JP4094751B2 - 部品搭載装置及び方法 - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、部品を搭載する装置及び方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
部品搭載装置、いわゆるマウンタは、X、Y、及びZ軸方向に移動可能な作業ヘッドに装着されたノズルで搭載対象部品を吸着し、該部品を照明すると共にカメラで撮像し、撮像した画像に基づいて該部品の位置及び姿勢を補正して、基板に搭載する。
【0003】
従来の部品搭載装置は、吸着した部品を固定カメラの上方に移動し、撮像してから目的の位置に搭載していた。このため、吸着した部品を基板上の目的の位置に直接搬送する場合に比べ、作業ヘッドの移動距離が長くなり、作業効率が悪いという問題点がある。
【0004】
このような問題点を解決するために、特開平7−263895号公報には、照明された部品の反射光を所定距離スライドしたミラーで反射して作業ヘッドに併設されたカメラに導く電子部品搭載装置が開示されている。
【0005】
しかし、この電子部品搭載装置では、対向して配置された一対のミラーを介して部品の像をカメラに導くので、一方のミラーでの像のずれと同様のずれが他方のミラーでも生じ、カメラが撮像した部品の像のずれ量が、ミラーのスライド距離のずれの2倍という大きな値となる。
このため、ミラーのスライド距離の変動が、部品の画像の精度に大きな影響を与えてしまうという問題点がある。
【0006】
また、この電子部品搭載装置は、ミラーをスライドするためのスペースを必要とするため、作業塔のサイズが大きくなるという問題点がある。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上記実状に鑑みてなされたものであり、基板上への部品の搭載精度及び作業効率を高めることが可能な部品搭載装置を提供することを目的とする。
また、本発明は、装置の小型化を図ることが可能な部品搭載装置を提供することを他の目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の第1の観点に係る部品搭載装置は、
ノズルで部品を吸着し、吸着した部品の姿勢及び位置を判別し、判別した部品の姿勢及び位置に基づいて吸着した部品の姿勢及び位置を制御して搭載位置に搭載する搭載手段を備える部品搭載装置において、
光を照射する照明手段と、
前記ノズルが吸着し、前記照明手段が照明した部品を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段が撮像した部品の画像に基づいて前記部品の姿勢及び位置を判別する判別手段と、
前記照明手段に照明された部品の反射光を前記撮像手段に導くための反射可能位置と、部品を吸着し、前記搭載位置に搭載する前記ノズルと当接しない退避位置との間でほぼ水平方向に回動可能に配置された光学手段と、
を前記搭載手段に備えることを特徴とする。
【0009】
この部品搭載装置によれば、ノズルが吸着した部品を照明する照明手段と該部品を撮像する撮像手段とを搭載手段に備えるので、吸着位置から搭載位置まで部品を直接搬送でき、固定カメラの上方を介して部品を搬送する場合に比べ、搭載手段の移動距離を短くできる。
【0010】
また、この部品搭載装置は、反射可能位置と退避位置との間で光学手段を回転して移動するので、光学手段の位置決めの精度が同じである場合は、光学手段をスライドして移動する場合に比べ、撮像した画像における部品の位置及び姿勢のずれが小さくなり、部品の搭載位置の精度を高くできる。更に、光学手段の移動に必要なスペースを低減でき、搭載手段のサイズを小型化できる。
【0011】
前記光学手段は、前記ノズルが部品を吸着してから吸着した部品を目的の位置に搭載するまでの間に、前記搭載手段に回転自在に設けられた回転軸を中心に、所定角度回動して前記反射可能位置に配置され、前記撮像手段が前記ノズルに吸着した部品を撮像すると、更に所定角度回動して前記退避位置に配置されることが望ましい。
【0012】
この構成によれば、ノズルが部品を吸着してから該部品を目的位置に搭載するまでの間に、該部品の位置及び姿勢の補正を行うことが可能である。
従って、吸着位置から搭載位置まで部品を直接搬送でき、固定カメラの上方を介して部品を搬送する場合に比べ、搭載手段の移動距離を短くすることが可能である。
【0013】
前記光学手段は、所定の角度を保って対向して配置された第1のミラー及び第2のミラーを備え、前記光学手段が前記反射可能位置に配置されると、
前記第1のミラーは、前記照明手段が照射した光を前記第2のミラーに反射し、かつ、前記第2のミラーが反射した光を前記撮像手段に反射し、
前記第2のミラーは、前記第1のミラーが反射した光を前記ノズルが吸着した部品に反射し、かつ、前記部品が反射した光を前記第1のミラーに反射することが望ましい。
【0014】
この構成によれば、光学手段が反射可能位置に配置され、照明手段が光を照射すると、第1のミラーは、照明手段が照射した光を第2のミラーに反射する。第2のミラーは、第1のミラーの反射光をノズルが吸着した部品に反射し、該部品の反射光を第1のミラーに導く。第1のミラーは、第2のミラーの反射光を撮像手段に導く。
従って、搭載手段に設けられた撮像手段によって、ノズルが吸着した部品を撮像することが可能である。
【0016】
前記搭載手段は、前記ノズル、照明手段、撮像手段、及び光学手段を複数備えてもよい。
【0017】
この構成によれば、複数のノズルを備える搭載手段において、一度に複数の部品を基板上に搭載する際にも各ノズルが吸着した部品の姿勢及び位置のずれを検出することが可能である。
【0018】
上記目的を達成するため、本発明の第2の観点に係る部品搭載装置は、
上下方向に移動し、部品を吸着及び搭載するノズルと、前記ノズルに吸着された部品に光を照射する照明手段と、前記ノズルに吸着され且つ前記照明手段に照明された部品を撮像する撮像手段と、前記撮像手段が撮像した部品の画像に基づいて前記部品の姿勢及び位置を判別する判別手段と、前記判別手段が判別した部品の姿勢及び位置に基づいて、前記部品の姿勢及び位置を補正する補正手段と、所定の角度で対向した状態で一体に回動可能に配置された一対の反射部材と、を備え、水平方向に移動可能に構成された移動手段と、
一方の反射部材が前記ノズルの上下方向の移動経路上に位置し且つ他方の反射部材が前記照明手段及び撮像手段の下方に位置するよう前記一対の反射部材を回動して、前記ノズルが吸着した部品の像を前記撮像手段に導き、前記一方の反射部材が前記ノズルの上下方向の移動経路上から退避するよう前記一対の反射部材を回動する回動制御手段と、
を備えることを特徴とする。
【0019】
この部品搭載装置によれば、ノズルが吸着した部品を照明する照明手段と該部品を撮像する撮像手段とを移動手段に備えるので、吸着位置から搭載位置まで部品を直接搬送でき、固定カメラの上方を介して部品を搬送する場合に比べ、移動手段の移動距離を短くすることが可能である。
【0020】
また、回転制御手段は、ノズルが吸着した部品の像を撮像手段に導くために、一方の反射部材がノズルの上下方向の移動経路上に位置し且つ他方の反射部材が照明手段及び撮像手段の下方に位置するよう一対の反射部材を回動し、また、一方の反射部材がノズルの上下方向の移動経路上から退避するよう一対の反射部材を回動する。
このため、反射部材の位置決めの精度が同じである場合は、反射部材をスライドして移動する場合に比べ、撮像した画像における部品の姿勢及び位置のずれが小さくなり、部品の搭載位置の精度を高くできる。更に、反射部材の移動に必要なスペースを低減でき、移動手段のサイズを小型化できる。
【0021】
前記移動手段は、前記ノズル、照明手段、撮像手段、及び一対の反射部材を複数備えてもよい。
【0022】
この構成によれば、複数のノズルを備える移動手段において、一度に複数の部品を基板上に搭載する際にも各ノズルが吸着した部品の姿勢及び位置のずれを検出することが可能である。
【0023】
上記目的を達成するため、本発明の第3の観点に係る部品搭載方法は、
搭載対象部品を上下方向に移動するノズルで吸着し、前記ノズルが吸着した部品を照明手段で照明し、前記ノズルが吸着し、前記照明手段が照明した部品を撮像手段で撮像し、前記撮像手段が撮像した画像に基づいて前記部品の姿勢及び位置を判別し、判別した部品の姿勢及び位置に基づいて吸着した部品の姿勢及び位置を制御して目的位置に搭載する部品搭載方法において、
所定の位置で前記搭載対象部品を吸着する吸着工程と、
光を照射する照明工程と、
前記吸着工程で吸着し且つ前記照明工程で光を照射した部品を撮像する撮像工程と、
前記撮像工程で撮像した画像に基づいて前記部品の姿勢及び位置を判別する判別工程と、
前記照明工程で光を照射された部品の反射光を前記撮像手段に導く位置に、該部品の反射光を反射する反射部材をほぼ水平方向に回動して配置する第1の回動工程と、
を備えることを特徴とする。
【0024】
吸着工程が搭載対象部品を吸着すると、第1の回動工程は、照明工程で照明された部品の反射光を撮像手段に導く位置に反射部材を回動して配置する。照明工程は、吸着工程が吸着した部品を照明する。照明工程によって照明された部品の反射光は、反射部材を介して撮像手段に照射され、撮像手段によって撮像される。判別工程は、撮像工程が撮像した画像に基づいて該部品の姿勢及び位置を判別する。
以上説明したように、この方法によれば、照明工程で照明された部品の反射光を撮像手段に導く位置に反射部材を回動して配置する。このため、反射部材の位置決めの精度が同じである場合は、反射部材をスライドして移動する場合に比べ、撮像した画像における部品の位置及び姿勢のずれが小さくなり、部品の搭載位置の精度を高くできる。
【0025】
前記部品搭載方法は、搭載対象部品を吸着及び搭載するために上下方向に移動する前記ノズルと当接しない位置に、回転自在に設けられた回転軸を中心に、前記反射部材を回動して配置する第2の回動工程を備えることが望ましい。
【0026】
この方法によれば、撮像工程で部品を撮像すると、第2の回動工程は、搭載対象部品を吸着又は搭載するノズルと当接しない位置に反射部材を回動して配置する。従って、反射部材とノズルとが当接することを防止できる。
【0027】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態の部品搭載装置を図面を参照して説明する。
【0028】
本発明の実施の形態の部品搭載装置100は、図1に示すように、基板を搬送するコンベア10と、基板を支持する支持部20と、テーブル30と、部品を目的位置に搭載する作業塔40と、作業塔40をX軸方向に移動するX軸部70と、作業塔40をY軸方向に移動するY軸部80とを備える。
【0029】
コンベア10は、一対のコンベアベルトと、移動する基板を案内する案内レールとを備え、基板を矢印YA方向に搬送する。支持部20は、両コンベアベルトの間に設けられ、部品搭載時に基板を一時的に支持する。テーブル30は、それぞれ平板状に形成され、搭載対象部品を供給するための複数の部品供給用カセット3が載置される。
【0030】
X軸部70は、リニアガイド、ボールネジ、及びX軸モータ72(図4)等を備え、作業塔40をX軸方向に移動する。Y軸部80は、リニアガイド、ボールネジ、及びY軸モータ82(図4)等を備え、作業塔40をY軸方向に移動する。
【0031】
作業塔40は、図2に示すように、搭載対象部品を吸着するノズル46が装着される作業ヘッド45と、ノズル46が吸着した部品を照明する照明装置50と、該部品を撮像するカメラ55と、該部品の像をカメラ55に導く光学ユニット60と、作業ヘッド45をZ軸方向に移動するZ軸モータ47と、作業ヘッド45をXY平面上で回転する回転モータ48とを備える。
【0032】
照明装置50は、図3(a)の側面図,図3(b)の平面図で示すように、リング状に配置され、光学ユニット60を介してノズル46が吸着した、例えば、搭載対象部品である半導体チップ1を照明する。
【0033】
カメラ55は、照明装置50よりも光学ユニット60の回転板62の方向にわずかに突出し且つ照明装置50に囲まれた状態で配置され、照明装置50に照明された半導体チップ1を撮像する。
【0034】
光学ユニット60は、回転自在に作業塔40に設けられた回転軸64と、回転軸64に軸装された回転板62と半導体チップ1の像をカメラ55に導くミラー61a,61bと、回転軸64を回転する切替モータ63と、切替モータ63の回転を回転軸64に伝達するベルト65とを備える。
【0035】
回転軸64は、一端が回転板62に固定され、他端が従動プーリ64aに嵌入し、従動プーリ64aの回転に従って回転する。
【0036】
回転板62は、矩形の平板から形成され、両端部から傾斜して形成された傾斜部62a,62bと、中央部に穿設され、回転軸64が嵌入する穴62cとを備え、回転軸64の回転に従って、回転軸64を中心に矢印YB方向に回転する。傾斜部62a,62bは、平板の長手方向の中央部に対してほぼ45°の角度αでカメラ55の方向に傾斜して形成されている。
【0037】
ミラー61a,61bは、回転板62が備える傾斜部62a,62bのカメラ55側の面に配置され、照明装置50が照射した光をノズル46が吸着した半導体チップ1に導き且つ半導体チップ1の像をカメラ55に導く。
【0038】
切替モータ63は、軸の先端に駆動プーリ63aを備え、ベルト65を介して回転軸64を回転し、図3(a)の側面図,図3(b)の平面図で示す照明装置50の光をノズル46が吸着した半導体チップ1に導き且つ半導体チップ1の像をカメラ55に導く位置と、図3(c)の側面図,図3(d)の平面図で示すZ軸方向に移動するノズル46と当接しない位置との間でミラー61a,61bを矢印YB方向に回転する。
【0039】
ベルト65は、駆動プーリ63aと従動プーリ64aとの間に張架され、駆動プーリ63aの回転を従動プーリ64aに伝達する。
【0040】
図4は、部品搭載装置100の回路構成を示す。
図示するように、部品搭載装置100は、前述のX軸モータ72、Y軸モータ82、Z軸モータ47、回転モータ48、切替モータ63、照明装置50、及びカメラ55に加えて、記憶回路90と制御回路95とを備える。
【0041】
記憶回路90は、ノズル46が吸着した部品の正常な画像と、部品供給用カセット3上の部品を基板に搭載する際に制御回路95が処理する動作プログラムとを記憶している。
【0042】
制御回路95は、記憶回路90が記憶する動作プログラムに基づいてX軸モータ72と、Y軸モータ82と、Z軸モータ47と、回転モータ48とを制御し、搭載対象部品を吸着し、搬送して、基板上の目的の位置に該部品を搭載する。
また、制御回路95は、記憶回路90が記憶しているノズル46が吸着した部品の正常な画像と、カメラ55が撮像した部品の画像とに基づいて、該部品の位置及び方向を補正する。
さらに、制御回路95は、切替モータ63を制御し、回転軸64を中心に回転板62を回転する。
【0043】
以下、本実施の形態の部品搭載装置100の動作を図面を参照して説明する。
【0044】
基板に部品を搭載する際には、コンベア10によって矢印YA方向に移動してきた基板が支持部20で支持され、搭載対象部品である半導体チップ1が配置された部品供給用カセット3がテーブル30に載置されている。
【0045】
作業塔40が備える光学ユニット60は、Z軸方向に移動するノズル46と当接しない位置に回転板62を配置している。
【0046】
この状態から、半導体チップ1を基板に搭載する場合、制御回路95は、記憶回路90が記憶する動作プログラムに基づき、X軸モータ72及びY軸モータ82を制御して、ノズル46を半導体チップ1の上方に移動し、Z軸モータ47を制御してノズル46を下降させ、更にノズル46で半導体チップ1を吸着する。
【0047】
制御回路95は、半導体チップ1を吸着すると、図3(c)の側面図、図3(d)の平面図で示すように、Z軸モータ47を制御してノズル46を上昇させ、更にX軸モータ72及びY軸モータ82を制御して、ノズル46を基板上の目的の位置に搬送する。
【0048】
制御回路95は、半導体チップ1を吸着してからノズル46を基板上の目的の位置に搭載するまでの間に、ノズル46が吸着している部品の姿勢及び位置が、正常な姿勢及び位置に対してどの程度ずれているかを検出するための部品認識処理を行う。
【0049】
まず、制御回路95は、切替モータ63を制御し、ベルト65を介して回転軸64を矢印YB方向に回転させ、図3(a)の側面図,図3(b)の平面図で示すように、照明装置50が照射した光を半導体チップ1に導き且つ半導体チップ1の反射光をカメラ55に導く位置にミラー61a,61bを配置する。
【0050】
制御回路95は、照明装置50を点灯する。照明装置50が出射した光は、ミラー61aによってミラー61bの方向に反射され、更にミラー61bによって半導体チップ1の方向に反射され、半導体チップ1に照射される。半導体チップ1の反射光は、照明装置50によって出射された光が半導体チップ1に照射された際と逆方向に進行してカメラ55に照射される。
【0051】
制御回路95は、カメラ55に撮像を指示し、撮像が終了すると、照明装置50を消灯する。
【0052】
制御回路95は、切替モータ63を制御して、回転軸64を矢印YB方向に回転し、図3(c)の側面図,図3(d)の平面図で示すように、基板に半導体チップ1を搭載するためにZ軸方向に移動するノズル46と当接しない位置に回転板62を配置する。
【0053】
制御回路95は、カメラ55から供給された半導体チップ1の画像と、記憶回路90が記憶している半導体チップ1の正常な画像とをパターンマッチングなどの手法を用いて比較し、吸着した半導体チップ1のX,Y方向の位置ずれΔx、Δy、姿勢(回転角θ)を判別する。
【0054】
制御回路95は、θをキャンセルするように、回転モータ48を回転させ、さらに、Δx、ΔyをキャンセルするようにX軸モータ72及びY軸モータ82を制御してノズル46の位置を目的位置に対して−Δx、−Δyだけ補正して、半導体チップ1を基板に搭載する。
【0055】
以上説明したように、部品搭載装置100は、搭載対象部品を吸着するノズル46とノズル46が吸着した部品を撮像するカメラ55とを作業塔40に備える。
このため、吸着位置から搭載位置まで部品を直接搬送でき、固定カメラの上方を介して部品を搬送する場合に比べ、作業ヘッド45の移動距離を短くすることが可能である。
【0056】
また、部品搭載装置100は、回転板62を回転することにより、照明装置50に照明された部品の反射光をカメラ55に導く位置と、部品を搬送するためにZ軸方向に移動するノズル46に当接しない位置との間でミラー61a,61bを移動する。
【0057】
そのため、ミラー61a,61bの位置決めの精度が同じである場合は、ミラー61a,61bをスライドして移動する場合に比べ、カメラ55が取り込む画像における半導体チップ1の姿勢及び位置のずれが小さくなり、部品の搭載位置の精度を高くできる。更に、ミラー61a,61bの移動に必要なスペースを低減でき、作業塔40のサイズを小型化することが可能となる。
【0058】
上記実施の形態では、作業塔40が備える作業ヘッド45が1つである場合について説明したが、作業塔40が備える作業ヘッド45の数は任意であり、例えば、2つの作業ヘッド45を備える構成でもよい。
【0059】
この場合、作業塔40は、図5(a)に示すように、各作業ヘッド45に対応したノズル46、照明装置50、カメラ55、及び光学ユニット60を備える。但し、光学ユニット60が備える回転軸64、ベルト65、及び切替モータ63は、両光学ユニット60で1つのものを備える。
【0060】
この構成によれば、各作業ヘッド45が備えるノズル46で半導体チップ1を吸着する際には、図5(a)に示すように、Z軸方向に移動するノズル46に当接しない位置に各回転板62が位置している。
【0061】
制御回路95は、ノズル46が吸着した半導体チップ1をカメラ55で撮像する際には、回転軸64を矢印YB方向に回転し、図5(b)に示すように、照明装置50が照射した光を半導体チップ1に導き且つ半導体チップ1の反射光をカメラ55に導く位置に各ミラー61a,61bを移動する。
【0062】
各照明装置50は、各光学ユニット60を介して各照明装置50に対向して配置されている半導体チップ1を照明する。照明された半導体チップ1の像は、各半導体チップ1を照明した照明装置50に並設されているカメラ55によって撮像される。
【0063】
カメラ55による半導体チップ1の撮像が終了すると、再び、図5(a)に示すように、Z軸方向に移動するノズル46と当接しない位置に回転板62を移動する。
【0064】
以上説明したように、複数の作業ヘッド45に対応した照明装置50、カメラ55、及び光学ユニット60を作業塔40に備えることにより、一度に複数の部品を基板上に搭載する際にもノズル46に吸着した部品の姿勢及び位置のずれを検出することが可能である。
【0065】
上記実施の形態では、回転板62の長手方向の中央部に対する傾斜部62a,62bの角度αはほぼ45°であったが、αの値は、ミラー61a,61bによって、照明装置50に照明された半導体チップ1の反射光をカメラ55に導くことが可能であれば任意である。
【0066】
搭載対象部品は、半導体チップに限定されず、例えば、コンデンサ等の他の電子部品でもよい。
【0067】
回転板62の回転方向は、一方向に限定されず、例えば、ノズル46が吸着した半導体チップ1の像をカメラ55に導く位置に移動する際は一方向に回転し、Z軸方向に移動するノズル46及びノズル46が吸着した半導体チップ1と当接しない位置に移動する際には他方向に回転してもよい。
【0068】
切替モータ63の駆動は、ベルト65を介して回転軸64に伝達される必要はなく、例えば、切替モータ63の軸に嵌入した歯車と回転軸64に嵌入した歯車とを嵌合させることによって切替モータ63の回転を回転軸64に嵌入した歯車に伝達してもよい。
【0069】
照明装置50が照射した光をノズル46が吸着した部品に導き且つ該部品の反射光をカメラ55に導くことが可能ならば、ミラー61a,61bの形状及び材質は、任意であり、例えば、円形の平板状に形成された構成でもよい。
【0070】
照明装置50及びカメラ55が配置される位置は、作業塔40に固定され且つZ軸方向でのノズル46の移動経路から退避した位置であれば任意である。
【0071】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、基板上への部品の搭載精度を高めることができる。
また、本発明によれば、部品を搭載する際の作業効率を高めることが可能である。
さらに、本発明によれば、部品搭載装置の小型化を図ることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態に係る部品搭載装置の斜視図である。
【図2】図1の部品搭載装置が備える作業塔の部分断面図である。
【図3】(a)は部品を撮像する状態の作業塔の部分側面図である。
(b)は図3(a)の作業塔の部分平面図である。
(c)は部品を搬送する状態の作業塔の部分側面図である。
(d)は図3(c)の作業塔の部分平面図である。
【図4】図1の部品搭載装置の回路構成を示すブロック図である。
【図5】(a)は部品を搬送する状態の作業塔の変形例を示す平面図である。
(b)は部品を撮像する状態の作業塔の変形例を示す平面図である。
【符号の説明】
1 半導体チップ
3 部品供給用カセット
10 コンベア
20 支持部
30 テーブル
40 作業塔
45 作業ヘッド
46 ノズル
47 Z軸モータ
48 回転モータ
50 照明装置
55 カメラ
60 光学ユニット
61a,61b ミラー
62 回転板
62a,62b 傾斜部
63 切替モータ
64 回転軸
70 X軸部
80 Y軸部
90 記憶回路
95 制御回路
100 部品搭載装置

Claims (8)

  1. ノズルで部品を吸着し、吸着した部品の姿勢及び位置を判別し、判別した部品の姿勢及び位置に基づいて吸着した部品の姿勢及び位置を制御して搭載位置に搭載する搭載手段を備える部品搭載装置において、
    光を照射する照明手段と、
    前記ノズルが吸着し、前記照明手段が照明した部品を撮像する撮像手段と、
    前記撮像手段が撮像した部品の画像に基づいて前記部品の姿勢及び位置を判別する判別手段と、
    前記照明手段に照明された部品の反射光を前記撮像手段に導くための反射可能位置と、部品を吸着し、前記搭載位置に搭載する前記ノズルと当接しない退避位置との間でほぼ水平方向に回動可能に配置された光学手段と、
    を前記搭載手段に備えることを特徴とする部品搭載装置。
  2. 前記光学手段は、前記ノズルが部品を吸着してから吸着した部品を目的の位置に搭載するまでの間に、前記搭載手段に回転自在に設けられた回転軸を中心に、所定角度回動して前記反射可能位置に配置され、前記撮像手段が前記ノズルに吸着した部品を撮像すると、更に所定角度回動して前記退避位置に配置されることを特徴とする請求項1に記載の部品搭載装置。
  3. 前記光学手段は、所定の角度を保って対向して配置された第1のミラー及び第2のミラーを備え、前記光学手段が前記反射可能位置に配置されると、
    前記第1のミラーは、前記照明手段が照射した光を前記第2のミラーに反射し、かつ、前記第2のミラーが反射した光を前記撮像手段に反射し、
    前記第2のミラーは、前記第1のミラーが反射した光を前記ノズルが吸着した部品に反射し、かつ、前記部品が反射した光を前記第1のミラーに反射することを特徴とする請求項1又は2に記載の部品搭載装置。
  4. 前記搭載手段は、前記ノズル、照明手段、撮像手段、及び光学手段を複数備えることを特徴とする請求項1乃至3の何れか一項に記載の部品搭載装置。
  5. 上下方向に移動し、部品を吸着及び搭載するノズルと、前記ノズルに吸着された部品に光を照射する照明手段と、前記ノズルに吸着され且つ前記照明手段に照明された部品を撮像する撮像手段と、前記撮像手段が撮像した部品の画像に基づいて前記部品の姿勢及び位置を判別する判別手段と、前記判別手段が判別した部品の姿勢及び位置に基づいて、前記部品の姿勢及び位置を補正する補正手段と、所定の角度で対向した状態で一体に回動可能に配置された一対の反射部材と、を備え、水平方向に移動可能に構成された移動手段と、
    一方の反射部材が前記ノズルの上下方向の移動経路上に位置し且つ他方の反射部材が前記照明手段及び撮像手段の下方に位置するよう前記一対の反射部材を回動して、前記ノズルが吸着した部品の像を前記撮像手段に導き、前記一方の反射部材が前記ノズルの上下方向の移動経路上から退避するよう前記一対の反射部材を回動する回動制御手段と、
    を備えることを特徴とする部品搭載装置。
  6. 前記移動手段は、前記ノズル、照明手段、撮像手段、及び一対の反射部材を複数備えることを特徴とする請求項5に記載の部品搭載装置。
  7. 搭載対象部品を上下方向に移動するノズルで吸着し、前記ノズルが吸着した部品を照明手段で照明し、前記ノズルが吸着し、前記照明手段が照明した部品を撮像手段で撮像し、前記撮像手段が撮像した画像に基づいて前記部品の姿勢及び位置を判別し、判別した部品の姿勢及び位置に基づいて吸着した部品の姿勢及び位置を制御して目的位置に搭載する部品搭載方法において、
    所定の位置で前記搭載対象部品を吸着する吸着工程と、
    光を照射する照明工程と、
    前記吸着工程で吸着し且つ前記照明工程で光を照射した部品を撮像する撮像工程と、
    前記撮像工程で撮像した画像に基づいて前記部品の姿勢及び位置を判別する判別工程と、
    前記照明工程で光を照射された部品の反射光を前記撮像手段に導く位置に、該部品の反射光を反射する反射部材をほぼ水平方向に回動して配置する第1の回動工程と、
    を備えることを特徴とする部品搭載方法。
  8. 前記部品搭載方法は、
    搭載対象部品を吸着及び搭載するために上下方向に移動する前記ノズルと当接しない位置に、回転自在に設けられた回転軸を中心に、前記反射部材を回動して配置する第2の回動工程を備えることを特徴とする請求項7に記載の部品搭載方法。
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