JP4092671B2 - オゾン吸脱着装置 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、発生したオゾンを吸着して蓄積し、この蓄積したオゾンを脱着して放出するオゾン吸脱着装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
紙やパルプ等の漂白用として環境への悪影響がないオゾンの使用が広まってきている。オゾンは放電や紫外線照射、または電気分解などの方法により、酸素を原料としてオゾン発生機によって生成される。このようにして生成したオゾンは一旦吸着塔に吸着させて蓄積し濃縮される。吸着は９〜１０ａｔａ（絶対気圧）で−６０〜−３０℃で行われる。次に供給先への供給を行うため、加熱して脱着させ、窒素や乾燥空気などのキャリアガスとともに供給先に送られる。脱着は１〜９ａｔａで−６０〜０℃で行われる。吸着反応は発熱を伴うため冷却する必要があり、脱着反応は吸熱を伴うため加熱する必要がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
複数の吸着塔を有するプラントではそれぞれオゾンの吸着や脱着を単独で行っている。オゾン吸着には、発熱反応のため、吸着剤温度を一定に保つ冷却が必要となり、オゾン脱着には、吸熱反応のため加熱が必要となるが、それぞれ冷却装置と加熱装置とから冷却、加熱をしていた。
【０００４】
本発明は、上述の問題点に鑑みてなされたもので、複数の吸着塔でオゾン吸着と脱着を同時に行う場合、吸着時に発生する熱を脱着時に用いるようにしたオゾン吸脱着装置を提供することを目的する。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため請求項１の発明では、冷却しながらオゾンを供給するとオゾンを吸着し、加熱すると吸着したオゾンを脱着するオゾン吸脱着剤を充填した第１容器と第２容器を並べ、冷却装置より第１容器、第２容器を通り冷却装置に戻る伝熱管を設け、伝熱管に伝熱媒体の流れる方向を第１容器から第２容器に流れるようにして、第１容器でオゾンを吸着して第２容器でオゾンを脱着する場合、または伝熱管に伝熱媒体の流れる方向を第２容器から第１容器に流れるようにして、第２容器でオゾンを吸着して第１容器でオゾンを脱着する場合、のいずれかにより吸脱着を行う。
【０００６】
オゾンを吸着する方の容器に冷却装置より冷却した伝熱媒体を流して、吸着反応により発生する熱を吸収し、この熱をオゾンを脱着する方の容器に伝達して脱着反応に必要な熱とする。このように吸着時の発熱、脱着時の吸熱を互いに相殺することにより伝熱媒体の冷却・加熱における熱負荷を低減できる。
【０００７】
請求項２の発明では、冷却しながらオゾンを供給するとオゾンを吸着し、加熱すると吸着したオゾンを脱着するオゾン吸脱着剤を充填した第１容器と第２容器と第３容器と第４容器を並べ、冷却装置より第１容器、第２容器、第３容器、第４容器を通り冷却装置に戻る伝熱管を設け、伝熱管に伝熱媒体の流れる方向を第１容器から第４容器に流れるようにしたときは、第２容器でオゾンを吸着して第４容器でオゾンを脱着する場合、第１容器でオゾンを吸着して第３容器でオゾンを脱着する場合、のいずれか、伝熱管に伝熱媒体の流れる方向を第４容器から第１容器に流れるようにしたときは、第４容器でオゾンを吸着して第２容器でオゾンを脱着する場合、第３容器でオゾンを吸着して第１容器でオゾンを脱着する場合、のいずれかにより吸脱着を行う。
【０００８】
４個並んだ容器の内一つ置きに２個の容器を選び、オゾン吸着を行う容器からオゾン脱着を行う容器に冷却した伝熱媒体が流れるようにすることにより、オゾン吸着時の発熱、オゾン脱着時の吸熱を互いに相殺することができ伝熱媒体の冷却・加熱における熱負荷を低減できる。なお、オゾン吸着と脱着を行わない容器は次のオゾン吸着と脱着に備えて冷却または加熱されることになる。
【０００９】
請求項３の発明では、冷却しながらオゾンを供給するとオゾンを吸着し、加熱すると吸着したオゾンを脱着するオゾン吸脱着剤を充填した第１容器と第２容器と第３容器とを配置し、冷却装置より第２容器、第１容器を通り冷却装置に戻り、この順に伝熱媒体が流れる第１伝熱管と、冷却装置より第３容器、第２容器を通り冷却装置に戻り、この順に伝熱媒体が流れる第２伝熱管と、冷却装置より第１容器、第３容器を通り冷却装置に戻り、この順に伝熱媒体が流れる第３伝熱管と、を設け、第２容器でオゾンを脱着して第３容器でオゾンを吸着する場合、第３容器でオゾンを脱着して第１容器でオゾンを吸着する場合、第１容器でオゾンを脱着して第２容器でオゾンを吸着する場合、のいずれかにより吸脱着を行う。
【００１０】
３つの容器のうち１つをオゾン吸着、１つをオゾン脱着、１つを冷却するのみとし、オゾン吸着をする容器からオゾン脱着をする容器に冷却した伝熱媒体が流れ、冷却をする容器からオゾン吸着をする容器に冷却した伝熱媒体が流れるようにする。これによりオゾン吸着時の発熱、オゾン脱着時の吸熱を互いに相殺することができ、伝熱媒体の冷却・加熱における熱負荷を低減できる。なお、冷却される容器は次のオゾン吸着に備えて冷却され、オゾン吸着した容器は次にオゾン脱着され、オゾン脱着した容器は次に冷却されることになる。
【００１１】
請求項４の発明では、冷却しながらオゾンを供給するとオゾンを吸着し、加熱すると吸着したオゾンを脱着するオゾン吸脱着材を充填した第１容器と第２容器と第３容器と第４容器を配置し、冷却装置より第２容器、第１容器を通り冷却装置に戻り、この順に伝熱媒体が流れる第１伝熱管と、冷却装置より第３容器、第２容器を通り冷却装置に戻り、この順に伝熱媒体が流れる第２伝熱管と、冷却装置より第４容器、第３容器を通り冷却装置に戻り、この順に伝熱媒体が流れる第３伝熱管と、冷却装置より第１容器、第４容器を通り冷却装置に戻り、この順に伝熱媒体が流れる第４伝熱管と、を設け、第２容器でオゾンを脱着して第４容器でオゾンを吸着する場合、第３容器でオゾンを脱着して第１容器でオゾンを吸着する場合、第４容器でオゾンを脱着して第２容器でオゾンを吸着する場合、第１容器でオゾンを脱着して第３容器でオゾンを吸着する場合、のいずれかにより吸脱着を行う。
【００１２】
４つの容器のうち１つを冷却、１つをオゾン脱着、１つを昇温、１つをオゾン吸着とし、冷却装置より、昇温する容器からオゾン脱着する容器に伝熱媒体が流れ、オゾン吸着する容器から昇温する容器に伝熱媒体が流れ、冷却する容器からオゾン吸着する容器に冷却した伝熱媒体が流れるようにする。これによりオゾン吸着時の発熱は昇温する容器を経由してオゾン脱着する容器に伝達され、オゾン脱着時の吸熱と互いに相殺することができ、伝熱媒体の冷却・加熱における熱負荷を低減できる。なお、冷却される容器は次のオゾン吸着に備えて冷却され、昇温される容器は次のオゾン脱着に備えて加熱される。冷却した容器は次にオゾン吸着され、オゾン脱着した容器は次に冷却され、昇温した容器は次にオゾン脱着され、オゾン吸着した容器は次に昇温される。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して説明する。
図１は第１実施形態のオゾン吸脱着装置の構成を示す図である。本実施形態は第１オゾン吸脱着塔１と第２オゾン吸脱着塔２と冷却装置４より構成され、第１，２オゾン吸脱着塔１，２にはシリカゲル等のオゾン吸着剤３が充填され、冷却装置４から伝熱管５が両塔１，２を通り、冷却装置４に戻るように設けられている。オゾン吸脱着塔１，２はオゾン吸着時発熱反応をするので、冷却しながらオゾンを供給して吸着させる。またオゾン脱着時吸熱反応をするので、加熱することによりオゾンを脱着させる。冷却装置４は伝熱媒体によりオゾン吸脱着塔１，２の温度制御を行う。
【００１４】
図１（Ａ）は第１オゾン吸脱着塔１でオゾン吸着を行い、第２オゾン吸脱着塔２でオゾン脱着を同時に行う場合を示す。この場合、伝熱管５を流れる冷却された伝熱媒体は先ず第１オゾン吸脱着塔１で熱交換し、次に第２オゾン吸脱着塔２で熱交換して、冷却装置４に戻る。これにより第１オゾン吸脱着塔１のオゾン吸着による発熱反応で発生した熱を第２オゾン吸脱着塔２のオゾン脱着による吸熱反応に与えることができ、吸着時の発熱と脱着時の吸収熱を互いに相殺することにより、伝熱媒体の冷却・加熱における熱負荷を低減できる。
【００１５】
図１（Ｂ）は第２オゾン吸脱着塔２でオゾン吸着を行い、第１オゾン吸脱着塔１でオゾン脱着を同時に行う場合を示す。この場合、伝熱管５を流れる冷却された伝熱媒体は先ず第２オゾン吸脱着塔２で熱交換し、次に第１オゾン吸脱着塔１で熱交換して、冷却装置４に戻る。これにより第２オゾン吸脱着塔２のオゾン吸着による発熱反応で発生した熱を第１オゾン吸脱着塔１のオゾン脱着による吸熱反応に与えることができ、吸着時の発熱と脱着時の吸収熱を互いに相殺することにより、伝熱媒体の冷却・加熱における熱負荷を低減できる。
【００１６】
図２は第２実施形態のオゾン吸脱着装置の構成を示す。本実施形態は第１オゾン吸脱着塔１１と、第２オゾン吸脱着塔１２と、第３オゾン吸脱着塔１３と、第４オゾン吸脱着塔１４と、冷却装置４より構成され、第１〜４オゾン吸脱着塔１１〜１４にはシリカゲル等のオゾン吸着剤３が充填され、冷却装置４から伝熱管５が各塔１１〜１４を通り、冷却装置４に戻るように設けられている。オゾン吸脱着塔１１〜１４と冷却装置４は第１実施形態と同じである。
【００１７】
図２（Ａ）は第１オゾン吸脱着塔１１では冷却のみ行い、第２オゾン吸脱着塔１２ではオゾン吸着を行い、第３オゾン吸脱着塔１３では昇温のみ行い、第４オゾン吸脱着塔１４ではオゾン脱着を行う場合を示す。冷却された伝熱媒体は、冷却装置４より第１オゾン吸脱着塔１１、第２オゾン吸脱着塔１２、第３オゾン吸脱着塔１３、第４オゾン吸脱着塔１４を経て冷却装置４に戻る。
【００１８】
これにより、第１オゾン吸脱着塔１１では次のオゾン吸着に備えて冷却が行われ、第２オゾン吸脱着塔１２ではオゾン吸着による発熱を伝熱媒体に与えて冷却され、第３オゾン吸脱着塔１３では吸収した発熱により次のオゾン脱着に備えて昇温のみ行い、第４オゾン吸脱着塔１４ではオゾン脱着反応による吸熱を伝熱媒体が吸収した発熱量により相殺する。このように、吸着時の発熱と脱着時の吸収熱を互いに相殺することにより、伝熱媒体の冷却・加熱における熱負荷を低減できる。
【００１９】
図２（Ｂ）は第１オゾン吸脱着塔１１ではオゾン吸着、第２オゾン吸脱着塔１２では昇温、第３オゾン吸脱着塔１３ではオゾン脱着、第４オゾン吸脱着塔１４では冷却を行う場合を示す。冷却された伝熱媒体は、冷却装置４より第１オゾン吸脱着塔１１、第２オゾン吸脱着塔１２、第３オゾン吸脱着塔１３、第４オゾン吸脱着塔１４を経て冷却装置４に戻る。各装置の動作は（Ａ）の場合と同様である。
【００２０】
図２（Ｃ）は第１オゾン吸脱着塔１１では冷却、第２オゾン吸脱着塔１２ではオゾン脱着、第３オゾン吸脱着塔１３では昇温、第４オゾン吸脱着塔１４ではオゾン吸着を行う場合を示す。冷却された伝熱媒体は、冷却装置４より第４オゾン吸脱着塔１４、第３オゾン吸脱着塔１３、第２オゾン吸脱着塔１２、第１オゾン吸脱着塔１１を経て冷却装置４に戻る。吸着塔から脱着塔に伝熱媒体が流れるのは（Ａ）の場合と同じであり、各装置の動作は（Ａ）の場合と同様である。
【００２１】
図２（Ｄ）は第１オゾン吸脱着塔１１ではオゾン脱着、第２オゾン吸脱着塔１２では昇温、第３オゾン吸脱着塔１３ではオゾン吸着、第４オゾン吸脱着塔１４では冷却を行う場合を示す。冷却された伝熱媒体は、冷却装置４より第４オゾン吸脱着塔１４、第３オゾン吸脱着塔１３、第２オゾン吸脱着塔１２、第１オゾン吸脱着塔１１を経て冷却装置４に戻る。吸着塔から脱着塔に伝熱媒体が流れるのは（Ａ）の場合と同じであり、各装置の動作は（Ａ）の場合と同様である。
【００２２】
以上（Ａ）〜（Ｄ）に示すように、各オゾン吸脱着塔は、冷却，吸着，昇温，脱着を繰り返すので、各塔が均等に動作することができる。
【００２３】
図３は第３実施形態を示す。本実施形態は第１オゾン吸脱着塔２１と、第２オゾン吸脱着塔２２と、第３オゾン吸脱着塔２３と、冷却装置２４より構成され、第１〜３オゾン吸脱着塔２１〜２３にはシリカゲル等のオゾン吸着剤３が充填され、冷却装置２４には、伝熱管５内を伝熱媒体が第２オゾン吸脱着塔２２より第１オゾン吸脱着塔２１に流れる第１ループ２５と、伝熱管５内を伝熱媒体が第３オゾン吸脱着塔２３より第２オゾン吸脱着塔２２に流れる第２ループ２６と、伝熱管５内を伝熱媒体が第１オゾン吸脱着塔２１より第３オゾン吸脱着塔２３に流れる第３ループ２７と、が設けられている。
【００２４】
図３（Ａ）は第１オゾン吸脱着塔２１では冷却のみ行い、第２オゾン吸脱着塔２２ではオゾン脱着を行い、第３オゾン吸脱着塔２３ではオゾン吸着を行う場合を示す。第３ループ２７により第１オゾン吸脱着塔２１は冷却され、第３オゾン吸脱着塔２３はオゾン吸着反応に必要な冷却を受ける。第２ループ２６により第３オゾン吸脱着塔２３はオゾン吸着反応で発生する熱を除去され、第２オゾン吸脱着塔２２はオゾン脱着反応に必要な加熱を受ける。このように、吸着時の発熱と脱着時の吸収熱を互いに相殺することにより、伝熱媒体の冷却・加熱における熱負荷を低減できる。
【００２５】
図３（Ｂ）は第１オゾン吸脱着塔２１ではオゾン吸着を行い、第２オゾン吸脱着塔２２では冷却を行い、第３オゾン吸脱着塔２３ではオゾン脱着を行う場合を示す。第１ループ２５により第２オゾン吸脱着塔２２は冷却され、第１オゾン吸脱着塔２１はオゾン吸着反応に必要な冷却を受ける。第３ループ２７により第１オゾン吸脱着塔２１はオゾン吸着反応で発生する熱を除去され、第３オゾン吸脱着塔２３はオゾン脱着反応に必要な加熱を受ける。このように、吸着時の発熱と脱着時の吸収熱を互いに相殺することにより、伝熱媒体の冷却・加熱における熱負荷を低減できる。
【００２６】
図３（Ｃ）は第１オゾン吸脱着塔２１ではオゾン脱着を行い、第２オゾン吸脱着塔２２ではオゾン吸着を行い、第３オゾン吸脱着塔２３では冷却を行う場合を示す。第２ループ２６により第３オゾン吸脱着塔２３は冷却され、第２オゾン吸脱着塔２２はオゾン吸着反応に必要な冷却を受ける。第１ループ２５により第２オゾン吸脱着塔２２はオゾン吸着反応で発生する熱を除去され、第１オゾン吸脱着塔２１はオゾン脱着反応に必要な加熱を受ける。このように、吸着時の発熱と脱着時の吸収熱を互いに相殺することにより、伝熱媒体の冷却・加熱における熱負荷を低減できる。
【００２７】
以上（Ａ）〜（Ｃ）に示すように、各オゾン吸脱着塔は、冷却，吸着，脱着を繰り返すので、各塔が均等に動作することができる。
【００２８】
図４は第４実施形態を示す。本実施形態は第１オゾン吸脱着塔３１と、第２オゾン吸脱着塔３２と、第３オゾン吸脱着塔３３と、第４オゾン吸脱着塔３４と、冷却装置３５より構成され、第１〜４オゾン吸脱着塔３１〜３４にはシリカゲル等のオゾン吸着剤３が充填され、冷却装置３５には、伝熱管５内を伝熱媒体が第２オゾン吸脱着塔３２より第１オゾン吸脱着塔３１に流れる第１ループ３６と、伝熱管５内を伝熱媒体が第３オゾン吸脱着塔３３より第２オゾン吸脱着塔３２に流れる第２ループ３７と、伝熱管５内を伝熱媒体が第４オゾン吸脱着塔３４より第３オゾン吸脱着塔３３に流れる第３ループ３８と、伝熱管５内を伝熱媒体が第１オゾン吸脱着塔３１より第４オゾン吸脱着塔３４に流れる第４ループ３９と、が設けられている。
【００２９】
図４（Ａ）は第１オゾン吸脱着塔３１では冷却のみ行い、第２オゾン吸脱着塔３２ではオゾン脱着を行い、第３オゾン吸脱着塔３３では昇温を行い、第４オゾン吸脱着塔３４ではオゾン吸着を行う場合を示す。第４ループ３９により第１オゾン吸脱着塔３１は冷却され、第４オゾン吸脱着塔３４はオゾン吸着反応に必要な冷却を受ける。第３ループ３８により第４オゾン吸脱着塔３４はオゾン吸着反応で発生する熱を除去され、第３オゾン吸脱着塔３３は除去された熱で昇温され次のオゾン脱着に備える。第２ループ３７により第３オゾン吸脱着塔３３では昇温した熱量の一部を吸収し、第２オゾン吸脱着塔３２のオゾン脱着反応による吸熱を伝熱媒体が吸収した発熱量により相殺する。このように、吸着時の発熱と脱着時の吸収熱を互いに相殺することにより、伝熱媒体の冷却・加熱における熱負荷を低減できる。
【００３０】
図４（Ｂ）は第１オゾン吸脱着塔３１ではオゾン吸着を行い、第２オゾン吸脱着塔３２では冷却を行い、第３オゾン吸脱着塔３３ではオゾン脱着を行い、第４オゾン吸脱着塔３４では昇温を行う場合を示す。第１ループ３６により第２オゾン吸脱着塔３２は冷却され、第１オゾン吸脱着塔３１はオゾン吸着反応に必要な冷却を受ける。第４ループ３９により第１オゾン吸脱着塔３１はオゾン吸着反応で発生する熱を除去され、第４オゾン吸脱着塔３４は除去された熱で昇温され次のオゾン脱着に備える。第３ループ３８により第４オゾン吸脱着塔３４では昇温した熱量の一部を吸収し、第３オゾン吸脱着塔３３のオゾン脱着反応による吸熱を伝熱媒体が吸収した発熱量により相殺する。このように、吸着時の発熱と脱着時の吸収熱を互いに相殺することにより、伝熱媒体の冷却・加熱における熱負荷を低減できる。
【００３１】
図４（Ｃ）は第１オゾン吸脱着塔３１では昇温を行い、第２オゾン吸脱着塔３２ではオゾン吸着を行い、第３オゾン吸脱着塔３３では冷却を行い、第４オゾン吸脱着塔３４ではオゾン脱着を行う場合を示す。第２ループ３７により第３オゾン吸脱着塔３３は冷却され、第２オゾン吸脱着塔３２はオゾン吸着反応に必要な冷却を受ける。第１ループ３６により第２オゾン吸脱着塔３２はオゾン吸着反応で発生する熱を除去され、第１オゾン吸脱着塔３１は除去された熱で昇温され次のオゾン脱着に備える。第４ループ３９により第１オゾン吸脱着塔３１では昇温した熱量の一部を吸収し、第４オゾン吸脱着塔３４のオゾン脱着反応による吸熱を伝熱媒体が吸収した発熱量により相殺する。このように、吸着時の発熱と脱着時の吸収熱を互いに相殺することにより、伝熱媒体の冷却・加熱における熱負荷を低減できる。
【００３２】
図４（Ｄ）は第１オゾン吸脱着塔３１ではオゾン脱着を行い、第２オゾン吸脱着塔３２では昇温を行い、第３オゾン吸脱着塔３３ではオゾン吸着を行い、第４オゾン吸脱着塔３４では冷却を行う場合を示す。第３ループ３８により第４オゾン吸脱着塔３４は冷却され、第３オゾン吸脱着塔３３はオゾン吸着反応に必要な冷却を受ける。第２ループ３７により第３オゾン吸脱着塔３３はオゾン吸着反応で発生する熱を除去され、第２オゾン吸脱着塔３２は除去された熱で昇温され次のオゾン脱着に備える。第１ループ３６により第２オゾン吸脱着塔３２では昇温した熱量の一部を吸収し、第１オゾン吸脱着塔３１のオゾン脱着反応による吸熱を伝熱媒体が吸収した発熱量により相殺する。このように、吸着時の発熱と脱着時の吸収熱を互いに相殺することにより、伝熱媒体の冷却・加熱における熱負荷を低減できる。
【００３３】
以上（Ａ）〜（Ｄ）に示すように、各オゾン吸脱着塔は、冷却，吸着，昇温，脱着を繰り返すので、各塔が均等に動作することができる。
【００３４】
【発明の効果】
以上の説明より明らかなように、本発明は、オゾン吸着と脱着を同時に行いオゾン吸着で発生する発熱量をオゾン脱着に必要となる加熱に用いることにより、吸着時の発熱と脱着時の吸熱を相殺するので、オゾン吸脱着に必要な冷却・加熱の熱負荷を低減できる。また複数のオゾン吸脱着塔の冷却、加熱を少数の冷却装置で行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態の構成を示す図である。
【図２】本発明の第２実施形態の構成を示す図である。
【図３】本発明の第３実施形態の構成を示す図である。
【図４】本発明の第４実施形態の構成を示す図である。
【符号の説明】
１ 第１オゾン吸脱着塔
２ 第２オゾン吸脱着塔
３ オゾン吸着剤
４ 冷却装置
５ 伝熱管器
１１ 第１オゾン吸脱着塔
１２ 第２オゾン吸脱着塔
１３ 第３オゾン吸脱着塔
１４ 第４オゾン吸脱着塔
２１ 第１オゾン吸脱着塔
２２ 第２オゾン吸脱着塔
２３ 第３オゾン吸脱着塔
２４ 冷却装置
２５ 第１ループ
２６ 第２ループ
２７ 第３ループ
３１ 第１オゾン吸脱着塔
３２ 第２オゾン吸脱着塔
３３ 第３オゾン吸脱着塔
３４ 第４オゾン吸脱着塔
３５ 冷却装置
３６ 第１ループ
３７ 第２ループ
３８ 第３ループ
３９ 第４ループ
【発明の属する技術分野】
本発明は、発生したオゾンを吸着して蓄積し、この蓄積したオゾンを脱着して放出するオゾン吸脱着装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
紙やパルプ等の漂白用として環境への悪影響がないオゾンの使用が広まってきている。オゾンは放電や紫外線照射、または電気分解などの方法により、酸素を原料としてオゾン発生機によって生成される。このようにして生成したオゾンは一旦吸着塔に吸着させて蓄積し濃縮される。吸着は９〜１０ａｔａ（絶対気圧）で−６０〜−３０℃で行われる。次に供給先への供給を行うため、加熱して脱着させ、窒素や乾燥空気などのキャリアガスとともに供給先に送られる。脱着は１〜９ａｔａで−６０〜０℃で行われる。吸着反応は発熱を伴うため冷却する必要があり、脱着反応は吸熱を伴うため加熱する必要がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
複数の吸着塔を有するプラントではそれぞれオゾンの吸着や脱着を単独で行っている。オゾン吸着には、発熱反応のため、吸着剤温度を一定に保つ冷却が必要となり、オゾン脱着には、吸熱反応のため加熱が必要となるが、それぞれ冷却装置と加熱装置とから冷却、加熱をしていた。
【０００４】
本発明は、上述の問題点に鑑みてなされたもので、複数の吸着塔でオゾン吸着と脱着を同時に行う場合、吸着時に発生する熱を脱着時に用いるようにしたオゾン吸脱着装置を提供することを目的する。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため請求項１の発明では、冷却しながらオゾンを供給するとオゾンを吸着し、加熱すると吸着したオゾンを脱着するオゾン吸脱着剤を充填した第１容器と第２容器を並べ、冷却装置より第１容器、第２容器を通り冷却装置に戻る伝熱管を設け、伝熱管に伝熱媒体の流れる方向を第１容器から第２容器に流れるようにして、第１容器でオゾンを吸着して第２容器でオゾンを脱着する場合、または伝熱管に伝熱媒体の流れる方向を第２容器から第１容器に流れるようにして、第２容器でオゾンを吸着して第１容器でオゾンを脱着する場合、のいずれかにより吸脱着を行う。
【０００６】
オゾンを吸着する方の容器に冷却装置より冷却した伝熱媒体を流して、吸着反応により発生する熱を吸収し、この熱をオゾンを脱着する方の容器に伝達して脱着反応に必要な熱とする。このように吸着時の発熱、脱着時の吸熱を互いに相殺することにより伝熱媒体の冷却・加熱における熱負荷を低減できる。
【０００７】
請求項２の発明では、冷却しながらオゾンを供給するとオゾンを吸着し、加熱すると吸着したオゾンを脱着するオゾン吸脱着剤を充填した第１容器と第２容器と第３容器と第４容器を並べ、冷却装置より第１容器、第２容器、第３容器、第４容器を通り冷却装置に戻る伝熱管を設け、伝熱管に伝熱媒体の流れる方向を第１容器から第４容器に流れるようにしたときは、第２容器でオゾンを吸着して第４容器でオゾンを脱着する場合、第１容器でオゾンを吸着して第３容器でオゾンを脱着する場合、のいずれか、伝熱管に伝熱媒体の流れる方向を第４容器から第１容器に流れるようにしたときは、第４容器でオゾンを吸着して第２容器でオゾンを脱着する場合、第３容器でオゾンを吸着して第１容器でオゾンを脱着する場合、のいずれかにより吸脱着を行う。
【０００８】
４個並んだ容器の内一つ置きに２個の容器を選び、オゾン吸着を行う容器からオゾン脱着を行う容器に冷却した伝熱媒体が流れるようにすることにより、オゾン吸着時の発熱、オゾン脱着時の吸熱を互いに相殺することができ伝熱媒体の冷却・加熱における熱負荷を低減できる。なお、オゾン吸着と脱着を行わない容器は次のオゾン吸着と脱着に備えて冷却または加熱されることになる。
【０００９】
請求項３の発明では、冷却しながらオゾンを供給するとオゾンを吸着し、加熱すると吸着したオゾンを脱着するオゾン吸脱着剤を充填した第１容器と第２容器と第３容器とを配置し、冷却装置より第２容器、第１容器を通り冷却装置に戻り、この順に伝熱媒体が流れる第１伝熱管と、冷却装置より第３容器、第２容器を通り冷却装置に戻り、この順に伝熱媒体が流れる第２伝熱管と、冷却装置より第１容器、第３容器を通り冷却装置に戻り、この順に伝熱媒体が流れる第３伝熱管と、を設け、第２容器でオゾンを脱着して第３容器でオゾンを吸着する場合、第３容器でオゾンを脱着して第１容器でオゾンを吸着する場合、第１容器でオゾンを脱着して第２容器でオゾンを吸着する場合、のいずれかにより吸脱着を行う。
【００１０】
３つの容器のうち１つをオゾン吸着、１つをオゾン脱着、１つを冷却するのみとし、オゾン吸着をする容器からオゾン脱着をする容器に冷却した伝熱媒体が流れ、冷却をする容器からオゾン吸着をする容器に冷却した伝熱媒体が流れるようにする。これによりオゾン吸着時の発熱、オゾン脱着時の吸熱を互いに相殺することができ、伝熱媒体の冷却・加熱における熱負荷を低減できる。なお、冷却される容器は次のオゾン吸着に備えて冷却され、オゾン吸着した容器は次にオゾン脱着され、オゾン脱着した容器は次に冷却されることになる。
【００１１】
請求項４の発明では、冷却しながらオゾンを供給するとオゾンを吸着し、加熱すると吸着したオゾンを脱着するオゾン吸脱着材を充填した第１容器と第２容器と第３容器と第４容器を配置し、冷却装置より第２容器、第１容器を通り冷却装置に戻り、この順に伝熱媒体が流れる第１伝熱管と、冷却装置より第３容器、第２容器を通り冷却装置に戻り、この順に伝熱媒体が流れる第２伝熱管と、冷却装置より第４容器、第３容器を通り冷却装置に戻り、この順に伝熱媒体が流れる第３伝熱管と、冷却装置より第１容器、第４容器を通り冷却装置に戻り、この順に伝熱媒体が流れる第４伝熱管と、を設け、第２容器でオゾンを脱着して第４容器でオゾンを吸着する場合、第３容器でオゾンを脱着して第１容器でオゾンを吸着する場合、第４容器でオゾンを脱着して第２容器でオゾンを吸着する場合、第１容器でオゾンを脱着して第３容器でオゾンを吸着する場合、のいずれかにより吸脱着を行う。
【００１２】
４つの容器のうち１つを冷却、１つをオゾン脱着、１つを昇温、１つをオゾン吸着とし、冷却装置より、昇温する容器からオゾン脱着する容器に伝熱媒体が流れ、オゾン吸着する容器から昇温する容器に伝熱媒体が流れ、冷却する容器からオゾン吸着する容器に冷却した伝熱媒体が流れるようにする。これによりオゾン吸着時の発熱は昇温する容器を経由してオゾン脱着する容器に伝達され、オゾン脱着時の吸熱と互いに相殺することができ、伝熱媒体の冷却・加熱における熱負荷を低減できる。なお、冷却される容器は次のオゾン吸着に備えて冷却され、昇温される容器は次のオゾン脱着に備えて加熱される。冷却した容器は次にオゾン吸着され、オゾン脱着した容器は次に冷却され、昇温した容器は次にオゾン脱着され、オゾン吸着した容器は次に昇温される。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して説明する。
図１は第１実施形態のオゾン吸脱着装置の構成を示す図である。本実施形態は第１オゾン吸脱着塔１と第２オゾン吸脱着塔２と冷却装置４より構成され、第１，２オゾン吸脱着塔１，２にはシリカゲル等のオゾン吸着剤３が充填され、冷却装置４から伝熱管５が両塔１，２を通り、冷却装置４に戻るように設けられている。オゾン吸脱着塔１，２はオゾン吸着時発熱反応をするので、冷却しながらオゾンを供給して吸着させる。またオゾン脱着時吸熱反応をするので、加熱することによりオゾンを脱着させる。冷却装置４は伝熱媒体によりオゾン吸脱着塔１，２の温度制御を行う。
【００１４】
図１（Ａ）は第１オゾン吸脱着塔１でオゾン吸着を行い、第２オゾン吸脱着塔２でオゾン脱着を同時に行う場合を示す。この場合、伝熱管５を流れる冷却された伝熱媒体は先ず第１オゾン吸脱着塔１で熱交換し、次に第２オゾン吸脱着塔２で熱交換して、冷却装置４に戻る。これにより第１オゾン吸脱着塔１のオゾン吸着による発熱反応で発生した熱を第２オゾン吸脱着塔２のオゾン脱着による吸熱反応に与えることができ、吸着時の発熱と脱着時の吸収熱を互いに相殺することにより、伝熱媒体の冷却・加熱における熱負荷を低減できる。
【００１５】
図１（Ｂ）は第２オゾン吸脱着塔２でオゾン吸着を行い、第１オゾン吸脱着塔１でオゾン脱着を同時に行う場合を示す。この場合、伝熱管５を流れる冷却された伝熱媒体は先ず第２オゾン吸脱着塔２で熱交換し、次に第１オゾン吸脱着塔１で熱交換して、冷却装置４に戻る。これにより第２オゾン吸脱着塔２のオゾン吸着による発熱反応で発生した熱を第１オゾン吸脱着塔１のオゾン脱着による吸熱反応に与えることができ、吸着時の発熱と脱着時の吸収熱を互いに相殺することにより、伝熱媒体の冷却・加熱における熱負荷を低減できる。
【００１６】
図２は第２実施形態のオゾン吸脱着装置の構成を示す。本実施形態は第１オゾン吸脱着塔１１と、第２オゾン吸脱着塔１２と、第３オゾン吸脱着塔１３と、第４オゾン吸脱着塔１４と、冷却装置４より構成され、第１〜４オゾン吸脱着塔１１〜１４にはシリカゲル等のオゾン吸着剤３が充填され、冷却装置４から伝熱管５が各塔１１〜１４を通り、冷却装置４に戻るように設けられている。オゾン吸脱着塔１１〜１４と冷却装置４は第１実施形態と同じである。
【００１７】
図２（Ａ）は第１オゾン吸脱着塔１１では冷却のみ行い、第２オゾン吸脱着塔１２ではオゾン吸着を行い、第３オゾン吸脱着塔１３では昇温のみ行い、第４オゾン吸脱着塔１４ではオゾン脱着を行う場合を示す。冷却された伝熱媒体は、冷却装置４より第１オゾン吸脱着塔１１、第２オゾン吸脱着塔１２、第３オゾン吸脱着塔１３、第４オゾン吸脱着塔１４を経て冷却装置４に戻る。
【００１８】
これにより、第１オゾン吸脱着塔１１では次のオゾン吸着に備えて冷却が行われ、第２オゾン吸脱着塔１２ではオゾン吸着による発熱を伝熱媒体に与えて冷却され、第３オゾン吸脱着塔１３では吸収した発熱により次のオゾン脱着に備えて昇温のみ行い、第４オゾン吸脱着塔１４ではオゾン脱着反応による吸熱を伝熱媒体が吸収した発熱量により相殺する。このように、吸着時の発熱と脱着時の吸収熱を互いに相殺することにより、伝熱媒体の冷却・加熱における熱負荷を低減できる。
【００１９】
図２（Ｂ）は第１オゾン吸脱着塔１１ではオゾン吸着、第２オゾン吸脱着塔１２では昇温、第３オゾン吸脱着塔１３ではオゾン脱着、第４オゾン吸脱着塔１４では冷却を行う場合を示す。冷却された伝熱媒体は、冷却装置４より第１オゾン吸脱着塔１１、第２オゾン吸脱着塔１２、第３オゾン吸脱着塔１３、第４オゾン吸脱着塔１４を経て冷却装置４に戻る。各装置の動作は（Ａ）の場合と同様である。
【００２０】
図２（Ｃ）は第１オゾン吸脱着塔１１では冷却、第２オゾン吸脱着塔１２ではオゾン脱着、第３オゾン吸脱着塔１３では昇温、第４オゾン吸脱着塔１４ではオゾン吸着を行う場合を示す。冷却された伝熱媒体は、冷却装置４より第４オゾン吸脱着塔１４、第３オゾン吸脱着塔１３、第２オゾン吸脱着塔１２、第１オゾン吸脱着塔１１を経て冷却装置４に戻る。吸着塔から脱着塔に伝熱媒体が流れるのは（Ａ）の場合と同じであり、各装置の動作は（Ａ）の場合と同様である。
【００２１】
図２（Ｄ）は第１オゾン吸脱着塔１１ではオゾン脱着、第２オゾン吸脱着塔１２では昇温、第３オゾン吸脱着塔１３ではオゾン吸着、第４オゾン吸脱着塔１４では冷却を行う場合を示す。冷却された伝熱媒体は、冷却装置４より第４オゾン吸脱着塔１４、第３オゾン吸脱着塔１３、第２オゾン吸脱着塔１２、第１オゾン吸脱着塔１１を経て冷却装置４に戻る。吸着塔から脱着塔に伝熱媒体が流れるのは（Ａ）の場合と同じであり、各装置の動作は（Ａ）の場合と同様である。
【００２２】
以上（Ａ）〜（Ｄ）に示すように、各オゾン吸脱着塔は、冷却，吸着，昇温，脱着を繰り返すので、各塔が均等に動作することができる。
【００２３】
図３は第３実施形態を示す。本実施形態は第１オゾン吸脱着塔２１と、第２オゾン吸脱着塔２２と、第３オゾン吸脱着塔２３と、冷却装置２４より構成され、第１〜３オゾン吸脱着塔２１〜２３にはシリカゲル等のオゾン吸着剤３が充填され、冷却装置２４には、伝熱管５内を伝熱媒体が第２オゾン吸脱着塔２２より第１オゾン吸脱着塔２１に流れる第１ループ２５と、伝熱管５内を伝熱媒体が第３オゾン吸脱着塔２３より第２オゾン吸脱着塔２２に流れる第２ループ２６と、伝熱管５内を伝熱媒体が第１オゾン吸脱着塔２１より第３オゾン吸脱着塔２３に流れる第３ループ２７と、が設けられている。
【００２４】
図３（Ａ）は第１オゾン吸脱着塔２１では冷却のみ行い、第２オゾン吸脱着塔２２ではオゾン脱着を行い、第３オゾン吸脱着塔２３ではオゾン吸着を行う場合を示す。第３ループ２７により第１オゾン吸脱着塔２１は冷却され、第３オゾン吸脱着塔２３はオゾン吸着反応に必要な冷却を受ける。第２ループ２６により第３オゾン吸脱着塔２３はオゾン吸着反応で発生する熱を除去され、第２オゾン吸脱着塔２２はオゾン脱着反応に必要な加熱を受ける。このように、吸着時の発熱と脱着時の吸収熱を互いに相殺することにより、伝熱媒体の冷却・加熱における熱負荷を低減できる。
【００２５】
図３（Ｂ）は第１オゾン吸脱着塔２１ではオゾン吸着を行い、第２オゾン吸脱着塔２２では冷却を行い、第３オゾン吸脱着塔２３ではオゾン脱着を行う場合を示す。第１ループ２５により第２オゾン吸脱着塔２２は冷却され、第１オゾン吸脱着塔２１はオゾン吸着反応に必要な冷却を受ける。第３ループ２７により第１オゾン吸脱着塔２１はオゾン吸着反応で発生する熱を除去され、第３オゾン吸脱着塔２３はオゾン脱着反応に必要な加熱を受ける。このように、吸着時の発熱と脱着時の吸収熱を互いに相殺することにより、伝熱媒体の冷却・加熱における熱負荷を低減できる。
【００２６】
図３（Ｃ）は第１オゾン吸脱着塔２１ではオゾン脱着を行い、第２オゾン吸脱着塔２２ではオゾン吸着を行い、第３オゾン吸脱着塔２３では冷却を行う場合を示す。第２ループ２６により第３オゾン吸脱着塔２３は冷却され、第２オゾン吸脱着塔２２はオゾン吸着反応に必要な冷却を受ける。第１ループ２５により第２オゾン吸脱着塔２２はオゾン吸着反応で発生する熱を除去され、第１オゾン吸脱着塔２１はオゾン脱着反応に必要な加熱を受ける。このように、吸着時の発熱と脱着時の吸収熱を互いに相殺することにより、伝熱媒体の冷却・加熱における熱負荷を低減できる。
【００２７】
以上（Ａ）〜（Ｃ）に示すように、各オゾン吸脱着塔は、冷却，吸着，脱着を繰り返すので、各塔が均等に動作することができる。
【００２８】
図４は第４実施形態を示す。本実施形態は第１オゾン吸脱着塔３１と、第２オゾン吸脱着塔３２と、第３オゾン吸脱着塔３３と、第４オゾン吸脱着塔３４と、冷却装置３５より構成され、第１〜４オゾン吸脱着塔３１〜３４にはシリカゲル等のオゾン吸着剤３が充填され、冷却装置３５には、伝熱管５内を伝熱媒体が第２オゾン吸脱着塔３２より第１オゾン吸脱着塔３１に流れる第１ループ３６と、伝熱管５内を伝熱媒体が第３オゾン吸脱着塔３３より第２オゾン吸脱着塔３２に流れる第２ループ３７と、伝熱管５内を伝熱媒体が第４オゾン吸脱着塔３４より第３オゾン吸脱着塔３３に流れる第３ループ３８と、伝熱管５内を伝熱媒体が第１オゾン吸脱着塔３１より第４オゾン吸脱着塔３４に流れる第４ループ３９と、が設けられている。
【００２９】
図４（Ａ）は第１オゾン吸脱着塔３１では冷却のみ行い、第２オゾン吸脱着塔３２ではオゾン脱着を行い、第３オゾン吸脱着塔３３では昇温を行い、第４オゾン吸脱着塔３４ではオゾン吸着を行う場合を示す。第４ループ３９により第１オゾン吸脱着塔３１は冷却され、第４オゾン吸脱着塔３４はオゾン吸着反応に必要な冷却を受ける。第３ループ３８により第４オゾン吸脱着塔３４はオゾン吸着反応で発生する熱を除去され、第３オゾン吸脱着塔３３は除去された熱で昇温され次のオゾン脱着に備える。第２ループ３７により第３オゾン吸脱着塔３３では昇温した熱量の一部を吸収し、第２オゾン吸脱着塔３２のオゾン脱着反応による吸熱を伝熱媒体が吸収した発熱量により相殺する。このように、吸着時の発熱と脱着時の吸収熱を互いに相殺することにより、伝熱媒体の冷却・加熱における熱負荷を低減できる。
【００３０】
図４（Ｂ）は第１オゾン吸脱着塔３１ではオゾン吸着を行い、第２オゾン吸脱着塔３２では冷却を行い、第３オゾン吸脱着塔３３ではオゾン脱着を行い、第４オゾン吸脱着塔３４では昇温を行う場合を示す。第１ループ３６により第２オゾン吸脱着塔３２は冷却され、第１オゾン吸脱着塔３１はオゾン吸着反応に必要な冷却を受ける。第４ループ３９により第１オゾン吸脱着塔３１はオゾン吸着反応で発生する熱を除去され、第４オゾン吸脱着塔３４は除去された熱で昇温され次のオゾン脱着に備える。第３ループ３８により第４オゾン吸脱着塔３４では昇温した熱量の一部を吸収し、第３オゾン吸脱着塔３３のオゾン脱着反応による吸熱を伝熱媒体が吸収した発熱量により相殺する。このように、吸着時の発熱と脱着時の吸収熱を互いに相殺することにより、伝熱媒体の冷却・加熱における熱負荷を低減できる。
【００３１】
図４（Ｃ）は第１オゾン吸脱着塔３１では昇温を行い、第２オゾン吸脱着塔３２ではオゾン吸着を行い、第３オゾン吸脱着塔３３では冷却を行い、第４オゾン吸脱着塔３４ではオゾン脱着を行う場合を示す。第２ループ３７により第３オゾン吸脱着塔３３は冷却され、第２オゾン吸脱着塔３２はオゾン吸着反応に必要な冷却を受ける。第１ループ３６により第２オゾン吸脱着塔３２はオゾン吸着反応で発生する熱を除去され、第１オゾン吸脱着塔３１は除去された熱で昇温され次のオゾン脱着に備える。第４ループ３９により第１オゾン吸脱着塔３１では昇温した熱量の一部を吸収し、第４オゾン吸脱着塔３４のオゾン脱着反応による吸熱を伝熱媒体が吸収した発熱量により相殺する。このように、吸着時の発熱と脱着時の吸収熱を互いに相殺することにより、伝熱媒体の冷却・加熱における熱負荷を低減できる。
【００３２】
図４（Ｄ）は第１オゾン吸脱着塔３１ではオゾン脱着を行い、第２オゾン吸脱着塔３２では昇温を行い、第３オゾン吸脱着塔３３ではオゾン吸着を行い、第４オゾン吸脱着塔３４では冷却を行う場合を示す。第３ループ３８により第４オゾン吸脱着塔３４は冷却され、第３オゾン吸脱着塔３３はオゾン吸着反応に必要な冷却を受ける。第２ループ３７により第３オゾン吸脱着塔３３はオゾン吸着反応で発生する熱を除去され、第２オゾン吸脱着塔３２は除去された熱で昇温され次のオゾン脱着に備える。第１ループ３６により第２オゾン吸脱着塔３２では昇温した熱量の一部を吸収し、第１オゾン吸脱着塔３１のオゾン脱着反応による吸熱を伝熱媒体が吸収した発熱量により相殺する。このように、吸着時の発熱と脱着時の吸収熱を互いに相殺することにより、伝熱媒体の冷却・加熱における熱負荷を低減できる。
【００３３】
以上（Ａ）〜（Ｄ）に示すように、各オゾン吸脱着塔は、冷却，吸着，昇温，脱着を繰り返すので、各塔が均等に動作することができる。
【００３４】
【発明の効果】
以上の説明より明らかなように、本発明は、オゾン吸着と脱着を同時に行いオゾン吸着で発生する発熱量をオゾン脱着に必要となる加熱に用いることにより、吸着時の発熱と脱着時の吸熱を相殺するので、オゾン吸脱着に必要な冷却・加熱の熱負荷を低減できる。また複数のオゾン吸脱着塔の冷却、加熱を少数の冷却装置で行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態の構成を示す図である。
【図２】本発明の第２実施形態の構成を示す図である。
【図３】本発明の第３実施形態の構成を示す図である。
【図４】本発明の第４実施形態の構成を示す図である。
【符号の説明】
１ 第１オゾン吸脱着塔
２ 第２オゾン吸脱着塔
３ オゾン吸着剤
４ 冷却装置
５ 伝熱管器
１１ 第１オゾン吸脱着塔
１２ 第２オゾン吸脱着塔
１３ 第３オゾン吸脱着塔
１４ 第４オゾン吸脱着塔
２１ 第１オゾン吸脱着塔
２２ 第２オゾン吸脱着塔
２３ 第３オゾン吸脱着塔
２４ 冷却装置
２５ 第１ループ
２６ 第２ループ
２７ 第３ループ
３１ 第１オゾン吸脱着塔
３２ 第２オゾン吸脱着塔
３３ 第３オゾン吸脱着塔
３４ 第４オゾン吸脱着塔
３５ 冷却装置
３６ 第１ループ
３７ 第２ループ
３８ 第３ループ
３９ 第４ループ
Claims (4)
- 冷却しながらオゾンを供給するとオゾンを吸着し、加熱すると吸着したオゾンを脱着するオゾン吸脱着剤を充填した第１容器と第２容器を並べ、冷却装置より第１容器、第２容器を通り冷却装置に戻る伝熱管を設け、伝熱管に伝熱媒体の流れる方向を第１容器から第２容器に流れるようにして、第１容器でオゾンを吸着して第２容器でオゾンを脱着する場合、または伝熱管に伝熱媒体の流れる方向を第２容器から第１容器に流れるようにして、第２容器でオゾンを吸着して第１容器でオゾンを脱着する場合、のいずれかにより吸脱着を行うことを特徴とするオゾン吸脱着装置。
- 冷却しながらオゾンを供給するとオゾンを吸着し、加熱すると吸着したオゾンを脱着するオゾン吸脱着剤を充填した第１容器と第２容器と第３容器と第４容器を並べ、冷却装置より第１容器、第２容器、第３容器、第４容器を通り冷却装置に戻る伝熱管を設け、伝熱管に伝熱媒体の流れる方向を第１容器から第４容器に流れるようにしたときは、第２容器でオゾンを吸着して第４容器でオゾンを脱着する場合、第１容器でオゾンを吸着して第３容器でオゾンを脱着する場合、のいずれか、伝熱管に伝熱媒体の流れる方向を第４容器から第１容器に流れるようにしたときは、第４容器でオゾンを吸着して第２容器でオゾンを脱着する場合、第３容器でオゾンを吸着して第１容器でオゾンを脱着する場合、のいずれかにより吸脱着を行うことを特徴とするオゾン吸脱着装置。
- 冷却しながらオゾンを供給するとオゾンを吸着し、加熱すると吸着したオゾンを脱着するオゾン吸脱着剤を充填した第１容器と第２容器と第３容器とを配置し、冷却装置より第２容器、第１容器を通り冷却装置に戻り、この順に伝熱媒体が流れる第１伝熱管と、冷却装置より第３容器、第２容器を通り冷却装置に戻り、この順に伝熱媒体が流れる第２伝熱管と、冷却装置より第１容器、第３容器を通り冷却装置に戻り、この順に伝熱媒体が流れる第３伝熱管と、を設け、第２容器でオゾンを脱着して第３容器でオゾンを吸着する場合、第３容器でオゾンを脱着して第１容器でオゾンを吸着する場合、第１容器でオゾンを脱着して第２容器でオゾンを吸着する場合、のいずれかにより吸脱着を行うことを特徴とするオゾン吸脱着装置。
- 冷却しながらオゾンを供給するとオゾンを吸着し、加熱すると吸着したオゾンを脱着するオゾン吸脱着剤を充填した第１容器と第２容器と第３容器と第４容器を配置し、冷却装置より第２容器、第１容器を通り冷却装置に戻り、この順に伝熱媒体が流れる第１伝熱管と、冷却装置より第３容器、第２容器を通り冷却装置に戻り、この順に伝熱媒体が流れる第２伝熱管と、冷却装置より第４容器、第３容器を通り冷却装置に戻り、この順に伝熱媒体が流れる第３伝熱管と、冷却装置より第１容器、第４容器を通り冷却装置に戻り、この順に伝熱媒体が流れる第４伝熱管と、を設け、第２容器でオゾンを脱着して第４容器でオゾンを吸着する場合、第３容器でオゾンを脱着して第１容器でオゾンを吸着する場合、第４容器でオゾンを脱着して第２容器でオゾンを吸着する場合、第１容器でオゾンを脱着して第３容器でオゾンを吸着する場合、のいずれかにより吸脱着を行うことを特徴とするオゾン吸脱着装置。
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