JP4118794B2

JP4118794B2 - インクジェットヘッドワイピング装置、及び配向膜形成装置のインクジェットヘッドワイピング装置

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Publication number: JP4118794B2
Application number: JP2003410707A
Authority: JP
Inventors: 輝幸中野; 康博小澤
Original assignee: Ishii Hyoki Co Ltd
Current assignee: Ishii Hyoki Co Ltd
Priority date: 2003-12-09
Filing date: 2003-12-09
Publication date: 2008-07-16
Anticipated expiration: 2023-12-09
Also published as: JP2005169730A

Description

本発明は、インクジェットヘッドのワイピング装置に係り、より詳しくは、当該インクジェットヘッドの液状材料噴出口やその周辺への異物の付着を可及的に抑制し、或いは当該部位に付着した液状材料や異物を適切に吸い取り除去するための技術に関する。

近年においては、紙等のプリント媒体にインクによる印刷を行なう場合、液晶表示器等の基板（透明基板）上に配向膜の形成やＵＶインクの塗布を行なう場合、或いは有機ＥＬ表示器の基板上にカラーフィルタを塗布する場合には、インクジェットヘッドを用いた所謂インクジェット法が広く採用されるに至っている。この種のインクジェットヘッドには、一端面にインクや膜材料を噴出させるための液状材料噴出口が開口しており、この液状材料噴出口から、紙等のプリント媒体にインクが噴出供給され、或いは表示器の透明基板等に液状の膜材料が噴出供給される。

ところで、この種のインクジェットヘッドにおいては、極めて開口面積の小さな液状材料噴出口からインクや膜材料が噴出されることから、その液状材料自体或いはその液状材料中の例えば顔料等が固化するなどして液状材料噴出口及びその周辺に付着すると共に、外気中のゴミ等の異物も液状材料噴出口及びその周辺に付着するという事態を招く。そして、これが原因となって、液状材料の噴出不良が生じ、プリント媒体への印刷や配向膜の形成に支障を来たすことになる。

そこで、この種のインクジェットヘッドには、これらの問題が生じる前に、適当な時間間隔で、インクジェットヘッドの液状材料噴出機能を良好な状態に復帰させる目的をもって、液状材料噴出口及び／又はその周辺を洗浄する洗浄移動ユニットが配備される。そして、この洗浄移動ユニットとしては、液状材料噴出口及び／又はその周辺に付着している固化材料や異物を負圧による吸引力によって吸い取り除去するための負圧吸引手段を備えたものが公知となっている。

その一例として、下記の特許文献１によれば、インクジェットヘッド（プリントヘッド）の材料噴出口が開口する一端面に、洗浄移動ユニットの真空フードを直接接触させ、材料噴出口のみならずその内部に対しても真空フードを通じて負圧吸引を行なう技術が開示されている。また、下記の特許文献２及び特許文献３によれば、洗浄移動ユニットに真空ノズルを設けると共に、インクジェットヘッドの材料噴出口が開口する一端面に対して真空ノズル自体を非接触とした構成が開示されている。
特開２０００−１９０５１４号公報特開平６−１２６９７２号公報特開平８−１１８６６８号公報

上記の特許文献１に開示された技術によれば、洗浄移動ユニットの真空フードがインクジェットヘッドに接触することに起因して、その接触部分に傷が付くため、長期使用が困難となって耐久性の低下を招く。しかも、この両者の接触によって摩耗粉塵或いは摩滅粉塵等の異物が発生し、この異物がインクジェットヘッドの液状噴出口やその周辺に付着することにより、液状材料の噴出不良を招くと共に、印刷や配向膜形成、更には負圧吸引に支障を来たすことになる。

また、上記の特許文献２に開示された技術によれば、真空ノズルはインクジェットヘッドに対して非接触に維持されているものの、この真空ノズルを支持する支持部材は、バネによりインクジェットヘッド側に押圧付勢されて該インクジェットヘッドのレッジ面に接触している。したがって、この技術によるにしても、洗浄移動ユニットの支持部材がインクジェットヘッドに接触することから、その接触部分に傷が付くことによる耐久性の低下、摩耗粉塵等の異物の発生、及びこれに起因する液状材料の噴出不良、印刷不良や配向膜形成不良、更には負圧吸引不良等を招くという問題が生じる。

更に、上記の特許文献３に開示された技術によれば、洗浄移動ユニットに設けられた真空ノズルは、インクジェットヘッドに対して非接触とされているものの、洗浄移動ユニットに設けられた超音波液状ワイパ装置の洗浄ノズルは、その先端に形成される洗浄液の液柱（同文献ではメニスカス）を介してインクジェットヘッドのノズル面に接触しており、印加電圧による励振がその液柱を通じてインクジェットヘッドのノズル面に転送される構成である。このような構成であると、洗浄ノズルとインクジェットヘッドとの間に、適切な液柱を形成する必要があるため、この両者の位置関係は厳格でなければならず、その位置決め精度を極めて高精度とする必要がある。このため、構造が複雑になると共に、各構成要素の組み付け精度も高精度とする必要性が生じ、組立作業が面倒且つ煩雑になるばかりでなく、コスト面においても不利となる。

しかも、上記のように洗浄液を用いる手法によれば、インクジェットヘッドの液状材料噴出口を通じてその内部に洗浄液が浸入し、液状材料中に洗浄液が混入するという事態を招くため、液状材料の濃度が低下して、正常な印刷や配向膜形成を行なう上で大きな妨げとなる。

本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、洗浄移動ユニットとインクジェットヘッドとの位置関係が不当に厳格な制約を受けないようにした上で、両者の接触に起因する耐久性の低下、摩耗粉塵等の異物の発生、印刷不良や配向膜形成不良、更には負圧吸引不良等を回避することを第１の技術的課題とする。また、ワイピング装置の使用時に、インクジェットヘッドの液状材料噴出口を通じてその内部に洗浄液が浸入して液状材料中に洗浄液が混入することにより液状材料の濃度が低下するという不具合を回避した上で、負圧吸引による洗浄能力をより高めることを第２の技術的課題とする。

上記技術的課題を解決するための第１の手段は、インクジェットヘッドの液状材料噴出口及び／又はその周辺を洗浄するインクジェットヘッドワイピング装置において、前記液状材料噴出口の周辺に負圧による吸引力を発生させる真空ノズルを有し且つインクジェットヘッドに対して相対移動可能な洗浄移動ユニットを、その全ての構成要素がインクジェットヘッドに非接触に維持されるように構成すると共に、真空ノズルの負圧による吸引方向を、インクジェットヘッドのノズル面に直交させ、且つ、真空ノズルによる負圧の吸引力を、インクジェットヘッドの液状材料噴出口に直接的に作用させずに該ノズル面における前記液状材料噴出口の横方向両側に作用させるように構成したことを特徴とするものである。

この場合、洗浄移動ユニットの「全ての構成要素」とは、洗浄移動ユニットを構成している各部品のみならず、洗浄液の液柱をも含む。したがって、洗浄移動ユニットの全ての構成要素がインクジェットヘッドから完全に分離して非接触に維持されるとういうことは、洗浄移動ユニットの何れかの部品とインクジェットヘッドとが接触している場合を排除するのみならず、洗浄移動ユニットとインクジェットヘッドとが例えば洗浄液の液柱を介して接触している場合をも排除するものである。

このような構成によれば、洗浄移動ユニットを構成している各部品がインクジェットヘッドに接触しなくなることから、これらが接触することによる傷の発生及びこれに起因する耐久性低下等の不具合が生じなくなると共に、インクジェットヘッドの液状噴出口やその周辺への摩耗粉塵等の異物の付着、及びこれに起因する液状材料の噴出不良、並びに印刷不良や配向膜形成不良、更には負圧吸引不良等の不具合も生じなくなる。加えて、洗浄移動ユニットとインクジェットヘッドとが洗浄液の液柱を介して接触するという事態も生じないことから、この両者の位置関係を厳格にする必要がなく、位置決めに要する構造が簡素化されると共に、組立作業を容易に行なえるようになり、製造コストの低廉化が図られる。

更に、真空ノズルによる負圧の吸引力が、インクジェットヘッドの液状材料噴出口に直接的に作用しないように構成されているため、真空ノズルによる吸引力が、液状材料噴出口を通じてその内部の液状材料の内圧に不当な影響を与えること、及びこれに起因して液状材料の噴出ノズルの内部に空気が混入することを回避できるようになる。

また、上記技術的課題を解決するための第２の手段は、インクジェットヘッドの液状材料噴出口及び／又はその周辺を洗浄するインクジェットヘッドワイピング装置において、前記液状材料噴出口の周辺に負圧による吸引力を発生させる真空ノズルと前記液状材料噴出口の周辺に気体を噴射供給する気体噴射ノズルとを有し且つインクジェットヘッドに対して相対移動可能な洗浄移動ユニットを、その全ての構成要素がインクジェットヘッドに非接触に維持されるように構成すると共に、真空ノズルの負圧による吸引方向を、インクジェットヘッドのノズル面に直交させ、且つ、真空ノズルによる負圧の吸引力を、インクジェットヘッドの液状材料噴出口に直接的に作用させずに該ノズル面における前記液状材料噴出口の横方向両側に作用させ、気体噴射ノズルからの気体を、インクジェットヘッドの液状材料噴出口に直接的に噴射供給せずに該ノズル面における前記液状材料噴出口の横方向両側に噴射供給するように構成したことを特徴とするものである。ここで、上記の「気体」としては、例えば、空気、窒素、アルゴン等が使用される。

このような構成によれば、インクジェットヘッドの液状材料噴出口及び／又はその周辺を洗浄する際には、気体噴射ノズルから洗浄部位に気体を噴射させることにより、その洗浄部位に付着している液状材料の固化物やゴミ等の異物を剥離させつつ、真空ノズルによりその洗浄部位からそれらの異物等が吸引される。したがって、真空ノズルの吸引力のみによって洗浄部位から異物等を吸引する場合に比して、より一層確実に洗浄部位を清浄な状態とすることが可能となる。加えて、真空ノズルにより吸引される気体の全量または略全量を、気体噴射ノズルから噴射された気体とすることができるため、周辺の汚れた空気やゴミ等を真空ノズルが吸引するという不具合が回避される。しかも、従来のように洗浄液を用いた場合に生じる不具合、すなわちインクジェットヘッドの液状材料噴出口を通じてその内部に洗浄液が浸入して、液状材料中に洗浄液が混入することにより、液状材料の濃度が低下するという不具合が、効果的に回避される。

更に、真空ノズルによる負圧の吸引力のみならず、気体噴射ノズルからの気体が、インクジェットヘッドの液状材料噴出口に直接的に噴射供給されないように構成されているため、気体噴射ノズルの気体噴射口から噴射された気体が、直接的にインクジェットヘッドの液状材料噴出口を通じてその内部に浸入して、液状材料を押圧するという事態が生じなくなる。これにより、インクジェットヘッドの内部の液状材料が不当な押圧力或いは吹き付け力を受けることによる液状材料内圧の不当な変化或いは液状材料の外部への飛散等の不具合が回避される。

以上の構成を備えたインクジェットヘッドワイピング装置を、基板上に配向膜を形成するためのインクジェットヘッドに設けることにより、配向膜形成装置を構成することができる。

すなわち、以上の構成を備えたインクジェットヘッドワイピング装置は、用紙に印字等を行なうインクジェット式プリンタや、有機ＥＬ表示器の基板（透明基板）上にカラーフィルタを塗布する装置等に使用することも可能であるが、液晶表示器の基板（透明基板）上に配向膜を形成する配向膜形成装置に使用することが好適である。この場合に使用される液状材料は、例えば、粘度が５〜１６ｃｐとされ、また表面張力が３０〜４０ｄｙｎ／ｃｍとされる。

以上のように本発明に係るインクジェットヘッドワイピング装置によれば、真空ノズルを有する洗浄移動ユニットを、その全ての構成要素がインクジェットヘッドから完全に分離して非接触に維持されるように構成したから、洗浄移動ユニットを構成している各部品の何れかがインクジェットヘッドに接触することによる傷の発生及びこれに起因する耐久性低下等の不具合が生じなくなると共に、インクジェットヘッドの液状噴出口やその周辺への摩耗粉塵等の異物の付着、及びこれに起因する液状材料の噴出不良、並びに印刷不良や配向膜形成不良、更には負圧吸引不良等の不具合も生じなくなる。加えて、洗浄移動ユニットとインクジェットヘッドとが洗浄液の液柱を介して接触するという事態も生じないことから、この両者の位置関係を厳格にする必要がなく、位置決めに要する構造が簡素化されると共に、組立作業を容易に行なえるようになり、製造コストの低廉化が図られる。

更に、真空ノズルによる負圧の吸引力が、インクジェットヘッドの液状材料噴出口に直接的に作用しないため、真空ノズルによる吸引力が、液状材料噴出口を通じてその内部の液状材料の内圧に不当な影響を与えること、及びこれに起因して液状材料の噴出ノズルの内部に空気が混入することを回避できる。

また、本発明に係るインクジェットヘッドワイピング装置によれば、真空ノズルと気体噴射ノズルとを有する洗浄移動ユニットを備えたことから、真空ノズルの吸引力のみによって洗浄部位から異物等を吸引する場合に比して、より一層確実に洗浄部位を清浄な状態にできると共に、真空ノズルにより吸引される気体の全量または略全量を、気体噴射ノズルから噴射された気体とすることができるため、周辺の汚れた空気やゴミ等を真空ノズルが吸引するという不具合が回避される。しかも、従来のように洗浄液を用いた場合に生じる不具合、すなわちインクジェットヘッドの液状材料噴出口を通じてその内部に洗浄液が浸入して、液状材料中に洗浄液が混入することにより、液状材料の濃度が低下するという不具合が効果的に回避される。

そして、真空ノズルと気体噴射ノズルとを有する洗浄移動ユニットを、その全ての構成要素がインクジェットヘッドに非接触に維持されるように構成すれば、上記それぞれの効果を一挙に享受することができる。

更に、真空ノズルによる負圧の吸引力のみならず、気体噴射ノズルからの気体が、インクジェットヘッドの液状材料噴出口に直接的に噴射供給されないため、気体噴射ノズルの気体噴射口から噴射された気体が、直接的にインクジェットヘッドの液状材料噴出口を通じてその内部に浸入して、液状材料を押圧するという事態が生じなくなる。これにより、インクジェットヘッドの内部の液状材料が不当な押圧力或いは吹き付け力を受けることによる液状材料内圧の不当な変化或いは液状材料の外部への飛散等の不具合が回避される。

そして、既述のインクジェットヘッドワイピング装置を、基板上に配向膜を形成するためのインクジェットヘッドに設けることにより、配向膜形成装置を構成すれば、例えば液晶表示器具の透明基板上に、良質の配向膜を形成することが可能となる。

以下、本発明の実施形態を添付図面を参照して説明する。図１(a)は、本発明の第１実施形態に係るインクジェットヘッドワイピング装置を示す概略正面図、図１(b)は、そのインクジェットヘッドワイピング装置を示す概略側面図である。

図１(a)、(b)に示すように、この第１実施形態に係るインクジェットヘッドワイピング装置は、インクジェットヘッド（プリントヘッド）１の一端面つまりノズル面２に所定のピッチで縦方向（図１(a)の左右方向）に複数配列された噴出ノズルの液状材料噴出口３及び／又はその周辺を洗浄する洗浄移動ユニット４を備えている。なお、図１(a)、(b)では、便宜上、各液状材料噴出口（噴出ノズル）３をインクジェットヘッド１の一端面（ノズル面）２から突出させているが、これらの液状材料噴出口３は、この実施形態では、インクジェットヘッド１の一端面２に開口しており、この一端面２からは突出していない（以下の第２〜第５実施形態についても同様）。但し、本発明は、これらの液状材料噴出口３がインクジェットヘッド１の一端面２から突出してなるものを排除するものではない。

前記洗浄移動ユニット４は、真空ノズル５を有すると共に、矢印Ｘで示す縦方向すなわち液状材料噴出口３の配列方向に対して移動するように構成されている。そして、この洗浄移動ユニット４の真空ノズル５を含む全ての構成要素は、その使用時に、インクジェットヘッド１から完全に分離して非接触に維持されるように構成されている。この場合、インクジェットヘッド１の一端面２と洗浄移動ユニット４との離間寸法Ｓは、０．２ｍｍ〜１．０ｍｍの範囲内、好ましくは０．３ｍｍ〜０．７ｍｍの範囲内、この実施形態では、概ね０．５ｍｍに設定されている（以下の第２実施形態から第５実施形態についても同様）。また、真空ノズル５は、吸引通路６を介して図外の負圧源に連通されており、この真空ノズル５の内部及び吸引通路６の内部では、矢印Ａ１、Ａ２で示す方向に吸引エアが流れるように構成されている。従って、真空ノズル５の負圧による吸引方向は、矢印Ａ１方向と一致しており、図１(a)に示す正面視及び図２(b)に示す側面視の両視から把握できるように、この矢印Ａ１方向は、インクジェットヘッド１の一端面２と直交している（以下の第２〜第５実施形態についても、矢印Ａ１方向に関して同様）。

前記真空ノズル５の吸引口７は、縦方向に短尺であり、且つ、横方向すなわちインクジェットヘッド１の一端面２に対向する面内で縦方向と直交する横方向（図１(b)の左右方向）に長尺なスリット状に形成されている。すなわち、この実施形態では、真空ノズル５の吸引口７における縦方向寸法については、０．２ｍｍ〜１．０ｍｍの範囲内、好ましくは０．３ｍｍ〜０．７ｍｍの範囲内、この実施形態では、概ね０．５ｍｍに設定されており（第２実施形態から第５実施形態についても、吸引口７の短尺側寸法は、この場合と同様）、横方向については、インクジェットヘッド１の一端面２の横方向寸法と同一又は略同一とされている。したがって、この真空ノズル５を矢印Ｘで示す縦方向に移動させることのみをもって、インクジェットヘッド１の一端面２の全領域に対する洗浄作業を行なうことが可能に構成されている。

更に、この実施形態では、真空ノズル５の吸引口７の横方向中間位置に、インクジェットヘッド１の各液状材料噴出口３と吸引口７とが直接対面しないようにするための邪魔部８が形成されている。すなわち、洗浄移動ユニット４の縦方向Ｘに対する移動時においては、真空ノズル５の邪魔部８とインクジェットヘッド１の液状材料噴出口３とが対面した状態に維持されるように構成されている。したがって、インクジェットヘッド１の液状材料噴出口３に対しては、真空ノズル５の吸引口７から直接的に負圧による吸引力が作用しない構成とされており、これにより真空ノズル５による吸引力が、液状材料噴出口３を通じてその内部の液状材料の内圧に不当な影響を与えること、及びこれに起因して液状材料の噴出ノズルの内部に空気が混入することを回避できるように配慮がなされている。なお、真空ノズル５による吸引力を、液状材料噴出口３を通じてその内部の液状材料の内圧に影響を与えることがない程度の強さに設定しておけば、上記の邪魔部８を設けなくてもよい。また、真空ノズル５による負圧の吸引力は、インクジェットヘッド１の一端面２における液状材料噴出口３の横方向両側（横方向における液状材料噴出口３の一方側と他方側との両側）に作用するように構成されている。

以上のように、この第１実施形態の構成によれば、インクジェットヘッド１の一端面２つまり液状材料噴出口３及びその周辺に付着している膜材料の固化物やゴミ等の異物が、洗浄移動ユニット４の真空ノズル５から作用する負圧によって真空ノズル５内に吸引され、洗浄作業が行われる。そして、この洗浄移動ユニット４が、このような動作を行ないつつ、矢印Ｘで示す縦方向に移動していくことにより、インクジェットヘッド１の一端面（ノズル面）２の全域又は略全域の洗浄が行われる。

そして、洗浄移動ユニット４を構成している各部の全てはインクジェットヘッド１に対して完全非接触とされていることから、これらが接触することによる傷の発生及びこれに起因する耐久性の低下等が生じなくなる。しかも、インクジェットヘッド１の液状材料噴出口３やその周辺への摩耗粉塵等の異物の付着、及びこれに起因する液状材料の噴出不良、印刷不良又は配向膜形成不良、更には負圧吸引不良等も生じなくなる。加えて、洗浄移動ユニット４とインクジェットヘッド１とが洗浄液の液柱を介して接触するという事態も生じないことから、この両者の位置関係を厳格にする必要がなく、位置決めに要する構造が簡素化されると共に、組立作業を容易に行なえるようになる。

図２(a)は、本発明の第２実施形態に係るインクジェットヘッドワイピング装置を示す概略正面図、図２(b)は、そのインクジェットヘッドワイピング装置を示す概略側面図である。なお、図２(a)、(b)に基づくこの第２実施形態に係るインクジェットヘッドワイピング装置の説明において、上述の第１実施形態と共通の構成要件については同一符号を使用して、その詳細な説明を省略する。

図２(a)、(b)に示すように、このインクジェットヘッドワイピング装置は、インクジェットヘッド１の液状材料噴出口３が形成された一端面２に対して、完全非接触で縦方向に移動可能な洗浄移動ユニット４が、真空ノズル５に加えて、空気や窒素等の気体をインクジェットヘッド１の一端面２に噴射供給するための気体噴射ノズル９を有している。そして、インクジェットヘッド１の一端面２における気体噴射ノズル９による気体噴射領域と真空ノズル５による吸引領域とは略一致しており、詳しくは、気体噴射領域は吸引領域の全てを包含している。

真空ノズル５の吸引口７は、縦方向に短尺で且つ横方向に長尺なスリット状に形成されると共に、気体噴射ノズル９の気体噴射口10も同様に、縦方向に短尺で且つ横方向に長尺なスリット状に形成され、且つ、単一の吸引口７を中心としてその縦方向両側に２つの気体噴射口10が形成されている。この２つの気体噴射口10は、吸引口７から隔離されていると共に、吸引口７の邪魔部８と同様に、それぞれの気体噴射口10の横方向中間位置には、インクジェットヘッド１の各液状材料噴出口３と気体噴射口10とが直接対面しないようにするための邪魔部８が形成されている。すなわち、インクジェットヘッド１の液状材料噴出口３に対して、気体噴射口10から直接的に気体が噴射供給されない構成とされており、これにより気体噴射口10から噴射供給された気体が、液状材料噴出口３を通じてその内部の液状材料の内圧に不当な影響を与えること、或いは液状材料を飛散させること等を回避できるように配慮がなされている。

この場合、２つの気体噴射口10を先端に有する気体噴射ノズル９は、１本の送給通路11を介して図外の気体圧源に通じていると共に、気体噴射ノズル９における２つの気体噴射口10に通じる噴射通路は、インクジェットヘッド１側に移行するにしたがって漸次相接近するようにそれぞれが傾斜している。そして、気体噴射ノズル９の内部及び送給通路11の内部では、矢印Ｂ１、Ｂ２で示す方向に気体が流れるように構成されている。また、気体噴射ノズル９からの気体の噴射供給は、インクジェットヘッド１の一端面２における液状材料噴出口３の横方向両側に行うように構成されている。なお、送給通路11から気体噴射口10に至る気体流通経路と、吸引口７から吸引通路６に至る吸引エア流通経路とは、完全に隔離された状態にある。また、各気体噴射口10の縦方向寸法は、吸引口７の縦方向寸法よりも長尺とされているのに対して、各気体噴射口10の横方向寸法と、吸引口７の横方向寸法とは、同一又は略同一とされている。

以上のように、この第２実施形態の構成によれば、インクジェットヘッド１の一端面２つまり液状材料噴出口３及びその周辺に付着している膜材料の固化物やゴミ等の異物が、洗浄移動ユニット４の気体噴射ノズル９から噴射される気体によって、それらの異物等の剥離が促進されつつ、真空ノズル５から作用する負圧によって、それらの異物等が真空ノズル５内に吸引される。そして、この洗浄移動ユニット４が、このような動作を行ないつつ、矢印Ｘで示す縦方向に移動していくことにより、インクジェットヘッド１の一端面（ノズル面）２の全域又は略全域の洗浄が行われる。この場合、真空ノズル５内には、気体噴射ノズル９から噴射された気体のみ又は略その気体のみと異物等とが吸引され得ることになるので、周辺の汚れた空気やゴミ等が真空ノズル５内に吸引されることを防止することができる。なお、その他の作用効果は、上述の第１実施形態と同様である。

図３(a)は、本発明の第３実施形態に係るインクジェットヘッドワイピング装置を示す概略正面図、図３(b)は、そのインクジェットヘッドワイピング装置を示す概略側面図である。なお、図３(a)、(b)に基づくこの第３実施形態に係るインクジェットヘッドワイピング装置の説明において、上述の第１実施形態と共通の構成要件については同一符号を使用して、その詳細な説明を省略する。

図３(a)、(b)に示すように、このインクジェットヘッドワイピング装置は、洗浄移動ユニット４が矢印Ｙで示すように横方向に移動するように構成されており、その関係上、洗浄移動ユニット４の縦方向寸法が、インクジェットヘッド１の縦方向寸法と略同一または僅かにそれよりも長尺とされている。そして、この洗浄移動ユニット４に設けられている真空ノズル５の吸引口７は、横方向が短尺側とされ、且つ縦方向がインクジェットヘッド１の全ての液状材料噴出口３の配列領域と略同一又はそれよりも僅かに長い長尺側とされたスリット状に形成されている。なお、この吸引口７には、邪魔部が形成されていない。

したがって、この第３実施形態の洗浄移動ユニット４の詳細な構成は、図３(b)に示す側面図については、図１(a)に示す正面図における「縦方向」と「横方向」とを相互に変換した場合における既述の説明と同一であり、また図３(a)に示す正面図については、図１(b)に示す側面図における「縦方向」と「横方向」とを相互に変換した場合における既述の説明（邪魔部８の説明を除く）と同一である。

この第３実施形態の構成によれば、インクジェットヘッド１の一端面２（液状材料噴出口３及びその周辺）に付着している膜材料の固化物やゴミ等の異物が、洗浄移動ユニット４の真空ノズル５から作用する負圧によって真空ノズル５内に吸引され、洗浄作業が行われる。そして、この洗浄移動ユニット４は、このような動作を行ないつつ、矢印Ｙで示す横方向に移動していくことにより、真空ノズル５による負圧の吸引力は、インクジェットヘッド１の一端面（ノズル面）２における液状材料噴出口３の横方向両側に作用し、その一端面２の全域又は略全域の洗浄が行われる。

この場合、洗浄移動ユニット４が矢印Ｙで示す横方向に移動している途中において、真空ノズル５の吸引口７とインクジェットヘッド１の液状材料噴出口３とが対面した時点では、真空ノズル５による吸引が一時的に停止される。これにより、インクジェットヘッド１の液状材料噴出口３に対しては、真空ノズル５の吸引口７から直接的に負圧による吸引力が作用しなくなって、真空ノズル５による吸引力が、液状材料噴出口３を通じてその内部の液状材料の内圧に不当な影響を与えること、及びこれに起因して液状材料の噴出ノズルの内部に空気が混入することが回避される。なお、真空ノズル５による吸引力を、液状材料噴出口３を通じてその内部の液状材料の内圧に影響を与えることがない程度の強さに設定しておけば、上記の一時停止を行なわなくてもよい。その他の作用効果については、上述の第１実施形態と同一である。

図４(a)は、本発明の第４実施形態に係るインクジェットヘッドワイピング装置を示す概略正面図、図４(b)は、そのインクジェットヘッドワイピング装置を示す概略側面図である。なお、図４(a)、(b)に基づくこの第４実施形態に係るインクジェットヘッドワイピング装置の説明において、上述の第２実施形態と共通の構成要件については同一符号を使用して、その詳細な説明を省略する。

図４(a)、(b)に示すように、このインクジェットヘッドワイピング装置も、洗浄移動ユニット４が矢印Ｙで示すように横方向に移動するように構成されており、その関係上、洗浄移動ユニット４の縦方向寸法が、インクジェットヘッド１の縦方向寸法と略同一または僅かにそれよりも長尺とされている。そして、この洗浄移動ユニット４に設けられている真空ノズル５の吸引口７は、横方向が短尺側とされ、且つ縦方向がインクジェットヘッド１の全ての液状材料噴出口３の配列領域と略同一又はそれよりも僅かに長い長尺側とされたスリット状に形成されている。なお、この吸引口７には、邪魔部が形成されていない。

更に、この洗浄移動ユニット４は、真空ノズル５に加えて、空気や窒素等の気体をインクジェットヘッド１の一端面２に噴射供給するための気体噴射ノズル９を有している。そして、インクジェットヘッド１の一端面２における気体噴射ノズル９による気体噴射領域と真空ノズル５による吸引領域とは略一致しており、詳しくは、気体噴射領域は吸引領域の全てを包含している。気体噴射ノズル９の気体噴射口10は、横方向に短尺で且つ縦方向に長尺なスリット状に形成され、且つ、単一の吸引口７を中心としてその横方向両側に２つの気体噴射口10が形成されている。なお、この真空ノズル５の吸引口７にも、邪魔部は形成されていない。

そして、この第４実施形態の洗浄移動ユニット４の詳細な構成は、図４(b)に示す側面図については、図２(a)に示す正面図における「縦方向」と「横方向」とを相互に変換した場合における既述の説明と同一であり、また図４(a)に示す正面図については、図２(b)に示す側面図における「縦方向」と「横方向」とを相互に変換した場合における既述の説明（邪魔部８の説明を除く）と同一である。

この第４実施形態の構成によれば、インクジェットヘッド１の一端面２つまり液状材料噴出口３及びその周辺に付着している膜材料の固化物やゴミ等の異物が、洗浄移動ユニット４の気体噴射ノズル９から噴射される気体によって、それらの異物等の剥離が促進されつつ、真空ノズル５から作用する負圧によって、それらの異物等が真空ノズル５内に吸引される。そして、この洗浄移動ユニット４が、このような動作を行ないつつ、矢印Ｙで示す横方向に移動していくことにより、真空ノズル５による負圧の吸引力の作用及び気体噴射ノズル９からの気体の噴射供給は、インクジェットヘッド１の一端面（ノズル面）２における液状材料噴出口３の横方向両側に対して行われ、その一端面２の全域又は略全域の洗浄が行われる。

この場合、洗浄移動ユニット４が矢印Ｙで示す横方向に移動している途中において、真空ノズル５の吸引口７及び気体噴射ノズル９の気体噴射口10と、インクジェットヘッド１の液状材料噴出口３とが対面した時点では、真空ノズル５による吸引及び気体噴射ノズル９による噴射が一時的に停止される。これによる利点は、真空ノズル５に関しては既に述べた通りであるが、気体噴射ノズル９に関しては、インクジェットヘッド１の液状材料噴出口３に対して、気体噴射口10から直接的に気体が噴射供給されなくなることにより、気体噴射口10から噴射供給された気体が、液状材料噴出口３を通じてその内部の液状材料の内圧に不当な影響を与えること、或いは液状材料を飛散させることを回避できることになる。なお、真空ノズル５による吸引力を、液状材料噴出口３を通じてその内部の液状材料の内圧に影響を与えることがない程度の強さに設定しておけば、真空ノズル５の吸引については、上記の一時停止を行なわなくてもよい。その他の作用効果については、上述の第２実施形態と同一である。

図５(a)は、本発明の第５実施形態に係るインクジェットヘッドワイピング装置を示す概略平面図、図５(b)は、そのインクジェットヘッドワイピング装置を示す概略正面図、図５(c)は、そのインクジェットヘッドワイピング装置を示す概略側面図である。この第５実施形態は、複数個のインクジェットヘッド１を縦方向に千鳥状に配設してなる大型プリンタ或いは大型配向膜形成装置に係るものである。なお、図５(a)、(b)、(c)に基づくこの第５実施形態に係るインクジェットヘッドワイピング装置の説明において、上述の第１実施形態と共通の構成要件については同一符号を使用して、その詳細な説明を省略する。

図５(b)に示すように、このインクジェットヘッドワイピング装置は、矢印Ｘで示すように縦方向に移動可能な洗浄移動ユニット４を備え、この洗浄移動ユニット４に設けられている真空ノズル５の正面視形態については、図１(a)の正面図に基づいて既に説明した内容と同一である。そして、この第５実施形態では、図５(a)、(c)に示すように、洗浄移動ユニット４が２列のインクジェットヘッド１に跨るように配置されると共に、この洗浄移動ユニット４には、インクジェットヘッド１の２列配列に伴って、２つの真空ノズル５が並列に設けられている。この場合、２つの真空ノズル５は、１本の吸引通路６に合流された上で図外の負圧源に通じている。そして、個々の真空ノズル５の吸引口７の構成、及びこれらと各列毎のインクジェットヘッド１との相対関係については、既述の第１実施形態と同一である。

この第５実施形態の構成によれば、２列に配列された複数のインクジェットヘッド１に対して、単一の洗浄移動ユニット４を矢印Ｘで示す縦方向に移動させるだけで、全てのインクジェットヘッド１の一端面２に対する負圧吸引による洗浄を一挙に行なうことが可能となる。なお、この場合には、単一の洗浄移動ユニット４を縦方向Ｘに移動させていく間に、洗浄移動ユニット４とインクジェットヘッド１とが対面しない箇所が交互に出現する関係上、２つの真空ノズル５による吸引を交互に一時停止させることが好ましい。その他の作用効果については、既述の第１実施形態と同様である。

なお、この第５実施形態では、洗浄移動ユニット４に、真空ノズル５のみを並列に２つ設ける構成としたが、図２に示す構成を利用して、真空ノズル５と気体噴射ノズル９とを並列に２セットずつ設けるようにしてもよい。そして、２列に千鳥状に配列された複数のインクジェットヘッド１のそれぞれに対して、図１または図２に示す洗浄移動ユニット４を個別に配設して洗浄をするように構成してもよい。

図１(a)は、本発明の第１実施形態に係るインクジェットヘッドワイピング装置を示す概略正面図、図１(b)は、そのインクジェットヘッドワイピング装置を示す概略側面図である。図２(a)は、本発明の第２実施形態に係るインクジェットヘッドワイピング装置を示す概略正面図、図２(b)は、そのインクジェットヘッドワイピング装置を示す概略側面図である。図３(a)は、本発明の第３実施形態に係るインクジェットヘッドワイピング装置を示す概略正面図、図３(b)は、そのインクジェットヘッドワイピング装置を示す概略側面図である。図４(a)は、本発明の第４実施形態に係るインクジェットヘッドワイピング装置を示す概略正面図、図４(b)は、そのインクジェットヘッドワイピング装置を示す概略側面図である。図５(a)は、本発明の第５実施形態に係るインクジェットヘッドワイピング装置を示す概略平面図、図５(b)は、そのインクジェットヘッドワイピング装置を示す概略正面図、図５(c)は、そのインクジェットヘッドワイピング装置を示す概略側面図である。

符号の説明

１インクジェットヘッド
２一端面（ノズル面）
３液状材料噴出口
４洗浄移動ユニット
５真空ノズル
７吸引口
９気体噴射ノズル
10 気体噴射口

Claims

インクジェットヘッドの液状材料噴出口及び／又はその周辺を洗浄するインクジェットヘッドワイピング装置において、
前記液状材料噴出口の周辺に負圧による吸引力を発生させる真空ノズルを有し且つインクジェットヘッドに対して相対移動可能な洗浄移動ユニットを、その全ての構成要素がインクジェットヘッドに非接触に維持されるように構成すると共に、真空ノズルの負圧による吸引方向を、インクジェットヘッドのノズル面に直交させ、且つ、真空ノズルによる負圧の吸引力を、インクジェットヘッドの液状材料噴出口に直接的に作用させずに該ノズル面における前記液状材料噴出口の横方向両側に作用させるように構成したことを特徴とするインクジェットヘッドワイピング装置。
インクジェットヘッドの液状材料噴出口及び／又はその周辺を洗浄するインクジェットヘッドワイピング装置において、
前記液状材料噴出口の周辺に負圧による吸引力を発生させる真空ノズルと前記液状材料噴出口の周辺に気体を噴射供給する気体噴射ノズルとを有し且つインクジェットヘッドに対して相対移動可能な洗浄移動ユニットを、その全ての構成要素がインクジェットヘッドに非接触に維持されるように構成すると共に、真空ノズルの負圧による吸引方向を、インクジェットヘッドのノズル面に直交させ、且つ、真空ノズルによる負圧の吸引力を、インクジェットヘッドの液状材料噴出口に直接的に作用させずに該ノズル面における前記液状材料噴出口の横方向両側に作用させ、気体噴射ノズルからの気体を、インクジェットヘッドの液状材料噴出口に直接的に噴射供給せずに該ノズル面における前記液状材料噴出口の横方向両側に噴射供給するように構成したことを特徴とするインクジェットヘッドワイピング装置。
請求項１または２に記載のインクジェットヘッドワイピング装置が、基板上に配向膜を形成するためのインクジェットヘッドに設けられるものであることを特徴とする配向膜形成装置のインクジェットヘッドワイピング装置。