズマcvd装置および光電変換装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4119820B2 JP4119820B2 JP2003384524A JP2003384524A JP4119820B2 JP 4119820 B2 JP4119820 B2 JP 4119820B2 JP 2003384524 A JP2003384524 A JP 2003384524A JP 2003384524 A JP2003384524 A JP 2003384524A JP 4119820 B2 JP4119820 B2 JP 4119820B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- grooves
- substrate
- plasma cvd
- cvd apparatus
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
Landscapes
- Photovoltaic Devices (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
本発明による光電変換装置の製造方法は、(a)第一電極(20)と第二電極(4)の間に、第一電極(20)への距離が複数の溝(21、23)の各々の幅以上になるように、基板(5)を配置するステップと、(b)ガス供給機構(8)を用い反応ガス(10)を反応容器(2)に供給するステップと、(c)反応ガスを用い第一電極(20)と基板(5)の間の領域にプラズマ(11)を発生させるステップと、(d)プラズマ(11)を用い基板(5)に膜を生成するステップを具備する。
図3Aは、本発明の第一の実施の形態に係るプラズマCVD装置を表す概略図である。尚、図3Aにおいて、図1A中の構成と同様の構成には同じ符号が付されている。
図6Aは、本発明の第ニの実施の形態に係るプラズマCVD装置を表す概略図である。尚、図6Aにおいて、図3A中の構成と同様の構成には同じ符号が付されている。第ニの実施の形態に係るプラズマCVD装置は、放電電極の構造において第一の実施の形態のものと異なる。第一の実施の形態におけるプラズマCVD装置と同一の構成についての説明はここでは省かれる。
図8Aは、本発明の第三の実施の形態に係るプラズマCVD装置を表す概略図である。尚、図8Aにおいて、図3Aおよび図6A中の構成と同様の構成には同じ符号が付されている。第三の実施の形態に係るプラズマCVD装置において、放電電極の構造は、第一の実施の形態のものと第二の実施の形態のものとを組合せた構造となっている。その他の同一の構成についての説明はここでは省かれる。
図9Aは、本発明の第四の実施の形態に係るプラズマCVD装置を表す概略図である。尚、図9Aにおいて、図8A中の構成と同様の構成には同じ符号が付されている。第四の実施の形態に係るプラズマCVD装置は、反応ガス供給部の構造において第三の実施の形態のものと異なる。同一の構成についての説明はここでは省かれる。
2 反応容器
4 接地電極
5 基板
6 ヒータ
7 高周波電源
8 ガス供給管
9 ガス排気管
10 反応ガス
11 プラズマ
20、22、25、26 放電電極
21 貫通溝
23 非貫通溝
24 通気孔
27 ガス供給孔
Claims (6)
- 複数の溝を備え、高周波電圧が印加される第一電極と、
前記第一電極に対向するように配置された、基板を保持するための第二電極と
を具備し、
前記複数の溝は、前記第一電極を貫通する複数の貫通溝と、前記第一電極を貫通せず前記基板に対向する複数の非貫通溝とを含み、
前記第一電極は、ガスを前記複数の非貫通溝に供給するガス供給機構を備え、
前記複数の貫通溝の各々の幅は、前記基板と前記第一電極の間の距離以下である
プラズマCVD装置。 - 請求項1において、
前記複数の貫通溝と前記複数の非貫通溝は交互に配置されている
プラズマCVD装置。 - 請求項1又は2において、
前記複数の溝の幅は等しい
プラズマCVD装置。 - 請求項1乃至3のいずれか一項において、
前記複数の溝はそれぞれ平行に形成されている
プラズマCVD装置。 - 反応容器と、
複数の溝を備え、高周波電圧が印加される第一電極と、
前記第一電極に対向するように配置された、基板を保持するための第二電極と
を具備し、
前記複数の溝は、前記第一電極を貫通する複数の貫通溝と、前記第一電極を貫通せず前記基板に対向する複数の非貫通溝とを含み、
前記第一電極は、反応ガスを前記複数の非貫通溝に供給するガス供給機構を備えるプラズマCVD装置を用いる光電変換装置の製造方法であって、
(a)前記第一電極と前記基板の距離が前記複数の貫通溝の各々の幅以上になるように、前記第二電極上に基板を配置するステップと、
(b)前記ガス供給機構から前記複数の非貫通溝を通して前記反応ガスを前記反応容器に供給するステップと、
(c)高周波電圧を印加して前記第一電極と前記基板の間の領域にプラズマを発生させるステップと、
(d)前記基板に膜を生成するステップとを具備する
光電変換装置の製造方法。 - 請求項5において、
前記複数の貫通溝と前記複数の非貫通溝は交互に配置され、
(e)前記反応ガスを前記複数の貫通溝を通して排気するステップを更に具備する
光電変換装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003384524A JP4119820B2 (ja) | 2003-11-14 | 2003-11-14 | プラズマcvd装置および光電変換装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003384524A JP4119820B2 (ja) | 2003-11-14 | 2003-11-14 | プラズマcvd装置および光電変換装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005150317A JP2005150317A (ja) | 2005-06-09 |
JP4119820B2 true JP4119820B2 (ja) | 2008-07-16 |
Family
ID=34692880
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003384524A Expired - Fee Related JP4119820B2 (ja) | 2003-11-14 | 2003-11-14 | プラズマcvd装置および光電変換装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4119820B2 (ja) |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4625397B2 (ja) * | 2005-10-18 | 2011-02-02 | 三菱重工業株式会社 | 放電電極、薄膜製造装置及び太陽電池の製造方法 |
JP5173132B2 (ja) * | 2005-11-30 | 2013-03-27 | 三菱重工業株式会社 | 光電変換装置の製造方法 |
JP4859472B2 (ja) * | 2006-02-08 | 2012-01-25 | 独立行政法人物質・材料研究機構 | プラズマプロセス装置 |
CN101389365A (zh) * | 2006-02-27 | 2009-03-18 | 变色龙科学公司 | 胶体材料的分子等离子体沉积 |
JP4918493B2 (ja) * | 2006-03-24 | 2012-04-18 | 三菱重工業株式会社 | 電極装置および真空処理装置 |
JP5101029B2 (ja) * | 2006-03-27 | 2012-12-19 | 三菱重工業株式会社 | 光電変換素子製造装置および光電変換素子製造方法 |
JP2007266094A (ja) * | 2006-03-27 | 2007-10-11 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | プラズマcvd装置及びプラズマcvdによる半導体薄膜の成膜方法 |
JP4745920B2 (ja) | 2006-08-28 | 2011-08-10 | 三菱重工業株式会社 | 放電電極、薄膜製造装置、及び太陽電池の製造方法 |
JP5035352B2 (ja) * | 2007-11-29 | 2012-09-26 | 株式会社島津製作所 | プラズマプロセス用電極及びプラズマプロセス装置 |
EP2287920A1 (en) * | 2008-10-30 | 2011-02-23 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Photoelectric conversion apparatus and process for producing photoelectric conversion apparatus |
JP5529509B2 (ja) * | 2009-11-27 | 2014-06-25 | 東レエンジニアリング株式会社 | Cvd装置 |
JP5702968B2 (ja) | 2010-08-11 | 2015-04-15 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置及びプラズマ制御方法 |
KR101738718B1 (ko) * | 2013-05-20 | 2017-05-22 | 한국과학기술원 | 축전 결합 플라즈마용 전극 구조체 및 기판 처리 장치 |
JP7132828B2 (ja) | 2018-11-13 | 2022-09-07 | 住友重機械イオンテクノロジー株式会社 | イオン注入装置およびビームパーク装置 |
-
2003
- 2003-11-14 JP JP2003384524A patent/JP4119820B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005150317A (ja) | 2005-06-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4119820B2 (ja) | プラズマcvd装置および光電変換装置の製造方法 | |
JP4859472B2 (ja) | プラズマプロセス装置 | |
US7927455B2 (en) | Plasma processing apparatus | |
JP4212210B2 (ja) | 表面処理装置 | |
US9243327B2 (en) | Plasma CVD device and method of manufacturing silicon thin film | |
US20100024729A1 (en) | Methods and apparatuses for uniform plasma generation and uniform thin film deposition | |
KR20100034737A (ko) | 균일한 실리콘 필름을 증착하기 위한 장치 및 균일한 실리콘 필름을 제조하기 위한 방법 | |
JP4625397B2 (ja) | 放電電極、薄膜製造装置及び太陽電池の製造方法 | |
KR20140135202A (ko) | 성막 장치 | |
US20110220026A1 (en) | Plasma processing device | |
KR101535582B1 (ko) | 박막 형성 장치 | |
JP5377749B2 (ja) | プラズマ生成装置 | |
JP2007266094A (ja) | プラズマcvd装置及びプラズマcvdによる半導体薄膜の成膜方法 | |
JP5614180B2 (ja) | プラズマcvd装置 | |
JP2010212277A (ja) | 成膜装置 | |
JP4279217B2 (ja) | プラズマ処理装置及びこれを用いた太陽電池の製造方法 | |
WO2011099205A1 (ja) | 成膜装置 | |
JP4592576B2 (ja) | 放電電極、薄膜製造装置及び太陽電池の製造方法 | |
JP5488051B2 (ja) | プラズマcvd装置及びシリコン系薄膜の製造方法 | |
JP5862027B2 (ja) | プラズマcvd装置及び薄膜基板の製造方法 | |
JP2008004813A (ja) | シリコン系薄膜光電変換素子の製造方法、製造装置およびシリコン系薄膜光電変換素子 | |
JP3986483B2 (ja) | プラズマcvd装置用電極及びプラズマcvd装置 | |
JP5308733B2 (ja) | 非一体型カソード電極及びプラズマcvd装置 | |
JP2005310834A (ja) | プラズマプロセス装置 | |
JP2007211292A (ja) | 薄膜製造装置及び太陽電池の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060320 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070502 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20071108 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080107 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080415 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080425 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 4119820 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110502 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120502 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130502 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140502 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |