JP4110823B2 - 光デバイス部品結合装置および光デバイス部品結合方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、光デバイス部品結合装置および光デバイス部品結合方法に関し、特に光通信分野に利用される平面導波路型光デバイス部品同士を光学的に結合する光デバイス部品結合装置および光デバイス部品結合方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
図5は、結合された平面導波路型光デバイス部品の外観構成を示す斜視図であり、図6は、従来の光デバイス部品結合装置の構成を示す全体概略図である。
【0003】
光デバイス技術の発展に伴い、平面導波路型アレイ導波路回折格子、平面導波路型LN(ニオブ酸リチウム)光減衰器等の平面導波路型光デバイス部品が多種開発されている。これらの平面導波路型光デバイス部品はファイバアレイとの結合によるモジュール化、もしくは平面導波路型光デバイス部品同士の結合によるモジュール化がなされている。
【0004】
図5は、平面導波路型光デバイス部品11と12とが結合されている状態を示しており、13は、平面導波路型光デバイス部品11の光導波路、14は、平面導波路型光デバイス部品12の光導波路、15は、光導波路13と光結合されたファイバアレイ、16は、光導波路14と光結合されたファイバアレイである。
【0005】
平面導波路型光デバイス部品同士を面合わせおよび光軸調整して結合する場合には、例えば特開2001108863号公報の図2に記載されているような光デバイスとファイバアレイとを面合わせ・光軸調整することができる光モジュール用試験機を用いて行うことができる。
【0006】
図6に示す装置は、対向する結合面で光結合される平面導波路型光デバイス部品11、12とをそれぞれ保持する部品保持部203、204と、部品保持部203、204をそれぞれ搭載して対向する結合面との相対的な回転ずれを補正する移動可能な移動ステージ205、206と、移動ステージ205、206をそれぞれ搭載して位置ずれを補正する移動可能な移動ステージ207、208と、保持された平面導波路型光デバイス部品11、12の結合面を正面からそれぞれ撮像するズームレンズ付きCCDカメラ210、209と、光源211と、受光器212と、モータ駆動制御部213と、データ処理部214と、画像処理部215とからなる。
【0007】
結合に伴う面合わせおよび光軸調整の手順は、まず、平面導波路型光デバイス部品11、12を部品保持部203、204にそれぞれ保持させ、ズームレンズ付きCCDカメラ209、210を低倍率にして平面導波路型光デバイス部品11、12の結合面全体をそれぞれ撮像し、撮像した画像データから各結合面の3つの測定点と、光導波路の測定点の結合面に平行な方向のX軸方向のX軸座標値と、上面に垂直な方向のY軸方向のY軸座標値とを画像処理部215で測定する。
【0008】
次に、CCDカメラ209、210のズームレンズの倍率を上げ各測定点の焦点が合うCCDカメラ209、210の結合面に垂直なZ軸方向の移動距離と画像鮮明度から各測定点のZ軸座標値を画像処理部215で測定する。
【0009】
データ処理部214は、画像処理部215により測定された測定点座標値データ(X軸座標値、Y軸座標値およびZ軸座標値)を基にX軸を中心とした結合面の回転ずれθxと、Y軸を中心とした結合面の回転ずれθyとを算出し、モータ駆動制御部213は、データ処理部214により算出された回転ずれθxと回転ずれθyとに基づいて結合面が平行となるように移動ステージ205または206を移動させて回転ずれを補正する。回転ずれの補正後、再度結合面を撮像・測定し、回転ずれθx、θyを算出し、結合面が平行になるまで補正を繰り返す。
【0010】
次に、測定点座標値データを基にZ軸を中心とした結合面の回転ずれθzをデータ処理部214で算出し、モータ駆動制御部213は、データ処理部214により算出された回転ずれθzに基づいて結合面が平行となるように移動ステージ205または206を移動させ回転ずれを補正する。回転ずれの補正後、再度結合面を撮像・測定し、回転ずれθzを算出し、結合面が平行になるまで補正を繰り返す。
【0011】
次に、平面導波路型光デバイス部品11、12の結合面の光軸調整を行う。データ処理部214は、測定点座標値データから位置ずれを算出し、モータ駆動制御部213は、データ処理部214により算出された位置ずれに基づいて結合面が対向する位置になるように移動ステージ207または208を移動させ、光導波路13、14を接近させる。
【0012】
光源211からの光をファイバアレイ15に入射して、データ処理部214は、モータ駆動制御部213により移動ステージ207または208を移動させながらファイバアレイ16から出射する光量を受光器212でモニタし、受光量が最大となる位置に調整する。
【0013】
その後、平面導波路型光デバイス部品11、12の結合面に紫外線硬化樹脂を滴下し紫外線照射して接着固定する。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来技術では、ズームレンズ付きCCDカメラ209、210を低倍率にして平面導波路型光デバイス部品11、12の結合面全体を撮像し、撮像した画像データから各結合面の3つの測定点と、光導波路の測定点のX軸座標値とY軸座標値とを画像処理部215で測定する第一の工程と、CCDカメラ209、210のズームレンズの倍率を上げ各測定点の焦点が合うCCDカメラ209、210のZ軸方向の移動距離と画像鮮明度とから各測定点のZ軸座標値を画像処理部215で測定する第二の工程と、測定点座標値データを基に結合面の回転ずれθxと結合面の回転ずれθyとをデータ処理部214で算出し、モータ駆動制御部213により結合面が平行となるように移動ステージ205または206を移動させて回転ずれを補正する第三の工程と、測定点座標値データから結合面の回転ずれθzをデータ処理部214で算出し、モータ駆動制御部213により結合面が平行となるように移動ステージ205または206を移動させて回転ずれを補正する第四の工程とからなるため面合わせ工程が多くなり面合わせに時間がかかるという問題点があった。
【0015】
さらに、従来技術では、結合面を精度良く撮像するためズームレンズ付きCCDカメラ209、210と、画像処理部213とが必要になると共に、結合面を対向配置させるため移動テージ207、208のストロークが長くなり、装置の構造が大きくなるという問題点があった。
【0016】
さらに、従来技術では、光導波路13、14を接近させて対向配置する前に位置ずれを補正するため、ステージ移動精度に起因する接近後の光導波路13、14の位置ずれが大きく出射光をモニタする範囲が大きくなるため、光軸調整に時間がかかるという問題点があった。
【0017】
本発明は斯かる問題点を鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、面合わせ工程を簡略化することで面合わせ時間を大幅に短縮することができ、装置の構造を簡略化することができ、光軸調整を短時間に行うことができる光デバイス部品結合装置および光デバイス部品結合方法を提供する点にある。
【0018】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記課題を解決すべく、以下に掲げる構成とした。
請求項1記載の発明の要旨は、2つの平面導波路型光デバイスを結合するために結合面の面合わせを行う光デバイス部品結合装置であって、前記2つの平面導波路型光デバイスの結合面を対向させて保持した状態で、前記2つの平面導波路型光デバイスの光導波路が形成されている一方向の側面における前記2つの平面導波路型光デバイスを跨る2カ所の測定エリアと、前記2つの平面導波路型光デバイスのそれぞれの光導波路を横切る2カ所の測定エリアとの4カ所の測定エリアの3次元位置データを測定する位置データ測定手段と、該位置データ測定手段によって測定された前記3次元位置データから回転ずれ量を算出するデータ処理手段と、該データ処理手段により算出された前記回転ずれ量に基づいて前記2つの平面導波路型光デバイス間の回転ずれを調整する移動ステージ手段とを具備することを特徴とする光デバイス部品結合装置に存する。
また請求項2記載の発明の要旨は、2つの平面導波路型光デバイスを結合するために結合面の面合わせと光軸調整とを行う光デバイス部品結合装置であって、前記2つの平面導波路型光デバイスの結合面を対向させて保持した状態で、前記2つの平面導波路型光デバイスの光導波路が形成されている一方向の側面における前記2つの平面導波路型光デバイスを跨る2カ所の測定エリアと、前記2つの平面導波路型光デバイスのそれぞれの光導波路を横切る2カ所の測定エリアとの4カ所の測定エリアの3次元位置データを測定する位置データ測定手段と、該位置データ測定手段によって測定された前記3次元位置データから位置ずれ量と回転ずれ量とを算出するデータ処理手段と、該データ処理手段により算出された前記位置ずれ量と前記回転ずれ量とに基づいて前記2つの平面導波路型光デバイス間の位置ずれおよび回転ずれを調整する移動ステージ手段とを具備することを特徴とする光デバイス部品結合装置に存する。
また請求項3記載の発明の要旨は、前記位置データ測定手段は、前記2つの平面導波路型光デバイスの側面からの距離を測定するレーザ測定器であることを特徴とする請求項1又は2記載の光デバイス部品結合装置に存する。
また請求項4記載の発明の要旨は、2つの平面導波路型光デバイスを結合するために結合面の面合わせを行う光デバイス部品結合方法であって、前記2つの平面導波路型光デバイスの結合面を対向させて保持した状態で、前記2つの平面導波路型光デバイスの光導波路が形成されている一方向の側面における前記2つの平面導波路型光デバイスを跨る2カ所の測定エリアと、前記2つの平面導波路型光デバイスのそれぞれの光導波路を横切る2カ所の測定エリアとの4カ所の測定エリアの3次元位置データを測定し、該測定した前記3次元位置データから回転ずれ量を算出し、該算出した前記回転ずれ量に基づいて前記2つの平面導波路型光デバイス間の回転ずれを調整することを特徴とする光デバイス部品結合方法に存する。
また請求項5記載の発明の要旨は、2つの平面導波路型光デバイスを結合するために結合面の面合わせと光軸調整とを行う光デバイス部品結合方法であって、前記2つの平面導波路型光デバイスの結合面を対向させて保持した状態で、前記2つの平面導波路型光デバイスの光導波路が形成されている一方向の側面における前記2つの平面導波路型光デバイスを跨る2カ所の測定エリアと、前記2つの平面導波路型光デバイスのそれぞれの光導波路を横切る2カ所の測定エリアとの4カ所の測定エリアの3次元位置データを測定し、該測定した前記3次元位置データから位置ずれ量と回転ずれ量とを算出し、該算出した前記位置ずれ量と前記回転ずれ量とに基づいて前記2つの平面導波路型光デバイス間の位置ずれおよび回転ずれを調整することを特徴とする光デバイス部品結合方法に存する。
また請求項6記載の発明の要旨は、レーザ測定器によって前記2つの平面導波路型光デバイスの一方向の側面からの距離を測定することで前記3次元位置データを測定することを特徴とする請求項4又は5記載の光デバイス部品結合方法。
【0019】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【0020】
図1は、本発明に係る光デバイス部品結合装置の実施の形態の構成を示す全体概略図であり、図2は、図1に示す光デバイス部品結合装置で行われる面合わせおよび光軸調整の調整軸を示す図である。
【0021】
本実施の形態は、図1を参照すると、平面導波路型光デバイス部品301、302をそれぞれ保持する部品保持部303、304と、部品保持部303、304をそれぞれそれぞれ搭載してθx軸、θy軸およびθz軸の調整を行う移動ステージ305、306と、移動ステージ305、306をそれぞれ搭載してX軸、Y軸およびZ軸の調整を行う移動ステージ307、308と、レーザ測定器309と、レーザ測定器309をX軸、Y軸およびZ軸に移動させる移動ステージ310と、平面導波路型光デバイス部品301に光を入射する光源311と、平面導波路型光デバイス部品302から出射される光を受光する受光器312と、移動ステージ305、306、307、308、310を駆動するモータ駆動制御部313と、同期トリガパルス信号を出力するトリガパルス発信部314と、位置ずれ量ΔX、ΔY、ΔZと回転ずれ量Δθx、Δθy、Δθzとを算出するデータ処理部315とからなる。なお、X軸、Y軸、Z軸、θx軸、θy軸およびθz軸は、図2に示す関係となっている。
【0022】
次に、本実施の形態の動作について図3および図4を参照して詳細に説明する。
図3は、図1に示すレーザ測定器によって測定される測定エリアを示す図であり、図4は、図1に示すデータ処理部によって3次元位置データから求められた測定波形図である。
【0023】
本実施の形態では、まず、平面導波路型光デバイス部品301と302とをそれぞれ部品保持部303と304とに保持させ、モータ駆動制御部313の制御で移動ステージ307または308を移動させて面導波路型光デバイス部品301の結合面と平面導波路型光デバイス部品302の結合面とを対向させて接近させる。
【0024】
次に、モータ駆動制御部313の制御に基づいて移動ステージ310によりレーザ測定器309を移動させながら、接近させた平面導波路型光デバイス部品301の側面と平面導波路型光デバイス部品302の側面との、図3に示す測定エリア41、42、43、44のそれぞれについて上方から測定する。レーザ測定器309によって測定する平面導波路型光デバイス部品301、302の側面には、光導波路が形成されている。
【0025】
測定エリア41、42は、Z軸に平行で且つ平面導波路型光デバイス部品301、302の両方に跨っており、測定エリア41、42でのレーザ測定器309による測定は、X軸を固定し、Z軸のポイントを連続的にずらし、Y軸方向のレーザ測定器309と平面導波路型光デバイス部品301、302との距離を連続的に測定する。また、測定エリア43、44は、X軸に平行で且つ平面導波路型光デバイス部品301、302の側面に形成された光導波路を横切っており、測定エリア43、44でのレーザ測定器309による測定は、Z軸を固定し、X軸のポイントを連続的にずらし、Y軸方向のレーザ測定器309と平面導波路型光デバイス部品301、302との距離を連続的に測定する。
【0026】
レーザ測定器309によって測定エリア41を測定する時、移動ステージ310のX軸およびY軸は、固定し、Z軸の移動と同期してトリガパルス信号発信部314から出力された同期トリガパルス信号をトリガにして高さデータ(レーザ測定器309と平面導波路型光デバイス部品301、302との距離)取得を行うため、測定データは3次元位置データとなる。同様に測定エリア42、43、44も3次元位置データとなる。すなわち、レーザ測定器309の測定によって求められる3次元位置データは、レーザ測定器309が移動したX、Z座標の軌跡と、Y座標のレーザ測定器309が測定した平面導波路型光デバイス部品301、302までの高さ距離yとなる。
【0027】
例えば、測定エリア41もしくは42を測定する場合に、X座標を固定値x0とし、Y座標を高さ距離y、Z座標を移動距離zとすると、3次元位置データは(x0、y、z)で表すことができ、x0は、固定値(例えばx0=5mm)となり、yは、レーザ測定器測定可能距離の範囲内(例えば−1mm<y<+1mm)で推移し、zは、測定エリア41もしくは42の測定エリア長分(例えば0mm<z<+5mm)移動する。
【0028】
測定エリア41もしくは42の高さ距離yの測定は、Z座標の移動のタイミングで行われ、例えば、Z軸が1μm移動したら、トリガパルス信号発信部314から同期トリガパルス信号を1回出力し、同期トリガパルス信号をトリガにして高さ距離yを1回測定する。Z座標が5mm移動したら、トリガパルス信号発信部314から同期トリガパルス信号は5000回出力されることになり、高さ距離yは、5000回測定され、3次元位置データ(X、Y、Z)は、(x0、y1、0.001mm)〜(x0、y5000、5.000mm)の5000ポイントとなる。
【0029】
データ処理部315は、レーザ測定器309による測定エリア41、42、43、44の測定によって得られる3次元位置データに基づいて、図4に示す測定波形図を作成する。図4において、測定波形51は、測定エリア41の3次元位置データに対応し、測定波形52は、測定エリア42の3次元位置データに対応し、測定波形53は、測定エリア43の3次元位置データに対応し、測定波形54は、測定エリア44の3次元位置データに対応している。
【0030】
図4において、測定波形51上のポイントA1は、測定開始ポイントで、ポイントA2は、平面導波路型光デバイス301の端面ポイントで、ポイントA3は、平面導波路型光デバイス302の端面ポイントで、ポイントA4は測定終了ポイントである。
【0031】
また、図4において、測定波形52上のポイントB1は、測定開始ポイントで、ポイントB2は、平面導波路型光デバイス301の端面ポイントで、ポイントB3は、平面導波路型光デバイス302の端面ポイントで、ポイントB4は、測定終了ポイントである。
【0032】
また、図4において、測定波形53上のポイントC1は、測定開始ポイントで、ポイントC2は、平面導波路型光デバイス31の導波路真上のポイントであり、導波路真上は、導波路真上以外の面より10μm程度盛り上がっていることがわかる。
【0033】
また、図4において、測定波形54上のポイントD1は、測定開始ポイントで、ポイントD2は、平面導波路型光デバイス302の導波路真上のポイントである。
【0034】
データ処理部315は、作成した測定波形図から、測定波形51上のポイントA2とポイントA3とのY軸方向の差ΔY1、測定波形52上のポイントB2とポイントB3とのY軸方向の差ΔY2、測定波形51上のポイントA2と測定波形52上のポイントB2とのY軸方向の差ΔY3、測定波形51上のポイントA3と測定波形52上のポイントB3とのY軸方向の差ΔY4、測定波形51上のポイントA2とポイントA3のZ軸方向の差ΔZ1、測定波形52上のポイントB2とポイントB3とのZ軸方向の差ΔZ2、測定波形51上のポイントA1とポイントA2との傾きと、測定波形51上のポイントA3とポイントA4との傾きとの差Δθx1、測定波形52上のポイントB1とポイントB2との傾きと、測定波形52上のポイントB3とポイントB4との傾きとの差Δθx2、測定波形53上のポイントC1とポイントC2のとX軸方向の差ΔX1、測定波形54上のポイントD1とポイントD2とのX軸方向の差ΔX2を求める。なお、測定波形51上のポイントA1と測定波形52上のポイントB1とのX軸方向の差は、図3に示す測定エリア41の測定開始ポイントと測定エリア42の測定開始ポイントとの距離aとなる。
【0035】
データ処理部315は、作成した測定波形図から求めたΔX1、ΔX2、ΔY1、ΔY2、ΔY3、ΔY4、ΔZ1、ΔZ2、Δθx1、Δθx2、aにより、位置ずれ量ΔX、ΔY、ΔZと、回転ずれ量Δθx、Δθy、Δθzを求める。
【0036】
位置ずれ量ΔX、ΔY、ΔZと回転ずれ量Δθx、Δθy、Δθzとは、
ΔX=ΔX1−ΔX2、
ΔY=(ΔY1+ΔY2)/2、
ΔZ=(ΔZ1+ΔZ2)/2、
Δθx=(Δθ×1+Δθ×2)/2、
Δθy=tan−1・(ΔZ1−ΔZ2)/a、
Δθz=tan−1・(ΔY3−ΔY4)/a、
でそれぞれ算出される。
【0037】
モータ駆動制御部313は、データ処理部315により算出された位置ずれ量ΔX、ΔY、ΔZと、回転ずれ量Δθx、Δθy、Δθzとに基づいて、移動ステージ307または308と、移動ステージ305または306とを移動させて平面導波路型光デバイス部品301、302の対向する結合面の位置ずれおよび回転ずれを補正する。
【0038】
位置ずれおよび回転ずれの補正後、再度、測定エリア41、42、43、44を測定し、同様の手順で位置ずれ量ΔX、ΔY、ΔZと、回転ずれ量Δθx、Δθy、Δθzとをデータ処理部315により算出し、算出した位置ずれ量ΔX、ΔY、ΔZと、回転ずれ量Δθx、Δθy、Δθzとが閾値以上なら再度補正を行い、位置ずれ量ΔX、ΔY、ΔZと、回転ずれ量Δθx、Δθy、Δθzとが閾値以下になるまで測定と補正を繰り返す。
【0039】
位置ずれおよび回転ずれの補正終了後、光源311からの光を平面導波路型光デバイス部品301に入射して、データ処理部315は、モータ駆動制御部313により移動ステージ307または308を移動させながら平面導波路型光デバイス部品302から出射する光量を受光器312でモニタし、受光量が最大となる位置に調整する。
【0040】
その後、平面導波路型光部品301、302の結合面に紫外線硬化樹脂を滴下し、紫外線照射して接着固定する。なお、平面導波路型光部品301、302の結合面に紫外線硬化樹脂を滴下し、紫外線照射して接着固定する工程は、光源311からの光による光軸調整工程を省略して、位置ずれおよび回転ずれの補正後でもよい。
【0041】
以上説明したように、本実施の形態によれば、平面導波路型光デバイス部品301、302の結合面を近接させて対向させた状態で、レーザ測定する第一の工程と、測定データより回転ずれθx、θy、θzを算出し同時に補正する第二の工程とにより面合わせを行うことができるため、面合わせ工程を簡略化することができ、面合わせ時間を大幅に短縮することができるという効果を奏する。
【0042】
さらに、本実施の形態によれば、平面導波路デバイス部品301、302同士の結合面を近接させて対向させた状態で、レーザ測定器309を用いて測定した3次元位置データに基づいて面合わせ工程を行うことができるため、ズームレンズ付きCCDカメラと画像処理部とが必要なくなると共に、移動ステージ311および312のストロークを短くすることができるので、装置の構造を簡略化することができるという効果を奏する。
【0043】
さらに、本実施の形態によれば、平面導波路型光デバイス部品301、302の結合面を接近させた状態で、レーザ測定器309により位置ずれを高精度に補正するため、光導波路の位置ずれが小さく出射光をモニタしながらの光軸調整を短時間に行うことができるという効果を奏する。
【0044】
なお、本発明が上記各実施の形態に限定されず、本発明の技術思想の範囲内において、各実施の形態は適宜変更され得ることは明らかである。また、上記構成部材の数、位置、形状等は上記実施の形態に限定されず、本発明を実施する上で好適な数、位置、形状等にすることができる。なお、各図において、同一構成要素には同一符号を付している。
【0045】
【発明の効果】
本発明の光デバイス部品結合装置および光デバイス部品結合方法は、平面導波路型光デバイス部品の結合面を近接させて対向させた状態で、レーザ測定する第一の工程と、測定データより回転ずれθx、θy、θzを算出し同時に補正する第二の工程とにより面合わせを行うことができるため、面合わせ工程を簡略化することができ、面合わせ時間を大幅に短縮することができるという効果を奏する。
【0046】
さらに、本発明の光デバイス部品結合装置および光デバイス部品結合方法は、平面導波路デバイス部品同士の結合面を近接させて対向させた状態で、レーザ測定器を用いて測定した3次元位置データに基づいて面合わせ工程を行うことができるため、ズームレンズ付きCCDカメラと画像処理部とが必要なくなると共に、移動ステージのストロークを短くすることができるので、装置の構造を簡略化することができるという効果を奏する。
【0047】
さらに、本発明の光デバイス部品結合装置および光デバイス部品結合方法は、平面導波路型光デバイス部品の結合面を接近させた状態で、レーザ測定器により位置ずれを高精度に補正するため、光導波路の位置ずれが小さく出射光をモニタしながらの光軸調整を短時間に行うことができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る光デバイス部品結合装置の実施の形態の構成を示す全体概略図である。
【図2】図1に示す光デバイス部品結合装置で行われる面合わせおよび光軸調整の調整軸を示す図である。
【図3】図1に示すレーザ測定器によって測定される測定エリアを示す図である。
【図4】図1に示すデータ処理部によって3次元位置データから求められた測定波形図である。
【図5】結合された平面導波路型光デバイス部品の外観構成を示す斜視図である。
【図6】従来の光デバイス部品結合装置の構成を示す全体概略図である。
【符号の説明】
301、302 平面導波路型デバイス部品
303、304 部品保持部
305、306、307、308、310 移動ステージ
309 レーザ測定器
311 光源
312 受光器
313 モータ駆動制御部
314 トリガパルス発信部
315 データ処理部
41、42、43、44 測定エリア
51、52、53、54 測定波形
Claims (6)
- 2つの平面導波路型光デバイスを結合するために結合面の面合わせを行う光デバイス部品結合装置であって、
前記2つの平面導波路型光デバイスの結合面を対向させて保持した状態で、前記2つの平面導波路型光デバイスの光導波路が形成されている一方向の側面における前記2つの平面導波路型光デバイスを跨る2カ所の測定エリアと、前記2つの平面導波路型光デバイスのそれぞれの光導波路を横切る2カ所の測定エリアとの4カ所の測定エリアの3次元位置データを測定する位置データ測定手段と、
該位置データ測定手段によって測定された前記3次元位置データから回転ずれ量を算出するデータ処理手段と、
該データ処理手段により算出された前記回転ずれ量に基づいて前記2つの平面導波路型光デバイス間の回転ずれを調整する移動ステージ手段とを具備することを特徴とする光デバイス部品結合装置。 - 2つの平面導波路型光デバイスを結合するために結合面の面合わせと光軸調整とを行う光デバイス部品結合装置であって、
前記2つの平面導波路型光デバイスの結合面を対向させて保持した状態で、前記2つの平面導波路型光デバイスの光導波路が形成されている一方向の側面における前記2つの平面導波路型光デバイスを跨る2カ所の測定エリアと、前記2つの平面導波路型光デバイスのそれぞれの光導波路を横切る2カ所の測定エリアとの4カ所の測定エリアの3次元位置データを測定する位置データ測定手段と、
該位置データ測定手段によって測定された前記3次元位置データから位置ずれ量と回転ずれ量とを算出するデータ処理手段と、
該データ処理手段により算出された前記位置ずれ量と前記回転ずれ量とに基づいて前記2つの平面導波路型光デバイス間の位置ずれおよび回転ずれを調整する移動ステージ手段とを具備することを特徴とする光デバイス部品結合装置。 - 前記位置データ測定手段は、前記2つの平面導波路型光デバイスの側面からの距離を測定するレーザ測定器であることを特徴とする請求項1又は2記載の光デバイス部品結合装置。
- 2つの平面導波路型光デバイスを結合するために結合面の面合わせを行う光デバイス部品結合方法であって、
前記2つの平面導波路型光デバイスの結合面を対向させて保持した状態で、前記2つの平面導波路型光デバイスの光導波路が形成されている一方向の側面における前記2つの平面導波路型光デバイスを跨る2カ所の測定エリアと、前記2つの平面導波路型光デバイスのそれぞれの光導波路を横切る2カ所の測定エリアとの4カ所の測定エリアの3次元位置データを測定し、
該測定した前記3次元位置データから回転ずれ量を算出し、
該算出した前記回転ずれ量に基づいて前記2つの平面導波路型光デバイス間の回転ずれを調整することを特徴とする光デバイス部品結合方法。 - 2つの平面導波路型光デバイスを結合するために結合面の面合わせと光軸調整とを行う光デバイス部品結合方法であって、
前記2つの平面導波路型光デバイスの結合面を対向させて保持した状態で、前記2つの平面導波路型光デバイスの光導波路が形成されている一方向の側面における前記2つの平面導波路型光デバイスを跨る2カ所の測定エリアと、前記2つの平面導波路型光デバイスのそれぞれの光導波路を横切る2カ所の測定エリアとの4カ所の測定エリアの3次元位置データを測定し、
該測定した前記3次元位置データから位置ずれ量と回転ずれ量とを算出し、
該算出した前記位置ずれ量と前記回転ずれ量とに基づいて前記2つの平面導波路型光デバイス間の位置ずれおよび回転ずれを調整することを特徴とする光デバイス部品結合方法。 - レーザ測定器によって前記2つの平面導波路型光デバイスの一方向の側面からの距離を測定することで前記3次元位置データを測定することを特徴とする請求項4又は5記載の光デバイス部品結合方法。
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