JP4109174B2

JP4109174B2 - 分光装置

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Publication number: JP4109174B2
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Inventors: 久喜加藤
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Priority date: 2003-09-17
Filing date: 2003-09-17
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Description

本発明は、検出光を互いに異なる波長帯域の光に分光して各波長帯域の光を光検出器で検出する分光装置に関する。

従来におけるこの種の分光装置の一例として、下記の特許文献１に記載されたものがある。この分光装置においては、反射率の立上り波長が互いに異なる複数のダイクロイックミラーが当該波長の大小順に配列されてダイクロイックミラーアレイが構成されている。このダイクロイックミラーアレイによる光の反射側には、ダイクロイックミラーアレイと対向するように平面鏡が配置されている。また、ダイクロイックミラーアレイによる光の透過側には、ダイクロイックミラーの配列方向に沿って配列された複数の受光素子を有する受光素子アレイが配置されている。

以上のように構成された分光装置では、一端に位置するダイクロイックミラーに平面鏡側から平行光が斜めに入射すると、そのダイクロイックミラーの反射率の立ち上がり波長以上の光は反射され、当該波長以下の光は透過する。反射された光は平面鏡により反射されて隣りのダイクロイックミラーに入射し、以降、他端に位置するダイクロイックミラーに到達するまで光の反射及び透過が繰り返される。このようにして各ダイクロイックミラーを互いに異なる波長帯域の光が透過することで平行光が分光される。そして、各ダイクロイックミラーを透過した光は、ダイクロイックミラーの配列方向に沿って配列された受光素子によって受光される。
特開平１０−６２２４６号公報

しかしながら、上述した分光装置にあっては、各ダイクロイックミラーを透過した光が各受光素子の受光面に対して斜めに入射することになるため、隣り合う受光素子間でクロストークが発生するおそれがある。

そこで、本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、互いに異なる波長帯域の光を受光するに際しクロストークの発生を抑制することができる分光装置を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、本発明に係る分光装置は、検出光を互いに異なる波長帯域の光に分光して各波長帯域の光を光検出器の受光面で受光する分光装置であって、受光面に対し所定の傾斜角度をもって受光面と対面する平面と略平行となるように、長波長帯域側が光透過帯域であって且つ光透過帯域の最短波長が互いに異なる複数のダイクロイックミラーが平面の傾斜方向に沿って最短波長が大きい順に配列されているダイクロイックミラーアレイと、ダイクロイックミラーアレイによる光の反射側に配置され、ダイクロイックミラーと略平行に対面する反射面が形成された反射部材と、受光面とダイクロイックミラーアレイとの間に配置され、ダイクロイックミラーのそれぞれを透過した光が透過する複数のバンドパスフィルタと、を備え、平面は、最短波長が最大のダイクロイックミラー側に比べ、最短波長が最小のダイクロイックミラー側の方が受光面に近くなり、且つ、受光面の垂線方向においてダイクロイックミラーのそれぞれに対応する位置にバンドパスフィルタが配置されるように傾斜し、最短波長が最大のダイクロイックミラーには、検出光が受光面の垂線方向に沿って入射し、光検出器はリニアマルチアノード型の光電子増倍管であることを特徴とする。

この分光装置においては、光透過帯域の最短波長が最大のダイクロイックミラーに対し、検出光が光検出器の受光面の垂線方向に沿って入射するため、当該ダイクロイックミラーを透過した光は受光面にほぼ垂直に入射する。一方、当該ダイクロイックミラーにより反射された光は、ダイクロイックミラーアレイによる光の反射側に配置された反射部材の反射面により反射される。このとき、各ダイクロイックミラーは、最短波長が最大のダイクロイックミラー側に比べ、最短波長が最小のダイクロイックミラー側の方が受光面に近くなるように傾斜する平面と略平行に配置されていると共に、反射部材の反射面と略平行に対面しているので、反射面により反射された光は、光透過帯域の最短波長が２番目に大きいダイクロイックミラーに対し受光面の垂線方向に沿って入射することになる。そのため、最短波長が２番目に大きいダイクロイックミラーを透過した光も受光面にほぼ垂直に入射する。このようにして、光透過帯域の最短波長が最小のダイクロイックミラーに到達するまで光の反射及び透過が繰り返され、各ダイクロイックミラーを透過した光（互いに異なる波長帯域の光）は、すべて光検出器の受光面にほぼ垂直に入射することになる。従って、互いに異なる波長帯域の光を受光する際に光検出器においてクロストークが発生するのを抑制することができる。また、受光面とダイクロイックミラーアレイとの間において、受光面の垂線方向においてダイクロイックミラーのそれぞれに対応する位置には、バンドパスフィルタが配置されている。これにより、各ダイクロイックミラーを透過した光はバンドパスフィルタを透過することになるため、波長弁別性を向上させることができる。従って、検出光を分光する際の分解能を向上させることが可能になる。しかも、各ダイクロイックミラーを透過した光はバンドパスフィルタにほぼ垂直に入射することになるため、バンドパスフィルタを透過した光の波長域がシフトするのを防止することができる。更に、光検出器がリニアマルチアノード型の光電子増倍管であるため、分光された各波長帯域の光を高精度に検出することができる。

また、本発明に係る分光装置は、検出光を互いに異なる波長帯域の光に分光して各波長帯域の光を光検出器の受光面で受光する分光装置であって、受光面に対し所定の傾斜角度をもって受光面と対面する平面と略平行となるように、短波長帯域側が光透過帯域であって且つ光透過帯域の最長波長が互いに異なる複数のダイクロイックミラーが平面の傾斜方向に沿って最長波長が小さい順に配列されているダイクロイックミラーアレイと、ダイクロイックミラーアレイによる光の反射側に配置され、ダイクロイックミラーと略平行に対面する反射面が形成された反射部材と、受光面とダイクロイックミラーアレイとの間に配置され、ダイクロイックミラーのそれぞれを透過した光が透過する複数のバンドパスフィルタと、を備え、平面は、最長波長が最小のダイクロイックミラー側に比べ、最長波長が最大のダイクロイックミラー側の方が受光面に近くなり、且つ、受光面の垂線方向においてダイクロイックミラーのそれぞれに対応する位置にバンドパスフィルタが配置されるように傾斜し、最長波長が最小のダイクロイックミラーには、検出光が受光面の垂線方向に沿って入射し、光検出器はリニアマルチアノード型の光電子増倍管であることを特徴とする。

この分光装置は、短波長帯域側が光透過帯域であるダイクロイックミラーが用いられている点で、長波長帯域側が光透過帯域であるダイクロイックミラーが用いられた上記分光装置と異なっている。従って、この分光装置においては、光透過帯域の最長波長が互いに異なる複数のダイクロイックミラーを最長波長が小さい順に配列することで、上記分光装置と同様に、互いに異なる波長帯域の光を受光する際に光検出器においてクロストークが発生するのを抑制することができる。また、受光面とダイクロイックミラーアレイとの間において、受光面の垂線方向においてダイクロイックミラーのそれぞれに対応する位置には、バンドパスフィルタが配置されている。従って、上記分光装置と同様に、検出光を分光する際の分解能を向上させることが可能になると共に、バンドパスフィルタを透過した光の波長域がシフトするのを防止することができる。更に、光検出器がリニアマルチアノード型の光電子増倍管であるため、分光された各波長帯域の光を高精度に検出することができる。

以上説明したように、本発明によれば、互いに異なる波長帯域の光を受光するに際しクロストークの発生を抑制することができる。

以下、本発明に係る分光装置の好適な実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、図面の説明において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。

［第１実施形態］
図１及び図２に示すように、分光装置１は、リニアマルチアノード型の光電子増倍管（光検出器）２を備えている。この光電子増倍管２は四角柱状の金属製側管３を有しており、この側管３の一端側の開口部には、ガラス等の光透過性材料により形成された矩形状の光入射板４が融着等により気密に固定されている。この光入射板４は、図２において紙面に垂直な方向（以下、「幅方向」という）に延在する複数の光遮蔽板６によって等間隔に仕切られ、これにより、光入射板４には、幅方向に延在する光入射部４ａが複数形成されることになる。また、光入射板４の内側表面には光電面（受光面）７が形成されている。

一方、側管３の他端側の開口部には、ガラス等の絶縁性材料により形成された矩形状のステム８が取り付けられている。より具体的には、ステム８には、その側面を取り囲む金属製の包囲部材９が融着等により気密に固定されており、この包囲部材９の一端に形成されたフランジ９ａと、側管３の他端に形成されたフランジ部３ａとが抵抗溶接等により気密に接合されている。

このように側管３、光入射板４及びステム８等により形成された真空空間Ｓ内には、複数層のダイノード１１を有するメタルチャンネルダイノード１２が設置されている。また、真空空間Ｓ内においてメタルチャンネルダイノード１２と光電面７との間には、平板状の収束電極１３が設置されている。この収束電極１３には、幅方向に延在する複数のスリット１３ａが形成されており、各スリット１３ａは、光電面７の垂線方向において光入射板４の各光入射部４ａと対向している。

更に、真空空間Ｓ内においてメタルチャンネルダイノード１２とステム８との間には、幅方向に延在する複数のマルチアノード１４がリニアに配列され、各マルチアノード１４は、光電面７の垂線方向において光入射板４の各光入射部４ａと対向している。なお、ステム８の内側表面には、隣り合うマルチアノード１４，１４間を隔てる隔壁１６が立設され、クロストークの発生が抑制されている。また、各マルチアノード１４には、出力信号を取り出すためのステムピン１７の一端が接続されており、各ステムピン１７の他端は、ステム８を気密に貫通して外部に突出している。

以上のように構成された光電子増倍管２においては、光電面７の垂線方向において対向する光入射部４ａとマルチアノード１４との間に位置する収束電極１３のスリット１３ａ及びメタルチャンネルダイノード１２の電子通過孔によって複数のチャンネルＣ_ｍ（ここでは、ｍ＝１〜８）が形成される。従って、光電子増倍管１は、リニアに配列された複数のチャンネルＣ_ｍを有することになる。

ここで、任意の１つのチャンネルＣ_ｍに着目して光電子増倍作用について説明する。光入射部４ａを透過した光が光電面７に照射されると、光電面７内の電子が励起され、真空空間Ｓ中に光電子が放出される。放出された光電子は収束電極１３のスリット１３ａを通って最前段のダイノード１１上に収束される。これにより、光電子は、光入射部４ａとマルチアノード１４との間に位置する電子通過孔を通りながら、メタルチャンネルダイノード１２により増倍され、最後段のダイノード１２から二次電子群が放出される。この二次電子群はマルチアノード１４に到達し、このマルチアノード１４に接続されたステムピン１７を介して出力信号が送出される。

また、図１及び図３に示すように、光電子増倍管２の光入射板４の光入射側には、光入射部４ａの配列方向に沿って所定の傾斜角度θ（ここでは、θ＝１２度）をもって傾斜するダイクロイックミラーアレイ２１が配置されている。このダイクロイックミラーアレイ２１においては、光電面７に対し傾斜角度θをもって光電面７と対面する平面Ｐ上に、長波長帯域側が光透過帯域であって且つ光透過帯域の最短波長が互いに異なる複数のダイクロイックミラーＤＭ_ｎ（ここでは、ｎ＝１〜８）が平面Ｐの傾斜方向に沿って最短波長が大きい順に配列されている。各ダイクロイックミラーＤＭ_ｎは、図３において紙面に垂直な方向（以下、「幅方向」という）に延在し、光電面７の垂線方向において各光入射部４ａと対向している。そして、最短波長が最大のダイクロイックミラーＤＭ_１と光電面７との距離は、最短波長が最小のダイクロイックミラーＤＭ_８と光電面７との距離に比べ大きくなっている。

ここで、長波長帯域側が光透過帯域である場合の光透過帯域の最短波長とは、図４に示すように、例えば、各ダイクロイックミラーＤＭ_ｎにおいて光透過率が５０％のときの波長α_ｎを意味する。なお、ダイクロイックミラーアレイ２１においては、ダイクロイックミラーＤＭ_８，ＤＭ_７，ＤＭ_６・・・ＤＭ_１という順序で光透過帯域の最短波長α_ｎが徐々に大きくなっているものとする。

更に、図１及び図３に示すように、ダイクロイックミラーアレイ２１による光の反射側には、ブロック状のガラス製反射部材２３が配置されている。この反射部材２３には、ダイクロイックミラーアレイ２１と略平行に対面する主鏡面（反射面）２３ａと、光電面７に対し４５度の角度をもち且つ光電面７の垂線方向においてダイクロイックミラーＤＭ_１と対面する光導入鏡面２３ｂとが形成されている。

また、光電面７とダイクロイックミラーアレイ２１との間において、光電面７の垂線方向においてダイクロイックミラーＤＭ_ｎのそれぞれに対応する位置には、幅方向に延在するバンドパスフィルタ２４が配置されている。各バンドパスフィルタ２４は、光入射板４の外側表面に取り付けられており、隣り合うバンドパスフィルタ２４，２４は、幅方向に延在する光遮蔽板２６によって仕切られている。なお、光電面７の垂線方向において対応する各ダイクロイックミラーＤＭ_ｎとバンドパスフィルタ２４との間には光通過路Ｒが形成されており、隣り合う光通過路Ｒ，Ｒは、幅方向に延在する光遮光部材２７によって仕切られている。

以上のように構成された分光装置１における検出光の分光作用について説明する。図１に示すように、平行光に整形された検出光は、光電面７と平行に且つ光入射部４ａの配列方向に沿って反射部材２３の光導入鏡面２３ｂに入射する。この光導入鏡面２３ｂは光電面７に対し４５度の角度をもち且つ光電面７の垂線方向においてダイクロイックミラーＤＭ_１と対面しているので、検出光は光導入面２３ｂにより９０度折り曲げられるように反射され、光電面７の垂線方向に沿ってダイクロイックミラーＤＭ_１に入射する。そのため、ダイクロイックミラーＤＭ_１を透過した光（主に波長α_１より長波長帯域の光）は、バンドパスフィルタ２４及び光入射部４ａを透過して光電面７にほぼ垂直に入射する。

一方、ダイクロイックミラーＤＭ_１により反射された光（主に波長α_１より短波長帯域の光）は、反射部材２３の主鏡面２３ａにより反射される。このとき、ダイクロイックミラーアレイ２１は、最短波長が最大のダイクロイックミラーＤＭ_１側に比べ最短波長が最小のダイクロイックミラーＤＭ_８側のほうが光電面７に近くなるように傾斜していると共に、主鏡面２３ａと略平行に対面しているので、主鏡面２３ａにより反射された光は、光透過帯域の最短波長が２番目に大きいダイクロイックミラーＤＭ_２に対し光電面７の垂線方向に沿って入射することになる。そのため、ダイクロイックミラーＤＭ_２を透過した光（主に、波長α_１より短波長帯域の光のうち、波長α_２より長波長帯域の光）も、バンドパスフィルタ２４及び光入射部４ａを透過して光電面７にほぼ垂直に入射する。

このようにして、光透過帯域の最短波長が最小のダイクロイックミラーＤＭ_８に到達するまで光の反射及び透過が繰り返され、各ダイクロイックミラーＤＭ_ｎを透過した光（互いに異なる波長帯域の光）は、すべてバンドパスフィルタ２４及び光入射部４ａを透過して光電面７にほぼ垂直に入射することになる。従って、互いに異なる波長帯域の光を受光する際に光電子増倍管２においてクロストークが発生するのを抑制することができ、各チャンネルＣ_ｍの出力信号を精度良く取り出すことが可能になる。

ところで、ダイクロイックミラーには入射角４５度で光を入射させるのが一般的である。しかしながら、図５に示すように、入射角を４５度から徐々に小さくしていくと、光透過率特性の立上り部分がより急峻且つ直線状となる。このことは、ダイクロイックミラーへの光の入射角が小さくなるほど波長弁別性が向上することを意味している。上述した分光装置１においては、光電面７に対する傾斜角度θが１２度である平面Ｐ上に各ダイクロイックミラーＤＭ_ｎが配列されており、各ダイクロイックミラーＤＭ_ｎには光電面７の垂線方向に沿って光が入射するため、各ダイクロイックミラーＤＭ_ｎに対する光の入射角は１２度となる。従って、分光装置１は、各ダイクロイックミラーＤＭ_ｎの波長弁別性が高いものとなっている。このような観点から、傾斜角度θは１５度以下であることが好ましい。なお、光電面７に対する傾斜角度θが１２度である平面Ｐ上に各ダイクロイックミラーＤＭ_ｎを配列することで、例えば、光電面７に対して４５度傾斜させて各ダイクロイックミラーＤＭ_ｎを配列したような分光装置に比べ、分光装置１の小型化が可能になる。

また、上述したように、各ダイクロイックミラーＤＭ_ｎを透過した光はバンドパスフィルタ２４を透過することになるため、波長弁別性をより一層向上させることができる。従って、検出光を分光する際の分解能を向上させることが可能になる。しかも、各ダイクロイックミラーＤＭ_ｎを透過した光はバンドパスフィルタ２４にほぼ垂直に入射することになるため、バンドパスフィルタ２４を透過した光の波長域がシフトするのを防止することができる。

［第２実施形態］
第２実施形態の分光装置１は、ダイクロイックミラーアレイ２１及び反射部材２３の構成が第１実施形態の分光装置１と異なるものである。従って、以下、ダイクロイックミラーアレイ２１及び反射部材２３の構成について主に説明し、他の構成についての説明を省略する。

図６及び図７に示すように、分光装置１は、光電子増倍管２の光入射板４の光入射側に配置されたダイクロイックミラーアレイ２１を有している。このダイクロイックミラーアレイ２１においては、光電面７に対し傾斜角度θ（ここでは、θ＝１２度）をもって光電面７と対面する平面Ｐと略平行となるように、長波長帯域側が光透過帯域であって且つ光透過帯域の最短波長が互いに異なる複数のダイクロイックミラーＤＭ_ｎ（ここでは、ｎ＝１〜８）が平面Ｐの傾斜方向に沿って最短波長が大きい順に配列されている。各ダイクロイックミラーＤＭ_ｎは、図７において紙面に垂直な方向（以下、「幅方向」という）に延在し、光電面７の垂線方向において各光入射部４ａと対向している。なお、平面Ｐは、最短波長が最大のダイクロイックミラーＤＭ_１側に比べ、最短波長が最小のダイクロイックミラーＤＭ_８側の方が受光面に近くなるように傾斜している。

また、ダイクロイックミラーアレイ２１による光の反射側には、ブロック状のガラス製反射部材２３が配置されている。この反射部材２３には、各ダイクロイックミラーＤＭ_ｎのそれぞれと略平行に対面する主鏡面（反射面）２３ａと、光電面７に対し４５度の角度をもち且つ光電面７の垂線方向においてダイクロイックミラーＤＭ_１と対面する光導入鏡面２３ｂとが形成されている。

以上のようにダイクロイックミラーアレイ２１及び反射部材２３が構成された第２実施形態の分光装置１における検出光の分光作用について説明する。図６に示すように、平行光に整形された検出光は、光電面７と平行に且つ光入射部４ａの配列方向に沿って反射部材２３の光導入鏡面２３ｂに入射する。この光導入鏡面２３ｂは光電面７に対し４５度の角度をもち且つ光電面７の垂線方向においてダイクロイックミラーＤＭ_１と対面しているので、検出光は光導入面２３ｂにより９０度折り曲げられるように反射され、光電面７の垂線方向に沿ってダイクロイックミラーＤＭ_１に入射する。そのため、ダイクロイックミラーＤＭ_１を透過した光（主に波長α_１より長波長帯域の光）は、バンドパスフィルタ２４及び光入射部４ａを透過して光電面７にほぼ垂直に入射する。

一方、ダイクロイックミラーＤＭ_１により反射された光（主に波長α_１より短波長帯域の光）は、反射部材２３においてダイクロイックミラーＤＭ_１と対面する主鏡面２３ａにより反射される。このとき、各ダイクロイックミラーＤＭ_ｎは、最短波長が最大のダイクロイックミラーＤＭ_１側に比べ、最短波長が最小のダイクロイックミラーＤＭ_８側の方が受光面に近くなるように傾斜する平面Ｐと略平行に配置されていると共に、反射部材２３の各主鏡面２３ａと略平行に対面しているので、主鏡面２３ａにより反射された光は、光透過帯域の最短波長が２番目に大きいダイクロイックミラーＤＭ_２に対し光電面７の垂線方向に沿って入射することになる。そのため、ダイクロイックミラーＤＭ_２を透過した光（主に、波長α_１より短波長帯域の光のうち、波長α_２より長波長帯域の光）も、バンドパスフィルタ２４及び光入射部４ａを透過して光電面７にほぼ垂直に入射する。

また、第２実施形態の分光装置１においては、第１実施形態の分光装置１に比べ、各ダイクロイックミラーＤＭ_ｎと光電面７との距離が短くなるため、各ダイクロイックミラーＤＭ_ｎを透過した光の光路長が短くなる。従って、第１実施形態の分光装置１に比べ、各ダイクロイックミラーＤＭ_ｎと光電面７との間における光の発散を抑制することができ、クロストークの軽減化をより一層促進させることが可能になる。しかも、第１実施形態の分光装置１に比べ、各ダイクロイックミラーＤＭ_ｎと光電面７との距離が短くなるため、分光装置１の小型化をより一層促進させることも可能になる。

本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。

例えば、ダイクロイックミラーアレイ２１において、光電面７に対し傾斜角度θをもって光電面７と対面する平面Ｐ上に、短波長帯域側が光透過帯域であって且つ光透過帯域の最長波長が互いに異なる複数のダイクロイックミラーＤＭ_ｎを最長波長が小さい順に配列してもよい。この場合には、最長波長が最小のダイクロイックミラーＤＭ_１と光電面７との距離を、最小波長が最大のダイクロイックミラーＤＭ_８と光電面７との距離に比べ大きくする。

ここで、短波長帯域側が光透過帯域である場合の光透過帯域の最長波長とは、図８に示すように、例えば、各ダイクロイックミラーＤＭ_ｎにおいて光透過率が５０％のときの波長β_ｎを意味する。なお、この場合のダイクロイックミラーアレイ２１においては、ダイクロイックミラーＤＭ_１，ＤＭ_２，ＤＭ_３・・・ＤＭ_８という順序で光透過帯域の最長波長β_ｎが徐々に大きくなっているものとする。

このように、この場合の分光装置１は、短波長帯域側が光透過帯域であるダイクロイックミラーＤＭ_ｎが用いられている点で、長波長帯域側が光透過帯域であるダイクロイックミラーＤＭ_ｎが用いられた上記実施形態の分光装置１と異なっている。従って、この場合の分光装置１においては、光透過帯域の最長波長が互いに異なる複数のダイクロイックミラーＤＭ_ｎを最長波長が小さい順に配列することで、上記実施形態の分光装置１と同様に、互いに異なる波長帯域の光を受光する際に光電子増倍管２においてクロストークが発生するのを抑制することができる。

また、上記実施形態では、分光された各波長帯域の光を高精度に検出すべく、光検出器としてリニアマルチアノード型の光電子増倍管２を用いたが、フォトダイオードアレイやリニアＣＣＤ等を光検出器として用いてもよい。

本発明に係る分光装置の第１実施形態を示す断面図ある。図１の分光装置の光電子増倍管を示す拡大断面図である。図１の分光装置のダイクロイックミラーアレイ周辺部分を示す拡大断面図である。長波長帯域側が光透過帯域である場合の光透過帯域の最小波長を説明するためのグラフである。ダイクロイックミラーにおける入射角毎の光透過率特性の一例を示すグラフである。本発明に係る分光装置の第２実施形態を示す断面図ある。図６の分光装置のダイクロイックミラーアレイ周辺部分を示す拡大断面図である。短波長帯域側が光透過帯域である場合の光透過帯域の最大波長を説明するためのグラフである。

符号の説明

１…分光装置、２…光電子増倍管（光検出器）、７…光電面（受光面）、２１…ダイクロイックミラーアレイ、２３…反射部材、２３ａ…主鏡面（反射面）、２４…バンドパスフィルタ、ＤＭ_ｎ…ダイクロイックミラー、Ｐ…平面。

Claims

検出光を互いに異なる波長帯域の光に分光して各波長帯域の光を光検出器の受光面で受光する分光装置であって、
前記受光面に対し所定の傾斜角度をもって前記受光面と対面する平面と略平行となるように、長波長帯域側が光透過帯域であって且つ前記光透過帯域の最短波長が互いに異なる複数のダイクロイックミラーが前記平面の傾斜方向に沿って前記最短波長が大きい順に配列されているダイクロイックミラーアレイと、
前記ダイクロイックミラーアレイによる光の反射側に配置され、前記ダイクロイックミラーと略平行に対面する反射面が形成された反射部材と、
前記受光面と前記ダイクロイックミラーアレイとの間に配置され、前記ダイクロイックミラーのそれぞれを透過した光が透過する複数のバンドパスフィルタと、を備え、
前記平面は、前記最短波長が最大の前記ダイクロイックミラー側に比べ、前記最短波長が最小の前記ダイクロイックミラー側の方が前記受光面に近くなり、且つ、前記受光面の垂線方向において前記ダイクロイックミラーのそれぞれに対応する位置に前記バンドパスフィルタが配置されるように傾斜し、
前記最短波長が最大の前記ダイクロイックミラーには、前記検出光が前記受光面の垂線方向に沿って入射し、
前記光検出器はリニアマルチアノード型の光電子増倍管であることを特徴とする分光装置。
検出光を互いに異なる波長帯域の光に分光して各波長帯域の光を光検出器の受光面で受光する分光装置であって、
前記受光面に対し所定の傾斜角度をもって前記受光面と対面する平面と略平行となるように、短波長帯域側が光透過帯域であって且つ前記光透過帯域の最長波長が互いに異なる複数のダイクロイックミラーが前記平面の傾斜方向に沿って前記最長波長が小さい順に配列されているダイクロイックミラーアレイと、
前記ダイクロイックミラーアレイによる光の反射側に配置され、前記ダイクロイックミラーと略平行に対面する反射面が形成された反射部材と、
前記受光面と前記ダイクロイックミラーアレイとの間に配置され、前記ダイクロイックミラーのそれぞれを透過した光が透過する複数のバンドパスフィルタと、を備え、
前記平面は、前記最長波長が最小の前記ダイクロイックミラー側に比べ、前記最長波長が最大の前記ダイクロイックミラー側の方が前記受光面に近くなり、且つ、前記受光面の垂線方向において前記ダイクロイックミラーのそれぞれに対応する位置に前記バンドパスフィルタが配置されるように傾斜し、
前記最長波長が最小の前記ダイクロイックミラーには、前記検出光が前記受光面の垂線方向に沿って入射し、
前記光検出器はリニアマルチアノード型の光電子増倍管であることを特徴とする分光装置。