JP4107474B2 - 記録媒体の製造方法及び製造装置 - Google Patents
記録媒体の製造方法及び製造装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4107474B2 JP4107474B2 JP2002025037A JP2002025037A JP4107474B2 JP 4107474 B2 JP4107474 B2 JP 4107474B2 JP 2002025037 A JP2002025037 A JP 2002025037A JP 2002025037 A JP2002025037 A JP 2002025037A JP 4107474 B2 JP4107474 B2 JP 4107474B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- adhesive
- inner peripheral
- recording medium
- mounting table
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】
この発明は、ＤＶＤ用光記録媒体等の光記録媒体の製造方法及び製造装置に関するものであり、貼り合わされる上下の基板間に空気を吹き込んで、その風圧により、環状に塗布された接着剤の頂部を突出した状態に変形させて、上基板を接着剤の頂部に線接触させることで、両基板間の接着層に気泡が混入することを回避するものについて、上記両基板間に吹き込まれる空気による下基板の内周部の上下方向のばたつきを防いで、このばたつきによる不具合を、効果的に回避することができるものである。
なお、この発明は、記録媒体基板の貼り合わせに限らず、薄膜やプラスチック板やガラス板や、曲面体のレンズの貼り合わせに適用しても有効である。
【０００２】
【従来技術】
高密度の光学式情報記録媒体としてＤＶＤ等が知られている。このような高密度の光学式光情報記録媒体は上基板と下基板とを接着剤層を介して貼り合わせて製作されるが、貼り合わせ工程において上記接着剤層に気泡が混入することがあり、接着剤層に気泡が混入すると、光学式光情報記録媒体に重大な欠陥を生じるので、この気泡の混入を完全に回避するための工夫が種々になされている。この工夫の一つとして、基板貼合せを真空雰囲気で行うものがあり、その一例が特開平９−１９８７２０号公報、特開平１１−６６６４５号公報に記載されている。他方、接着剤層に気泡が混入する現象を分析し、この解析結果を踏まえて、上基板と環状接着剤の頂点とを線接触させることによって接着剤への気泡の混入を防止するものがあり、その一例が特開２０００−２９０６０２号公報に記載されている。後者は、下基板上に環状に塗布された接着剤の頂部に上基板が接触する前の段階で、上下基板の間に電解を形成し、この電解の吸引力によって下基板上の環状接着剤の頂部を上方に突出させて先細りにし、これによって上基板と環状接着剤の頂部との接触開始時の接着面積を可及的に小さくして、上記の気泡の混入を回避するものである。
【０００３】
上記特開２０００−２９０６０２号公報に記載されているものは、電界をかけて、下基板上の環状接着剤の頂部を上方に突出させて先細りにするものであるが、他方、至近距離で対向している上下基板間に空気を吹き込んで、その空気圧で環状接着剤の頂部を上方に突出した状態に変形させる方法が工夫されている（特願２００１−２６４７２６号。以下これを、「先行技術」という）。本発明は、この先行技術を基本とするものであり、当該先行技術における不具合を解消して、その実施効果を一層向上させることをその目的とするものである。
【０００４】
次いで、本発明の前提たる先行技術の概略を図７、図８に基づいて説明する。
図７に示す基板貼合装置の基本構造は極めて一般的なものであり、ターンテーブルの載置テーブル５１に載せられ、センターボス５１ａによって位置決めされ、真空排気路５１ｂで吸着された記録基板（上記下基板に相当）Ｄａの上面に接着剤５２を環状に塗布し、吸着ヘッド５３の吸着パッド５３ａに吸着、保持されたカバー基板（上記上基板に相当）Ｄｂを下降させて上記記録基板Ｄａに重ね合わせて、接着剤５２を介して接着させて貼り合わせるものである。
先行技術においては、吸着ヘッド５３の支持アーム５４に気体送込みユニット５５を設けてあり、当該気体送込みユニット５５の気体吐出部５５ａの下端に環状弾性部材５５ｂを設けてある。
【０００５】
カバー基板Ｄｂが吸着ヘッド５３に吸着されたとき、上記気体吐出部５５ａの下端の環状弾性部材５５ｂがカバー基板Ｄｂの内周部上面に当接する。
上記気体吐出部５５ａの上部が気体送込みユニット５５のホルダ５５ｃに上下動自在に嵌合しており、バネ５５ｄによって軽く下方に付勢されている。
カバー基板Ｄｂは吸着ヘッド５３に吸着保持された状態で、ロボットアーム５６が下降するに連れて、その下面が記録基板Ｄａ上面に塗布された接着剤５２に接近する。この段階で、気体供給装置から気体送込みユニット５５に給気され、気体吐出部５５ａから空気が吹き出される。気体吐出部５５ａから吹き出された空気が半径方向外方に流れ、図８（Ａ）に示すように、接着剤５２を半径方向外方に変形させる。カバー基板Ｄｂの下面が接着剤に接近した段階では、接着剤は、図８（Ｂ）に示すように、風圧でその頂部が上方に突出した状態に変形するので、カバー基板Ｄｂの下面は、上方に突出した接着剤５２の頂部にほぼ線状に接触することになる。
【０００６】
【解決しようとする課題】
以上が先行技術の概略であるが、これには次のような問題がある。
環状の接着剤５２の半径が小さい場合や、カバー基板Ｄｂの降下速度が速い場合は、環状の接着剤５２に囲まれた空間の圧力が急激に変動する。他方、記録基板Ｄａは真空排気路５１ｂからの真空によって載置テーブル５１の上面に吸着されているが、センターボス５１ａと記録基板Ｄａの中心孔内面との間に間隙があり、この間隙を介して、上記空間の圧力変動が記録基板Ｄａ内周部下面側に漏れる場合がある。この場合、上記空間の圧力の急激な変動の影響によって記録基板Ｄａ内周部が微小にばたつく（上下に微小に振動すること）。このように記録基板Ｄａ内周部が微小にばたつくと、気体送風による外周側展延動作中の接着剤の頂部とカバー基板Ｄｂとの距離が変動するため、カバー基板Ｄｂ下面に接着剤５２が接触し、その接着剤５２のカバー基板Ｄｂ下面に沿って延展する状態が、その周方向において不均一になる。そうすると、接着剤５２が、上記展延途中において部分的にカバー基板Ｄｂと接触する。そして、この接触が面接触となって、気泡が接着剤５２に巻き込まれる可能性があり、記録基板Ｄａの内周部の上記ばたつきが激しいほどこの可能性が高くなる。接着剤５２によって囲まれた空間の圧力変動が記録基板内周部下面側に漏れても、記録基板内周部がばたつかないように、これをその間拘束すること、あるいは、接着剤５２によって囲まれた空間の圧力変動が記録基板内周部下面側に漏れないようにすることによって、記録基板Ｄａの内周部の上記ばたつきに因って、接着剤５２に気泡が巻き込まれる可能性を解消することができる。
【０００７】
この発明は、上記接着剤に気泡が巻き込まれる可能性をなくするために、基板上面に環状に塗布された接着剤５２によって囲まれた空間の圧力変動が記録基板内周部下面側に漏れても、記録基板内周部がばたつかないように、記録基板内周部を拘束できるようにすることを第１の課題とし、また、接着剤５２によって囲まれた空間の圧力変動が記録基板内周部下面側に漏れないように、センターボス５１ａと記録基板Ｄａの中心孔内面との間の隙間を密封することを第２の課題とするものである。
【０００８】
【課題解決のために講じた手段】
【解決手段１】
上記第１の課題を解決するために講じた手段１は、載置テーブルに吸着保持され、環状に接着剤が塗布されている第１基板に、ロボットアームの吸着ヘッドに吸着保持された第２基板を接近させ、上記接着剤に上記第２基板が接触する瞬間及びその前後を含む短時間に第１基板と第２基板との間に空気を吹き込んで、上記接触前の時点において上記接着剤を半径方向に風圧で押してその頂部を突出した状態に変形させ、さらに第２基板を第１基板に接近させて、接着剤に第２基板を接触させ、その後、第２基板を第１基板に接近させて、接着剤を介して第１基板と第２基板とを接着させる記録媒体の製造方法を前提技術として、次の（イ）（ロ）によって構成されるものである。
（イ）載置テーブルの内周上部に設けた保持手段によって、載置テーブル上面に載置された基板内周部を保持して上下方向に拘束すること、
（ロ）第１基板と第２基板の間への気体送込み停止後に、上記保持手段による基板内周部に対する保持を解除すること。
【０００９】
【作用】
第１基板と第２基板との間に気体が吹き込まれる前乃至は第２基板が第１基板上の環状接着剤の上端に接近する前に、載置テーブルに載置された第１基板内周部が上記保持手段によって保持されて、上下方向に拘束されているから、第１基板上面に環状に塗布された接着剤で囲まれた空間の圧力変動が第１基板内周部の下面側に波及しても、第２基板が第１基板上の環状接着剤の上端に接触し始める段階において第１基板内周部がばたつくことはない。
そして、少なくとも、第１基板と第２基板の間への気体の送込み停止後においては、保持手段による第１基板の内周部に対する拘束は解除されているので、接着された基板の載置テーブルからの取り外し作業に支障を生じることはない。
【００１０】
【解決手段２】
（請求項１に対応）
上記第２の課題を解決するために講じた手段２は、載置テーブルに吸着保持され、接着剤が環状に塗布されている第１基板に、ロボットアームの吸着ヘッドに吸着保持された第２基板を接近させ、上記接着剤に上記第２基板が接触する瞬間及びその前後を含む短時間に第１基板と第２基板との間に空気を吹き込んで、上記接触前の時点において上記接着剤を半径方向に風圧で押してその頂部を突出した状態に変形させ、当該状態の接着剤に第２基板を接触させ、さらに第２基板を第１基板に接近させて、接着剤を介して第１基板と第２基板とを接着させる記録媒体の製造方法を前提技術として、次の（イ）（ロ）によって構成されるものである。
（イ）第１基板と第２基板との間に気体が吹き込まれているとき、載置テーブルのセンターボス外周に設けた弾性シール材を半径方向外側に膨らませて、上記載置テーブル吸着保持された第１基板の中心孔内周面に圧接させることによって、センターボスと第１基板の中心孔内周面との間の間隙を密封すること、
（ロ）第１基板と第２基板の間への気体送込み停止後に、上記弾性シール材を半径方向に縮小させて上記第１基板内周面から離間させること。
【００１１】
【作用】
第１基板と第２基板との間に気体が吹き込まれる前乃至は第２基板が第１基板上の環状接着剤の上端に接触し始める前に、載置テーブルのセンターボス外周に設けた弾性シール材を半径方向外側に膨らませて、上記載置テーブルに吸着保持された第１基板の中心孔内周面に圧接させることによって、センターボスと第１基板内周面との間の間隙を密封することで、第１基板の環状の接着剤で囲まれた空間の上記風圧による圧力変動が、第１基板の内周部下面の隙間に漏れることはなく、したがって、上記圧力変動によって第１基板の内周部がばたつくことはない。
また、弾性シールは載置テーブルのセンターボスと第１基板の中心孔内周面との間に介在していて、第１基板の中心孔内周面との摩擦係合力によって第１基板内周部を上下方向に拘束する機能を奏するから、仮に、弾性シール材による密封機能が不完全であっても、この拘束力によって第１基板内周部のばたつきが確実に阻止される。
そして、第１基板と第２基板の間への気体送込み停止後に、上記弾性シール材を半径方向に縮小させて、第１基板の中心孔内周面から離間させることで、第１基板は載置テーブルのセンターボスに対して上下方向において自由になるので、接着された基板の載置テーブルからの取り外し作業に支障を生じることはない。
【００１２】
【解決手段３】
（請求項２に対応）
記録媒体の製造装置について、上記の第１の課題を解決するために講じた手段３は、載置テーブルに吸着保持され、上面に環状に接着剤が塗布された第１基板に、ロボットアームの吸着ヘッドに吸着保持された第２基板を接近させ、上記接着剤に上記第２基板が接触する瞬間及びその前後を含む短時間に第１基板と第２基板との間に空気を吹き込んで、上記接触前の時点において上記接着剤を半径方向に風圧で押してその頂部を突出した状態に変形させ、当該状態の接着剤に第２基板を接触させ、さらに第２基板を第１基板に接近させて、接着剤を介して第１基板と第２基板とを接着させる記録媒体の製造装置を前提技術として、次の（イ）（ロ）（ハ）によって構成されるものである。
（イ）載置テーブルの内周上部に保持手段を設けたこと、
（ロ）上記保持手段の作動を制御する制御手段を設けたこと、
（ハ）上記制御手段によって上記保持手段による第１基板内周部の保持、当該保持の解除を制御すること。
【００１３】
【作用】
載置テーブルの内周上部に設けた保持手段を上記制御手段で作動させて、第１基板内周部を保持させ、第１基板と第２基板との間への気体の吹き込みが停止したとき、上記制御手段によって上記保持手段の作動を停止させる。
上記の制御手段による保持手段の作動開始、作動停止は、基板貼り合せ工程における、気体の吹き込み、吹き込み停止のタイミングと関連して制御される。
これによって第１基板上面の環状の接着剤に第２基板が接触し、さらに第２基板が下降する段階において、第１基板の内周部は保持手段によって上下方向に拘束されているので、そのばたつきが防止される。
なお、制御手段によって保持手段の作動を停止させるタイミングについては、必ずしも厳密に気体の吹き込み停止直後でなければならないものではなく、下基板上の環状接着剤の全周に上基板が接触して、下基板の内周部の上記ばたつきによって接着剤に気泡が混入する可能性がなくなった後の適宜時に保持手段の保持動作を停止させることもできる。「第１基板と第２基板との間への気体の吹き込みが停止したとき」は、上記タイミングの一つの目安である。
【００１４】
【実施態様１】
（請求項３に対応）
この実施態様１は、解決手段３において、載置テーブルの内周部上面に吸着保持手段を設け、当該吸着保持手段の上面を載置テーブルの支持面とほぼ面一にし、当該吸着保持手段で第１基板内周部の下面を吸着保持させることである。
【作用】
載置テーブルの内周部上面設けた吸着保持手段によって第１基板内周部の下面を吸着保持させることで、保持手段による上下方向の上記拘束力が第１基板内周部の比較的広い面に分散されるので、当該拘束力によって局部的に歪みを生じる可能性が排除される。
【００１５】
【実施態様２】
（請求項４に対応）
この実施態様２は、上記解決手段３において、載置テーブルのセンターボスの外周に保持手段を設け、当該保持手段を第１基板中心孔の内周面に圧接させて、その摩擦抵抗で第１基板内周部を保持させることである。
【００１６】
【実施態様３】
（請求項５に対応）
この実施態様３は、上記解決手段３において、載置テーブルのセンターボスの外周に弾性保持手段を設け、当該弾性保持手段で第１基板の内周部上面を押さえて、第１基板内周部を保持させることである。
【００１７】
【実施態様４】
（請求項６に対応）
この実施態様４は、上記実施態様１の吸着保持手段を静電吸着部材としたことである。
【作用】
実施態様は、上記静電吸着部材であるから、その機構構造、その駆動、駆動停止の制御機構が極めて単純である。
【００１８】
【解決手段４】
（請求項７に対応）
記録媒体の製造装置について、上記の第１の課題を解決するために講じた手段４は、載置テーブルに吸着保持され、環状に接着剤が塗布された第１基板に、ロボットアームの吸着ヘッドに吸着保持された第２基板を接近させ、上記接着剤に上記第２基板が接触する瞬間及びその前後を含む短時間に第１基板と第２基板との間に空気を吹き込んで、上記接触前の時点において上記接着剤を半径方向に風圧で押してその頂部を突出した状態に変形させ、当該状態の接着剤に第２基板を接触させ、さらに第２基板を第１基板に接近させて、接着剤を介して第１基板と第２基板とを接着させる記録媒体の製造装置を前提技術として、次の（イ）（ロ）（ハ）によって構成されるものである。
（イ）載置テーブルのセンターボス外周に弾性シール材を設けたこと、
（ロ）第１基板と第２基板の間への気体送込み停止後に、上記弾性シール材を半径方向に縮小させて、上記第１基板内周面から離間させる密封制御手段を設けたこと、
（ハ）上記密封制御手段によって上記弾性シール材の第１基板内周面に対する圧接、離間を制御して、上記センターボスと第１基板の中心孔内面間の間隙の密封、密封解除を制御すること。
【００１９】
【作用】
第１基板と第２基板との間に気体が吹き込まれているとき、載置テーブルのセンターボス外周に設けた弾性シール材を、上記密封制御手段で制御して半径方向外側に膨らませて、上記載置テーブルに吸着保持された第１基板の中心孔内周面に圧接させることによって、センターボスと第１基板の中心孔内周面との間の間隙を密封する。そして、この密封は、第１基板と第２基板との間への気体の吹き込みが停止するまで継続される。これによって、接着剤で囲まれた第１基板上の空間の上記風圧による圧力変動が、第１基板の内周部下面側に漏れることが防止されるので、上記空間の圧力変動の影響で第１基板の内周部がばたつくことは防止される。
また、弾性シールは載置テーブルのセンターボスと第１基板の中心孔内周面との間に介在していて、第１基板の中心孔内周面との摩擦係合力によって第１基板内周部を上下方向に拘束する機能を奏し、この拘束力によって第１基板内周部のばたつきが一層確実に阻止される。
そして、第１基板と第２基板の間への気体送込み停止後の段階で、密封制御手段によって上記弾性シール材を半径方向に縮小させて、上記第１基板内周面から離間させる。
なお、弾性シール材による密封を解除するタイミングについては、必ずしも厳密に気体の吹き込み停止直後でなければならないものではなく、下基板上の環状接着剤の全周に上基板が接触して接着剤に気泡が混入する可能性がなくなって後の適宜時に、弾性シール材による密封を解除させることもできる。「第１基板と第２基板との間への気体の吹き込みが停止したとき」は、上記タイミングの一つの目安である。
【００２０】
【実施態様１】
（請求項８に対応）
この実施態様１は、上記解決手段４における弾性シール材が中空ゴム体であり、密封制御手段が空気圧の制御手段であり、当該空気圧制御手段により、弾性シール材に空気圧を供給して上記中空ゴム体を半径方向外方に膨脹させ、第１基板内周面に圧接させることである。
この実施態様１は上記弾性シール材を空気圧で半径方向外方に膨脹させるものであるが、空気圧に換えて、電気的あるいは電磁的に半径方向外方に歪む駆動素子を弾性シール内部に設けて、これを駆動して弾性シール材を半径方向膨脹させることもこの実施態様１と均等なものである。
【００２１】
【実施態様２】
（請求項９に対応）
この実施態様２は、上記解決手段４の弾性シール材が中空ゴム体であり、上記密封制御手段が上記中空ゴム体を圧縮する駆動手段及び当該駆動手段を制御する制御手段であり、当該中空ゴム体を上下方向に圧縮して半径方向外側に膨脹させて、第１基板の中心孔内周面に圧接させることである。
この実施態様２は、弾性シール材を上下方向に圧縮することで、これを半径方向外方に膨脹させるものであるが、逆に、自由状態で半径方向外方に膨らんだ形状の弾性シール材を上下方向に伸張させて縮径させ、上下方向への引っ張り力を解除することで、これを弾性復元させて半径方向外方に膨らませるように、当該弾性シール材および密封制御手段を構成することも、この実施態様２と均等な手段である。
【００２２】
【実施の形態１】
次いで、図１、図２、図３を参照しながら、解決手段３の実施例である実施の形態１を説明する。
この実施例における製造装置の基本構造は先行技術によるそれと違いはないから、これについての説明は省略する。
環状に接着剤を塗布された下基板（上記第１基板）１ａが図１の載置テーブル２に載置され、水平の載置テーブル２のセンターボス２ａで位置決めされる。そして、載置テーブル２上面と下基板１ａの内周部下面との間に若干の空隙が生じていることが多い。特に、下基板１ａの内周部（中心近傍）の断面形状が図２に示すようなものであって、その下面に段差部分がある場合は、その傾向が顕著である。また図３のように下面がフラットな下基板１ａであっても、当該下基板の成型や貼り合わせ前の処理によって歪んで内周部にうねりや反りが生じているため、上記空隙ができてしまう。
また、センターボス２ａは下基板１ａの中心孔よりも若干直径を小さくしているため、当該中心孔とセンターボス２ａとの間には隙間がある。
【００２３】
載置テーブル２の上面中央部に静電吸着部材３を埋設してあり、静電吸着部材３の上面を載置テーブル２の上面とほぼ面一にしている。
静電吸着部材３はリング状部材であり、その内径は、センターボス２ａの根元の外径と等しく、その半径方向幅は１０ｍｍである。なお、この例における基板外径は１２０ｍｍである。
この実施例においては、気体吐出部５から吹き出される空気の風量は、約８［Ｎｌ／ｍｉｎ］である。
また、静電吸着部材３による静電吸着力は９．８×１０３［Ｐａ］以上であればよい。下基板１ａを載置したとき、載置テーブル２の上面中央部に埋設した静電吸着部材３を制御手段４により制御してこれを駆動することにより、下基板１ａの中央部（中心孔の近傍領域）を静電吸着部材３で吸引させて密着させる。
なお、図１の実施例では、静電吸着部材３による静電吸着力を利用して下基板１ａの内周部を密着させて上下方向に拘束しているが、載置テーブル２の中心孔近傍領域に環状溝を設け、この環状溝に真空源を接続することによって、環状溝を負圧にし、下基板１ａの中央部を真空吸着させることもできる。
【００２４】
下基板１ａの中心部を静電吸着部材３の上面に静電吸着させて、上下方向に拘束した状態で、レギュレータで設定された所定圧力の空気を気体吐出部５からセンターボス２ａの頂面に向けて吹き出しながら、吸着ヘッド７に吸着保持された上基板（第２基板）１ｂを下降させて接着剤６に接近させてその頂部に当接させ、さらに下降させて下基板１ａに貼り合わせる。
気体吐出部５からの空気の吹き出しを停止して後、貼り合わせ完了までの間の適時に、制御手段４によって静電吸着部材３の駆動を停止して、静電吸着部材３による下基板の中心部に対する吸着を解除する。
なお、上下の基板の貼り合わせ動作終了後も気体吐出部５からの空気の吐出しが継続している場合は、この空気吐出の停止後に静電吸着部材３の吸着駆動を停止させるようにしてもよい。
下基板１ａの中心部が載置テーブル２の上面に密着して上下方向に拘束されるので、環状接着剤６で囲まれた空間の圧力変動が下基板１ａの中心孔とセンターボス２ａとの間の隙間を介して、裏側に回り込んでも、下基板１ａの内周部（中心近傍部分）がばたつくことは阻止される。
【００２５】
【実施の形態２】
次いで、図４を参照しながら、解決手段４の実施例である実施の形態２を説明する。ただし、上記実施の形態１と共通の点についての説明は省略する。
載置テーブル２のセンターボス２ａの下部を上部よりも小径にし、この小径部に弾性ゴムの円筒状シール材１０を装着している。センターボス２ａの小径部に中心孔及び半径方向孔による空気導入路１１を設けてあり、この空気導入孔１１を載置テーブル２の空気供給孔１２に連通させ、この空気供給孔１２を電磁制御弁（密封制御手段）１３を介して圧力源に連通させている。
弾性ゴムの円筒状シール材１０は中央が半径方向外方に膨らんだ断面形状をしており、その上端はセンターボス２ａに固定され、下端は載置テーブルの中心の円形凹部に嵌めて固定されている。
この実施例では、載置テーブルとセンターボス２ａとを別体で作成して、センターボス２ａの小径部を載置テーブルの中心孔に螺着させている。
接着剤６を環状に塗布された下基板１ａを載置テーブル２に装着した後、電磁制御弁１３を開いて、円筒状シール材１０に空気圧（ほぼ０．２〜０．５［ＭＰａ］を供給する。
なお、この実施例の形態２においては、載置テーブル２の上面内周部に、実施の形態１の静電吸着部材３を埋め込んでいる。
【００２６】
載置テーブル２の載置面に下基板１ａを載置し、静電吸着部材３によってその内周部を吸着させ、電磁制御弁１３を開いてセンターボスの円筒状シール材に圧縮気体を送り込んで、円筒状シール材１０を膨張させ、下基板１ａの中心孔の内周面に密着させる。これによって、センターボス２ａと下基板１ａの中心孔内周面間の隙間が密封されるから、接着剤６によって囲まれた下基板１ａの上方空間の圧力変動が下基板１ａの内周部下面の間隙に回り込むことが阻止される。この実施例では、下基板内周部は、静電吸着部材３による吸着力で上下方向に拘束され、さらに円筒状シール材１０と中心孔内面との摩擦係合力によって上下方向に拘束されるので、結果的に、下基板１ａの内周部のばたつき現象を確実に阻止することができる。
【００２７】
実施の形態２においては、ゴム製の円筒状シール材１０を空気圧で半径方向外方に膨張させて中心孔とセンターボスを完全密着させたが、外径が下基板の中心孔よりも大径のゴム製の円筒状シール材に換え、空気供給孔１２を電磁制御弁を介して真空源に接続し、下基板の載置テーブル２への装着時、取り外し時に、円筒状シール材を真空源に連通させてこれを縮径させるようにすることもできる。この場合は、円筒状シール材をその弾性復元力で膨らませて下基板の中心孔内周面に圧接させることになる。
【００２８】
【実施の形態３】
図５を参照しながら、解決手段４の他の実施例である実施の形態３を説明する。
この実施の形態３は、基本的には実施の形態２と同じであり、円筒状シール材１０を半径方向外方に膨脹、収縮させる機構が異なる。
すなわち、ゴム製の円筒状シール材３０が装着されているセンターボス３１の小径部が載置テーブル２の中心孔に上下方向に摺動自在に嵌合しており、載置テーブル２の中心孔が電磁制御弁（密封制御手段）１３を介して真空源に接続されている。
【００２９】
円筒状シール材３０の断面形状は、自由状態では実施の形態２の円筒状シール材１０と同様であり、その中央部が半径方向外方に環状に膨らんでいて、その外径は下基板１ａの中心孔の直径よりも小さい。円筒状シール材３０が自由状態のとき、センターボス３１が円筒状シール材３０によって押し上げられている。この状態で下基板が載置テーブルに装着され、または取り外される。下基板１ａを装着した状態で、電磁制御弁１３によって空気供給孔１２を真空源に連通させて、センターボス３１を引き下げて円筒状シール材３０を上下方向に圧縮する。上下方向に圧縮されると円筒状シール材３０の中央大径部が半径方向外方に膨らみ、下基板１ａの中心孔内面に圧接される。
電磁制御弁１３によって空気供給孔１２を大気に連通させると、円筒状シール材３０はセンターボス３１を押し上げながら弾性復元して、その中央部が小径に戻る。
【００３０】
【実施の形態４】
図６を参照しながら、解決手段３の他の実施例である実施の形態４を説明する。
この実施の形態４は、基本的には実施の形態３と共通しているが、円筒状シール材４０の機能が実施の形態３の円筒状シール材３０とは若干異なり、これ自体が下基板１ａを押さえて上下方向に拘束し、さらに、下基板の上面内周端に当接してセンターボス４１と下基板１ａの中心孔間の隙間を密封する。
そして、ゴム製の円筒状シール材４０が装着されているセンターボス４１の小径部が載置テーブル２の中心孔に上下方向に摺動自在に嵌合しており、載置テーブル２の中心孔が電磁制御弁（密封制御手段）１３を介して真空源に接続されている点は、実施の形態３と同じである。
【００３１】
円筒状シール材４０の断面形状は、自由状態では実施の形態３の円筒状シール材３０と同様であるが、半径方向外方に膨らんでいる中央部が下基板１ａの内周部よりも上方に位置している。円筒状シール材４０が自由状態のとき、センターボス４１が円筒状シール材４０によって押し上げられており、この状態で下基板は載置テーブルに自由に装着され、または取り外される。下基板１ａを装着した状態で、電磁制御弁１３によって載置テーブル２の中心孔である空気供給孔１２を真空源に連通させてセンターボス４１を引き下げ、これに上記円筒状シール材４０を上下方向に圧縮する。この圧縮によって、図６に示されているように、円筒状シール材４０の中央大径部が半径方向外方に膨らんで、下基板１ａの中心孔周縁上面に当接してこれを押さえる。
電磁制御弁１３によって空気供給孔１２を大気に連通させると、円筒状シール材３０はセンターボス４１を押し上げながら弾性復元して、その中央部が小径に戻る。
【００３２】
以上実施の形態を説明したが、実施の形態１乃至実施の形態４は、弾性ゴム製の円筒状シール材を拡張させて下基板の内周部を保持させるものである。これらにおける円筒状シール材に換えて、いわゆる拡張型メカニカルチャックを用い、これによって下基板１ａの内周部を保持して、そのばたつきを抑制するようにすることもできる。
【００３３】
【発明の効果】
この発明の効果を、主な請求項に係る発明毎に整理すれば次のとおりである。
この発明は、載置テーブルに吸着保持され、上面に環状に接着剤が塗布された第１基板に、ロボットアームの吸着ヘッドに吸着保持された第２基板を接近させ、上記接着剤に上記第２基板が接触する瞬間及びその前後を含む短時間に第１基板と第２基板との間に空気を吹き込んで、上記接触前の時点において上記接着剤を半径方向に風圧で押してその頂部を突出した状態に変形させ、当該状態の接着剤に第２基板を接触させ、さらに第２基板を第１基板に接近させて、接着剤を介して第１基板と第２基板とを接着させる光学記録媒体の製造方法について、載置テーブルの内周上部に設けた保持手段によって、載置テーブル上面に載置された基板内周部を保持して上下方向に拘束し、第１基板と第２基板の間への気体の送込みを停止した後に、上記保持手段による基板内周部に対する保持を解除することを特徴事項とするものである。
【００３４】
そして、第１基板と第２基板との間の空間に気体が吹き込まれていて、第２基板が第１基板上の環状接着剤に接触する前の段階から、載置テーブルに載置された第１基板内周部が上記保持手段によって保持されて上下方向に拘束されているので、接着剤で囲まれた第１基板上面の空間の圧力変動が第１基板内周部の下面側に漏れて第１基板内周部をばたつかせることが防止される。また、第１基板と第２基板の間への気体の送込みが停止された後は、保持手段による第１基板の内周部に対する拘束が解除されるので、第１基板の載置テーブルからの取り外し作業に支障を生じることはない。
【００３５】
１．請求項１に係る発明の効果
請求項１に係る発明は、載置テーブルに吸着保持され、上面に環状に接着剤が塗布されている第１基板に、ロボットアームの吸着ヘッドに吸着保持された第２基板を接近させ、上記接着剤に上記第２基板が接触する瞬間及びその前後を含む短時間に第１基板と第２基板との間に空気を吹き込んで、上記接触前の時点において上記接着剤を半径方向に風圧で押してその頂部を突出した状態に変形させ、当該状態の接着剤に第２基板を接触させ、さらに第２基板を第１基板に接近させて、接着剤を介して第１基板と第２基板とを接着させる光学記録媒体の製造方法について、第１基板と第２基板との間に気体が吹き込まれているとき、載置テーブルのセンターボス外周に設けた弾性シール材を半径方向外側に膨らませて、上記載置テーブルに吸着保持された第１基板の中心孔内周面に圧接させることによって、センターボスと第１基板内周面との間の間隙を密封し、第１基板上の接着剤の全周が第２基板に接触した後の段階で、上記弾性シール材を半径方向に縮小させて、上記第１基板の中心孔内周面から離間させることを特徴事項とするものである。
【００３６】
そして、第１基板と第２基板との間に気体が吹き込まれているとき、載置テーブルのセンターボス外周に設けた弾性シール材を半径方向外側に膨らませて、上記載置テーブルに吸着保持された第１基板の中心孔内周面に圧接させることによって、センターボスと第１基板の中心孔内周面との間の間隙を密封することで、接着剤で囲まれた第１基板上の空間の上記風圧による圧力変動が、第１基板の内周部下面の間隙に漏れることを阻止して上記圧力変動によって第１基板の内周部がばたつくことを防止する。また、弾性シールは固定されたセンターボスと第１基板内周面との間に介在していて、第１基板の内周面との摩擦係合力によって第１基板内周を上下方向に拘束する機能を奏するから、仮に、弾性シール材による密封機能が不完全であっても、この拘束力によって第１基板内周部のばたつきを確実に防止できる。
さらに、第１基板上の接着剤の全周が第２基板に接触した後、上記弾性シール材を半径方向に縮小させて上記第１基板内周面から離間させることで、第１基板は載置テーブルのセンターボスに対して上下方向において自由になるので、第１基板の載置テーブルからの取り外し作業に支障を生じることはない。
【００３７】
２．請求項２に係る発明の効果
請求項２に係る発明は、載置テーブルに吸着保持され、上面に環状に接着剤が塗布された第１基板に、ロボットアームの吸着ヘッドに吸着保持された第２基板を接近させ、上記接着剤に上記第２基板が接触する瞬間及びその前後を含む短時間に第１基板と第２基板との間に空気を吹き込んで、上記接触前の時点において上記接着剤を半径方向に風圧で押してその頂部を突出した状態に変形させ、当該状態の接着剤に第２基板を接触させ、さらに第２基板を第１基板に接近させて、接着剤を介して第１基板と第２基板とを接着させる光学記録媒体の製造装置について、載置テーブルの内周上部に保持手段を設け、上記保持手段の作動を制御する制御手段を設け、上記制御手段によって上記保持手段による第１基板内周部の保持、当該保持の解除を制御することを特徴事項とするものである。
【００３８】
そして、載置テーブルの内周上部に設けた保持手段を上記制御手段で作動させて、第１基板内周部を保持させ、第１基板と第２基板との間の空間への気体の吹き込みが停止したとき、上記制御手段によって上記保持手段の作動を停止させ、また、上記の制御手段による保持手段の作動開始、作動停止は、基板貼り合せ工程における気体の吹き込み、吹き込み停止のタイミングと関連して制御される。
これによって、塗布された環状の接着剤によって囲まれた第１基板上空間の圧力変動による第１基板内周部のばたつきが阻止され、このばたつきに因る接着層への気泡の混入が防止される。したがって、第１基板、第２基板の貼り合わせ品質を向上させて、信頼性の高い光学式記録媒体を製造することができる。
【００３９】
３．請求項３に係る発明の効果
請求項３に係る発明は、請求項２に係る発明において、載置テーブルの内周部上面に吸着保持手段を設け、当該吸着保持手段の上面を載置テーブルの支持面とほぼ面一にし、当該吸着保持手段で第１基板内周部の下面を吸着保持させるようにしたものである。
そして、載置テーブルの内周部上面に設けた吸着保持手段によって第１基板内周部の下面を吸着保持させることで、保持手段による上下方向の上記拘束力が第１基板内周部の比較的広い面に分散される。したがって、当該拘束力による局部歪みが回避されるので、第１基板、第２基板の貼り合わせ品質を一層向上させ、光学式記録媒体の信頼性を一層向上させることができる。
【００４０】
４．請求項７に係る発明の効果
請求項７に係る発明は、載置テーブルに吸着保持され、上面に環状に接着剤が塗布された第１基板に、ロボットアームの吸着ヘッドに吸着保持された第２基板を接近させ、上記接着剤に上記第２基板が接触する瞬間及びその前後を含む短時間に第１基板と第２基板との間に空気を吹き込んで、上記接着剤を半径方向に風圧で押してその頂部を突出した状態に変形させ、当該状態の接着剤に第２基板を接触させ、さらに第２基板を第１基板に接近させて、接着剤を介して第１基板と第２基板とを接着させる光学記録媒体の製造装置について、載置テーブルのセンターボス外周に弾性シール材を設け、第１基板上の接着剤の全周が第２基板に接触した後に、上記弾性シール材を半径方向に縮小させて、上記第１基板内周面から離間させる密封制御手段を設け、上記密封制御手段によって上記弾性シール材の上記第１基板の中心孔内周面に対する圧接、離間を制御して、上記センターボスと大基板の中心孔内周面との間の間隙を密封、密封解除を制御することを特徴事項とするものである。
【００４１】
そして、第１基板と第２基板との間に気体が吹き込まれているとき、載置テーブルのセンターボス外周に設けた弾性シール材を、上記密封制御手段で制御して半径方向外側に膨らませて、上記載置テーブル吸着保持された第１基板の中心孔内周面に圧接させることによって、センターボスと第１基板の中心孔内周面との間の隙間を密封する。したがって、接着剤で囲まれた第１基板上の空間の上記風圧による圧力変動が、第１基板の内周部下面側に漏れることが防止されるから、上記圧力変動の影響で第１基板内周部がばたつくことを防止することができる。
また、弾性シールは載置テーブルのセンターボスと第１基板の中心孔内周面との間に介在していて、第１基板の中心孔内周面との摩擦係合力によって第１基板内周部を上下方向に拘束する機能を奏し、この拘束力によって第１基板内周部のばたつきを確実に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】は、この発明の実施の形態１の要部断面図である。
【図２】は、第１基板の一例の内周部の一部拡大図である。
【図３】は、第１基板の他の例の内周部の一部拡大図である。
【図４】は、実施の形態２の要部断面図である。
【図５】は、実施の形態３の要部断面図である。
【図６】は、実施の形態４の要部断面図である。
【図７】は、先行技術による記録媒体の製造装置の断面図である。
【図８】（Ａ）、（Ｂ）は、図７の記録媒体の製造装置の要部拡大断面図である。
【符号の説明】
１ａ：第１基板
１ｂ：第２基板
２：載置テーブル
２ａ：センターボス
３：静電吸着部材
４：制御手段
５：気体吐出部
６：接着剤
７：吸着ヘッド
１０，３０，４０：円筒状シール材
【産業上の利用分野】
この発明は、ＤＶＤ用光記録媒体等の光記録媒体の製造方法及び製造装置に関するものであり、貼り合わされる上下の基板間に空気を吹き込んで、その風圧により、環状に塗布された接着剤の頂部を突出した状態に変形させて、上基板を接着剤の頂部に線接触させることで、両基板間の接着層に気泡が混入することを回避するものについて、上記両基板間に吹き込まれる空気による下基板の内周部の上下方向のばたつきを防いで、このばたつきによる不具合を、効果的に回避することができるものである。
なお、この発明は、記録媒体基板の貼り合わせに限らず、薄膜やプラスチック板やガラス板や、曲面体のレンズの貼り合わせに適用しても有効である。
【０００２】
【従来技術】
高密度の光学式情報記録媒体としてＤＶＤ等が知られている。このような高密度の光学式光情報記録媒体は上基板と下基板とを接着剤層を介して貼り合わせて製作されるが、貼り合わせ工程において上記接着剤層に気泡が混入することがあり、接着剤層に気泡が混入すると、光学式光情報記録媒体に重大な欠陥を生じるので、この気泡の混入を完全に回避するための工夫が種々になされている。この工夫の一つとして、基板貼合せを真空雰囲気で行うものがあり、その一例が特開平９−１９８７２０号公報、特開平１１−６６６４５号公報に記載されている。他方、接着剤層に気泡が混入する現象を分析し、この解析結果を踏まえて、上基板と環状接着剤の頂点とを線接触させることによって接着剤への気泡の混入を防止するものがあり、その一例が特開２０００−２９０６０２号公報に記載されている。後者は、下基板上に環状に塗布された接着剤の頂部に上基板が接触する前の段階で、上下基板の間に電解を形成し、この電解の吸引力によって下基板上の環状接着剤の頂部を上方に突出させて先細りにし、これによって上基板と環状接着剤の頂部との接触開始時の接着面積を可及的に小さくして、上記の気泡の混入を回避するものである。
【０００３】
上記特開２０００−２９０６０２号公報に記載されているものは、電界をかけて、下基板上の環状接着剤の頂部を上方に突出させて先細りにするものであるが、他方、至近距離で対向している上下基板間に空気を吹き込んで、その空気圧で環状接着剤の頂部を上方に突出した状態に変形させる方法が工夫されている（特願２００１−２６４７２６号。以下これを、「先行技術」という）。本発明は、この先行技術を基本とするものであり、当該先行技術における不具合を解消して、その実施効果を一層向上させることをその目的とするものである。
【０００４】
次いで、本発明の前提たる先行技術の概略を図７、図８に基づいて説明する。
図７に示す基板貼合装置の基本構造は極めて一般的なものであり、ターンテーブルの載置テーブル５１に載せられ、センターボス５１ａによって位置決めされ、真空排気路５１ｂで吸着された記録基板（上記下基板に相当）Ｄａの上面に接着剤５２を環状に塗布し、吸着ヘッド５３の吸着パッド５３ａに吸着、保持されたカバー基板（上記上基板に相当）Ｄｂを下降させて上記記録基板Ｄａに重ね合わせて、接着剤５２を介して接着させて貼り合わせるものである。
先行技術においては、吸着ヘッド５３の支持アーム５４に気体送込みユニット５５を設けてあり、当該気体送込みユニット５５の気体吐出部５５ａの下端に環状弾性部材５５ｂを設けてある。
【０００５】
カバー基板Ｄｂが吸着ヘッド５３に吸着されたとき、上記気体吐出部５５ａの下端の環状弾性部材５５ｂがカバー基板Ｄｂの内周部上面に当接する。
上記気体吐出部５５ａの上部が気体送込みユニット５５のホルダ５５ｃに上下動自在に嵌合しており、バネ５５ｄによって軽く下方に付勢されている。
カバー基板Ｄｂは吸着ヘッド５３に吸着保持された状態で、ロボットアーム５６が下降するに連れて、その下面が記録基板Ｄａ上面に塗布された接着剤５２に接近する。この段階で、気体供給装置から気体送込みユニット５５に給気され、気体吐出部５５ａから空気が吹き出される。気体吐出部５５ａから吹き出された空気が半径方向外方に流れ、図８（Ａ）に示すように、接着剤５２を半径方向外方に変形させる。カバー基板Ｄｂの下面が接着剤に接近した段階では、接着剤は、図８（Ｂ）に示すように、風圧でその頂部が上方に突出した状態に変形するので、カバー基板Ｄｂの下面は、上方に突出した接着剤５２の頂部にほぼ線状に接触することになる。
【０００６】
【解決しようとする課題】
以上が先行技術の概略であるが、これには次のような問題がある。
環状の接着剤５２の半径が小さい場合や、カバー基板Ｄｂの降下速度が速い場合は、環状の接着剤５２に囲まれた空間の圧力が急激に変動する。他方、記録基板Ｄａは真空排気路５１ｂからの真空によって載置テーブル５１の上面に吸着されているが、センターボス５１ａと記録基板Ｄａの中心孔内面との間に間隙があり、この間隙を介して、上記空間の圧力変動が記録基板Ｄａ内周部下面側に漏れる場合がある。この場合、上記空間の圧力の急激な変動の影響によって記録基板Ｄａ内周部が微小にばたつく（上下に微小に振動すること）。このように記録基板Ｄａ内周部が微小にばたつくと、気体送風による外周側展延動作中の接着剤の頂部とカバー基板Ｄｂとの距離が変動するため、カバー基板Ｄｂ下面に接着剤５２が接触し、その接着剤５２のカバー基板Ｄｂ下面に沿って延展する状態が、その周方向において不均一になる。そうすると、接着剤５２が、上記展延途中において部分的にカバー基板Ｄｂと接触する。そして、この接触が面接触となって、気泡が接着剤５２に巻き込まれる可能性があり、記録基板Ｄａの内周部の上記ばたつきが激しいほどこの可能性が高くなる。接着剤５２によって囲まれた空間の圧力変動が記録基板内周部下面側に漏れても、記録基板内周部がばたつかないように、これをその間拘束すること、あるいは、接着剤５２によって囲まれた空間の圧力変動が記録基板内周部下面側に漏れないようにすることによって、記録基板Ｄａの内周部の上記ばたつきに因って、接着剤５２に気泡が巻き込まれる可能性を解消することができる。
【０００７】
この発明は、上記接着剤に気泡が巻き込まれる可能性をなくするために、基板上面に環状に塗布された接着剤５２によって囲まれた空間の圧力変動が記録基板内周部下面側に漏れても、記録基板内周部がばたつかないように、記録基板内周部を拘束できるようにすることを第１の課題とし、また、接着剤５２によって囲まれた空間の圧力変動が記録基板内周部下面側に漏れないように、センターボス５１ａと記録基板Ｄａの中心孔内面との間の隙間を密封することを第２の課題とするものである。
【０００８】
【課題解決のために講じた手段】
【解決手段１】
上記第１の課題を解決するために講じた手段１は、載置テーブルに吸着保持され、環状に接着剤が塗布されている第１基板に、ロボットアームの吸着ヘッドに吸着保持された第２基板を接近させ、上記接着剤に上記第２基板が接触する瞬間及びその前後を含む短時間に第１基板と第２基板との間に空気を吹き込んで、上記接触前の時点において上記接着剤を半径方向に風圧で押してその頂部を突出した状態に変形させ、さらに第２基板を第１基板に接近させて、接着剤に第２基板を接触させ、その後、第２基板を第１基板に接近させて、接着剤を介して第１基板と第２基板とを接着させる記録媒体の製造方法を前提技術として、次の（イ）（ロ）によって構成されるものである。
（イ）載置テーブルの内周上部に設けた保持手段によって、載置テーブル上面に載置された基板内周部を保持して上下方向に拘束すること、
（ロ）第１基板と第２基板の間への気体送込み停止後に、上記保持手段による基板内周部に対する保持を解除すること。
【０００９】
【作用】
第１基板と第２基板との間に気体が吹き込まれる前乃至は第２基板が第１基板上の環状接着剤の上端に接近する前に、載置テーブルに載置された第１基板内周部が上記保持手段によって保持されて、上下方向に拘束されているから、第１基板上面に環状に塗布された接着剤で囲まれた空間の圧力変動が第１基板内周部の下面側に波及しても、第２基板が第１基板上の環状接着剤の上端に接触し始める段階において第１基板内周部がばたつくことはない。
そして、少なくとも、第１基板と第２基板の間への気体の送込み停止後においては、保持手段による第１基板の内周部に対する拘束は解除されているので、接着された基板の載置テーブルからの取り外し作業に支障を生じることはない。
【００１０】
【解決手段２】
（請求項１に対応）
上記第２の課題を解決するために講じた手段２は、載置テーブルに吸着保持され、接着剤が環状に塗布されている第１基板に、ロボットアームの吸着ヘッドに吸着保持された第２基板を接近させ、上記接着剤に上記第２基板が接触する瞬間及びその前後を含む短時間に第１基板と第２基板との間に空気を吹き込んで、上記接触前の時点において上記接着剤を半径方向に風圧で押してその頂部を突出した状態に変形させ、当該状態の接着剤に第２基板を接触させ、さらに第２基板を第１基板に接近させて、接着剤を介して第１基板と第２基板とを接着させる記録媒体の製造方法を前提技術として、次の（イ）（ロ）によって構成されるものである。
（イ）第１基板と第２基板との間に気体が吹き込まれているとき、載置テーブルのセンターボス外周に設けた弾性シール材を半径方向外側に膨らませて、上記載置テーブル吸着保持された第１基板の中心孔内周面に圧接させることによって、センターボスと第１基板の中心孔内周面との間の間隙を密封すること、
（ロ）第１基板と第２基板の間への気体送込み停止後に、上記弾性シール材を半径方向に縮小させて上記第１基板内周面から離間させること。
【００１１】
【作用】
第１基板と第２基板との間に気体が吹き込まれる前乃至は第２基板が第１基板上の環状接着剤の上端に接触し始める前に、載置テーブルのセンターボス外周に設けた弾性シール材を半径方向外側に膨らませて、上記載置テーブルに吸着保持された第１基板の中心孔内周面に圧接させることによって、センターボスと第１基板内周面との間の間隙を密封することで、第１基板の環状の接着剤で囲まれた空間の上記風圧による圧力変動が、第１基板の内周部下面の隙間に漏れることはなく、したがって、上記圧力変動によって第１基板の内周部がばたつくことはない。
また、弾性シールは載置テーブルのセンターボスと第１基板の中心孔内周面との間に介在していて、第１基板の中心孔内周面との摩擦係合力によって第１基板内周部を上下方向に拘束する機能を奏するから、仮に、弾性シール材による密封機能が不完全であっても、この拘束力によって第１基板内周部のばたつきが確実に阻止される。
そして、第１基板と第２基板の間への気体送込み停止後に、上記弾性シール材を半径方向に縮小させて、第１基板の中心孔内周面から離間させることで、第１基板は載置テーブルのセンターボスに対して上下方向において自由になるので、接着された基板の載置テーブルからの取り外し作業に支障を生じることはない。
【００１２】
【解決手段３】
（請求項２に対応）
記録媒体の製造装置について、上記の第１の課題を解決するために講じた手段３は、載置テーブルに吸着保持され、上面に環状に接着剤が塗布された第１基板に、ロボットアームの吸着ヘッドに吸着保持された第２基板を接近させ、上記接着剤に上記第２基板が接触する瞬間及びその前後を含む短時間に第１基板と第２基板との間に空気を吹き込んで、上記接触前の時点において上記接着剤を半径方向に風圧で押してその頂部を突出した状態に変形させ、当該状態の接着剤に第２基板を接触させ、さらに第２基板を第１基板に接近させて、接着剤を介して第１基板と第２基板とを接着させる記録媒体の製造装置を前提技術として、次の（イ）（ロ）（ハ）によって構成されるものである。
（イ）載置テーブルの内周上部に保持手段を設けたこと、
（ロ）上記保持手段の作動を制御する制御手段を設けたこと、
（ハ）上記制御手段によって上記保持手段による第１基板内周部の保持、当該保持の解除を制御すること。
【００１３】
【作用】
載置テーブルの内周上部に設けた保持手段を上記制御手段で作動させて、第１基板内周部を保持させ、第１基板と第２基板との間への気体の吹き込みが停止したとき、上記制御手段によって上記保持手段の作動を停止させる。
上記の制御手段による保持手段の作動開始、作動停止は、基板貼り合せ工程における、気体の吹き込み、吹き込み停止のタイミングと関連して制御される。
これによって第１基板上面の環状の接着剤に第２基板が接触し、さらに第２基板が下降する段階において、第１基板の内周部は保持手段によって上下方向に拘束されているので、そのばたつきが防止される。
なお、制御手段によって保持手段の作動を停止させるタイミングについては、必ずしも厳密に気体の吹き込み停止直後でなければならないものではなく、下基板上の環状接着剤の全周に上基板が接触して、下基板の内周部の上記ばたつきによって接着剤に気泡が混入する可能性がなくなった後の適宜時に保持手段の保持動作を停止させることもできる。「第１基板と第２基板との間への気体の吹き込みが停止したとき」は、上記タイミングの一つの目安である。
【００１４】
【実施態様１】
（請求項３に対応）
この実施態様１は、解決手段３において、載置テーブルの内周部上面に吸着保持手段を設け、当該吸着保持手段の上面を載置テーブルの支持面とほぼ面一にし、当該吸着保持手段で第１基板内周部の下面を吸着保持させることである。
【作用】
載置テーブルの内周部上面設けた吸着保持手段によって第１基板内周部の下面を吸着保持させることで、保持手段による上下方向の上記拘束力が第１基板内周部の比較的広い面に分散されるので、当該拘束力によって局部的に歪みを生じる可能性が排除される。
【００１５】
【実施態様２】
（請求項４に対応）
この実施態様２は、上記解決手段３において、載置テーブルのセンターボスの外周に保持手段を設け、当該保持手段を第１基板中心孔の内周面に圧接させて、その摩擦抵抗で第１基板内周部を保持させることである。
【００１６】
【実施態様３】
（請求項５に対応）
この実施態様３は、上記解決手段３において、載置テーブルのセンターボスの外周に弾性保持手段を設け、当該弾性保持手段で第１基板の内周部上面を押さえて、第１基板内周部を保持させることである。
【００１７】
【実施態様４】
（請求項６に対応）
この実施態様４は、上記実施態様１の吸着保持手段を静電吸着部材としたことである。
【作用】
実施態様は、上記静電吸着部材であるから、その機構構造、その駆動、駆動停止の制御機構が極めて単純である。
【００１８】
【解決手段４】
（請求項７に対応）
記録媒体の製造装置について、上記の第１の課題を解決するために講じた手段４は、載置テーブルに吸着保持され、環状に接着剤が塗布された第１基板に、ロボットアームの吸着ヘッドに吸着保持された第２基板を接近させ、上記接着剤に上記第２基板が接触する瞬間及びその前後を含む短時間に第１基板と第２基板との間に空気を吹き込んで、上記接触前の時点において上記接着剤を半径方向に風圧で押してその頂部を突出した状態に変形させ、当該状態の接着剤に第２基板を接触させ、さらに第２基板を第１基板に接近させて、接着剤を介して第１基板と第２基板とを接着させる記録媒体の製造装置を前提技術として、次の（イ）（ロ）（ハ）によって構成されるものである。
（イ）載置テーブルのセンターボス外周に弾性シール材を設けたこと、
（ロ）第１基板と第２基板の間への気体送込み停止後に、上記弾性シール材を半径方向に縮小させて、上記第１基板内周面から離間させる密封制御手段を設けたこと、
（ハ）上記密封制御手段によって上記弾性シール材の第１基板内周面に対する圧接、離間を制御して、上記センターボスと第１基板の中心孔内面間の間隙の密封、密封解除を制御すること。
【００１９】
【作用】
第１基板と第２基板との間に気体が吹き込まれているとき、載置テーブルのセンターボス外周に設けた弾性シール材を、上記密封制御手段で制御して半径方向外側に膨らませて、上記載置テーブルに吸着保持された第１基板の中心孔内周面に圧接させることによって、センターボスと第１基板の中心孔内周面との間の間隙を密封する。そして、この密封は、第１基板と第２基板との間への気体の吹き込みが停止するまで継続される。これによって、接着剤で囲まれた第１基板上の空間の上記風圧による圧力変動が、第１基板の内周部下面側に漏れることが防止されるので、上記空間の圧力変動の影響で第１基板の内周部がばたつくことは防止される。
また、弾性シールは載置テーブルのセンターボスと第１基板の中心孔内周面との間に介在していて、第１基板の中心孔内周面との摩擦係合力によって第１基板内周部を上下方向に拘束する機能を奏し、この拘束力によって第１基板内周部のばたつきが一層確実に阻止される。
そして、第１基板と第２基板の間への気体送込み停止後の段階で、密封制御手段によって上記弾性シール材を半径方向に縮小させて、上記第１基板内周面から離間させる。
なお、弾性シール材による密封を解除するタイミングについては、必ずしも厳密に気体の吹き込み停止直後でなければならないものではなく、下基板上の環状接着剤の全周に上基板が接触して接着剤に気泡が混入する可能性がなくなって後の適宜時に、弾性シール材による密封を解除させることもできる。「第１基板と第２基板との間への気体の吹き込みが停止したとき」は、上記タイミングの一つの目安である。
【００２０】
【実施態様１】
（請求項８に対応）
この実施態様１は、上記解決手段４における弾性シール材が中空ゴム体であり、密封制御手段が空気圧の制御手段であり、当該空気圧制御手段により、弾性シール材に空気圧を供給して上記中空ゴム体を半径方向外方に膨脹させ、第１基板内周面に圧接させることである。
この実施態様１は上記弾性シール材を空気圧で半径方向外方に膨脹させるものであるが、空気圧に換えて、電気的あるいは電磁的に半径方向外方に歪む駆動素子を弾性シール内部に設けて、これを駆動して弾性シール材を半径方向膨脹させることもこの実施態様１と均等なものである。
【００２１】
【実施態様２】
（請求項９に対応）
この実施態様２は、上記解決手段４の弾性シール材が中空ゴム体であり、上記密封制御手段が上記中空ゴム体を圧縮する駆動手段及び当該駆動手段を制御する制御手段であり、当該中空ゴム体を上下方向に圧縮して半径方向外側に膨脹させて、第１基板の中心孔内周面に圧接させることである。
この実施態様２は、弾性シール材を上下方向に圧縮することで、これを半径方向外方に膨脹させるものであるが、逆に、自由状態で半径方向外方に膨らんだ形状の弾性シール材を上下方向に伸張させて縮径させ、上下方向への引っ張り力を解除することで、これを弾性復元させて半径方向外方に膨らませるように、当該弾性シール材および密封制御手段を構成することも、この実施態様２と均等な手段である。
【００２２】
【実施の形態１】
次いで、図１、図２、図３を参照しながら、解決手段３の実施例である実施の形態１を説明する。
この実施例における製造装置の基本構造は先行技術によるそれと違いはないから、これについての説明は省略する。
環状に接着剤を塗布された下基板（上記第１基板）１ａが図１の載置テーブル２に載置され、水平の載置テーブル２のセンターボス２ａで位置決めされる。そして、載置テーブル２上面と下基板１ａの内周部下面との間に若干の空隙が生じていることが多い。特に、下基板１ａの内周部（中心近傍）の断面形状が図２に示すようなものであって、その下面に段差部分がある場合は、その傾向が顕著である。また図３のように下面がフラットな下基板１ａであっても、当該下基板の成型や貼り合わせ前の処理によって歪んで内周部にうねりや反りが生じているため、上記空隙ができてしまう。
また、センターボス２ａは下基板１ａの中心孔よりも若干直径を小さくしているため、当該中心孔とセンターボス２ａとの間には隙間がある。
【００２３】
載置テーブル２の上面中央部に静電吸着部材３を埋設してあり、静電吸着部材３の上面を載置テーブル２の上面とほぼ面一にしている。
静電吸着部材３はリング状部材であり、その内径は、センターボス２ａの根元の外径と等しく、その半径方向幅は１０ｍｍである。なお、この例における基板外径は１２０ｍｍである。
この実施例においては、気体吐出部５から吹き出される空気の風量は、約８［Ｎｌ／ｍｉｎ］である。
また、静電吸着部材３による静電吸着力は９．８×１０３［Ｐａ］以上であればよい。下基板１ａを載置したとき、載置テーブル２の上面中央部に埋設した静電吸着部材３を制御手段４により制御してこれを駆動することにより、下基板１ａの中央部（中心孔の近傍領域）を静電吸着部材３で吸引させて密着させる。
なお、図１の実施例では、静電吸着部材３による静電吸着力を利用して下基板１ａの内周部を密着させて上下方向に拘束しているが、載置テーブル２の中心孔近傍領域に環状溝を設け、この環状溝に真空源を接続することによって、環状溝を負圧にし、下基板１ａの中央部を真空吸着させることもできる。
【００２４】
下基板１ａの中心部を静電吸着部材３の上面に静電吸着させて、上下方向に拘束した状態で、レギュレータで設定された所定圧力の空気を気体吐出部５からセンターボス２ａの頂面に向けて吹き出しながら、吸着ヘッド７に吸着保持された上基板（第２基板）１ｂを下降させて接着剤６に接近させてその頂部に当接させ、さらに下降させて下基板１ａに貼り合わせる。
気体吐出部５からの空気の吹き出しを停止して後、貼り合わせ完了までの間の適時に、制御手段４によって静電吸着部材３の駆動を停止して、静電吸着部材３による下基板の中心部に対する吸着を解除する。
なお、上下の基板の貼り合わせ動作終了後も気体吐出部５からの空気の吐出しが継続している場合は、この空気吐出の停止後に静電吸着部材３の吸着駆動を停止させるようにしてもよい。
下基板１ａの中心部が載置テーブル２の上面に密着して上下方向に拘束されるので、環状接着剤６で囲まれた空間の圧力変動が下基板１ａの中心孔とセンターボス２ａとの間の隙間を介して、裏側に回り込んでも、下基板１ａの内周部（中心近傍部分）がばたつくことは阻止される。
【００２５】
【実施の形態２】
次いで、図４を参照しながら、解決手段４の実施例である実施の形態２を説明する。ただし、上記実施の形態１と共通の点についての説明は省略する。
載置テーブル２のセンターボス２ａの下部を上部よりも小径にし、この小径部に弾性ゴムの円筒状シール材１０を装着している。センターボス２ａの小径部に中心孔及び半径方向孔による空気導入路１１を設けてあり、この空気導入孔１１を載置テーブル２の空気供給孔１２に連通させ、この空気供給孔１２を電磁制御弁（密封制御手段）１３を介して圧力源に連通させている。
弾性ゴムの円筒状シール材１０は中央が半径方向外方に膨らんだ断面形状をしており、その上端はセンターボス２ａに固定され、下端は載置テーブルの中心の円形凹部に嵌めて固定されている。
この実施例では、載置テーブルとセンターボス２ａとを別体で作成して、センターボス２ａの小径部を載置テーブルの中心孔に螺着させている。
接着剤６を環状に塗布された下基板１ａを載置テーブル２に装着した後、電磁制御弁１３を開いて、円筒状シール材１０に空気圧（ほぼ０．２〜０．５［ＭＰａ］を供給する。
なお、この実施例の形態２においては、載置テーブル２の上面内周部に、実施の形態１の静電吸着部材３を埋め込んでいる。
【００２６】
載置テーブル２の載置面に下基板１ａを載置し、静電吸着部材３によってその内周部を吸着させ、電磁制御弁１３を開いてセンターボスの円筒状シール材に圧縮気体を送り込んで、円筒状シール材１０を膨張させ、下基板１ａの中心孔の内周面に密着させる。これによって、センターボス２ａと下基板１ａの中心孔内周面間の隙間が密封されるから、接着剤６によって囲まれた下基板１ａの上方空間の圧力変動が下基板１ａの内周部下面の間隙に回り込むことが阻止される。この実施例では、下基板内周部は、静電吸着部材３による吸着力で上下方向に拘束され、さらに円筒状シール材１０と中心孔内面との摩擦係合力によって上下方向に拘束されるので、結果的に、下基板１ａの内周部のばたつき現象を確実に阻止することができる。
【００２７】
実施の形態２においては、ゴム製の円筒状シール材１０を空気圧で半径方向外方に膨張させて中心孔とセンターボスを完全密着させたが、外径が下基板の中心孔よりも大径のゴム製の円筒状シール材に換え、空気供給孔１２を電磁制御弁を介して真空源に接続し、下基板の載置テーブル２への装着時、取り外し時に、円筒状シール材を真空源に連通させてこれを縮径させるようにすることもできる。この場合は、円筒状シール材をその弾性復元力で膨らませて下基板の中心孔内周面に圧接させることになる。
【００２８】
【実施の形態３】
図５を参照しながら、解決手段４の他の実施例である実施の形態３を説明する。
この実施の形態３は、基本的には実施の形態２と同じであり、円筒状シール材１０を半径方向外方に膨脹、収縮させる機構が異なる。
すなわち、ゴム製の円筒状シール材３０が装着されているセンターボス３１の小径部が載置テーブル２の中心孔に上下方向に摺動自在に嵌合しており、載置テーブル２の中心孔が電磁制御弁（密封制御手段）１３を介して真空源に接続されている。
【００２９】
円筒状シール材３０の断面形状は、自由状態では実施の形態２の円筒状シール材１０と同様であり、その中央部が半径方向外方に環状に膨らんでいて、その外径は下基板１ａの中心孔の直径よりも小さい。円筒状シール材３０が自由状態のとき、センターボス３１が円筒状シール材３０によって押し上げられている。この状態で下基板が載置テーブルに装着され、または取り外される。下基板１ａを装着した状態で、電磁制御弁１３によって空気供給孔１２を真空源に連通させて、センターボス３１を引き下げて円筒状シール材３０を上下方向に圧縮する。上下方向に圧縮されると円筒状シール材３０の中央大径部が半径方向外方に膨らみ、下基板１ａの中心孔内面に圧接される。
電磁制御弁１３によって空気供給孔１２を大気に連通させると、円筒状シール材３０はセンターボス３１を押し上げながら弾性復元して、その中央部が小径に戻る。
【００３０】
【実施の形態４】
図６を参照しながら、解決手段３の他の実施例である実施の形態４を説明する。
この実施の形態４は、基本的には実施の形態３と共通しているが、円筒状シール材４０の機能が実施の形態３の円筒状シール材３０とは若干異なり、これ自体が下基板１ａを押さえて上下方向に拘束し、さらに、下基板の上面内周端に当接してセンターボス４１と下基板１ａの中心孔間の隙間を密封する。
そして、ゴム製の円筒状シール材４０が装着されているセンターボス４１の小径部が載置テーブル２の中心孔に上下方向に摺動自在に嵌合しており、載置テーブル２の中心孔が電磁制御弁（密封制御手段）１３を介して真空源に接続されている点は、実施の形態３と同じである。
【００３１】
円筒状シール材４０の断面形状は、自由状態では実施の形態３の円筒状シール材３０と同様であるが、半径方向外方に膨らんでいる中央部が下基板１ａの内周部よりも上方に位置している。円筒状シール材４０が自由状態のとき、センターボス４１が円筒状シール材４０によって押し上げられており、この状態で下基板は載置テーブルに自由に装着され、または取り外される。下基板１ａを装着した状態で、電磁制御弁１３によって載置テーブル２の中心孔である空気供給孔１２を真空源に連通させてセンターボス４１を引き下げ、これに上記円筒状シール材４０を上下方向に圧縮する。この圧縮によって、図６に示されているように、円筒状シール材４０の中央大径部が半径方向外方に膨らんで、下基板１ａの中心孔周縁上面に当接してこれを押さえる。
電磁制御弁１３によって空気供給孔１２を大気に連通させると、円筒状シール材３０はセンターボス４１を押し上げながら弾性復元して、その中央部が小径に戻る。
【００３２】
以上実施の形態を説明したが、実施の形態１乃至実施の形態４は、弾性ゴム製の円筒状シール材を拡張させて下基板の内周部を保持させるものである。これらにおける円筒状シール材に換えて、いわゆる拡張型メカニカルチャックを用い、これによって下基板１ａの内周部を保持して、そのばたつきを抑制するようにすることもできる。
【００３３】
【発明の効果】
この発明の効果を、主な請求項に係る発明毎に整理すれば次のとおりである。
この発明は、載置テーブルに吸着保持され、上面に環状に接着剤が塗布された第１基板に、ロボットアームの吸着ヘッドに吸着保持された第２基板を接近させ、上記接着剤に上記第２基板が接触する瞬間及びその前後を含む短時間に第１基板と第２基板との間に空気を吹き込んで、上記接触前の時点において上記接着剤を半径方向に風圧で押してその頂部を突出した状態に変形させ、当該状態の接着剤に第２基板を接触させ、さらに第２基板を第１基板に接近させて、接着剤を介して第１基板と第２基板とを接着させる光学記録媒体の製造方法について、載置テーブルの内周上部に設けた保持手段によって、載置テーブル上面に載置された基板内周部を保持して上下方向に拘束し、第１基板と第２基板の間への気体の送込みを停止した後に、上記保持手段による基板内周部に対する保持を解除することを特徴事項とするものである。
【００３４】
そして、第１基板と第２基板との間の空間に気体が吹き込まれていて、第２基板が第１基板上の環状接着剤に接触する前の段階から、載置テーブルに載置された第１基板内周部が上記保持手段によって保持されて上下方向に拘束されているので、接着剤で囲まれた第１基板上面の空間の圧力変動が第１基板内周部の下面側に漏れて第１基板内周部をばたつかせることが防止される。また、第１基板と第２基板の間への気体の送込みが停止された後は、保持手段による第１基板の内周部に対する拘束が解除されるので、第１基板の載置テーブルからの取り外し作業に支障を生じることはない。
【００３５】
１．請求項１に係る発明の効果
請求項１に係る発明は、載置テーブルに吸着保持され、上面に環状に接着剤が塗布されている第１基板に、ロボットアームの吸着ヘッドに吸着保持された第２基板を接近させ、上記接着剤に上記第２基板が接触する瞬間及びその前後を含む短時間に第１基板と第２基板との間に空気を吹き込んで、上記接触前の時点において上記接着剤を半径方向に風圧で押してその頂部を突出した状態に変形させ、当該状態の接着剤に第２基板を接触させ、さらに第２基板を第１基板に接近させて、接着剤を介して第１基板と第２基板とを接着させる光学記録媒体の製造方法について、第１基板と第２基板との間に気体が吹き込まれているとき、載置テーブルのセンターボス外周に設けた弾性シール材を半径方向外側に膨らませて、上記載置テーブルに吸着保持された第１基板の中心孔内周面に圧接させることによって、センターボスと第１基板内周面との間の間隙を密封し、第１基板上の接着剤の全周が第２基板に接触した後の段階で、上記弾性シール材を半径方向に縮小させて、上記第１基板の中心孔内周面から離間させることを特徴事項とするものである。
【００３６】
そして、第１基板と第２基板との間に気体が吹き込まれているとき、載置テーブルのセンターボス外周に設けた弾性シール材を半径方向外側に膨らませて、上記載置テーブルに吸着保持された第１基板の中心孔内周面に圧接させることによって、センターボスと第１基板の中心孔内周面との間の間隙を密封することで、接着剤で囲まれた第１基板上の空間の上記風圧による圧力変動が、第１基板の内周部下面の間隙に漏れることを阻止して上記圧力変動によって第１基板の内周部がばたつくことを防止する。また、弾性シールは固定されたセンターボスと第１基板内周面との間に介在していて、第１基板の内周面との摩擦係合力によって第１基板内周を上下方向に拘束する機能を奏するから、仮に、弾性シール材による密封機能が不完全であっても、この拘束力によって第１基板内周部のばたつきを確実に防止できる。
さらに、第１基板上の接着剤の全周が第２基板に接触した後、上記弾性シール材を半径方向に縮小させて上記第１基板内周面から離間させることで、第１基板は載置テーブルのセンターボスに対して上下方向において自由になるので、第１基板の載置テーブルからの取り外し作業に支障を生じることはない。
【００３７】
２．請求項２に係る発明の効果
請求項２に係る発明は、載置テーブルに吸着保持され、上面に環状に接着剤が塗布された第１基板に、ロボットアームの吸着ヘッドに吸着保持された第２基板を接近させ、上記接着剤に上記第２基板が接触する瞬間及びその前後を含む短時間に第１基板と第２基板との間に空気を吹き込んで、上記接触前の時点において上記接着剤を半径方向に風圧で押してその頂部を突出した状態に変形させ、当該状態の接着剤に第２基板を接触させ、さらに第２基板を第１基板に接近させて、接着剤を介して第１基板と第２基板とを接着させる光学記録媒体の製造装置について、載置テーブルの内周上部に保持手段を設け、上記保持手段の作動を制御する制御手段を設け、上記制御手段によって上記保持手段による第１基板内周部の保持、当該保持の解除を制御することを特徴事項とするものである。
【００３８】
そして、載置テーブルの内周上部に設けた保持手段を上記制御手段で作動させて、第１基板内周部を保持させ、第１基板と第２基板との間の空間への気体の吹き込みが停止したとき、上記制御手段によって上記保持手段の作動を停止させ、また、上記の制御手段による保持手段の作動開始、作動停止は、基板貼り合せ工程における気体の吹き込み、吹き込み停止のタイミングと関連して制御される。
これによって、塗布された環状の接着剤によって囲まれた第１基板上空間の圧力変動による第１基板内周部のばたつきが阻止され、このばたつきに因る接着層への気泡の混入が防止される。したがって、第１基板、第２基板の貼り合わせ品質を向上させて、信頼性の高い光学式記録媒体を製造することができる。
【００３９】
３．請求項３に係る発明の効果
請求項３に係る発明は、請求項２に係る発明において、載置テーブルの内周部上面に吸着保持手段を設け、当該吸着保持手段の上面を載置テーブルの支持面とほぼ面一にし、当該吸着保持手段で第１基板内周部の下面を吸着保持させるようにしたものである。
そして、載置テーブルの内周部上面に設けた吸着保持手段によって第１基板内周部の下面を吸着保持させることで、保持手段による上下方向の上記拘束力が第１基板内周部の比較的広い面に分散される。したがって、当該拘束力による局部歪みが回避されるので、第１基板、第２基板の貼り合わせ品質を一層向上させ、光学式記録媒体の信頼性を一層向上させることができる。
【００４０】
４．請求項７に係る発明の効果
請求項７に係る発明は、載置テーブルに吸着保持され、上面に環状に接着剤が塗布された第１基板に、ロボットアームの吸着ヘッドに吸着保持された第２基板を接近させ、上記接着剤に上記第２基板が接触する瞬間及びその前後を含む短時間に第１基板と第２基板との間に空気を吹き込んで、上記接着剤を半径方向に風圧で押してその頂部を突出した状態に変形させ、当該状態の接着剤に第２基板を接触させ、さらに第２基板を第１基板に接近させて、接着剤を介して第１基板と第２基板とを接着させる光学記録媒体の製造装置について、載置テーブルのセンターボス外周に弾性シール材を設け、第１基板上の接着剤の全周が第２基板に接触した後に、上記弾性シール材を半径方向に縮小させて、上記第１基板内周面から離間させる密封制御手段を設け、上記密封制御手段によって上記弾性シール材の上記第１基板の中心孔内周面に対する圧接、離間を制御して、上記センターボスと大基板の中心孔内周面との間の間隙を密封、密封解除を制御することを特徴事項とするものである。
【００４１】
そして、第１基板と第２基板との間に気体が吹き込まれているとき、載置テーブルのセンターボス外周に設けた弾性シール材を、上記密封制御手段で制御して半径方向外側に膨らませて、上記載置テーブル吸着保持された第１基板の中心孔内周面に圧接させることによって、センターボスと第１基板の中心孔内周面との間の隙間を密封する。したがって、接着剤で囲まれた第１基板上の空間の上記風圧による圧力変動が、第１基板の内周部下面側に漏れることが防止されるから、上記圧力変動の影響で第１基板内周部がばたつくことを防止することができる。
また、弾性シールは載置テーブルのセンターボスと第１基板の中心孔内周面との間に介在していて、第１基板の中心孔内周面との摩擦係合力によって第１基板内周部を上下方向に拘束する機能を奏し、この拘束力によって第１基板内周部のばたつきを確実に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】は、この発明の実施の形態１の要部断面図である。
【図２】は、第１基板の一例の内周部の一部拡大図である。
【図３】は、第１基板の他の例の内周部の一部拡大図である。
【図４】は、実施の形態２の要部断面図である。
【図５】は、実施の形態３の要部断面図である。
【図６】は、実施の形態４の要部断面図である。
【図７】は、先行技術による記録媒体の製造装置の断面図である。
【図８】（Ａ）、（Ｂ）は、図７の記録媒体の製造装置の要部拡大断面図である。
【符号の説明】
１ａ：第１基板
１ｂ：第２基板
２：載置テーブル
２ａ：センターボス
３：静電吸着部材
４：制御手段
５：気体吐出部
６：接着剤
７：吸着ヘッド
１０，３０，４０：円筒状シール材
Claims (10)
- 載置テーブルに吸着保持され、接着剤が環状に塗布されている第１基板に、ロボットアームの吸着ヘッドに吸着保持された第２基板を接近させ、上記接着剤に上記第２基板が接触する瞬間及びその前後を含む短時間に第１基板と第２基板との間に空気を吹き込んで、上記接触前の時点において上記接着剤を半径方向に風圧で押してその頂部を突出した状態に変形させ、当該状態の接着剤に第２基板を接触させ、さらに第２基板を第１基板に接近させて、接着剤を介して第１基板と第２基板とを接着させる記録媒体の製造方法において、
第１基板と第２基板との間に気体が吹き込まれているとき、載置テーブルのセンターボス外周に設けた弾性シール材を半径方向外側に膨らませて、上記載置テーブルに吸着保持された第１基板の中心孔内周面に圧接させることによって、センターボスと第１基板の中心孔内周面との間の間隙を密封し、
第１基板と第２基板の間への気体送込み停止後に、上記弾性シール材を半径方向に縮小させて上記第１基板の中心孔内周面から離間させる記録媒体の製造方法。 - 載置テーブルに吸着保持され、接着剤が環状に塗布された第１基板に、ロボットアームの吸着ヘッドに吸着保持された第２基板を接近させ、上記接着剤に上記第２基板が接触する瞬間及びその前後を含む短時間に第１基板と第２基板との間に空気を吹き込んで、上記接触前の時点において上記接着剤を半径方向に風圧で押してその頂部を突出した状態に変形させ、当該状態の接着剤に第２基板を接触させ、さらに第２基板を第１基板に接近させて、接着剤を介して第１基板と第２基板とを接着させる記録媒体の製造装置において、
載置テーブルの内周上部に保持手段を設け、
上記保持手段の作動を制御する制御手段を設け、
上記制御手段によって上記保持手段による第１基板内周部の保持、当該保持の解除を制御する、記録媒体の製造装置。 - 載置テーブルの内周部上面に吸着保持手段を設け、当該吸着保持手段の上面を載置テーブルの支持面とほぼ面一にし、当該吸着保持手段で第１基板内周部の下面を吸着保持させる、請求項２の記録媒体の製造装置。
- 載置テーブルのセンターボスの外周に保持手段を設け、当該保持手段を第１基板中心孔の内周面に圧接させて、その摩擦抵抗で第１基板内周部を保持させる、請求項２の記録媒体の製造装置。
- 載置テーブルのセンターボスの外周に弾性保持手段を設け、当該弾性保持手段で第１基板内周上面を押さえて、第１基板内周部を保持させる、請求項２の記録媒体の製造装置。
- 上記吸着保持手段が静電吸着部材である、請求項３の記録媒体の製造装置。
- 載置テーブルに吸着保持され、接着剤が環状に塗布された第１基板に、ロボットアームの吸着ヘッドに吸着保持された第２基板を接近させ、上記接着剤に上記第２基板が接触する瞬間及びその前後を含む短時間に第１基板と第２基板との間に空気を吹き込んで、上記接触前の時点において上記接着剤を半径方向に風圧で押してその頂部を突出した状態に変形させ、当該状態の接着剤に第２基板を接触させ、さらに第２基板を第１基板に接近させて、接着剤を介して第１基板と第２基板とを接着させる記録媒体の製造装置において、
載置テーブルのセンターボス外周に弾性シール材を設け、
第１基板と第２基板の間への気体送込み停止後に、上記弾性シール材を半径方向に縮小させて、上記第１基板内周面から離間させる密封制御手段を設け、
上記密封制御手段によって上記弾性シール材の上記第１基板の中心孔内周面に対する圧接、離間を制御して、上記センターボスと第１基板の中心孔内周面間の間隙の密封、密封解除を制御する、記録媒体の製造装置。 - 上記弾性シール材が中空ゴム体であり、密封制御手段が空気圧の制御手段であり、当該空気圧制御手段により、弾性シール材に空気圧を供給して上記中空ゴム体を半径方向外方に膨脹させて第１基板内周面に圧接させる、請求項７の記録媒体の製造装置。
- 上記弾性シール材が中空ゴム体であり、上記密封制御手段が上記中空ゴム体を上下方向に圧縮する駆動手段及び当該駆動手段を制御する制御手段であり、当該中空ゴム体を上下方向に圧縮して半径方向外側に膨脹させて第１基板の中心孔内周面に圧接させる、請求項７の記録媒体の製造装置。
- 載置テーブルに吸着保持され、上面に接着剤が塗布された第１基板に、ロボットアームの吸着ヘッドに吸着保持された第２基板を接近させ、上記接着剤に上記第２基板が接触する瞬間及びその前後を含む短時間に第１基板と第２基板との間に空気を吹き込んで、上記接触前の時点において上記接着剤を半径方向に風圧で押して、その頂部を突出した状態に変形させ、当該状態の接着剤に第２基板を接触させ、さらに第２基板を第１基板に接近させて、接着剤を介して第１基板と第２基板とを接着させた記録媒体であって、請求項２乃至請求項９の製造装置によって製造された光学式記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002025037A JP4107474B2 (ja) | 2002-02-01 | 2002-02-01 | 記録媒体の製造方法及び製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002025037A JP4107474B2 (ja) | 2002-02-01 | 2002-02-01 | 記録媒体の製造方法及び製造装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003228887A JP2003228887A (ja) | 2003-08-15 |
| JP4107474B2 true JP4107474B2 (ja) | 2008-06-25 |
Family
ID=27747318
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002025037A Expired - Fee Related JP4107474B2 (ja) | 2002-02-01 | 2002-02-01 | 記録媒体の製造方法及び製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4107474B2 (ja) |
-
2002
- 2002-02-01 JP JP2002025037A patent/JP4107474B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2003228887A (ja) | 2003-08-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4985513B2 (ja) | 電子部品の剥離方法及び剥離装置 | |
| JP4541824B2 (ja) | 非接触型吸着保持装置 | |
| JP2009065108A (ja) | ウェーハ用テーブル、表面保護フィルム剥離装置および表面保護フィルム剥離方法 | |
| US5930654A (en) | Method of producing semiconductor devices including a step of dicing a semiconductor wafer while covering the semiconductor wafer by a tape | |
| CN106469658B (zh) | 片材粘附装置及粘附方法 | |
| JP2015162634A (ja) | ウエハへの保護テープの貼付装置およびウエハの製造方法 | |
| JP5061515B2 (ja) | ウェハ接合装置及びウェハ接合方法 | |
| KR20190011397A (ko) | 곡면 합착 장치 | |
| JP2534196B2 (ja) | ウエ−ハ貼付方法 | |
| JP4814284B2 (ja) | テープ貼付装置 | |
| US6843879B1 (en) | Separation method for object and glue membrane | |
| WO2009081880A1 (ja) | 貼付材の貼付方法と貼付装置 | |
| JP4107474B2 (ja) | 記録媒体の製造方法及び製造装置 | |
| JP2000349136A (ja) | 粘着材の貼付装置及び貼付方法 | |
| TWI828355B (zh) | 半導體裝置的製造裝置 | |
| JP2004516941A (ja) | サブストレートの接合のための方法及び装置 | |
| JP2003059862A (ja) | 剥離装置 | |
| JPH11277422A (ja) | ウェーハの接着装置 | |
| JP2003124153A (ja) | ダイサーシート貼り付け方法 | |
| KR102501353B1 (ko) | 지지 장치 및 지지 방법 | |
| KR102455166B1 (ko) | 진공척 및 진공척의 구동방법 | |
| JP6390040B2 (ja) | 粘着シートの貼付部材、貼付装置、および貼付方法 | |
| JPH079375Y2 (ja) | ウエ−ハ接着装置 | |
| JP3150296B2 (ja) | ディスク基板の貼り合わせにおける粘着シート体を付着させる装置 | |
| JPH0715182A (ja) | 半導体処理装置およびその処理方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20041025 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060523 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070720 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070913 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080327 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080327 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110411 Year of fee payment: 3 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120411 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130411 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140411 Year of fee payment: 6 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |