JP2000072408A - オゾン吸脱着装置 - Google Patents
オゾン吸脱着装置Info
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- JP2000072408A JP2000072408A JP10233288A JP23328898A JP2000072408A JP 2000072408 A JP2000072408 A JP 2000072408A JP 10233288 A JP10233288 A JP 10233288A JP 23328898 A JP23328898 A JP 23328898A JP 2000072408 A JP2000072408 A JP 2000072408A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 複数の吸着塔でオゾン吸着と脱着を同時に行
う場合、吸着時に発生する熱を脱着時に用いるようにし
たオゾン吸脱着装置を提供する。 【解決手段】 冷却しながらオゾンを供給するとオゾン
を吸着し、加熱すると吸着したオゾンを脱着するオゾン
吸脱着剤を充填した第１容器１と第２容器２を並べ、冷
却装置４より第１容器１、第２容器２を通り冷却装置４
に戻る伝熱管５を設け、伝熱管５に伝熱媒体の流れる方
向を第１容器１から第２容器２に流れるようにして、第
１容器１でオゾンを吸着して第２容器２でオゾンを脱着
する場合、または伝熱管５に伝熱媒体の流れる方向を第
２容器２から第１容器１に流れるようにして、第２容器
２でオゾンを吸着して第１容器１でオゾンを脱着する場
合、のいずれかにより吸脱着を行う。
う場合、吸着時に発生する熱を脱着時に用いるようにし
たオゾン吸脱着装置を提供する。 【解決手段】 冷却しながらオゾンを供給するとオゾン
を吸着し、加熱すると吸着したオゾンを脱着するオゾン
吸脱着剤を充填した第１容器１と第２容器２を並べ、冷
却装置４より第１容器１、第２容器２を通り冷却装置４
に戻る伝熱管５を設け、伝熱管５に伝熱媒体の流れる方
向を第１容器１から第２容器２に流れるようにして、第
１容器１でオゾンを吸着して第２容器２でオゾンを脱着
する場合、または伝熱管５に伝熱媒体の流れる方向を第
２容器２から第１容器１に流れるようにして、第２容器
２でオゾンを吸着して第１容器１でオゾンを脱着する場
合、のいずれかにより吸脱着を行う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、発生したオゾンを
吸着して蓄積し、この蓄積したオゾンを脱着して放出す
るオゾン吸脱着装置に関する。
吸着して蓄積し、この蓄積したオゾンを脱着して放出す
るオゾン吸脱着装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】紙やパルプ等の漂白用として環境への悪
影響がないオゾンの使用が広まってきている。オゾンは
放電や紫外線照射、または電気分解などの方法により、
酸素を原料としてオゾン発生機によって生成される。こ
のようにして生成したオゾンは一旦吸着塔に吸着させて
蓄積し濃縮される。吸着は９〜１０ａｔａ（絶対気圧）
で−６０〜−３０℃で行われる。次に供給先への供給を
行うため、加熱して脱着させ、窒素や乾燥空気などのキ
ャリアガスとともに供給先に送られる。脱着は１〜９ａ
ｔａで−６０〜０℃で行われる。吸着反応は発熱を伴う
ため冷却する必要があり、脱着反応は吸熱を伴うため加
熱する必要がある。
影響がないオゾンの使用が広まってきている。オゾンは
放電や紫外線照射、または電気分解などの方法により、
酸素を原料としてオゾン発生機によって生成される。こ
のようにして生成したオゾンは一旦吸着塔に吸着させて
蓄積し濃縮される。吸着は９〜１０ａｔａ（絶対気圧）
で−６０〜−３０℃で行われる。次に供給先への供給を
行うため、加熱して脱着させ、窒素や乾燥空気などのキ
ャリアガスとともに供給先に送られる。脱着は１〜９ａ
ｔａで−６０〜０℃で行われる。吸着反応は発熱を伴う
ため冷却する必要があり、脱着反応は吸熱を伴うため加
熱する必要がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】複数の吸着塔を有する
プラントではそれぞれオゾンの吸着や脱着を単独で行っ
ている。オゾン吸着には、発熱反応のため、吸着剤温度
を一定に保つ冷却が必要となり、オゾン脱着には、吸熱
反応のため加熱が必要となるが、それぞれ冷却装置と加
熱装置とから冷却、加熱をしていた。
プラントではそれぞれオゾンの吸着や脱着を単独で行っ
ている。オゾン吸着には、発熱反応のため、吸着剤温度
を一定に保つ冷却が必要となり、オゾン脱着には、吸熱
反応のため加熱が必要となるが、それぞれ冷却装置と加
熱装置とから冷却、加熱をしていた。
【０００４】本発明は、上述の問題点に鑑みてなされた
もので、複数の吸着塔でオゾン吸着と脱着を同時に行う
場合、吸着時に発生する熱を脱着時に用いるようにした
オゾン吸脱着装置を提供することを目的する。
もので、複数の吸着塔でオゾン吸着と脱着を同時に行う
場合、吸着時に発生する熱を脱着時に用いるようにした
オゾン吸脱着装置を提供することを目的する。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
請求項１の発明では、冷却しながらオゾンを供給すると
オゾンを吸着し、加熱すると吸着したオゾンを脱着する
オゾン吸脱着剤を充填した第１容器と第２容器を並べ、
冷却装置より第１容器、第２容器を通り冷却装置に戻る
伝熱管を設け、伝熱管に伝熱媒体の流れる方向を第１容
器から第２容器に流れるようにして、第１容器でオゾン
を吸着して第２容器でオゾンを脱着する場合、または伝
熱管に伝熱媒体の流れる方向を第２容器から第１容器に
流れるようにして、第２容器でオゾンを吸着して第１容
器でオゾンを脱着する場合、のいずれかにより吸脱着を
行う。
請求項１の発明では、冷却しながらオゾンを供給すると
オゾンを吸着し、加熱すると吸着したオゾンを脱着する
オゾン吸脱着剤を充填した第１容器と第２容器を並べ、
冷却装置より第１容器、第２容器を通り冷却装置に戻る
伝熱管を設け、伝熱管に伝熱媒体の流れる方向を第１容
器から第２容器に流れるようにして、第１容器でオゾン
を吸着して第２容器でオゾンを脱着する場合、または伝
熱管に伝熱媒体の流れる方向を第２容器から第１容器に
流れるようにして、第２容器でオゾンを吸着して第１容
器でオゾンを脱着する場合、のいずれかにより吸脱着を
行う。
【０００６】オゾンを吸着する方の容器に冷却装置より
冷却した伝熱媒体を流して、吸着反応により発生する熱
を吸収し、この熱をオゾンを脱着する方の容器に伝達し
て脱着反応に必要な熱とする。このように吸着時の発
熱、脱着時の吸熱を互いに相殺することにより伝熱媒体
の冷却・加熱における熱負荷を低減できる。
冷却した伝熱媒体を流して、吸着反応により発生する熱
を吸収し、この熱をオゾンを脱着する方の容器に伝達し
て脱着反応に必要な熱とする。このように吸着時の発
熱、脱着時の吸熱を互いに相殺することにより伝熱媒体
の冷却・加熱における熱負荷を低減できる。
【０００７】請求項２の発明では、冷却しながらオゾン
を供給するとオゾンを吸着し、加熱すると吸着したオゾ
ンを脱着するオゾン吸脱着剤を充填した第１容器と第２
容器と第３容器と第４容器を並べ、冷却装置より第１容
器、第２容器、第３容器、第４容器を通り冷却装置に戻
る伝熱管を設け、伝熱管に伝熱媒体の流れる方向を第１
容器から第４容器に流れるようにしたときは、第２容器
でオゾンを吸着して第４容器でオゾンを脱着する場合、
第１容器でオゾンを吸着して第３容器でオゾンを脱着す
る場合、のいずれか、伝熱管に伝熱媒体の流れる方向を
第４容器から第１容器に流れるようにしたときは、第４
容器でオゾンを吸着して第２容器でオゾンを脱着する場
合、第３容器でオゾンを吸着して第１容器でオゾンを脱
着する場合、のいずれかにより吸脱着を行う。
を供給するとオゾンを吸着し、加熱すると吸着したオゾ
ンを脱着するオゾン吸脱着剤を充填した第１容器と第２
容器と第３容器と第４容器を並べ、冷却装置より第１容
器、第２容器、第３容器、第４容器を通り冷却装置に戻
る伝熱管を設け、伝熱管に伝熱媒体の流れる方向を第１
容器から第４容器に流れるようにしたときは、第２容器
でオゾンを吸着して第４容器でオゾンを脱着する場合、
第１容器でオゾンを吸着して第３容器でオゾンを脱着す
る場合、のいずれか、伝熱管に伝熱媒体の流れる方向を
第４容器から第１容器に流れるようにしたときは、第４
容器でオゾンを吸着して第２容器でオゾンを脱着する場
合、第３容器でオゾンを吸着して第１容器でオゾンを脱
着する場合、のいずれかにより吸脱着を行う。
【０００８】４個並んだ容器の内一つ置きに２個の容器
を選び、オゾン吸着を行う容器からオゾン脱着を行う容
器に冷却した伝熱媒体が流れるようにすることにより、
オゾン吸着時の発熱、オゾン脱着時の吸熱を互いに相殺
することができ伝熱媒体の冷却・加熱における熱負荷を
低減できる。なお、オゾン吸着と脱着を行わない容器は
次のオゾン吸着と脱着に備えて冷却または加熱されるこ
とになる。
を選び、オゾン吸着を行う容器からオゾン脱着を行う容
器に冷却した伝熱媒体が流れるようにすることにより、
オゾン吸着時の発熱、オゾン脱着時の吸熱を互いに相殺
することができ伝熱媒体の冷却・加熱における熱負荷を
低減できる。なお、オゾン吸着と脱着を行わない容器は
次のオゾン吸着と脱着に備えて冷却または加熱されるこ
とになる。
【０００９】請求項３の発明では、冷却しながらオゾン
を供給するとオゾンを吸着し、加熱すると吸着したオゾ
ンを脱着するオゾン吸脱着剤を充填した第１容器と第２
容器と第３容器とを配置し、冷却装置より第２容器、第
１容器を通り冷却装置に戻り、この順に伝熱媒体が流れ
る第１伝熱管と、冷却装置より第３容器、第２容器を通
り冷却装置に戻り、この順に伝熱媒体が流れる第２伝熱
管と、冷却装置より第１容器、第３容器を通り冷却装置
に戻り、この順に伝熱媒体が流れる第３伝熱管と、を設
け、第２容器でオゾンを脱着して第３容器でオゾンを吸
着する場合、第３容器でオゾンを脱着して第１容器でオ
ゾンを吸着する場合、第１容器でオゾンを脱着して第２
容器でオゾンを吸着する場合、のいずれかにより吸脱着
を行う。
を供給するとオゾンを吸着し、加熱すると吸着したオゾ
ンを脱着するオゾン吸脱着剤を充填した第１容器と第２
容器と第３容器とを配置し、冷却装置より第２容器、第
１容器を通り冷却装置に戻り、この順に伝熱媒体が流れ
る第１伝熱管と、冷却装置より第３容器、第２容器を通
り冷却装置に戻り、この順に伝熱媒体が流れる第２伝熱
管と、冷却装置より第１容器、第３容器を通り冷却装置
に戻り、この順に伝熱媒体が流れる第３伝熱管と、を設
け、第２容器でオゾンを脱着して第３容器でオゾンを吸
着する場合、第３容器でオゾンを脱着して第１容器でオ
ゾンを吸着する場合、第１容器でオゾンを脱着して第２
容器でオゾンを吸着する場合、のいずれかにより吸脱着
を行う。
【００１０】３つの容器のうち１つをオゾン吸着、１つ
をオゾン脱着、１つを冷却するのみとし、オゾン吸着を
する容器からオゾン脱着をする容器に冷却した伝熱媒体
が流れ、冷却をする容器からオゾン吸着をする容器に冷
却した伝熱媒体が流れるようにする。これによりオゾン
吸着時の発熱、オゾン脱着時の吸熱を互いに相殺するこ
とができ、伝熱媒体の冷却・加熱における熱負荷を低減
できる。なお、冷却される容器は次のオゾン吸着に備え
て冷却され、オゾン吸着した容器は次にオゾン脱着さ
れ、オゾン脱着した容器は次に冷却されることになる。
をオゾン脱着、１つを冷却するのみとし、オゾン吸着を
する容器からオゾン脱着をする容器に冷却した伝熱媒体
が流れ、冷却をする容器からオゾン吸着をする容器に冷
却した伝熱媒体が流れるようにする。これによりオゾン
吸着時の発熱、オゾン脱着時の吸熱を互いに相殺するこ
とができ、伝熱媒体の冷却・加熱における熱負荷を低減
できる。なお、冷却される容器は次のオゾン吸着に備え
て冷却され、オゾン吸着した容器は次にオゾン脱着さ
れ、オゾン脱着した容器は次に冷却されることになる。
【００１１】請求項４の発明では、冷却しながらオゾン
を供給するとオゾンを吸着し、加熱すると吸着したオゾ
ンを脱着するオゾン吸脱着材を充填した第１容器と第２
容器と第３容器と第４容器を配置し、冷却装置より第２
容器、第１容器を通り冷却装置に戻り、この順に伝熱媒
体が流れる第１伝熱管と、冷却装置より第３容器、第２
容器を通り冷却装置に戻り、この順に伝熱媒体が流れる
第２伝熱管と、冷却装置より第４容器、第３容器を通り
冷却装置に戻り、この順に伝熱媒体が流れる第３伝熱管
と、冷却装置より第１容器、第４容器を通り冷却装置に
戻り、この順に伝熱媒体が流れる第４伝熱管と、を設
け、第２容器でオゾンを脱着して第４容器でオゾンを吸
着する場合、第３容器でオゾンを脱着して第１容器でオ
ゾンを吸着する場合、第４容器でオゾンを脱着して第２
容器でオゾンを吸着する場合、第１容器でオゾンを脱着
して第３容器でオゾンを吸着する場合、のいずれかによ
り吸脱着を行う。
を供給するとオゾンを吸着し、加熱すると吸着したオゾ
ンを脱着するオゾン吸脱着材を充填した第１容器と第２
容器と第３容器と第４容器を配置し、冷却装置より第２
容器、第１容器を通り冷却装置に戻り、この順に伝熱媒
体が流れる第１伝熱管と、冷却装置より第３容器、第２
容器を通り冷却装置に戻り、この順に伝熱媒体が流れる
第２伝熱管と、冷却装置より第４容器、第３容器を通り
冷却装置に戻り、この順に伝熱媒体が流れる第３伝熱管
と、冷却装置より第１容器、第４容器を通り冷却装置に
戻り、この順に伝熱媒体が流れる第４伝熱管と、を設
け、第２容器でオゾンを脱着して第４容器でオゾンを吸
着する場合、第３容器でオゾンを脱着して第１容器でオ
ゾンを吸着する場合、第４容器でオゾンを脱着して第２
容器でオゾンを吸着する場合、第１容器でオゾンを脱着
して第３容器でオゾンを吸着する場合、のいずれかによ
り吸脱着を行う。
【００１２】４つの容器のうち１つを冷却、１つをオゾ
ン脱着、１つを昇温、１つをオゾン吸着とし、冷却装置
より、昇温する容器からオゾン脱着する容器に伝熱媒体
が流れ、オゾン吸着する容器から昇温する容器に伝熱媒
体が流れ、冷却する容器からオゾン吸着する容器に冷却
した伝熱媒体が流れるようにする。これによりオゾン吸
着時の発熱は昇温する容器を経由してオゾン脱着する容
器に伝達され、オゾン脱着時の吸熱と互いに相殺するこ
とができ、伝熱媒体の冷却・加熱における熱負荷を低減
できる。なお、冷却される容器は次のオゾン吸着に備え
て冷却され、昇温される容器は次のオゾン脱着に備えて
加熱される。冷却した容器は次にオゾン吸着され、オゾ
ン脱着した容器は次に冷却され、昇温した容器は次にオ
ゾン脱着され、オゾン吸着した容器は次に昇温される。
ン脱着、１つを昇温、１つをオゾン吸着とし、冷却装置
より、昇温する容器からオゾン脱着する容器に伝熱媒体
が流れ、オゾン吸着する容器から昇温する容器に伝熱媒
体が流れ、冷却する容器からオゾン吸着する容器に冷却
した伝熱媒体が流れるようにする。これによりオゾン吸
着時の発熱は昇温する容器を経由してオゾン脱着する容
器に伝達され、オゾン脱着時の吸熱と互いに相殺するこ
とができ、伝熱媒体の冷却・加熱における熱負荷を低減
できる。なお、冷却される容器は次のオゾン吸着に備え
て冷却され、昇温される容器は次のオゾン脱着に備えて
加熱される。冷却した容器は次にオゾン吸着され、オゾ
ン脱着した容器は次に冷却され、昇温した容器は次にオ
ゾン脱着され、オゾン吸着した容器は次に昇温される。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面を
参照して説明する。図１は第１実施形態のオゾン吸脱着
装置の構成を示す図である。本実施形態は第１オゾン吸
脱着塔１と第２オゾン吸脱着塔２と冷却装置４より構成
され、第１，２オゾン吸脱着塔１，２にはシリカゲル等
のオゾン吸着剤３が充填され、冷却装置４から伝熱管５
が両塔１，２を通り、冷却装置４に戻るように設けられ
ている。オゾン吸脱着塔１，２はオゾン吸着時発熱反応
をするので、冷却しながらオゾンを供給して吸着させ
る。またオゾン脱着時吸熱反応をするので、加熱するこ
とによりオゾンを脱着させる。冷却装置４は伝熱媒体に
よりオゾン吸脱着塔１，２の温度制御を行う。
参照して説明する。図１は第１実施形態のオゾン吸脱着
装置の構成を示す図である。本実施形態は第１オゾン吸
脱着塔１と第２オゾン吸脱着塔２と冷却装置４より構成
され、第１，２オゾン吸脱着塔１，２にはシリカゲル等
のオゾン吸着剤３が充填され、冷却装置４から伝熱管５
が両塔１，２を通り、冷却装置４に戻るように設けられ
ている。オゾン吸脱着塔１，２はオゾン吸着時発熱反応
をするので、冷却しながらオゾンを供給して吸着させ
る。またオゾン脱着時吸熱反応をするので、加熱するこ
とによりオゾンを脱着させる。冷却装置４は伝熱媒体に
よりオゾン吸脱着塔１，２の温度制御を行う。
【００１４】図１（Ａ）は第１オゾン吸脱着塔１でオゾ
ン吸着を行い、第２オゾン吸脱着塔２でオゾン脱着を同
時に行う場合を示す。この場合、伝熱管５を流れる冷却
された伝熱媒体は先ず第１オゾン吸脱着塔１で熱交換
し、次に第２オゾン吸脱着塔２で熱交換して、冷却装置
４に戻る。これにより第１オゾン吸脱着塔１のオゾン吸
着による発熱反応で発生した熱を第２オゾン吸脱着塔２
のオゾン脱着による吸熱反応に与えることができ、吸着
時の発熱と脱着時の吸収熱を互いに相殺することによ
り、伝熱媒体の冷却・加熱における熱負荷を低減でき
る。
ン吸着を行い、第２オゾン吸脱着塔２でオゾン脱着を同
時に行う場合を示す。この場合、伝熱管５を流れる冷却
された伝熱媒体は先ず第１オゾン吸脱着塔１で熱交換
し、次に第２オゾン吸脱着塔２で熱交換して、冷却装置
４に戻る。これにより第１オゾン吸脱着塔１のオゾン吸
着による発熱反応で発生した熱を第２オゾン吸脱着塔２
のオゾン脱着による吸熱反応に与えることができ、吸着
時の発熱と脱着時の吸収熱を互いに相殺することによ
り、伝熱媒体の冷却・加熱における熱負荷を低減でき
る。
【００１５】図１（Ｂ）は第２オゾン吸脱着塔２でオゾ
ン吸着を行い、第１オゾン吸脱着塔１でオゾン脱着を同
時に行う場合を示す。この場合、伝熱管５を流れる冷却
された伝熱媒体は先ず第２オゾン吸脱着塔２で熱交換
し、次に第１オゾン吸脱着塔１で熱交換して、冷却装置
４に戻る。これにより第２オゾン吸脱着塔２のオゾン吸
着による発熱反応で発生した熱を第１オゾン吸脱着塔１
のオゾン脱着による吸熱反応に与えることができ、吸着
時の発熱と脱着時の吸収熱を互いに相殺することによ
り、伝熱媒体の冷却・加熱における熱負荷を低減でき
る。
ン吸着を行い、第１オゾン吸脱着塔１でオゾン脱着を同
時に行う場合を示す。この場合、伝熱管５を流れる冷却
された伝熱媒体は先ず第２オゾン吸脱着塔２で熱交換
し、次に第１オゾン吸脱着塔１で熱交換して、冷却装置
４に戻る。これにより第２オゾン吸脱着塔２のオゾン吸
着による発熱反応で発生した熱を第１オゾン吸脱着塔１
のオゾン脱着による吸熱反応に与えることができ、吸着
時の発熱と脱着時の吸収熱を互いに相殺することによ
り、伝熱媒体の冷却・加熱における熱負荷を低減でき
る。
【００１６】図２は第２実施形態のオゾン吸脱着装置の
構成を示す。本実施形態は第１オゾン吸脱着塔１１と、
第２オゾン吸脱着塔１２と、第３オゾン吸脱着塔１３
と、第４オゾン吸脱着塔１４と、冷却装置４より構成さ
れ、第１〜４オゾン吸脱着塔１１〜１４にはシリカゲル
等のオゾン吸着剤３が充填され、冷却装置４から伝熱管
５が各塔１１〜１４を通り、冷却装置４に戻るように設
けられている。オゾン吸脱着塔１１〜１４と冷却装置４
は第１実施形態と同じである。
構成を示す。本実施形態は第１オゾン吸脱着塔１１と、
第２オゾン吸脱着塔１２と、第３オゾン吸脱着塔１３
と、第４オゾン吸脱着塔１４と、冷却装置４より構成さ
れ、第１〜４オゾン吸脱着塔１１〜１４にはシリカゲル
等のオゾン吸着剤３が充填され、冷却装置４から伝熱管
５が各塔１１〜１４を通り、冷却装置４に戻るように設
けられている。オゾン吸脱着塔１１〜１４と冷却装置４
は第１実施形態と同じである。
【００１７】図２（Ａ）は第１オゾン吸脱着塔１１では
冷却のみ行い、第２オゾン吸脱着塔１２ではオゾン吸着
を行い、第３オゾン吸脱着塔１３では昇温のみ行い、第
４オゾン吸脱着塔１４ではオゾン脱着を行う場合を示
す。冷却された伝熱媒体は、冷却装置４より第１オゾン
吸脱着塔１１、第２オゾン吸脱着塔１２、第３オゾン吸
脱着塔１３、第４オゾン吸脱着塔１４を経て冷却装置４
に戻る。
冷却のみ行い、第２オゾン吸脱着塔１２ではオゾン吸着
を行い、第３オゾン吸脱着塔１３では昇温のみ行い、第
４オゾン吸脱着塔１４ではオゾン脱着を行う場合を示
す。冷却された伝熱媒体は、冷却装置４より第１オゾン
吸脱着塔１１、第２オゾン吸脱着塔１２、第３オゾン吸
脱着塔１３、第４オゾン吸脱着塔１４を経て冷却装置４
に戻る。
【００１８】これにより、第１オゾン吸脱着塔１１では
次のオゾン吸着に備えて冷却が行われ、第２オゾン吸脱
着塔１２ではオゾン吸着による発熱を伝熱媒体に与えて
冷却され、第３オゾン吸脱着塔１３では吸収した発熱に
より次のオゾン脱着に備えて昇温のみ行い、第４オゾン
吸脱着塔１４ではオゾン脱着反応による吸熱を伝熱媒体
が吸収した発熱量により相殺する。このように、吸着時
の発熱と脱着時の吸収熱を互いに相殺することにより、
伝熱媒体の冷却・加熱における熱負荷を低減できる。
次のオゾン吸着に備えて冷却が行われ、第２オゾン吸脱
着塔１２ではオゾン吸着による発熱を伝熱媒体に与えて
冷却され、第３オゾン吸脱着塔１３では吸収した発熱に
より次のオゾン脱着に備えて昇温のみ行い、第４オゾン
吸脱着塔１４ではオゾン脱着反応による吸熱を伝熱媒体
が吸収した発熱量により相殺する。このように、吸着時
の発熱と脱着時の吸収熱を互いに相殺することにより、
伝熱媒体の冷却・加熱における熱負荷を低減できる。
【００１９】図２（Ｂ）は第１オゾン吸脱着塔１１では
オゾン吸着、第２オゾン吸脱着塔１２では昇温、第３オ
ゾン吸脱着塔１３ではオゾン脱着、第４オゾン吸脱着塔
１４では冷却を行う場合を示す。冷却された伝熱媒体
は、冷却装置４より第１オゾン吸脱着塔１１、第２オゾ
ン吸脱着塔１２、第３オゾン吸脱着塔１３、第４オゾン
吸脱着塔１４を経て冷却装置４に戻る。各装置の動作は
（Ａ）の場合と同様である。
オゾン吸着、第２オゾン吸脱着塔１２では昇温、第３オ
ゾン吸脱着塔１３ではオゾン脱着、第４オゾン吸脱着塔
１４では冷却を行う場合を示す。冷却された伝熱媒体
は、冷却装置４より第１オゾン吸脱着塔１１、第２オゾ
ン吸脱着塔１２、第３オゾン吸脱着塔１３、第４オゾン
吸脱着塔１４を経て冷却装置４に戻る。各装置の動作は
（Ａ）の場合と同様である。
【００２０】図２（Ｃ）は第１オゾン吸脱着塔１１では
昇温、第２オゾン吸脱着塔１２ではオゾン脱着、第３オ
ゾン吸脱着塔１３では冷却、第４オゾン吸脱着塔１４で
はオゾン吸着を行う場合を示す。冷却された伝熱媒体
は、冷却装置４より第４オゾン吸脱着塔１４、第３オゾ
ン吸脱着塔１３、第２オゾン吸脱着塔１２、第１オゾン
吸脱着塔１１を経て冷却装置４に戻る。吸着塔から脱着
塔に伝熱媒体が流れるのは（Ａ）の場合と同じであり、
各装置の動作は（Ａ）の場合と同様である。
昇温、第２オゾン吸脱着塔１２ではオゾン脱着、第３オ
ゾン吸脱着塔１３では冷却、第４オゾン吸脱着塔１４で
はオゾン吸着を行う場合を示す。冷却された伝熱媒体
は、冷却装置４より第４オゾン吸脱着塔１４、第３オゾ
ン吸脱着塔１３、第２オゾン吸脱着塔１２、第１オゾン
吸脱着塔１１を経て冷却装置４に戻る。吸着塔から脱着
塔に伝熱媒体が流れるのは（Ａ）の場合と同じであり、
各装置の動作は（Ａ）の場合と同様である。
【００２１】図２（Ｄ）は第１オゾン吸脱着塔１１では
オゾン脱着、第２オゾン吸脱着塔１２では冷却、第３オ
ゾン吸脱着塔１３ではオゾン吸着、第４オゾン吸脱着塔
１４では昇温を行う場合を示す。冷却された伝熱媒体
は、冷却装置４より第４オゾン吸脱着塔１４、第３オゾ
ン吸脱着塔１３、第２オゾン吸脱着塔１２、第１オゾン
吸脱着塔１１を経て冷却装置４に戻る。吸着塔から脱着
塔に伝熱媒体が流れるのは（Ａ）の場合と同じであり、
各装置の動作は（Ａ）の場合と同様である。
オゾン脱着、第２オゾン吸脱着塔１２では冷却、第３オ
ゾン吸脱着塔１３ではオゾン吸着、第４オゾン吸脱着塔
１４では昇温を行う場合を示す。冷却された伝熱媒体
は、冷却装置４より第４オゾン吸脱着塔１４、第３オゾ
ン吸脱着塔１３、第２オゾン吸脱着塔１２、第１オゾン
吸脱着塔１１を経て冷却装置４に戻る。吸着塔から脱着
塔に伝熱媒体が流れるのは（Ａ）の場合と同じであり、
各装置の動作は（Ａ）の場合と同様である。
【００２２】以上（Ａ）〜（Ｄ）に示すように、各オゾ
ン吸脱着塔は、冷却，吸着，昇温，脱着を繰り返すの
で、各塔が均等に動作することができる。
ン吸脱着塔は、冷却，吸着，昇温，脱着を繰り返すの
で、各塔が均等に動作することができる。
【００２３】図３は第３実施形態を示す。本実施形態は
第１オゾン吸脱着塔２１と、第２オゾン吸脱着塔２２
と、第３オゾン吸脱着塔２３と、冷却装置２４より構成
され、第１〜３オゾン吸脱着塔２１〜２３にはシリカゲ
ル等のオゾン吸着剤３が充填され、冷却装置２４には、
伝熱管５内を伝熱媒体が第２オゾン吸脱着塔２２より第
１オゾン吸脱着塔２１に流れる第１ループ２５と、伝熱
管５内を伝熱媒体が第３オゾン吸脱着塔２３より第２オ
ゾン吸脱着塔２２に流れる第２ループ２６と、伝熱管５
内を伝熱媒体が第１オゾン吸脱着塔２１より第３オゾン
吸脱着塔２３に流れる第３ループ２７と、が設けられて
いる。
第１オゾン吸脱着塔２１と、第２オゾン吸脱着塔２２
と、第３オゾン吸脱着塔２３と、冷却装置２４より構成
され、第１〜３オゾン吸脱着塔２１〜２３にはシリカゲ
ル等のオゾン吸着剤３が充填され、冷却装置２４には、
伝熱管５内を伝熱媒体が第２オゾン吸脱着塔２２より第
１オゾン吸脱着塔２１に流れる第１ループ２５と、伝熱
管５内を伝熱媒体が第３オゾン吸脱着塔２３より第２オ
ゾン吸脱着塔２２に流れる第２ループ２６と、伝熱管５
内を伝熱媒体が第１オゾン吸脱着塔２１より第３オゾン
吸脱着塔２３に流れる第３ループ２７と、が設けられて
いる。
【００２４】図３（Ａ）は第１オゾン吸脱着塔２１では
冷却のみ行い、第２オゾン吸脱着塔２２ではオゾン脱着
を行い、第３オゾン吸脱着塔２３ではオゾン吸着を行う
場合を示す。第３ループ２７により第１オゾン吸脱着塔
２１は冷却され、第３オゾン吸脱着塔２３はオゾン吸着
反応に必要な冷却を受ける。第２ループ２６により第３
オゾン吸脱着塔２３はオゾン吸着反応で発生する熱を除
去され、第２オゾン吸脱着塔２２はオゾン脱着反応に必
要な加熱を受ける。このように、吸着時の発熱と脱着時
の吸収熱を互いに相殺することにより、伝熱媒体の冷却
・加熱における熱負荷を低減できる。
冷却のみ行い、第２オゾン吸脱着塔２２ではオゾン脱着
を行い、第３オゾン吸脱着塔２３ではオゾン吸着を行う
場合を示す。第３ループ２７により第１オゾン吸脱着塔
２１は冷却され、第３オゾン吸脱着塔２３はオゾン吸着
反応に必要な冷却を受ける。第２ループ２６により第３
オゾン吸脱着塔２３はオゾン吸着反応で発生する熱を除
去され、第２オゾン吸脱着塔２２はオゾン脱着反応に必
要な加熱を受ける。このように、吸着時の発熱と脱着時
の吸収熱を互いに相殺することにより、伝熱媒体の冷却
・加熱における熱負荷を低減できる。
【００２５】図３（Ｂ）は第１オゾン吸脱着塔２１では
オゾン吸着を行い、第２オゾン吸脱着塔２２では冷却を
行い、第３オゾン吸脱着塔２３ではオゾン脱着を行う場
合を示す。第１ループ２５により第２オゾン吸脱着塔２
２は冷却され、第１オゾン吸脱着塔２１はオゾン吸着反
応に必要な冷却を受ける。第３ループ２７により第１オ
ゾン吸脱着塔２１はオゾン吸着反応で発生する熱を除去
され、第３オゾン吸脱着塔２３はオゾン脱着反応に必要
な加熱を受ける。このように、吸着時の発熱と脱着時の
吸収熱を互いに相殺することにより、伝熱媒体の冷却・
加熱における熱負荷を低減できる。
オゾン吸着を行い、第２オゾン吸脱着塔２２では冷却を
行い、第３オゾン吸脱着塔２３ではオゾン脱着を行う場
合を示す。第１ループ２５により第２オゾン吸脱着塔２
２は冷却され、第１オゾン吸脱着塔２１はオゾン吸着反
応に必要な冷却を受ける。第３ループ２７により第１オ
ゾン吸脱着塔２１はオゾン吸着反応で発生する熱を除去
され、第３オゾン吸脱着塔２３はオゾン脱着反応に必要
な加熱を受ける。このように、吸着時の発熱と脱着時の
吸収熱を互いに相殺することにより、伝熱媒体の冷却・
加熱における熱負荷を低減できる。
【００２６】図３（Ｃ）は第１オゾン吸脱着塔２１では
オゾン脱着を行い、第２オゾン吸脱着塔２２ではオゾン
吸着を行い、第３オゾン吸脱着塔２３では冷却を行う場
合を示す。第２ループ２６により第３オゾン吸脱着塔２
３は冷却され、第２オゾン吸脱着塔２２はオゾン吸着反
応に必要な冷却を受ける。第１ループ２５により第２オ
ゾン吸脱着塔２２はオゾン吸着反応で発生する熱を除去
され、第１オゾン吸脱着塔２１はオゾン脱着反応に必要
な加熱を受ける。このように、吸着時の発熱と脱着時の
吸収熱を互いに相殺することにより、伝熱媒体の冷却・
加熱における熱負荷を低減できる。
オゾン脱着を行い、第２オゾン吸脱着塔２２ではオゾン
吸着を行い、第３オゾン吸脱着塔２３では冷却を行う場
合を示す。第２ループ２６により第３オゾン吸脱着塔２
３は冷却され、第２オゾン吸脱着塔２２はオゾン吸着反
応に必要な冷却を受ける。第１ループ２５により第２オ
ゾン吸脱着塔２２はオゾン吸着反応で発生する熱を除去
され、第１オゾン吸脱着塔２１はオゾン脱着反応に必要
な加熱を受ける。このように、吸着時の発熱と脱着時の
吸収熱を互いに相殺することにより、伝熱媒体の冷却・
加熱における熱負荷を低減できる。
【００２７】以上（Ａ）〜（Ｃ）に示すように、各オゾ
ン吸脱着塔は、冷却，吸着，脱着を繰り返すので、各塔
が均等に動作することができる。
ン吸脱着塔は、冷却，吸着，脱着を繰り返すので、各塔
が均等に動作することができる。
【００２８】図４は第４実施形態を示す。本実施形態は
第１オゾン吸脱着塔３１と、第２オゾン吸脱着塔３２
と、第３オゾン吸脱着塔３３と、第４オゾン吸脱着塔３
４と、冷却装置３５より構成され、第１〜４オゾン吸脱
着塔３１〜３４にはシリカゲル等のオゾン吸着剤３が充
填され、冷却装置３５には、伝熱管５内を伝熱媒体が第
２オゾン吸脱着塔３２より第１オゾン吸脱着塔３１に流
れる第１ループ３６と、伝熱管５内を伝熱媒体が第３オ
ゾン吸脱着塔３３より第２オゾン吸脱着塔３２に流れる
第２ループ３７と、伝熱管５内を伝熱媒体が第４オゾン
吸脱着塔３４より第３オゾン吸脱着塔３３に流れる第３
ループ３８と、伝熱管５内を伝熱媒体が第１オゾン吸脱
着塔３１より第４オゾン吸脱着塔３４に流れる第４ルー
プ３９と、が設けられている。
第１オゾン吸脱着塔３１と、第２オゾン吸脱着塔３２
と、第３オゾン吸脱着塔３３と、第４オゾン吸脱着塔３
４と、冷却装置３５より構成され、第１〜４オゾン吸脱
着塔３１〜３４にはシリカゲル等のオゾン吸着剤３が充
填され、冷却装置３５には、伝熱管５内を伝熱媒体が第
２オゾン吸脱着塔３２より第１オゾン吸脱着塔３１に流
れる第１ループ３６と、伝熱管５内を伝熱媒体が第３オ
ゾン吸脱着塔３３より第２オゾン吸脱着塔３２に流れる
第２ループ３７と、伝熱管５内を伝熱媒体が第４オゾン
吸脱着塔３４より第３オゾン吸脱着塔３３に流れる第３
ループ３８と、伝熱管５内を伝熱媒体が第１オゾン吸脱
着塔３１より第４オゾン吸脱着塔３４に流れる第４ルー
プ３９と、が設けられている。
【００２９】図４（Ａ）は第１オゾン吸脱着塔３１では
冷却のみ行い、第２オゾン吸脱着塔３２ではオゾン脱着
を行い、第３オゾン吸脱着塔３３では昇温を行い、第４
オゾン吸脱着塔３４ではオゾン吸着を行う場合を示す。
第４ループ３９により第１オゾン吸脱着塔３１は冷却さ
れ、第４オゾン吸脱着塔３４はオゾン吸着反応に必要な
冷却を受ける。第３ループ３８により第４オゾン吸脱着
塔３４はオゾン吸着反応で発生する熱を除去され、第３
オゾン吸脱着塔３３は除去された熱で昇温され次のオゾ
ン脱着に備える。第２ループ３７により第３オゾン吸脱
着塔３３では昇温した熱量の一部を吸収し、第２オゾン
吸脱着塔３２のオゾン脱着反応による吸熱を伝熱媒体が
吸収した発熱量により相殺する。このように、吸着時の
発熱と脱着時の吸収熱を互いに相殺することにより、伝
熱媒体の冷却・加熱における熱負荷を低減できる。
冷却のみ行い、第２オゾン吸脱着塔３２ではオゾン脱着
を行い、第３オゾン吸脱着塔３３では昇温を行い、第４
オゾン吸脱着塔３４ではオゾン吸着を行う場合を示す。
第４ループ３９により第１オゾン吸脱着塔３１は冷却さ
れ、第４オゾン吸脱着塔３４はオゾン吸着反応に必要な
冷却を受ける。第３ループ３８により第４オゾン吸脱着
塔３４はオゾン吸着反応で発生する熱を除去され、第３
オゾン吸脱着塔３３は除去された熱で昇温され次のオゾ
ン脱着に備える。第２ループ３７により第３オゾン吸脱
着塔３３では昇温した熱量の一部を吸収し、第２オゾン
吸脱着塔３２のオゾン脱着反応による吸熱を伝熱媒体が
吸収した発熱量により相殺する。このように、吸着時の
発熱と脱着時の吸収熱を互いに相殺することにより、伝
熱媒体の冷却・加熱における熱負荷を低減できる。
【００３０】図４（Ｂ）は第１オゾン吸脱着塔３１では
オゾン吸着を行い、第２オゾン吸脱着塔３２では冷却を
行い、第３オゾン吸脱着塔３３ではオゾン脱着を行い、
第４オゾン吸脱着塔３４では昇温を行う場合を示す。第
１ループ３６により第２オゾン吸脱着塔３２は冷却さ
れ、第１オゾン吸脱着塔３１はオゾン吸着反応に必要な
冷却を受ける。第４ループ３９により第１オゾン吸脱着
塔３１はオゾン吸着反応で発生する熱を除去され、第４
オゾン吸脱着塔３４は除去された熱で昇温され次のオゾ
ン脱着に備える。第３ループ３８により第４オゾン吸脱
着塔３４では昇温した熱量の一部を吸収し、第３オゾン
吸脱着塔３３のオゾン脱着反応による吸熱を伝熱媒体が
吸収した発熱量により相殺する。このように、吸着時の
発熱と脱着時の吸収熱を互いに相殺することにより、伝
熱媒体の冷却・加熱における熱負荷を低減できる。
オゾン吸着を行い、第２オゾン吸脱着塔３２では冷却を
行い、第３オゾン吸脱着塔３３ではオゾン脱着を行い、
第４オゾン吸脱着塔３４では昇温を行う場合を示す。第
１ループ３６により第２オゾン吸脱着塔３２は冷却さ
れ、第１オゾン吸脱着塔３１はオゾン吸着反応に必要な
冷却を受ける。第４ループ３９により第１オゾン吸脱着
塔３１はオゾン吸着反応で発生する熱を除去され、第４
オゾン吸脱着塔３４は除去された熱で昇温され次のオゾ
ン脱着に備える。第３ループ３８により第４オゾン吸脱
着塔３４では昇温した熱量の一部を吸収し、第３オゾン
吸脱着塔３３のオゾン脱着反応による吸熱を伝熱媒体が
吸収した発熱量により相殺する。このように、吸着時の
発熱と脱着時の吸収熱を互いに相殺することにより、伝
熱媒体の冷却・加熱における熱負荷を低減できる。
【００３１】図４（Ｃ）は第１オゾン吸脱着塔３１では
昇温を行い、第２オゾン吸脱着塔３２ではオゾン吸着を
行い、第３オゾン吸脱着塔３３では冷却を行い、第４オ
ゾン吸脱着塔３４ではオゾン脱着を行う場合を示す。第
２ループ３７により第３オゾン吸脱着塔３３は冷却さ
れ、第２オゾン吸脱着塔３２はオゾン吸着反応に必要な
冷却を受ける。第１ループ３６により第２オゾン吸脱着
塔３２はオゾン吸着反応で発生する熱を除去され、第１
オゾン吸脱着塔３１は除去された熱で昇温され次のオゾ
ン脱着に備える。第４ループ３９により第１オゾン吸脱
着塔３１では昇温した熱量の一部を吸収し、第４オゾン
吸脱着塔３４のオゾン脱着反応による吸熱を伝熱媒体が
吸収した発熱量により相殺する。このように、吸着時の
発熱と脱着時の吸収熱を互いに相殺することにより、伝
熱媒体の冷却・加熱における熱負荷を低減できる。
昇温を行い、第２オゾン吸脱着塔３２ではオゾン吸着を
行い、第３オゾン吸脱着塔３３では冷却を行い、第４オ
ゾン吸脱着塔３４ではオゾン脱着を行う場合を示す。第
２ループ３７により第３オゾン吸脱着塔３３は冷却さ
れ、第２オゾン吸脱着塔３２はオゾン吸着反応に必要な
冷却を受ける。第１ループ３６により第２オゾン吸脱着
塔３２はオゾン吸着反応で発生する熱を除去され、第１
オゾン吸脱着塔３１は除去された熱で昇温され次のオゾ
ン脱着に備える。第４ループ３９により第１オゾン吸脱
着塔３１では昇温した熱量の一部を吸収し、第４オゾン
吸脱着塔３４のオゾン脱着反応による吸熱を伝熱媒体が
吸収した発熱量により相殺する。このように、吸着時の
発熱と脱着時の吸収熱を互いに相殺することにより、伝
熱媒体の冷却・加熱における熱負荷を低減できる。
【００３２】図４（Ｄ）は第１オゾン吸脱着塔３１では
オゾン脱着を行い、第２オゾン吸脱着塔３２では昇温を
行い、第３オゾン吸脱着塔３３ではオゾン吸着を行い、
第４オゾン吸脱着塔３４では冷却を行う場合を示す。第
３ループ３８により第４オゾン吸脱着塔３４は冷却さ
れ、第３オゾン吸脱着塔３３はオゾン吸着反応に必要な
冷却を受ける。第２ループ３７により第３オゾン吸脱着
塔３３はオゾン吸着反応で発生する熱を除去され、第２
オゾン吸脱着塔３２は除去された熱で昇温され次のオゾ
ン脱着に備える。第１ループ３６により第２オゾン吸脱
着塔３２では昇温した熱量の一部を吸収し、第１オゾン
吸脱着塔３１のオゾン脱着反応による吸熱を伝熱媒体が
吸収した発熱量により相殺する。このように、吸着時の
発熱と脱着時の吸収熱を互いに相殺することにより、伝
熱媒体の冷却・加熱における熱負荷を低減できる。
オゾン脱着を行い、第２オゾン吸脱着塔３２では昇温を
行い、第３オゾン吸脱着塔３３ではオゾン吸着を行い、
第４オゾン吸脱着塔３４では冷却を行う場合を示す。第
３ループ３８により第４オゾン吸脱着塔３４は冷却さ
れ、第３オゾン吸脱着塔３３はオゾン吸着反応に必要な
冷却を受ける。第２ループ３７により第３オゾン吸脱着
塔３３はオゾン吸着反応で発生する熱を除去され、第２
オゾン吸脱着塔３２は除去された熱で昇温され次のオゾ
ン脱着に備える。第１ループ３６により第２オゾン吸脱
着塔３２では昇温した熱量の一部を吸収し、第１オゾン
吸脱着塔３１のオゾン脱着反応による吸熱を伝熱媒体が
吸収した発熱量により相殺する。このように、吸着時の
発熱と脱着時の吸収熱を互いに相殺することにより、伝
熱媒体の冷却・加熱における熱負荷を低減できる。
【００３３】以上（Ａ）〜（Ｄ）に示すように、各オゾ
ン吸脱着塔は、冷却，吸着，昇温，脱着を繰り返すの
で、各塔が均等に動作することができる。
ン吸脱着塔は、冷却，吸着，昇温，脱着を繰り返すの
で、各塔が均等に動作することができる。
【００３４】
【発明の効果】以上の説明より明らかなように、本発明
は、オゾン吸着と脱着を同時に行いオゾン吸着で発生す
る発熱量をオゾン脱着に必要となる加熱に用いることに
より、吸着時の発熱と脱着時の吸熱を相殺するので、オ
ゾン吸脱着に必要な冷却・加熱の熱負荷を低減できる。
また複数のオゾン吸脱着塔の冷却、加熱を少数の冷却装
置で行うことができる。
は、オゾン吸着と脱着を同時に行いオゾン吸着で発生す
る発熱量をオゾン脱着に必要となる加熱に用いることに
より、吸着時の発熱と脱着時の吸熱を相殺するので、オ
ゾン吸脱着に必要な冷却・加熱の熱負荷を低減できる。
また複数のオゾン吸脱着塔の冷却、加熱を少数の冷却装
置で行うことができる。
【図１】本発明の第１実施形態の構成を示す図である。
【図２】本発明の第２実施形態の構成を示す図である。
【図３】本発明の第３実施形態の構成を示す図である。
【図４】本発明の第４実施形態の構成を示す図である。
１ 第１オゾン吸脱着塔 ２ 第２オゾン吸脱着塔 ３ オゾン吸着剤 ４ 冷却装置 ５ 伝熱管器 １１ 第１オゾン吸脱着塔 １２ 第２オゾン吸脱着塔 １３ 第３オゾン吸脱着塔 １４ 第４オゾン吸脱着塔 ２１ 第１オゾン吸脱着塔 ２２ 第２オゾン吸脱着塔 ２３ 第３オゾン吸脱着塔 ２４ 冷却装置 ２５ 第１ループ ２６ 第２ループ ２７ 第３ループ ３１ 第１オゾン吸脱着塔 ３２ 第２オゾン吸脱着塔 ３３ 第３オゾン吸脱着塔 ３４ 第４オゾン吸脱着塔 ３５ 冷却装置 ３６ 第１ループ ３７ 第２ループ ３８ 第３ループ ３９ 第４ループ
Claims (4)
- 【請求項１】 冷却しながらオゾンを供給するとオゾン
を吸着し、加熱すると吸着したオゾンを脱着するオゾン
吸脱着剤を充填した第１容器と第２容器を並べ、冷却装
置より第１容器、第２容器を通り冷却装置に戻る伝熱管
を設け、伝熱管に伝熱媒体の流れる方向を第１容器から
第２容器に流れるようにして、第１容器でオゾンを吸着
して第２容器でオゾンを脱着する場合、または伝熱管に
伝熱媒体の流れる方向を第２容器から第１容器に流れる
ようにして、第２容器でオゾンを吸着して第１容器でオ
ゾンを脱着する場合、のいずれかにより吸脱着を行うこ
とを特徴とするオゾン吸脱着装置。 - 【請求項２】 冷却しながらオゾンを供給するとオゾン
を吸着し、加熱すると吸着したオゾンを脱着するオゾン
吸脱着剤を充填した第１容器と第２容器と第３容器と第
４容器を並べ、冷却装置より第１容器、第２容器、第３
容器、第４容器を通り冷却装置に戻る伝熱管を設け、伝
熱管に伝熱媒体の流れる方向を第１容器から第４容器に
流れるようにしたときは、第２容器でオゾンを吸着して
第４容器でオゾンを脱着する場合、第１容器でオゾンを
吸着して第３容器でオゾンを脱着する場合、のいずれ
か、伝熱管に伝熱媒体の流れる方向を第４容器から第１
容器に流れるようにしたときは、第４容器でオゾンを吸
着して第２容器でオゾンを脱着する場合、第３容器でオ
ゾンを吸着して第１容器でオゾンを脱着する場合、のい
ずれかにより吸脱着を行うことを特徴とするオゾン吸脱
着装置。 - 【請求項３】 冷却しながらオゾンを供給するとオゾン
を吸着し、加熱すると吸着したオゾンを脱着するオゾン
吸脱着剤を充填した第１容器と第２容器と第３容器とを
配置し、冷却装置より第２容器、第１容器を通り冷却装
置に戻り、この順に伝熱媒体が流れる第１伝熱管と、冷
却装置より第３容器、第２容器を通り冷却装置に戻り、
この順に伝熱媒体が流れる第２伝熱管と、冷却装置より
第１容器、第３容器を通り冷却装置に戻り、この順に伝
熱媒体が流れる第３伝熱管と、を設け、第２容器でオゾ
ンを脱着して第３容器でオゾンを吸着する場合、第３容
器でオゾンを脱着して第１容器でオゾンを吸着する場
合、第１容器でオゾンを脱着して第２容器でオゾンを吸
着する場合、のいずれかにより吸脱着を行うことを特徴
とするオゾン吸脱着装置。 - 【請求項４】 冷却しながらオゾンを供給するとオゾン
を吸着し、加熱すると吸着したオゾンを脱着するオゾン
吸脱着剤を充填した第１容器と第２容器と第３容器と第
４容器を配置し、冷却装置より第２容器、第１容器を通
り冷却装置に戻り、この順に伝熱媒体が流れる第１伝熱
管と、冷却装置より第３容器、第２容器を通り冷却装置
に戻り、この順に伝熱媒体が流れる第２伝熱管と、冷却
装置より第４容器、第３容器を通り冷却装置に戻り、こ
の順に伝熱媒体が流れる第３伝熱管と、冷却装置より第
１容器、第４容器を通り冷却装置に戻り、この順に伝熱
媒体が流れる第４伝熱管と、を設け、第２容器でオゾン
を脱着して第４容器でオゾンを吸着する場合、第３容器
でオゾンを脱着して第１容器でオゾンを吸着する場合、
第４容器でオゾンを脱着して第２容器でオゾンを吸着す
る場合、第１容器でオゾンを脱着して第３容器でオゾン
を吸着する場合、のいずれかにより吸脱着を行うことを
特徴とするオゾン吸脱着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23328898A JP4092671B2 (ja) | 1998-08-19 | 1998-08-19 | オゾン吸脱着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23328898A JP4092671B2 (ja) | 1998-08-19 | 1998-08-19 | オゾン吸脱着装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000072408A true JP2000072408A (ja) | 2000-03-07 |
| JP4092671B2 JP4092671B2 (ja) | 2008-05-28 |
Family
ID=16952762
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23328898A Expired - Fee Related JP4092671B2 (ja) | 1998-08-19 | 1998-08-19 | オゾン吸脱着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4092671B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004535281A (ja) * | 2001-04-30 | 2004-11-25 | バッテル メモリアル インスティテュート | 熱スイング吸着及び熱増強圧力スイング吸着のための方法及び装置 |
| WO2009069772A1 (ja) * | 2007-11-30 | 2009-06-04 | Mitsubishi Electric Corporation | オゾン濃縮装置 |
| WO2009069774A1 (ja) * | 2007-11-30 | 2009-06-04 | Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation | 高濃度オゾンガス生成装置および高濃度オゾンガス生成方法 |
-
1998
- 1998-08-19 JP JP23328898A patent/JP4092671B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004535281A (ja) * | 2001-04-30 | 2004-11-25 | バッテル メモリアル インスティテュート | 熱スイング吸着及び熱増強圧力スイング吸着のための方法及び装置 |
| WO2009069772A1 (ja) * | 2007-11-30 | 2009-06-04 | Mitsubishi Electric Corporation | オゾン濃縮装置 |
| WO2009069774A1 (ja) * | 2007-11-30 | 2009-06-04 | Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation | 高濃度オゾンガス生成装置および高濃度オゾンガス生成方法 |
| CN101878183A (zh) * | 2007-11-30 | 2010-11-03 | 东芝三菱电机产业系统株式会社 | 高浓度臭氧气体生成装置及高浓度臭氧气体生成方法 |
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